JPH02264823A - 熱式流量のセンサの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、自動車用、家庭電化製品用、及び工業計器等
に使用される熱式流量検出センサの製造方法に関するも
のである。

従来の技術 従来より用いられている熱式流量センサとしては、第２
図に示すようなセンサブリッジ回路を構成し、流体中に
発熱抵抗体１と測温抵抗体２を設け、この発熱抵抗体を
加熱し発熱抵抗体から周囲の流体に伝達される熱量の変
化を利用して流速を測定する方式がある。この方式では
、測温抵抗体により流体の温度を検知し、流体と発熱抵
抗体の温度差を一定に保つことにより、流体温度の影響
を補償することができ、かつ迅速な応答性を得ることが
できる。また上記温度差を大きく設定することにより、
流量検出センサの出力を増大させることも可能となる。

この方式を用いた流量検出センサには、従来、発熱抵抗
体と測温抵抗体に白金やタングステンなどの抵抗線を用
いたものがあるが、抵抗値が小さく素子間のバラツキも
大きいので発熱温度の制御性や温度測定の精度が悪くな
るのみならず、細線を用いるため加工が困難で量産性に
欠けるなどの欠点を有する。

一方、抵抗線の代わりに絶縁基板上にパターン化された
金属薄膜を用いたものは、パターンの微細化により小型
化することができ、−枚の基板内に多数の素子を並べて
作製できるので量産性に優れバラツキも小さいなど多く
の長所を有している。

発明が解決しようとする課題 しかし、このような従来の製造方法では、発熱抵抗素子
と測温抵抗素子及び二つの電気抵抗を個個に作製し、そ
れぞれトリミングによシ抵抗値調整を行なったあと、ブ
リッジ回路を構成し、さらに電気抵抗をトリミングする
ことにより、ブリッジの抵抗値調整を行なう必要があり
、生産性に難点があった。

課題を解決するための手段 この課題を解決するために本発明は、発熱抵抗体と測温
抵抗体及び二つの電気抵抗体を同一の絶縁基板上に形成
し、前記電気抵抗体をトリミングすることにより抵抗値
調整したあと、分割、チップ化し、流量検出センサブリ
ッジ回路を作製するものである。

作用 この製造方法により、一つの電気抵抗体をトリミングし
抵抗値調整するだけでブリッジ回路の抵抗値調整を行な
うことができるため、流量センサの精度と生産性の向上
を図ることができる。

実施例 以下、本発明の一実施例を添付の第１図を用いて説明す
る。

アルミナ基板５上に、真空蒸着によりＮ１を約０．６μ
ｍ着膜し、スパッタエツチングにより、発熱抵抗体１及
び測温抵抗体２を形成した。さらに、真空蒸着によりＮ
ｉＣｒを約０．１μｍ着膜し、電気抵抗３及び４を形成
したあと、センサブリッジの抵抗値調整をするために、
電気抵抗４をレーザトリミングにより抵抗値修正した。

その後、各素子に分割し、第１図に示すようなセンサブ
リッジ回路を作製した。

従来は各素子個別に抵抗値調整した後、ブリッジ回路を
構成し再度抵抗値調整を行なっていたが本実施例では、
同一基板上に各素子を形成するため抵抗値調整が一度で
行なえるため工数がＡ以下になった。さらに、抵抗値調
整時の各素子の温度バラツキが小さくなるため、抵抗値
調整の精度も大幅に向上が図れた。

発明の効果 以上のように本発明によれば、発熱抵抗体と測温抵抗体
及び二つの電気抵抗体を同一の絶縁基板上に形成し、前
記電気抵抗体をトリミングすることにより抵抗値調整し
たあと、分割、チップ化し、ブリッジ回路を構成するこ
とにより、精度と生産性の向上ができるという効果が得
られる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例による熱式流量センサの構成
図、第２図はセンサのブリッジ回路図である。 １・・・・・・発熱抵抗体、２・・・・・・測温抵抗体
、３，４・・・・・・電気抵抗体、５・・・・・・絶縁
基板。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 発熱抵抗体と測温抵抗体及び二つの電気抵抗体を同一の
   絶縁基板上に形成し、前記電気抵抗体をトリミングする
   ことにより抵抗値調整したあと、分割、チップ化し、ブ
   リッジ回路を構成することを特徴とする熱式流量センサ
   の製造方法。