JPH0226872A - 高周波透過用ウィンドウ - Google Patents
高周波透過用ウィンドウInfo
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- JPH0226872A JPH0226872A JP63174052A JP17405288A JPH0226872A JP H0226872 A JPH0226872 A JP H0226872A JP 63174052 A JP63174052 A JP 63174052A JP 17405288 A JP17405288 A JP 17405288A JP H0226872 A JPH0226872 A JP H0226872A
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- ceramics
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- Pending
Links
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 title claims description 9
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims abstract description 12
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract description 13
- 238000005245 sintering Methods 0.000 abstract description 4
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 abstract description 2
- 238000005452 bending Methods 0.000 abstract description 2
- 230000008646 thermal stress Effects 0.000 abstract 1
- 238000005219 brazing Methods 0.000 description 3
- PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M copper(1+);methylsulfanylmethane;bromide Chemical compound Br[Cu].CSC PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 2
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 2
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 238000001465 metallisation Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 239000012188 paraffin wax Substances 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 238000005476 soldering Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Ceramic Products (AREA)
- Control Of Indicators Other Than Cathode Ray Tubes (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
イ１発明の目的
（ａ）産業上の利用分野
本発明は真空気密性に優れなおかつ、高周波の透過性に
優れた長寿命の高周波透過用ウィンドウに関する。
優れた長寿命の高周波透過用ウィンドウに関する。
（ｂ）従来の技術
高出力のマイクロ波等高周波は加速器等のエネルギーと
して用いられているが、タライストロン等の高真空のマ
イクロ波発生使用装置にマイクロ波を入出力させる場合
に真空気密を維持し、かつ、マイクロ波を透過し、マイ
クロ波を減衰させないためのＷｉｎｄｏｗ （窓）が用
いられる。窓材としては、高強度でかつ、誘電体損失（
ｔａｎδ）の小さな材料が好ましく、主としてＵ、Ｏ，
セラミックスが用いられている。
して用いられているが、タライストロン等の高真空のマ
イクロ波発生使用装置にマイクロ波を入出力させる場合
に真空気密を維持し、かつ、マイクロ波を透過し、マイ
クロ波を減衰させないためのＷｉｎｄｏｗ （窓）が用
いられる。窓材としては、高強度でかつ、誘電体損失（
ｔａｎδ）の小さな材料が好ましく、主としてＵ、Ｏ，
セラミックスが用いられている。
（ｃ）発明が解決しようとする課題
従来のへβ、０．製の窓材は安価でしかも気密性、誘電
体損失にも優れているが、最近のマイクロ波の高出力化
に伴なって、Ａ（１２０ｓ窓が熱応力により破壊される
、寿命が短いといった問題がクローズアップしてきた。
体損失にも優れているが、最近のマイクロ波の高出力化
に伴なって、Ａ（１２０ｓ窓が熱応力により破壊される
、寿命が短いといった問題がクローズアップしてきた。
そのため、より高性能の窓材の開発が必要とされてきた
。
。
ロ６発明の構成
（ａ）課題を解決するための手段
本発明者らは、マイクロ波透過用窓を種々検討した結果
、ＡｌＮ（窒化アルミニウム）を主成分としたセラミッ
クスを用いることによってきわめて高性能のウィンドウ
が得られることを見い出したものである。すなわち、本
発明のウィンドウは、ＡＩｔＮを主成分としたセラミッ
クスを窓材として用いる点に特徴をもつ。
、ＡｌＮ（窒化アルミニウム）を主成分としたセラミッ
クスを用いることによってきわめて高性能のウィンドウ
が得られることを見い出したものである。すなわち、本
発明のウィンドウは、ＡＩｔＮを主成分としたセラミッ
クスを窓材として用いる点に特徴をもつ。
第１図は本発明の具体例を示す。
（ｂ）作用
本発明のマイクロ波透過用窓は、Ａｆｆ Ｎ、を主成分
とするセラミックスからなる。好ましくは、Ａｎ Ｎを
９５％体積以上含み気孔率が５％未満の緻密質焼結体で
あり、熱伝導率は５０ｗ ／ ｍｋ以上比誘電率が１０
以下、誘電体損失が０．００１以下、曲げ強度が２０ｋ
ｇ／ｍｍ”以上からなるＡＩ Ｎセラミックを用いる。
とするセラミックスからなる。好ましくは、Ａｎ Ｎを
９５％体積以上含み気孔率が５％未満の緻密質焼結体で
あり、熱伝導率は５０ｗ ／ ｍｋ以上比誘電率が１０
以下、誘電体損失が０．００１以下、曲げ強度が２０ｋ
ｇ／ｍｍ”以上からなるＡＩ Ｎセラミックを用いる。
Ａｌ２Ｎの含有量が小さいと、熱伝導率が小さくなり、
マイクロ波の吸収に伴なう発熱により、窓材が破壊され
てしまう。
マイクロ波の吸収に伴なう発熱により、窓材が破壊され
てしまう。
ＡｕＮ単味では緻密質の焼結体が得られ難く気密性が確
保されないため、少量の焼結助剤を加えることが望まし
い。焼結助剤としてはＹ２Ｏ５等のｌ１ｒａ族の酸化物
ＣａＯ等のＩｌａ族酸化物を１０重量パーセント以下を
添加することができる。焼結助剤はＭＮの誘電特性を劣
化させる場合があり、少量にとどめることが好ましい。
保されないため、少量の焼結助剤を加えることが望まし
い。焼結助剤としてはＹ２Ｏ５等のｌ１ｒａ族の酸化物
ＣａＯ等のＩｌａ族酸化物を１０重量パーセント以下を
添加することができる。焼結助剤はＭＮの誘電特性を劣
化させる場合があり、少量にとどめることが好ましい。
また、気孔率が大きくなると気密性を維持できず、窓材
として、作用し難くなるのである。
として、作用し難くなるのである。
誘電率、誘電体損失が大きくなるとマイクロ波の透過率
が低下し、窓材に右いて発熱が著しくなる。
が低下し、窓材に右いて発熱が著しくなる。
ＡρＮセラミックスの導波管へのとり付けは、公知の方
法による。しかしながら、導波管のＣｕ等金属材料とは
熱膨張差が大きくロー付ひずみが大きくなり、留意が必
要である。
法による。しかしながら、導波管のＣｕ等金属材料とは
熱膨張差が大きくロー付ひずみが大きくなり、留意が必
要である。
ＡβＮセラミックスに、高融点メタライズ（Ｗ。
Ｍｏ等）を施し、Ｎ１メツキ後、Ａｇローを用いて気密
ロー付けを行なうことが可能である。
ロー付けを行なうことが可能である。
以下実施例により説明する。
実施例
ＡβＮ粉末（平均粒径０，４μ、酸素量１．０重量パー
セント、金属不純物０．１パーセント以下）にＹ ２０
３粉末を１．０重機％添加し、さらにパラフィンワック
スを１０重量部混合し、乾繰したのち、−軸プレスにて
２ｔ／Ｃ［１１でφ６０Ｘ１０Ｔのプレス体を得た。
セント、金属不純物０．１パーセント以下）にＹ ２０
３粉末を１．０重機％添加し、さらにパラフィンワック
スを１０重量部混合し、乾繰したのち、−軸プレスにて
２ｔ／Ｃ［１１でφ６０Ｘ１０Ｔのプレス体を得た。
プレス体はＮ２中で脱バインダー後１９００℃で５時間
Ｎ２中で焼結し、得られた焼結体を全周研削しφ５０Ｘ
５ Ｔの窓材を製造した。セラミックスの外周にＷペ
ーストを塗布し、Ｎ２中で１６００℃にて焼き付け、Ｎ
１メツキを２μ施した。さらにφ５０のＣｕ製の導波管
内にＡｇロー付けし、マイクロ波用窓を製作した。
Ｎ２中で焼結し、得られた焼結体を全周研削しφ５０Ｘ
５ Ｔの窓材を製造した。セラミックスの外周にＷペ
ーストを塗布し、Ｎ２中で１６００℃にて焼き付け、Ｎ
１メツキを２μ施した。さらにφ５０のＣｕ製の導波管
内にＡｇロー付けし、マイクロ波用窓を製作した。
マイクロ波の透過実験で行なったところ、Ａ（１２０。
の窓材に比べ、マイクロ波の減衰は同レベルであり、か
つマイクロ波の出力を１００％アップさせても窓材が破
壊されることはなかった。
つマイクロ波の出力を１００％アップさせても窓材が破
壊されることはなかった。
ハ０発明の詳細
な説明したように、本発明によれば透過率に優れ、高出
力の高周波の透過に耐える高性能の高周波用窓を実現す
ることができ、極めて実用性の高いものである。
力の高周波の透過に耐える高性能の高周波用窓を実現す
ることができ、極めて実用性の高いものである。
第１図は本願発明の１実施例を示す。図中の符号は以下
のものを示す。 ■はウィンドウ ■は導波管 ■は気密ロー付部 第１図 ■に勢ンドウ ■１１４；良受 ■１１気塚ローイを仰
のものを示す。 ■はウィンドウ ■は導波管 ■は気密ロー付部 第１図 ■に勢ンドウ ■１１４；良受 ■１１気塚ローイを仰
Claims (1)
- （１）熱伝導率が５０ｗ／ｍｋ以上で、高周波の透過に
優れたＡｌＮを主成分とするセラミックスを用いたこと
を特徴とする高周波透過用ウィンドウ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63174052A JPH0226872A (ja) | 1988-07-12 | 1988-07-12 | 高周波透過用ウィンドウ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63174052A JPH0226872A (ja) | 1988-07-12 | 1988-07-12 | 高周波透過用ウィンドウ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0226872A true JPH0226872A (ja) | 1990-01-29 |
Family
ID=15971780
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63174052A Pending JPH0226872A (ja) | 1988-07-12 | 1988-07-12 | 高周波透過用ウィンドウ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0226872A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102978500A (zh) * | 2012-12-13 | 2013-03-20 | 北京科技大学 | 一种高导热微波衰减AlN基复合材料及其制备方法 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59194183A (ja) * | 1983-04-16 | 1984-11-02 | ヴエ−・ツエ−・ヘレウス・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクタ−・ハフツング | レーザー管部材 |
| JPS6184036A (ja) * | 1984-09-30 | 1986-04-28 | Toshiba Corp | 熱伝導性ＡｌＮセラミツクス基板 |
-
1988
- 1988-07-12 JP JP63174052A patent/JPH0226872A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59194183A (ja) * | 1983-04-16 | 1984-11-02 | ヴエ−・ツエ−・ヘレウス・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクタ−・ハフツング | レーザー管部材 |
| JPS6184036A (ja) * | 1984-09-30 | 1986-04-28 | Toshiba Corp | 熱伝導性ＡｌＮセラミツクス基板 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102978500A (zh) * | 2012-12-13 | 2013-03-20 | 北京科技大学 | 一种高导热微波衰减AlN基复合材料及其制备方法 |
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