JPH02267167A - 複合セラミックスシート状成形物及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、炭化ケイ素系セラミックスをマトリックスと
する短繊維補強複合セラミックスシート状成形物及びそ
の製造方法に関するものである。

さらに詳しくは、緻密な表面をもち、耐酸化性、耐熱衝
撃性にすぐれたシート状の複合セラミックス成形物及び
その製造方法に関するものである。

［従来の技術］ 耐熱性のセラミックスとして炭化ケイ素系のセラミック
スが開発され、広く用いられている。しかしながら、炭
化ケイ素系セラミックスは破壊靭性と耐熱衝撃性が低く
、従って各種の改善の検討がなされてきた。この改善は
主として窒化ケイ素との混合焼結物を得ること、及び繊
維により補強すること、つまり繊維強化セラミックス＜
−蝦にＦＲＣと呼称）にすることである。窒化ケイ素は
炭化ケイ素より耐熱性が低いが破壊靭性と耐熱衝撃性に
は優れている。したがって、窒化ケイ素と炭化ケイ素を
混合して焼結したものは破壊靭性と耐熱衝撃性が優れた
ものになり得る。このような発想のもとに提案された方
法に例えば特公昭６０２６０７５号の方法がある。この
方法は炭化ケイ素繊維等になるプリカーサ−を窒化ケイ
素粉末と混合成形して焼成したものであり、窒化ケイ素
を炭化ケイ素繊維等で補強しｆ、：　Ｆ　ＲＣに類する
ものである。後者の繊維補強の例としては古くは特開昭
５２１４４００１号等に示された炭化ケイ素繊維による
補強に始まり、特公昭６２−１９３９１号や特開昭６３
２７７５６３号等に示される炭化ケイ素ウィスカー（結
晶短繊維）による補強に至っている。

本発明者等もこのような複合材料セラミックスについて
検討し、例えば、窒化ケイ素ウィスカー補強炭化ケイ素
セラミックス及びその製法を研究しな。しかしながら、
かかる繊維強化セラミックスは破壊靭性は改良されるも
のの、別の問題かあることが判った。すなわち、一般に
繊維で補強したセラミックスは、特に表面が荒れやすく
、内部に通じる微細な孔が開きやすい。このような孔は
しばしば高温でのガスによるセラミックスの侵蝕に重大
な影響をもたらす。すなわち、該セラミックスは孔の存
在により、雰囲気ガスとの接触面積を広げ、侵蝕量を増
やしてしまう。このため、成形物表面の孔の存在は好ま
しくないが、従来のものはどうしても多孔質の表面とな
り、かかる孔のないものは得られなかった。

［発明が解決しようとする課題］ 本発明は、従来の繊維補強炭化ケイ素系複合セラミック
ス成形物の表面の孔を減らし、耐蝕性を向上さぜなシー
ト状成形物を提供しようとするものである。このような
シート状複合セラミックス成形物が提供できれば、各種
の用途、特にシート状ヒータとしての用途において、繊
維補強セラミックスの有用性が高まると期待される。

［課題を解決するための手段］ 本発明によれば、表層部が主として炭化ケイ素からなる
緻密層であり、内部が主として炭化ケイ素からなるマト
リックス中に補強用短繊維を含有せしめた複合材料層で
ある新規な複合セラミックスシート状成形物が提供され
る。

複合材料としてのセラミックスは、その組成を選択する
ことにより各種の新しい機能を備えさせることができる
ことが判っている。本発明はこの発想を利用するもので
ある。特に、本発明は、成形物内部を短繊維等補強の複
合材料とし、最外側を緻密なセラミックス層、好ましく
はガラス質又はこれに類似したセラミックスからなる緻
密層とするものである。内部の短繊維補強セラミックス
層は炭化ケイ素を主とするセラミックスをマトリックス
としたものであり、これに含ませる補強用短繊維はミル
ドファイバー又はウィスカーである。

ミルドファイバーは布中のセラミック繊維の破砕物であ
り、ウィスカーは特に限定はなく市販のものでよい。こ
れらは一般に直径０．２〜５μｍ程度、アスペクト比３
〜５０であるのが好ましく、特に好ましくは直径１〜３
μｍ、アスペクト比５〜１５程度である。

短繊維の含量は、１０重量％以上が好ましく、２０〜６
０重量％が特に好ましい。このような短繊維を含む部分
は不可避的に連通孔を有する粗な構造となる。

一方、表面の緻密層は、炭化ケイ素を主体とする連続気
孔のないセラミックスであり、これは、有機ケイ素ポリ
マーの焼成物が好ましい。有機ケイ素ポリマーを焼成し
たセラミックスは化学的には炭化ケイ素とは言い難いも
のが含まれるが、本発明ではかかるセラミックスをも含
むものとする。

このセラミックスは場合によっては有機ケイ素ポリマー
を不敵化したのち焼成したものの方が好ましい。−船釣
にはガラス質と考えられるＸ線解析で結晶化度が２５％
以下、特に好ましくは１５％以下のものが好ましい。こ
のような物質は容易にガスを通し難くすることができる
なめである。なお、この目安は純粋な結晶化度を示ずも
のではないことはよく知られている。中心部との対比に
おいて表面の緻密度は５倍以上であるのが好ましい。

この緻密度の厚みは、片方の表面層の厚みにして１μｍ
以上であることが好ましく、これより薄いと緻密層を形
成した効果が乏しくなる傾向がある。

成形物は原則としてシート状であるが、その形態や厚さ
は任意に選定できる。厚さを部分的に変更し、例えばシ
ート周縁部と中央部とで厚みを変えたものでもよい。

また、該成形物の表面から内部への緻密性の変化は、連
続的に変化するのが好ましいが、段階的、不連続的に変
化してもよい。

次に、上述の如き新規な複合成形物の製造方法について
説明する。

本発明では、有機ケイ素ポリマーの溶液に補強用短繊維
（及び炭化ケイ素粉末）を分散させて懸濁液をつくり、
この懸濁液を型内に注入するか又は適当な支持体く基板
）の上に流延して、シート化した後、型又は支持体から
そのシートを取り出し、２枚のシートを後述の如く貼り
合せて焼成原料（グリーンシート）とする方法が好まし
く採用される。この際、シート化時に下方となった側を
内側にして、この面が互いに接するように貼り合ぜるこ
とか重要である。この焼成原料を所定の条件で焼成する
。必要あれば焼成の前に不敵化してもよい。不融化は酸
化、架橋重合等、既知の方法が採用される。

本発明によるセラミックス成形物は、この他に、炭化ケ
イ素粉末とウィスカーとを混合して成形し、乾燥後、表
面に炭化ケイ素粉末のスラリーや有機ケイ素ポリマーの
溶液を塗布、乾燥して不活性ガス中で焼成する方法によ
っても製造できる。

一般に、炭化ケイ素セラミックスの補強に用いられる繊
維は、炭化ケイ素の焼結に必要な温度に耐えるものであ
ることが必要である。炭化ケイ素粉末の通常の焼結温度
は好ましくは１．９００℃以上、２、１００℃以下とさ
れる。したがって補強繊維は炭素繊維、炭化ケイ素繊維
が用いられ、これらは長繊維が用いられるのが普通であ
る。近来の研究に基づけば、有機ケイ素ポリマーを焼結
助剤又は原料として用いると、炭化ケイ素の焼結温度は
１、３００℃程度まで下げ得、したがって炭素繊維、炭
化ケイ素繊維の他に、窒化ケイ素繊維も使用可能なこと
が推定できる。しかしながら、実際に焼成を行ってみる
と有機ケイ素ポリマーには約１５％を超えるかなり顕著
な焼成収縮があり、長繊維との一体焼成は困難である。

また、見かけでは焼成できたように見えても、−ｉに、
壊れ易いものになってしまう。

本発明者はこのような問題を解決すべく研究し、短繊維
、特にミルドファイバーもしくはウィスカーであるセラ
ミックス繊維を補強材としたセラミックス複合材料にお
いて、有機ケイ素ポリマーを原料もしくは一部の原料又
は焼結助剤とした炭化ケイ素セラミックス複合材料の場
合は、焼成収縮が９〜３％程度と小さく、かかる問題の
ないことを確かめた。したがって、本発明では、補強用
短繊維には炭素繊維、炭化ケイ素繊維、窒化ケイ素繊維
、アルミナ繊維等のミルドファイバーや、炭化ケイ素、
窒化ケイ素、炭素、アルミナ、チタン］−〇 酸カリウム等のウィスカー等有機ケイ素ポリマーの焼成
温度、つまり１．２００℃以上の分解点を有する無機質
短繊維が用いられる。

また、有機ケイ素ポリマーは、粉体としてセラミックス
短繊維（及び炭化ケイ素粉末）と混合し成形して焼成す
ること、熔融有機ケイ素ポリマーとセラミックス短繊維
（及び炭化ケイ素粉末）を成形して焼成することもでき
るが、本発明では有機ケイ素ポリマーを適当な有機溶媒
に溶解し、その溶液にセラミックス短繊維（及び炭化ケ
イ素粉末）を分散させて注入成形又は流延成形してシー
ト化し、このシートを焼成する方法が最も好ましい。こ
の系の混合は極めて容易であるためである。

短繊維の使用量は、前駆体シートの重量を基準にして１
０％以上が好ましく、２０〜６０％が特に好ましい。短
繊維に加えて、炭化ケイ素粉末を用いることもできる。

炭化ケイ素粉末は前駆体シートの重量を基準にして６０
％を超えないのが好ましく、短繊維と炭化ケイ素粉末の
合計量が９０％以下とするのがよい。

ビ 上述の如き、有機ケイ素ポリマー溶液を使用する方法は
、前駆体シートを製造する際、シー１〜内で短繊維（及
び炭化ケイ素粉末）の偏在をつくりやすく、このため、
該シートの表面（上層部）には、短繊維や炭化ケイ素粉
末が実質上存在ぜす、中心部及び底部（下層部）には、
短ｙ！維（及び炭化ケイ素粉末）が多く存在するものと
なる。したがって、このシートを２枚ずつ各底面が接す
るように積層することによって、表面が実質的に有機ケ
イ素ポリマーのみがらなり、内部が短繊維（及び炭化ケ
イ素粉末）に富み適当量の有機ケイ素ポリマーを含むグ
リーンシート（焼成原料）となる。

また、更にこの外側を緻密な炭化ケイ素セラミックス層
、例えばＣＶＤ法等による層で覆うことが好ましい場合
があり、このような場合でも前記の方法は好ましい結果
を与える。しがも、上述の如き流延シートの貼り合せは
、流延法グリーンシートの焼き曲がりの抑制ないしは防
止のためにも極めて有効な方法であることが判った。

本発明で使用する有機ケイ素ポリマーは、ポリ］　２ シラン、ポリカルボシラン、ポリシラスチレン、ポリカ
ルボシラスチレン等、焼成するとシリコンカーバイド系
のセラミックスになるポリマーで“あり、なかでもポリ
カルボシラスチレン共重合体が特に好ましい。これらの
有機ケイ素ポリマーは一部又は全てを仮焼して用いても
よい。仮焼とはこれらのポリマーを４００〜５００℃程
度の多量の分解ガスが発生する温度まで昇温することで
あり、この実施により焼成に際して発生するガスの量を
抑え得る。但し、この操作により有機ケイ素ポリマーの
接着性が低下し、場合によっては原料の成形、即ちプリ
カーサ−の製造に際して糊料を加える必要が生しる場合
がある。

炭化ケイ素の粉末を加える場合には、高純度で微粉末で
あることが好ましい。粉末の粒径は１０μｍ以下、好ま
しくは２μｍ以下、特に好ましくは０．２μｍ程度であ
る。炭化ケイ素粉末を加えることは出来上がるセラミッ
クス複合材料の内部の炭素／ケイ素比を１対コに近付け
る上で便利である。

必要により、ウィスカー　ミルドファイバー等の無機質
短繊維は予め表面処理を行うことが好ましく、この処理
は炭化ゲイ索繊維表面処理や７１〜リツクスセラミツク
スを窒化ケイ素にしたものに準じたものでよい。例えば
特開昭６３−２７７５６３号、特開昭２７７５６６号に
はホウ素、ベリリウム、ケイ素、アルミニウム等の化合
物を用いると効果がある旨記載されているが、本発明で
も同様である。

グリーンシートへの成形に際して、糊料を加えてもよい
。これにより原料の成形物であるグリーンシート、つま
りプリカーサ−を取扱い易くすることができる。糊料の
使用は有機ゲイ索ポリマーの選択次第で、接着力の強化
のなめに好ましい場合がある。

同様に、他の焼結助剤、例えば有機カルボン酸、ホウ素
等を別途加えてもよい。有機ケイ素ポリマーを用いる場
合でも、有機ケイ素ポリマーの選択次第で、焼結性の強
化のなめに好ましい場合がある。

有機ケイ素ポリマーを用いる場合、焼成に先立ち、成形
物を不敵化することが好ましい場合かある。有機ケイ素
ポリマーからの炭化ケイ素分のガラス質化を助は効果を
増やすことができ、同時に焼成残量を増やすための処置
であり、有機ケイ素ポリマー次第では必須である場合が
ある。この不融化の方法は表面酸化、架橋重合、ヨウ素
不融化等、主として繊維を作る際の手法を準用すること
ができる。

積層した成形物プリカーサ−（グリーンシート）及び不
融化成形物プリカーサ−は、必要により加圧加熱処理し
た後、窒素、アルゴン等の不活性ガス雰囲気で焼成する
。焼成温度は原料組成により選択する。一般に有機ケイ
素ポリマーを含む場合には、１２００〜１．８００°Ｃ
が適当であり、特に好ましくは１，３００〜１．５００
℃である。

［発明の効果］ 本発明により、炭化ケイ素を主体とした、耐酸化性等の
耐雰囲気性が良好でかつ耐熱衝撃性のすぐれた複合セラ
ミックス成形物が得られ、この複合セラミックスは、多
岐に汎る用途で、各種の目的の改善をなしなセラミック
スとして使用し得る。

例えば耐熱ｌｙ８造林料として、熱衝撃に強いヒーター
などとして有用である。

［実施例］ 次に、本発明の実施例及び比較例をあげるが、本発明は
これにより限定されるものではない。なお、特に断りの
ないかぎり各例中の「部」は重量部である。

実施例１及び比較例］ ジクロルジメチルシシンとジクロルメチルフェニルシラ
ンの等モルを使い、トルエン中で金属ナトリウムを加え
て重合してポリシラスチレンを得な。このポリシラスチ
レンを４００’Ｃで窒素雰囲気中で６０分間処理し、軟
化点１９０〜２００℃のポリカルボシラスチレン共重合
体を得た。

このポリマー１００部を１５０部の１〜ルエンに溶解し
、市販の窒化ケイ素ウィスカー（宇部興産製：５Ｎ−Ｗ
ＢＩ　１００部と混合し、得られた懸濁液を平坦な基板
上に流延してシートとしな。得られたシートを窒素気流
中で５０℃／ｈｒの割合で１．３００℃まで昇温し、６
時間で常温に戻し焼成した。得られた生成物は厚さ約０
．６ｍｍであり、良好な複合成形物であったが、表面は
やや粗であった。

同様にして流延シートを得、そのまま２４０℃、４ｔ／
ｃＪでプレスしな。得られたシートは表面は緻密であり
、窒素気流中で５０°Ｃ／ｈｒの割合で１．３００°Ｃ
まで昇温し、６時間で常温に戻し焼成しな。得られた生
成物は良好な複合成形物であり、表面も見掛上緻密であ
った。

同様にして得られな流延シート２枚を、流延基板に接す
る面同志が接するように重ね合わせて、２４０°Ｃ５４
ｔ／ｃｒ＆の圧力でプレスした。得られたシートは表面
は緻密であり、窒素気流中で５０°Ｃ／ｈｒの割合で１
．３００°Ｃまで昇温し、６時間で常温に戻し焼成した
。得られた生成物は良好な複合成形物であり、表面も緻
密であった。

これら３通りのサンプルを１．２００℃の電気炉に入れ
、１００時間保持した。取り出して重量変化を測定した
ところ、第１のサンプルは１４％の重量減が認められ、
第２のサンプルは２．１％の重量減があっなが、第３の
サンプルは実験誤差程度（実質的には変わらない）であ
った。

実施例２及び比較例２ 前記ポリシラスチレン１００部をトルエン１６０部に溶
かして溶液となし、これに炭化ケイ素（イビデン製［ウ
ルトラファインＪ　）　２００部、実施例］と同じ窒化
ケイ素ウィスカー１００部を分散さぜな。

これを同様に流延し、乾燥して得られたシート２枚を流
延時の基板面を内側に張り合せな。前記の実施例１と同
様にプレスしな。但し温度は２７０　℃、圧力は４ｔ／
−とした。

得られたシート、及び流延乾燥直後のシートを窒素気流
中で１，３００℃で焼成した。５０℃／ｈｒの割合で１
．３００℃まで昇温し、６時間で常温に戻し焼成した。

焼成物は何れも良好な複合材料セラミックスであった。

但し、前者は表面が緻密であるが、後者はやや粗であっ
た。

これらを１，２００°Ｃの電気炉の中に１００時間保持
した後の重量変化は、前者が１％以下、後者は７％であ
った。

実施例３及び比較例３ 前記市販のシリコンカーバイドの粉末（イビデン製［ウ
ルトラファインＪ　）　１００部、実施例１と同じ窒化
ケイ素ウィスカー１００部、カルボメトキシセルロース
１０部、炭素粉末１０部を混合した。これを１８０℃で
熱圧し、乾燥して得られたシートを、アルゴン気流中で
５０℃／ｈｒの割合で昇温し、１、５００°Ｃで焼成し
た。焼成物は厚さ１．０ｍｍで良好な複合材料セラミッ
クスであった。但し、表面は粗であった。

このサンプルに実施例１で用いたと同様にして得られた
流動点２４０°Ｃのポリカルボシラスチレン共重合体を
トルエンに溶解して均一に塗布し、乾燥して共重合体の
層を形成せしめた。これを窒素気流中で１．３００℃で
焼成した。昇温率５０°Ｃ／　ｈ　ｒ、昇温後６時間か
けて冷却した。表面が黒味がかった緻密なガラス質にな
った。

このサンプル及び元の焼き上がりサンプルを１２００　
’Ｃで１０時間保持して導電性を調べな。元のサンプル
は導電性を失っており、処理したサン１ルは４Ωａｍで
あった。なお、元のサンプルの重量は６％増えており、
処理したサンプルは実質的に変化が認められなかった。

実施例４ 実施例１とほぼ同様にして流動点１２０°Ｃ及び２４０
°Ｃのポリカルボシラスチレン共重合を得た。

前者を１００部後者を３００部混台上て粉砕し、粉砕物
を５００部のトルエンに溶かしな。この溶液に炭化ケイ
素粉末（イビデン製「ウルトラファイン」）４００部、
及び窒化ケイ素ウィスカー（宇部興産製：　５Ｎ−ＷＢ
）　４００部を分散させ、「テフロン」フィルム上に流
延し、乾燥後シートを得た。得られたシートを２枚、「
テフロン」に接する面を合せて、ホットプレス加熱接着
したのち、窒素気流中で５０°Ｃ／　ｈ　ｒで１．３０
０℃まで昇温し、焼成しな。良好な複合材料成形物が得
られた。

実施例５ 実施例４のポリカルボシラスチレン共重合体１００部を
キシレン１６０部に溶かしな。これに市販の炭化ケイ素
ウィスカー（東海カーボン製「トーカマックスＪ　）　
１００部と実施例３で用いた炭化ケイ素粉末２００部を
加えて混合し、鋳型に鋳込んで乾燥させ、平坦な薄葉と
した。

得られたシート２枚を、流延時の下面が接するよう積層
して加熱加圧し、高温槽で加熱不融化した。大気雰囲気
で、逐次、徐々に温度を上げて最終的に２３０℃で３時
間保持しな。全加熱時間は１５時間としな。

冷却後、得られたシートを取り出し、焼成炉で、窒素雰
囲気中で焼成した。窒素置換した焼成炉に入れ、窒素を
流しながら徐々に温度を上げ、最終的に１３００°Ｃま
で昇温し、焼成しな。全昇温時間は３６時間、１，３０
０℃になった時点で降温を開始し、１２時間で室温に戻
しなところ、表面の緻密な良好なサンプルが得られた。

実施例６ 実施例４のポリカルボシラスチレン共重合体を２］− 窒素気流中で６００’Ｃまで加熱し、仮焼した。元のポ
リカルボシラン１００部をトルエン１５０部に溶かした
。これに前記の仮焼したポリカルボシラン２００部、及
び実施例１で用いた窒化ケイ素ウィスカー１００部を加
えて混合し、鋳型に仕込んで乾燥させ、平坦な薄葉とし
た。

この２枚を実施例４と同様に、加熱加圧接着した。得ら
れたシートを実施例５と同様、高温槽で加熱不融化した
。大気雰囲気で、逐次、徐々に温度を上げて最終的に２
３０℃で３時間保持しな。全加熱時間は１５時間である
。冷却後得られたシートを取り出し、焼成炉で窒素雰囲
気中で、焼成した。

窒素置換した焼成炉に入れ、窒素を流しながら徐々に温
度を上げ、最終的に１，３００℃、まで昇温し、焼成し
な。全昇温時間は３６時間、１ｊＯＯ’Ｃになった時点
で降温を開始し、１２時間で室温に戻しな。

かくして表面の緻密な、良好な複合成形物が得られた。

実施例７ ジクロルジメチルシランを用いてトルエン中、金属ナト
リウムを加えて重合してポリシランを得な。このポリシ
ランを４５０℃で窒素雰囲気中で３０時間処理し、ポリ
カルボシラン重合体を得た。この共重合体の軟化点は２
２０℃である。

このポリカルボシラン１００部をキシレンに溶がした。

これに実施例３の窒化ケイ素ウィスカー１００部と炭化
ケイ素粉末１００部を加えて混合し、鋳型に仕込んで乾
燥させ、平坦な薄葉とした。

得られたシートを２枚、流延時の下面を付き合せて熱圧
し、高温槽で加熱不敵化しな。大気雰囲気で、逐次、徐
々に温度を上げて最終的に２３０℃で３時間保持した。

全加熱時間は１５時間である。

冷却後得られたシートを取り出し、焼成炉で、窒素雰囲
気中で、焼成しな。窒素置換した焼成炉に入れ、窒素を
流しながら徐々に温度を上げ、最終的に１．３００℃ま
で昇温し、焼成した。全昇温時間は３６時間、１．３０
０°Ｃになった時点で降温を開始し、１２時間で室温に
戻しな。この得られたサンプルは表面が緻密で、良好な
複合成形物であり、繰返して１，０００℃まで昇温し冷
却しても破壊しなかっな。

実施例８ 流動点２４０℃のポリカルボシラスチレン共重合体７５
部、流動点１２０℃のポリカルボシラスチレン共重合体
２５部をトルエン１００部に溶かし、実施例１で用いた
窒化ケイ素ウィスカー５０部を分散させた。

これを流延し、剥離回収して流延面にポリカルボシラス
チレン共重合体のトルエン溶液を塗布し、塗布面を突き
合せて２枚を圧着させた。

このシートを乾燥させ、１２０℃で６時間、１８０℃で
６時間、２１０°Ｃで６時間大気中で保持し、冷却して
取り出し、窒素雰囲気中で焼成した。焼成温度は１，３
００℃まで２８時間で昇温しな。冷却後取り出し、表面
が緻密な短繊維補強セラミックス焼成物を得な。

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. （１）表層部が主として炭化ケイ素からなる緻密層であ
   り、内部が主として炭化ケイ素からなるマトリックス中
   に無機質短繊維を含有せしめた複合材料層であることを
   特徴とする複合セラミックスシート状成形物。
2. （２）表層部を構成する主として炭化ケイ素からなる緻
   密層及び内部の複合材料層を構成する主として炭化ケイ
   素であるマトリックスが、ともに同種の有機ケイ素ポリ
   マーを焼成して成形したものである請求項（１）記載の
   複合セラミックスシート状成形物。
3. （３）表層部を構成する緻密層が有機ケイ素ポリマーを
   焼成して形成したものであり、内部の複合材料層を構成
   する主として炭化ケイ素であるマトリックスが炭化ケイ
   素粉末を有機ケイ素ポリマーを焼結助剤に用いて焼成し
   たものである請求項（１）に記載の複合セラミックスシ
   ート状成形物。
4. （４）有機ケイ素ポリマーを溶媒に溶解し、得られた溶
   液に無機質短繊維を懸濁させて、型に注入するか又は基
   板上に流延してシート状に形成し、このシートを型又は
   基板から取り外し、そのシート２枚を成形の際に下方と
   なった面が互いに接するように積層し、得られた積層体
   を焼成することを特徴とする複合セラミックスシート状
   成形物の製造方法。
5. （５）有機ケイ素ポリマーを溶媒に溶解し、得られた溶
   液に無機質短繊維と炭化ケイ素粉末とを懸濁させた型に
   注入するか又は基板上に流延してシート状に成形し、こ
   のシートを型又は基板から取り外し、そのシート２枚を
   成形の際に下方となった面が互いに接するように積層し
   、得られた積層体を焼成することを特徴とする複合セラ
   ミックスシート状成形物の製造方法。
6. （６）有機ケイ素ポリマーが、ポリシラン、ポリカルボ
   シラン、ポリシラスチレン、ポリカルボシラスチレン共
   重合体のいずれかである請求項（４）又は（５）に記載
   の複合セラミックスシート状成形物の製造方法。