JPH0226089A - リングレーザのディザ振動打消し方法および装置 - Google Patents
リングレーザのディザ振動打消し方法および装置Info
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- JPH0226089A JPH0226089A JP1154795A JP15479589A JPH0226089A JP H0226089 A JPH0226089 A JP H0226089A JP 1154795 A JP1154795 A JP 1154795A JP 15479589 A JP15479589 A JP 15479589A JP H0226089 A JPH0226089 A JP H0226089A
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16F—SPRINGS; SHOCK-ABSORBERS; MEANS FOR DAMPING VIBRATION
- F16F7/00—Vibration-dampers; Shock-absorbers
- F16F7/10—Vibration-dampers; Shock-absorbers using inertia effect
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
- G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
- G01C19/58—Turn-sensitive devices without moving masses
- G01C19/64—Gyrometers using the Sagnac effect, i.e. rotation-induced shifts between counter-rotating electromagnetic beams
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
づ、産業上の利用分野
この発明はディザリングレーザジャイロの分i野に関し
、よシ詳細には、リングレーザジャイロをディザするこ
とによって誘導される取付板の振動を打消すリングレー
ザのディザ振動打消し方法および装置に関する。
、よシ詳細には、リングレーザジャイロをディザするこ
とによって誘導される取付板の振動を打消すリングレー
ザのディザ振動打消し方法および装置に関する。
口、従来の技術
リングレーザジャイロは、その周囲の運動を検知しよう
とする、軸の周囲の閉ループにおいて相対方向に伝搬す
る2つの単色レーザビームを利用する。この軸の周囲で
装置を回転することによって動床的に、ビーム通路の長
さを一方向に向って増加させ、かつ反対方向に向ってビ
ーム通路の長さを減少させる。2つの逆回転ビームのレ
ーザ周波数はレーザ通路の関数になっているので、リン
グレーザジャイロの回転によって生ずる差の通路長はこ
れらビーム間の周波数差を生ずる。この周波数差の大き
さと符号は検知軸の周囲の回転の速度および方向を表わ
し、そしてその目的で、当業者に周知の方法で監視する
ことができる。低回転速度では、2つの逆回転ビーム間
の周波数の差は小さく、両ビーム社共に共振するすなわ
ちロックインして同じ周一数で発振する傾向がある。こ
のロックインのために、リングレーザジャイロは、ロッ
クイン回転速度あるいはそれ以下での回転速度を検知で
きない。ロックインレートを低減するために、リングレ
ーザジャイロはディザされ、軸の周囲で機械的に発振さ
れて、1方向での、次いで他方向での回転を生じさせ、
出力潮干における動4tt打消し、一方、各方向での見
掛けの回転を保持し、従ってロックインレートを低減す
る。
とする、軸の周囲の閉ループにおいて相対方向に伝搬す
る2つの単色レーザビームを利用する。この軸の周囲で
装置を回転することによって動床的に、ビーム通路の長
さを一方向に向って増加させ、かつ反対方向に向ってビ
ーム通路の長さを減少させる。2つの逆回転ビームのレ
ーザ周波数はレーザ通路の関数になっているので、リン
グレーザジャイロの回転によって生ずる差の通路長はこ
れらビーム間の周波数差を生ずる。この周波数差の大き
さと符号は検知軸の周囲の回転の速度および方向を表わ
し、そしてその目的で、当業者に周知の方法で監視する
ことができる。低回転速度では、2つの逆回転ビーム間
の周波数の差は小さく、両ビーム社共に共振するすなわ
ちロックインして同じ周一数で発振する傾向がある。こ
のロックインのために、リングレーザジャイロは、ロッ
クイン回転速度あるいはそれ以下での回転速度を検知で
きない。ロックインレートを低減するために、リングレ
ーザジャイロはディザされ、軸の周囲で機械的に発振さ
れて、1方向での、次いで他方向での回転を生じさせ、
出力潮干における動4tt打消し、一方、各方向での見
掛けの回転を保持し、従ってロックインレートを低減す
る。
このディザリングによってリングレーザジャイロの取付
は台を振動させ、よってノイズ発生器として作用させ、
他の装置に悪影響を与える。
は台を振動させ、よってノイズ発生器として作用させ、
他の装置に悪影響を与える。
振動、制動、分at行なう周知の技術はディザ発生振動
を低減させるが、振動低減の程度は不十分であって、リ
ングレーザジャイロ取付板に結合した他の装置の振動へ
の悪影響を阻止する率とができない。
を低減させるが、振動低減の程度は不十分であって、リ
ングレーザジャイロ取付板に結合した他の装置の振動へ
の悪影響を阻止する率とができない。
1・1発明の構成と作用
本発明の原理によれば、ディザリングレーザジャイロ(
RLG)のためのディザ振動打消装置には、RLGのそ
れに等しい機械的共振周波数を持つよう構成され、RL
GおよびRLGが取付けられているセンサブロックアセ
ンブリ(SBA)に結合された質量が含まれる。発明の
1実施態様では、RILGディザ駆動信号と180度位
相ずれの駆動信号を利用してディザモータを駆動し、と
のモータが質量をディザする。この質量の位相ずれディ
ザによってSBAの振動を誘導するが、それはRLGt
−ディザすることによって誘導された振動金打消す。
RLG)のためのディザ振動打消装置には、RLGのそ
れに等しい機械的共振周波数を持つよう構成され、RL
GおよびRLGが取付けられているセンサブロックアセ
ンブリ(SBA)に結合された質量が含まれる。発明の
1実施態様では、RILGディザ駆動信号と180度位
相ずれの駆動信号を利用してディザモータを駆動し、と
のモータが質量をディザする。この質量の位相ずれディ
ザによってSBAの振動を誘導するが、それはRLGt
−ディザすることによって誘導された振動金打消す。
別の実施態様では、RLGディザ駆動によって8BAK
与えられたトルクを表わす電気信号を利用してディザモ
ータを駆動し、とのモータは電気信号に応答して質量を
ディザする。この電気信号とディザモータ組合わせによ
って、SBAにトルクを生ずるように、質量が駆動され
るが、このトルクはRLGのディザによってSBAに与
えられ九トルクと等しい振幅および逆の位相を持ってい
る。等振幅と逆位相のトルク18BAに与「えることに
よって対立関係にある振動を発生すΣが、この振動はデ
ィザRLGによって生じ九8BAの振動を打消す傾向が
あり、よってそれを大いに低減する。
与えられたトルクを表わす電気信号を利用してディザモ
ータを駆動し、とのモータは電気信号に応答して質量を
ディザする。この電気信号とディザモータ組合わせによ
って、SBAにトルクを生ずるように、質量が駆動され
るが、このトルクはRLGのディザによってSBAに与
えられ九トルクと等しい振幅および逆の位相を持ってい
る。等振幅と逆位相のトルク18BAに与「えることに
よって対立関係にある振動を発生すΣが、この振動はデ
ィザRLGによって生じ九8BAの振動を打消す傾向が
あり、よってそれを大いに低減する。
二、実施例
リングレーザジャイロはその軸の周囲でディザして、低
い回転速度における2つの逆回転ビームのロックイン効
果を最小にする。このディザリングは定周波数でのジャ
イロの軸の周囲における回転振動となっている。そのよ
うなディザリングによってジャイロのSBAへの取付点
において反動トルクを生じ、そしてノイズを発生する振
動を誘導し、このノイズは構造全体に伝搬し、かつそこ
から発散する。発明によればこのノイズは、ジャイロの
それと等しい機械的共振周波数を有する反ディザ質量(
CDM)をSBAに結合し、そしてそれを、RLGに与
えられたのと同じ周波数および振幅でディザすることに
よって最小化することができる。利用できるデイ1Jr
モータ質量アセンブリ10は第1図に示され七いる。デ
ィザモータ11は角質量12に内部で結合することがで
きて、RLGのそれに等しい機械的共振周波数を有する
共振構造を与えている。このディザモータはRLG’i
ディザするのに利用されるそれと同一であって、等角的
に位置ぎめされて、質量12に取付けられ穴4つの支柱
13a〜13dt−備える。3つの圧電結晶j58〜1
5Cはこれらの支柱のうちの3つに結合されている。3
つの圧電結晶153〜15Cに結合された交流電気信号
は圧力上発生し、それは信号の振幅と共に変動して、ア
センブリ全体を振動させる。第4の圧電結晶15dは第
4支柱に結合して、振動ピックオフとして作用し、そし
てディザモータの振動を検出して、それらを電気信号に
変換する。
い回転速度における2つの逆回転ビームのロックイン効
果を最小にする。このディザリングは定周波数でのジャ
イロの軸の周囲における回転振動となっている。そのよ
うなディザリングによってジャイロのSBAへの取付点
において反動トルクを生じ、そしてノイズを発生する振
動を誘導し、このノイズは構造全体に伝搬し、かつそこ
から発散する。発明によればこのノイズは、ジャイロの
それと等しい機械的共振周波数を有する反ディザ質量(
CDM)をSBAに結合し、そしてそれを、RLGに与
えられたのと同じ周波数および振幅でディザすることに
よって最小化することができる。利用できるデイ1Jr
モータ質量アセンブリ10は第1図に示され七いる。デ
ィザモータ11は角質量12に内部で結合することがで
きて、RLGのそれに等しい機械的共振周波数を有する
共振構造を与えている。このディザモータはRLG’i
ディザするのに利用されるそれと同一であって、等角的
に位置ぎめされて、質量12に取付けられ穴4つの支柱
13a〜13dt−備える。3つの圧電結晶j58〜1
5Cはこれらの支柱のうちの3つに結合されている。3
つの圧電結晶153〜15Cに結合された交流電気信号
は圧力上発生し、それは信号の振幅と共に変動して、ア
センブリ全体を振動させる。第4の圧電結晶15dは第
4支柱に結合して、振動ピックオフとして作用し、そし
てディザモータの振動を検出して、それらを電気信号に
変換する。
次に第2図では、反ディザ質量アセンブリ10がRLG
17と5BA19間に結合されている。第1図〜第6図
では同じ素子は同じ指示番号1付され・ている。RLG
ディザモータのピンクオフ結晶によって発生される電気
信号は線21を介して移相器23に、そしてそこから線
25を介し、iCDMの駆動結晶に結合されている。移
相器23−11.RLG17のディザモータからのピッ
クオフ信号と、CDMのためのディザモータの駆動結晶
に与えられた電気信号との間に180°の移相を与える
よう設計することができる。この180゜の移相によっ
てCDMjOのディザモータは、CDMloを、RLG
17のディザリングとは180゜位相ずれで振動させ、
よって8BA19に、RLG17のディザリングによっ
て生じた振動を打消すような振動を確立することによっ
て、動的振動吸収体を与えている。
17と5BA19間に結合されている。第1図〜第6図
では同じ素子は同じ指示番号1付され・ている。RLG
ディザモータのピンクオフ結晶によって発生される電気
信号は線21を介して移相器23に、そしてそこから線
25を介し、iCDMの駆動結晶に結合されている。移
相器23−11.RLG17のディザモータからのピッ
クオフ信号と、CDMのためのディザモータの駆動結晶
に与えられた電気信号との間に180°の移相を与える
よう設計することができる。この180゜の移相によっ
てCDMjOのディザモータは、CDMloを、RLG
17のディザリングとは180゜位相ずれで振動させ、
よって8BA19に、RLG17のディザリングによっ
て生じた振動を打消すような振動を確立することによっ
て、動的振動吸収体を与えている。
RLG17およびCDMloのディザリングによって5
BA19に誘導された振動は、駆動力と同相であっては
ならない。さらに、RLG17とCDM間の8BA19
に対する慣性モーメントおよび結合係数における差のよ
うな、物理的変動によって、RLG17とCDMloに
よって誘導される振動間の移相および振幅差を生ずるこ
とができる。従って、RLG17とCDMloのディザ
周′波数間の単なる180°移相によっては最適の振動
打消しができないこともある。単なる180゜移相によ
って与えられるそれ以上の大きいSBAの振動打消しは
、閉ループ制御システムを介して与えられるが、この場
合8BAアセンブリ19の振動は電気信号に変換され、
次いでこの信号は処理されて、RLG17?駆動するデ
ィザ信号に対して適切な位相と振幅を有して、CDMl
oのディザモータを駆動する。そのような装置のブロッ
ク図は第3図に示される。
BA19に誘導された振動は、駆動力と同相であっては
ならない。さらに、RLG17とCDM間の8BA19
に対する慣性モーメントおよび結合係数における差のよ
うな、物理的変動によって、RLG17とCDMloに
よって誘導される振動間の移相および振幅差を生ずるこ
とができる。従って、RLG17とCDMloのディザ
周′波数間の単なる180°移相によっては最適の振動
打消しができないこともある。単なる180゜移相によ
って与えられるそれ以上の大きいSBAの振動打消しは
、閉ループ制御システムを介して与えられるが、この場
合8BAアセンブリ19の振動は電気信号に変換され、
次いでこの信号は処理されて、RLG17?駆動するデ
ィザ信号に対して適切な位相と振幅を有して、CDMl
oのディザモータを駆動する。そのような装置のブロッ
ク図は第3図に示される。
8BA19に取付けられ喪加速度計27は振動を検出し
、そして8BA19の振動周波数および振幅の周波数お
よび振幅を表わす周波数と振幅を持つ信号上発生する。
、そして8BA19の振動周波数および振幅の周波数お
よび振幅を表わす周波数と振幅を持つ信号上発生する。
この電気信号と、RLG17t−駆動するディザモータ
からのピックオフ信号、およびCDM’i駆動するディ
ザモータからのピックオフ信号は、以下で述べるような
制御エレクトロニクス29に結合するが、この回路にお
いて信号は処理され、線61を介して、CDMのディザ
モータに駆動信号を与え、それは加速度計27の出力を
ゼロにする。
からのピックオフ信号、およびCDM’i駆動するディ
ザモータからのピックオフ信号は、以下で述べるような
制御エレクトロニクス29に結合するが、この回路にお
いて信号は処理され、線61を介して、CDMのディザ
モータに駆動信号を与え、それは加速度計27の出力を
ゼロにする。
第2図および第3図において、CDMloは5BA19
に取付けられそしてRLG17はCDMloに取付けら
れている状態が示されている。
に取付けられそしてRLG17はCDMloに取付けら
れている状態が示されている。
所望の振動打消しを与え得る他の取付は構成が可能なこ
とは明らかでおる。第4図ではCDMloはSBAのく
ぼみに取付けられている状態が図示されている。CDM
loからのピックオフはSBAに取付けられた端子33
に結合し、そこからピックオフ信号は制御回路29に結
合し、−方、CDMloのディザモータ駆動端子は8B
人19に取付けられ次第2端子35に結合し、この端子
は線31t−介して制御回路29に結合する。第5図で
はRLG17は8BA19の表面に取付けられ、一方、
CDMloは対向する表面に取付けられて示される。こ
の構成では、電気信号は、第3図に示されたと同じよう
に、制御回路29におよびそこから結合している。
とは明らかでおる。第4図ではCDMloはSBAのく
ぼみに取付けられている状態が図示されている。CDM
loからのピックオフはSBAに取付けられた端子33
に結合し、そこからピックオフ信号は制御回路29に結
合し、−方、CDMloのディザモータ駆動端子は8B
人19に取付けられ次第2端子35に結合し、この端子
は線31t−介して制御回路29に結合する。第5図で
はRLG17は8BA19の表面に取付けられ、一方、
CDMloは対向する表面に取付けられて示される。こ
の構成では、電気信号は、第3図に示されたと同じよう
に、制御回路29におよびそこから結合している。
制御回路29で利用することのできる回路のシロツク図
が第6図に示される。RLGディザモータ39のピック
オフ37における信号は二乗戸置兼レベル制御回路47
へ、そして90°移相器49t−介して第2二乗装置兼
レベル制御回路51に与えられる。二乗装置兼レベル制
御回路47と51の出力端子における信号はそれぞれピ
ックオフ37の出力端子における信号と同位相でラシ、
かつ直角位相になっている。これらの同位相、かつ直角
位相の信号は、加速度計27出力信号を検出するための
基準信号として同期検出器53および55に結合する。
が第6図に示される。RLGディザモータ39のピック
オフ37における信号は二乗戸置兼レベル制御回路47
へ、そして90°移相器49t−介して第2二乗装置兼
レベル制御回路51に与えられる。二乗装置兼レベル制
御回路47と51の出力端子における信号はそれぞれピ
ックオフ37の出力端子における信号と同位相でラシ、
かつ直角位相になっている。これらの同位相、かつ直角
位相の信号は、加速度計27出力信号を検出するための
基準信号として同期検出器53および55に結合する。
同期検出器53と55の出力端子における信号は、ピッ
クオフ37における信号の位相および振幅に対する5B
A19振動の位相および振幅の関数となっている。位相
角が小さい場合、同期検出器55からの出力信号は振動
の振幅を表わすが、同期検出器55からの出力信号は位
相角を表わす。
クオフ37における信号の位相および振幅に対する5B
A19振動の位相および振幅の関数となっている。位相
角が小さい場合、同期検出器55からの出力信号は振動
の振幅を表わすが、同期検出器55からの出力信号は位
相角を表わす。
同期検出器53と55からの同相かつ直角位相検出信号
は位相および振幅課シ検出器57に結合し、振動位相お
よび振幅を表わすそこからの信号は位相と振幅制御回路
59に結合し、この1回路は、位相と振i誤シ検出器5
7によって検出された位相および振幅誤りによって決定
された位相と振幅を有する基準信号を発生する。この基
準信号は加算回路61の非反転端子に結合し、その出力
端子は増幅器63f:介してディザモータ67の入力駆
動端子65に結合する。ディザ駆動モータ67のピック
オフ端子69における信号は、CDMディザ振輻および
周波数を表わしており、加算回路61の反転端子に結合
する。この構成によってディザモータ67駆動信号の振
幅および周波敷金調整して、CDMloのディザを生じ
させ、それによって5BA19における振動を誘導し、
この振動はRLG17によってそこに誘導された振動を
最適に打消す。
は位相および振幅課シ検出器57に結合し、振動位相お
よび振幅を表わすそこからの信号は位相と振幅制御回路
59に結合し、この1回路は、位相と振i誤シ検出器5
7によって検出された位相および振幅誤りによって決定
された位相と振幅を有する基準信号を発生する。この基
準信号は加算回路61の非反転端子に結合し、その出力
端子は増幅器63f:介してディザモータ67の入力駆
動端子65に結合する。ディザ駆動モータ67のピック
オフ端子69における信号は、CDMディザ振輻および
周波数を表わしており、加算回路61の反転端子に結合
する。この構成によってディザモータ67駆動信号の振
幅および周波敷金調整して、CDMloのディザを生じ
させ、それによって5BA19における振動を誘導し、
この振動はRLG17によってそこに誘導された振動を
最適に打消す。
本発明の良好な実施態様について説明して来九が、使用
した用語は説明のためのものであって限定するものでな
く、その広い観点において、本発明の真の範囲および発
明の精神から逸脱せヤに、特許請求の範囲内で種々の変
更がなされ5褥る点を理解されたい。
した用語は説明のためのものであって限定するものでな
く、その広い観点において、本発明の真の範囲および発
明の精神から逸脱せヤに、特許請求の範囲内で種々の変
更がなされ5褥る点を理解されたい。
第1図は対ディザ質量およびディザモータアセンブリの
構成図、第2図は、ジャイロのディザサイクルを表わす
周波数が移相され、その後反ディザ質量を駆動するのに
利用されている、本発明の1実施態様のブロック図、第
3図は、センサブロックアセンブリの振動を表わす信号
およびジャイロと反ディザ質量のディザリングを表わす
信号とが制御回路に結合され、そこから信号が発生され
て反ディザ質量を駆動する、本発明の1実施態様のブロ
ック図、第4図と第5図は、ジャイロと、反ディザ質量
と、センサブロックアセンブリとの別の構成を示す発明
の実施態様のブロック図、第6図は、第3図〜第5図に
示された制御回路に利用できる回路のブロック図を示す
。 図中、10は反ディザ質量、17はリングレーザジャイ
ロ、19はセンサブロックアセンブリ、23は移相器、
27は加速度計、セして29は制御エレクトロニクスを
それぞれ示す。 特許出願人 スベリ−マリーン インコーホレイテッド 図面の浄書(内容に変更なし) FIG、2゜ FIG、3゜
構成図、第2図は、ジャイロのディザサイクルを表わす
周波数が移相され、その後反ディザ質量を駆動するのに
利用されている、本発明の1実施態様のブロック図、第
3図は、センサブロックアセンブリの振動を表わす信号
およびジャイロと反ディザ質量のディザリングを表わす
信号とが制御回路に結合され、そこから信号が発生され
て反ディザ質量を駆動する、本発明の1実施態様のブロ
ック図、第4図と第5図は、ジャイロと、反ディザ質量
と、センサブロックアセンブリとの別の構成を示す発明
の実施態様のブロック図、第6図は、第3図〜第5図に
示された制御回路に利用できる回路のブロック図を示す
。 図中、10は反ディザ質量、17はリングレーザジャイ
ロ、19はセンサブロックアセンブリ、23は移相器、
27は加速度計、セして29は制御エレクトロニクスを
それぞれ示す。 特許出願人 スベリ−マリーン インコーホレイテッド 図面の浄書(内容に変更なし) FIG、2゜ FIG、3゜
Claims (13)
- (1)その上に取付けられた発振質量のディザリングに
よつて誘導された台の振動を打消す装置であつて、 前記台に機械的に結合した質量手段と、 前記質量手段に結合して、前記発振質量によつて誘導さ
れた前記台の振動を打消すように前記質量手段を発振さ
せる質量発振手段、 とを備えていることを特徴とするリングレーザのディザ
振動打消し装置。 - (2)特許請求の範囲第1項記載の装置において、前記
質量手段は前記発振質量のそれに等しい機械的共振周波
数を有するよう構成されていることを特徴とするリング
レーザのディザ振動打消し装置。 - (3)特許請求の範囲第2項記載の装置において、前記
発振質量には前記発振質量の運動を表わす電気信号が与
えられるピックオフ手段が含まれ、そして前記質量発振
手段は、 駆動入力手段を有して、この駆動入力手段に結合した電
気信号に従つて前記質量手段を発振させる発振器手段と
、 前記ピックオフ手段と前記駆動入力手段間に結合して、
前記ピックオフ手段から前記駆動入力手段へ結合した電
気信号に、前記台の振動を最小にするよう選択された移
相を与える移相手段、 とを備えていることを特徴とするリングレーザのディザ
振動打消し装置。 - (4)特許請求の範囲第2項記載の装置であつて、更に 前記質量手段を機械的に発振させて、この質量手段の機
械的発振を表わす信号が与えられるピックオフ手段およ
び駆動電気信号を受信する駆動入力手段を有する発振器
手段と、 前記合に取付けられて台の振動を表わす電気信号を発生
する加速度計手段と、 前記発振質量の前記ピックオフ手段からの信号と、前記
発振器手段の前記ピックオフ手段からの信号と、前記加
速度計手段からの信号とを受信するように結合されて、
前記駆動入力手段に制御信号を与え、前記発振手段の発
振によつて誘導された振動を打消すように前記質量手段
を発振させる振動制御手段、 とを備えていることを特徴とするリングレーザのディザ
振動打消し装置。 - (5)特許請求の範囲第4項記載の装置において、前記
振動制御手段は、 前記発振質量の前記ピックオフ手段に結合して、前記発
振質量の前記ピックオフ手段における信号と同位相の第
1基準信号を発生する手段と、 前記発振質量の前記ピックオフ手段に結合して、前記発
振質量の前記ピックオフ手段における前記信号に対して
所定位相角だけ移相された第2基準信号を発生する手段
と、および前記第1と第2の基準信号および前記加速度
計手段からの電気信号を受信するよう結合されて駆動信
号を前記駆動入力手段に与え、前記質量手段を発振させ
、そして前記発振手段の発振によつて誘導された前記振
動を打消すような振動を誘導する手段、 とを備えていることを特徴とするリングレーザのディザ
振動打消し装置。 - (6)特許請求の範囲第5項記載の装置において、前記
駆動信号手段は、 前記第1と第2の基準信号に対する前記加速度計手段か
らの前記電気信号を検出して、振幅および位相誤り信号
を与える手段と、 前記位相および振幅誤り信号を受信するように結合して
この位相および振幅誤り信号に従つて駆動基準信号を発
生する手段と、および 前記基準駆動信号および前記発振器手段の前記ピックオ
フからの信号を受信するよう結合されて前記発振器手段
の前記ピックオフからの前記信号を前記基準駆動信号と
比較し、前記駆動信号を前記駆動入力手段に与える手段
、 とを有していることを特徴とするリングレーザのディザ
振動打消し装置。 - (7)特許請求の範囲第5項記載の装置において、前記
位相角は90°であることを特徴とするリングレーザの
ディザ振動打消し装置。 - (8)特許請求の範囲第5項記載の装置において、前記
質量手段は前記発振質量と前記台との間に取付けられて
いることを特徴とするリングレーザのディザ振動打消し
装置。 - (9)特許請求の範囲第5項記載の装置において、前記
質量手段は前記台のくぼみに取付けられていることを特
徴とするリングレーザのディザ振動打消し装置。 - (10)特許請求の範囲第5項記載の装置において、前
記発振質量は前記台の第1面に取付けられており、そし
て前記質量手段は前記第1面に対向する前記台の第2面
に取付けられていることを特徴とするリングレーザのデ
ィザ振動打消し装置。 - (11)取付けられた発振質量のディザリングによつて
誘導された台の振動を打消す方法であつて、前記台に質
量手段を取付ける段階および 前記発振手段の運動によつて誘導された前記振動を打消
す振動を誘導するように、前記質量手段を発振させる段
階、 から成ることを特徴とするリングレーザのディザ振動打
消し方法。 - (12)特許請求の範囲第11項記載の方法において、 前記質量手段を発振させる前記段階は前記質量手段にモ
ータ手段を取付ける段階と、前記発振質量の運動を表わ
す信号を前記発振質量から発生する段階と、 前記発振質量から発生された前記信号を移相して、移相
信号を発生する段階と、および 前記移相信号を前記モータ手段に結合して、前記質量手
段を前記移相信号に従つて発振させ、前記質量手段の発
振によつて、前記発振質量によつて誘導された振動を打
消すような前記台の振動を誘導する段階、 とから成ることを特徴とするリングレーザのディザ振動
打消し方法。 - (13)特許請求の範囲第11項記載の方法において、
前記質量手段を発振させる段階は、 前記発振手段の前記運動を表わす信号と同相の第1基準
信号を発生する段階と、 前記代表信号に対して所定の位相角だけ移相された第2
基準信号を発生する段階と、 前記台の振動を表わす信号を発生する段階と、前記第1
と第2の基準信号に対する前記振動を表わす信号を同期
的に検出して位相および振幅誤り信号を得る段階と、 前記位相および振幅誤り信号を処理して駆動基準信号を
発生する段階と、および 前記駆動基準信号を、前記質量手段に結合されたモータ
手段に結合して、前記発振質量によつて誘導されたその
振動を打消すような前記台の振動を誘導するように、前
記質量手段を発振させる段階、 とから成ることを特徴とするリングレーザのディザ振動
打消し方法。
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| US07/209,251 US5012174A (en) | 1988-06-20 | 1988-06-20 | Method and apparatus for countering vibrations of a platform |
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|---|---|
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