JPH022652U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH022652U JPH022652U JP8040188U JP8040188U JPH022652U JP H022652 U JPH022652 U JP H022652U JP 8040188 U JP8040188 U JP 8040188U JP 8040188 U JP8040188 U JP 8040188U JP H022652 U JPH022652 U JP H022652U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- carrier
- wafer
- carrier body
- recess
- dust
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000428 dust Substances 0.000 claims 4
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 claims 3
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
Landscapes
- Packaging Frangible Articles (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
第１図ないし第４図はこの考案の第１実施例を
説明するための図であつて、第１図は斜視図、第
２図は断面図、第３図は積み重ねた状態の正面図
、第４図はウエハを取り出す場合の説明図である
。第５図および第６図はこの考案の第２実施例を
説明するための図であつて、第５図は斜視図、第
６図はウエハを取り出す場合の説明図である。第
７図は、この考案の第３実施例を説明するための
断面図である。第８図は従来のウエハトレイの説
明図である。 ２……ウエハ、１１……キヤリア本体、１２…
…凹部、１３……切欠き部、１４……取つ手、１
５……凸部、１６……脚、１７……凹部。
説明するための図であつて、第１図は斜視図、第
２図は断面図、第３図は積み重ねた状態の正面図
、第４図はウエハを取り出す場合の説明図である
。第５図および第６図はこの考案の第２実施例を
説明するための図であつて、第５図は斜視図、第
６図はウエハを取り出す場合の説明図である。第
７図は、この考案の第３実施例を説明するための
断面図である。第８図は従来のウエハトレイの説
明図である。 ２……ウエハ、１１……キヤリア本体、１２…
…凹部、１３……切欠き部、１４……取つ手、１
５……凸部、１６……脚、１７……凹部。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 ダスト検査のためのウエハが載置されるウエハ
ダスト評価キヤリアにおいて、 キヤリア本体の上面に、前記ウエハが載置状態
のまま嵌り合う凹部を設け、 キヤリア本体に、前記凹部の内側からキヤリア
本体の周縁に延在する切欠き部を設け、 キヤリア本体同士を上下に積み重ねたときに互
いに接触するキヤリア本体の上下の部分の一方に
係合凹部を設け、 かつそれら上下の部分の他方に前記係合凹部と
係合する係合凸部を設けたことを特徴とするウエ
ハダスト評価キヤリア。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8040188U JPH022652U (ja) | 1988-06-17 | 1988-06-17 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8040188U JPH022652U (ja) | 1988-06-17 | 1988-06-17 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH022652U true JPH022652U (ja) | 1990-01-09 |
Family
ID=31305227
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8040188U Pending JPH022652U (ja) | 1988-06-17 | 1988-06-17 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH022652U (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4868656A (ja) * | 1972-12-16 | 1973-09-19 | ||
| JPS6375639A (ja) * | 1986-09-19 | 1988-04-06 | Hitachi Ltd | 粒子捕集装置 |
-
1988
- 1988-06-17 JP JP8040188U patent/JPH022652U/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4868656A (ja) * | 1972-12-16 | 1973-09-19 | ||
| JPS6375639A (ja) * | 1986-09-19 | 1988-04-06 | Hitachi Ltd | 粒子捕集装置 |