JPH02270103A - 磁気ヘッドの製造方法 - Google Patents
磁気ヘッドの製造方法Info
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- JPH02270103A JPH02270103A JP9245189A JP9245189A JPH02270103A JP H02270103 A JPH02270103 A JP H02270103A JP 9245189 A JP9245189 A JP 9245189A JP 9245189 A JP9245189 A JP 9245189A JP H02270103 A JPH02270103 A JP H02270103A
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 11
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims description 22
- 238000004804 winding Methods 0.000 claims description 19
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 claims description 15
- 238000005498 polishing Methods 0.000 claims description 13
- 238000005304 joining Methods 0.000 claims description 9
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 claims description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 7
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 239000006061 abrasive grain Substances 0.000 description 2
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 238000007517 polishing process Methods 0.000 description 2
- 241000019011 Tasa Species 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 229910000859 α-Fe Inorganic materials 0.000 description 1
Landscapes
- Magnetic Heads (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は磁気記録・再生装置に用いられる磁気ヘッドの
製造方法に関する。
製造方法に関する。
従来の磁気ヘッドの製造方法は第２図に示すように、複
数個のコイル巻線用溝を具備する磁性体ブロックを前記
コイル巻線用溝と平行に切断し、１個のコイル巻線用溝
を具備する単一磁気ヘッドブロックにした後に、前記単
一磁気ヘッドブロックを所望の厚みに切断した後に、切
断時の加工変質層を除去する研摩をするという方法であ
った。
数個のコイル巻線用溝を具備する磁性体ブロックを前記
コイル巻線用溝と平行に切断し、１個のコイル巻線用溝
を具備する単一磁気ヘッドブロックにした後に、前記単
一磁気ヘッドブロックを所望の厚みに切断した後に、切
断時の加工変質層を除去する研摩をするという方法であ
った。
しかしながら前述の従来技術では、単一磁気ヘッドブロ
ックから磁気ヘッドを切断した後に、磁気ヘッドの研摩
をするため、研摩工程の作業時において、磁気ヘッドが
小さいことによる取扱いによる不良が多く、歩留りを下
げてしまうという課題を有していた。しかも今後の磁気
記録装置の小型化に伴う磁気ヘッドの小型化は一層要求
されるため、磁気ヘッドの取り扱いは益々困難になると
考えられる。
ックから磁気ヘッドを切断した後に、磁気ヘッドの研摩
をするため、研摩工程の作業時において、磁気ヘッドが
小さいことによる取扱いによる不良が多く、歩留りを下
げてしまうという課題を有していた。しかも今後の磁気
記録装置の小型化に伴う磁気ヘッドの小型化は一層要求
されるため、磁気ヘッドの取り扱いは益々困難になると
考えられる。
そこで本発明は、このような課題を解決するものであり
その目的とするところは、磁気ヘッド切断工程において
発生する加工変質層を除去するための研摩工程における
被研摩物の取り扱いを容易にし、歩留り低下を防止する
ことにある。
その目的とするところは、磁気ヘッド切断工程において
発生する加工変質層を除去するための研摩工程における
被研摩物の取り扱いを容易にし、歩留り低下を防止する
ことにある。
本発明の磁気ヘッドの製造方法は、二体の磁性体部材の
少なくとも一方の磁性体部材に複数個のコイル巻線用溝
を設ける工程と、前記二体の磁性体部材を接合部材を用
いて接合し磁性体ブロックを得る工程と、前記磁性体ブ
ロックを複数個の１個のコイル巻線溝を具備する単一磁
気ヘッドブロックに分離する工程と、前記単一磁気ヘッ
ドブロックを所望の厚みに切断し磁気ヘッドを得る工程
と、前記磁気ヘッドの切断面の加工変質層を除去するべ
く研摩工程とを含む磁気ヘッドの製造方法において、前
記磁性体ブロックを形成する工程の後に、所望の厚みを
具備し、複数個のコイル巻線用窓を具備する磁気ヘッド
ウェハーに切断する工程と、前記磁気ヘッドウェハーの
切断面の加工変質層を除去する工程と、前記磁気ヘッド
ウェハーを１個のコイル巻線用窓を具備する磁気ヘッド
に分割する工程とを含むことを特徴とする。
少なくとも一方の磁性体部材に複数個のコイル巻線用溝
を設ける工程と、前記二体の磁性体部材を接合部材を用
いて接合し磁性体ブロックを得る工程と、前記磁性体ブ
ロックを複数個の１個のコイル巻線溝を具備する単一磁
気ヘッドブロックに分離する工程と、前記単一磁気ヘッ
ドブロックを所望の厚みに切断し磁気ヘッドを得る工程
と、前記磁気ヘッドの切断面の加工変質層を除去するべ
く研摩工程とを含む磁気ヘッドの製造方法において、前
記磁性体ブロックを形成する工程の後に、所望の厚みを
具備し、複数個のコイル巻線用窓を具備する磁気ヘッド
ウェハーに切断する工程と、前記磁気ヘッドウェハーの
切断面の加工変質層を除去する工程と、前記磁気ヘッド
ウェハーを１個のコイル巻線用窓を具備する磁気ヘッド
に分割する工程とを含むことを特徴とする。
第１図（ａ）〜（ｆ）は本発明による磁気ヘッドの製造
方法の１実施例の斜視図である。本実施例における磁性
体はＭ ｎ −Ｚ ｎ多結晶フェライトを用いている。
方法の１実施例の斜視図である。本実施例における磁性
体はＭ ｎ −Ｚ ｎ多結晶フェライトを用いている。
第１図（ａ）に示すように複数個のコイル巻線用溝４を
具備した磁性体１と、他の磁性体２とを接合部材５を用
いて接合し磁気ヘッドブロック３を形成する。本実施例
では該接合部材として低融点ガラスを用いており、約７
００℃において接合している。次に第１図（ｂ）に示す
点線６に沿ってダイシングマシーン等により磁気ヘッド
ブロック３を切断し、第１図（ｃ）に示す如く、磁気へ
ラドウェハ−７を得る。この磁気へラドウェハ−７は本
実施例の場合３個のコイル巻線用窓を具備しているため
、後に３個の磁気ヘッドに分離される。
具備した磁性体１と、他の磁性体２とを接合部材５を用
いて接合し磁気ヘッドブロック３を形成する。本実施例
では該接合部材として低融点ガラスを用いており、約７
００℃において接合している。次に第１図（ｂ）に示す
点線６に沿ってダイシングマシーン等により磁気ヘッド
ブロック３を切断し、第１図（ｃ）に示す如く、磁気へ
ラドウェハ−７を得る。この磁気へラドウェハ−７は本
実施例の場合３個のコイル巻線用窓を具備しているため
、後に３個の磁気ヘッドに分離される。
次いで第１図（ｄ）に示すように前記磁気へラドウェハ
−７を複数個研摩用治具８の上にワックス等を利用して
貼り付けて切断時の加工変質層を除去するための研摩を
行なう。この研摩はダイヤモンド砥粒により行なわれる
が、砥粒の粒径は３關、１ｍｍ、 １／４ｍ＋＊という
ように三段階に分けられる。この研摩後−旦磁気へラド
ウェハ−７を研摩治具より取り外し、逆サイドの切断面
の加工変質層を除去するために再度研摩治具８に貼り付
け、研摩する。こうして磁気へラドウニ）１−７の両側
の切断面を研摩した後に、第１図（ｅ）に示す点線９に
沿って分離し、第１図（ｆ）に示すような磁気ヘッド１
０を得る。
−７を複数個研摩用治具８の上にワックス等を利用して
貼り付けて切断時の加工変質層を除去するための研摩を
行なう。この研摩はダイヤモンド砥粒により行なわれる
が、砥粒の粒径は３關、１ｍｍ、 １／４ｍ＋＊という
ように三段階に分けられる。この研摩後−旦磁気へラド
ウェハ−７を研摩治具より取り外し、逆サイドの切断面
の加工変質層を除去するために再度研摩治具８に貼り付
け、研摩する。こうして磁気へラドウニ）１−７の両側
の切断面を研摩した後に、第１図（ｅ）に示す点線９に
沿って分離し、第１図（ｆ）に示すような磁気ヘッド１
０を得る。
本実施例に示した第１図（ｃ）の磁気へラドウェハ−７
を第１図（ｄ）の研摩治具８に貼り付ける作業は主とし
てピンセットを用いた手作業で行なわれるが、本実施例
においては磁気へラドウェハ−７が磁気ヘッド１０に対
し大きいためロボットによる作業を行なっている。
を第１図（ｄ）の研摩治具８に貼り付ける作業は主とし
てピンセットを用いた手作業で行なわれるが、本実施例
においては磁気へラドウェハ−７が磁気ヘッド１０に対
し大きいためロボットによる作業を行なっている。
本実施例ではコイル巻線用溝４は一方の磁性体部材１に
のみ設けられているが、両方の磁性体部材に設けること
も可能である。
のみ設けられているが、両方の磁性体部材に設けること
も可能である。
また本実施例ではコイル巻線用溝４は３本であるが３本
より多くし、取り数を多くすることも可能である。
より多くし、取り数を多くすることも可能である。
さらに本実施例の第１図（ｂ）に示す、磁気ヘッドブロ
ック３からの磁気へラドウェハ−７の切断工程において
は、ダイニングマシーンにより１枚毎に切断したが、マ
ルチバンドソーやマルチワイヤーソー等を用いることも
可能であり、−括で切断することが可能である。
ック３からの磁気へラドウェハ−７の切断工程において
は、ダイニングマシーンにより１枚毎に切断したが、マ
ルチバンドソーやマルチワイヤーソー等を用いることも
可能であり、−括で切断することが可能である。
上述したように本発明によれば、二体の磁性体部材の少
なくとも一方の磁性体部材に複数個のコイル巻線用溝を
設ける工程と、前記二体の磁性体部材を接合部材を用い
て接合し磁性体ブロックを得る工程と、前記磁性体ブロ
ックを複数個の１個のコイル巻線溝を具備する単一磁気
ヘッドブロックに分離する工程と、前記単一磁気ヘッド
ブロックを所望の厚みに切断し磁気ヘッドを得る工程と
、前記磁気ヘッドの切断面の加工変質層を除去するべく
研摩工程とを含む磁気ヘッドの製造方法において、前記
磁性体ブロックを形成する工程の後に、所望の厚みを具
備し、複数個のコイル巻線用窓を具備する磁気ヘッドウ
ェハーに切断する工程と、前記磁気ヘッドウェハーの切
断面の加工変質層を除去する工程と、前記磁気ヘッドウ
ェハーを１個のコイル巻線用窓を具備する磁気ヘッドに
分割する工程とを含むことにより、従来のように小さな
磁気ヘッドを取り扱う工程がなくなり、作業時間の短縮
（従来の１／３） 、及び取り扱いミスによる不良の発
生率の低減（従来の１／１０）になるという効果を有す
る。
なくとも一方の磁性体部材に複数個のコイル巻線用溝を
設ける工程と、前記二体の磁性体部材を接合部材を用い
て接合し磁性体ブロックを得る工程と、前記磁性体ブロ
ックを複数個の１個のコイル巻線溝を具備する単一磁気
ヘッドブロックに分離する工程と、前記単一磁気ヘッド
ブロックを所望の厚みに切断し磁気ヘッドを得る工程と
、前記磁気ヘッドの切断面の加工変質層を除去するべく
研摩工程とを含む磁気ヘッドの製造方法において、前記
磁性体ブロックを形成する工程の後に、所望の厚みを具
備し、複数個のコイル巻線用窓を具備する磁気ヘッドウ
ェハーに切断する工程と、前記磁気ヘッドウェハーの切
断面の加工変質層を除去する工程と、前記磁気ヘッドウ
ェハーを１個のコイル巻線用窓を具備する磁気ヘッドに
分割する工程とを含むことにより、従来のように小さな
磁気ヘッドを取り扱う工程がなくなり、作業時間の短縮
（従来の１／３） 、及び取り扱いミスによる不良の発
生率の低減（従来の１／１０）になるという効果を有す
る。
また作業対象物（磁気ヘッドウェハー）が大きいために
機械による保持が可能となり手作業をなくすことが可能
となり、作業性の向上や省力化をもたらすという効果を
有する。
機械による保持が可能となり手作業をなくすことが可能
となり、作業性の向上や省力化をもたらすという効果を
有する。
このように本発明による効果は多大なものがある。
第１図（ａ）〜（Ｃ）第１図（ｅ） （ｆ）は、本発明
による一実施例の製造方法を示す斜視図、ただし第１図
（ｄ）のみ平面図。 第２図（ａ）〜（Ｉり第２図（ｆ）は従来技術による製
造方法の斜視図。ただし第２図（ｅ）のみ平面図。 １・・・磁性体部材 ２・・・磁性体部材 ３・・・磁気ヘッドブロック ４・・・コイル巻線用溝 ５・・・接合部材 ６・・・切断用点線 ７・・・磁気ヘッドウェハー ８・・・研摩用治具 ９・・・切断用点線 １０・・・磁気ヘッド １１・・・単一磁気ヘッドブロック １２・・・研摩前の磁気ヘッド 以上 出願人 セイコーエプソン株式会社 代理人 弁理士 鈴 木 喜三部（他１名）鳥ダ １ｆ
７＜ａン 笛１図（ｂ） タさ １ しり （子） Ｉ 第２図（ｂ）
による一実施例の製造方法を示す斜視図、ただし第１図
（ｄ）のみ平面図。 第２図（ａ）〜（Ｉり第２図（ｆ）は従来技術による製
造方法の斜視図。ただし第２図（ｅ）のみ平面図。 １・・・磁性体部材 ２・・・磁性体部材 ３・・・磁気ヘッドブロック ４・・・コイル巻線用溝 ５・・・接合部材 ６・・・切断用点線 ７・・・磁気ヘッドウェハー ８・・・研摩用治具 ９・・・切断用点線 １０・・・磁気ヘッド １１・・・単一磁気ヘッドブロック １２・・・研摩前の磁気ヘッド 以上 出願人 セイコーエプソン株式会社 代理人 弁理士 鈴 木 喜三部（他１名）鳥ダ １ｆ
７＜ａン 笛１図（ｂ） タさ １ しり （子） Ｉ 第２図（ｂ）
Claims (1)
- 二体の磁性体部材の少なくとも一方の磁性体部材に複数
個のコイル巻線用溝を設ける工程と、前記二体の磁性体
部材を接合部材を用いて接合し磁性体ブロックを得る工
程と、前記磁性体ブロックを複数個の単一磁気ヘッドブ
ロックに分離する工程と、前記単一磁気ヘッドブロック
を所望の厚みに切断し磁気ヘッドを得る工程と、前記磁
気ヘッドの切断面の加工変質層を除去するべく研摩工程
とを含む磁気ヘッドの製造方法において、前記磁性体ブ
ロックを形成する工程の後に、所望の厚みを具備し、複
数個のコイル巻線用窓を具備する磁気ヘッドウェハーに
切断する工程と、前記磁気ヘッドウェハーの切断面の加
工変質層を除去する工程と、前記磁気ヘッドウェハーを
１個のコイル巻線用窓を具備する磁気ヘッドに分割する
工程とを含むことを特徴とする磁気ヘッドの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9245189A JPH02270103A (ja) | 1989-04-12 | 1989-04-12 | 磁気ヘッドの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9245189A JPH02270103A (ja) | 1989-04-12 | 1989-04-12 | 磁気ヘッドの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02270103A true JPH02270103A (ja) | 1990-11-05 |
Family
ID=14054767
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9245189A Pending JPH02270103A (ja) | 1989-04-12 | 1989-04-12 | 磁気ヘッドの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02270103A (ja) |
-
1989
- 1989-04-12 JP JP9245189A patent/JPH02270103A/ja active Pending
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