JPH04117605A - 磁気ヘッドの製造方法 - Google Patents
磁気ヘッドの製造方法Info
- Publication number
- JPH04117605A JPH04117605A JP23763690A JP23763690A JPH04117605A JP H04117605 A JPH04117605 A JP H04117605A JP 23763690 A JP23763690 A JP 23763690A JP 23763690 A JP23763690 A JP 23763690A JP H04117605 A JPH04117605 A JP H04117605A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- groove
- ferrite
- wafer
- semicircular
- wafers
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Magnetic Heads (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[発明の目的]
(産業上の利用分野)
この発明は、ビデオテープレコーダ(以下VTRと記す
)等に使用される磁気ヘッドの製造方法に関する。
)等に使用される磁気ヘッドの製造方法に関する。
(従来の技術)
VTRの磁気ヘッドを製造する場合は、第4図に示すよ
うな工程がとられている。
うな工程がとられている。
インゴットから切出された円板状のフェライトウェハ1
0(同図(a))は、所定の大きさの四角形に切り分け
られる。この分けられたウェハのうち、2枚のフェライ
トウェハ10aと10bは、1つのベース2oに貼り付
けられ(同図(b))、四辺が切落とされ形状が整えら
れる(同図(C))。
0(同図(a))は、所定の大きさの四角形に切り分け
られる。この分けられたウェハのうち、2枚のフェライ
トウェハ10aと10bは、1つのベース2oに貼り付
けられ(同図(b))、四辺が切落とされ形状が整えら
れる(同図(C))。
片側のフェライトコアには、巻線溝、ガラス溝30が形
成され、その後、両方のフェライトウェハにトラック溝
40が加工される(同図(d))。
成され、その後、両方のフェライトウェハにトラック溝
40が加工される(同図(d))。
トラック溝40の加工が終わったところで、ベースから
取外され、洗浄され、巻線溝、ガラス溝30の形成され
ているウェハにギャップを得るための膜付けが行われる
(同図(e))。
取外され、洗浄され、巻線溝、ガラス溝30の形成され
ているウェハにギャップを得るための膜付けが行われる
(同図(e))。
膜付けの後、2枚が貼り合わされ、トラック溝を合せて
ガラスにより接着が行われる(同図f)。
ガラスにより接着が行われる(同図f)。
ガラス接着の後、ブロックに分割され(同図(g))、
各ブロックのチップの摺動面側が曲面に研磨される(同
図(h)。曲面の仕上げが終了すると、ブロックのトラ
ック溝に沿ってスライスが行われ、チップが切出される
(同図i))。
各ブロックのチップの摺動面側が曲面に研磨される(同
図(h)。曲面の仕上げが終了すると、ブロックのトラ
ック溝に沿ってスライスが行われ、チップが切出される
(同図i))。
(発明が解決しようとする課題)
上記従来の磁気ヘッドの製造方法によると、その工程に
おいて、インゴットから円板状のフェライトウェーを作
り、さらに四角形のフェライトウェハーを再度切断して
製造している。このために工程数が多く、インゴットを
切り捨てるために無駄にする部分が多い。
おいて、インゴットから円板状のフェライトウェーを作
り、さらに四角形のフェライトウェハーを再度切断して
製造している。このために工程数が多く、インゴットを
切り捨てるために無駄にする部分が多い。
そこでこの発明は、工程数を削減できるとともに、イン
ゴットの利用効率を向上できる磁気ヘッドの製造方法を
提供することを目的とする。
ゴットの利用効率を向上できる磁気ヘッドの製造方法を
提供することを目的とする。
[発明の構成]
(課題を解決するだめの手段)
この発明は、インゴットから直接切出した円板状のフェ
ライトウェハをほぼ1/2分割する工程と、このように
得られた第1と第2のほぼ半円状フェライトウェハーを
、ベースに組み合わせ貼り付ける工程と、一方の半円状
フェライトウェー八−に巻線溝、ガラス充填用溝を加工
し、また両方の半円状フェライトウニ/\−にトラック
溝を加工する工程と、上記ように加工された前記一方の
半円状フェライトウェハーに膜付けし、他方の半円状フ
ェライトウェハーと前記トラック溝を合致させて接着突
き合わせする工程と、この工程で一体化されたウエノ)
体を巻線溝の方向へ力・ソトし複数のブロックを切り出
す工程と、この工程で切り出されたブロックに対して、
テープ摺接面側を曲面仕上げする工程と、この工程で得
られたプロ・ツクを、巻線溝に交差する方向へスライス
してヘッドチップを得る工程とを備えるものである。
ライトウェハをほぼ1/2分割する工程と、このように
得られた第1と第2のほぼ半円状フェライトウェハーを
、ベースに組み合わせ貼り付ける工程と、一方の半円状
フェライトウェー八−に巻線溝、ガラス充填用溝を加工
し、また両方の半円状フェライトウニ/\−にトラック
溝を加工する工程と、上記ように加工された前記一方の
半円状フェライトウェハーに膜付けし、他方の半円状フ
ェライトウェハーと前記トラック溝を合致させて接着突
き合わせする工程と、この工程で一体化されたウエノ)
体を巻線溝の方向へ力・ソトし複数のブロックを切り出
す工程と、この工程で切り出されたブロックに対して、
テープ摺接面側を曲面仕上げする工程と、この工程で得
られたプロ・ツクを、巻線溝に交差する方向へスライス
してヘッドチップを得る工程とを備えるものである。
(作用)
上記の手段によりフェライトウェハーを四角形にする工
程が削減される。また、四角形のフェライトウェハーは
小さいために作業が不便であったが、大きな面積の半円
板状のウェハーのままその後の処理を行うために大量処
理を容易に行い、インゴットの利用効率を向上できる。
程が削減される。また、四角形のフェライトウェハーは
小さいために作業が不便であったが、大きな面積の半円
板状のウェハーのままその後の処理を行うために大量処
理を容易に行い、インゴットの利用効率を向上できる。
(実施例)
以下、この発明の実施例を図面を参照して説明する。
第1図はこの発明の一実施例を示している。円板状のフ
ェライトウェハー100を、所定の厚さにラップし、ベ
ース101に貼り付ける。次に、フェライトウェハー1
00の直径方向の中心線に対して若干ずれた位置でカッ
トし、はぼ1/2に分割する(同図(a)、(b))。
ェライトウェハー100を、所定の厚さにラップし、ベ
ース101に貼り付ける。次に、フェライトウェハー1
00の直径方向の中心線に対して若干ずれた位置でカッ
トし、はぼ1/2に分割する(同図(a)、(b))。
次に、分割されたフェライトウェハーIA。
IBのうち一方、面積の大きい方の面に、直径方向に巻
線溝、ガラス溝200を加工する(同図(C))。この
溝加工の後、両方のフェライトウェハーIA、IBに渡
って、トラック溝300を加工する(同図(d)。また
、巻線溝、ガラス溝200を形成したほうのフェライト
ウェハーIAに。ギャップ部を得るために膜付けを行う
。
線溝、ガラス溝200を加工する(同図(C))。この
溝加工の後、両方のフェライトウェハーIA、IBに渡
って、トラック溝300を加工する(同図(d)。また
、巻線溝、ガラス溝200を形成したほうのフェライト
ウェハーIAに。ギャップ部を得るために膜付けを行う
。
この後、フェライトウェハーIA、1Bをベース101
から取り離しく同図(e)) 、互いのフェライトウェ
ハーのトラック溝300を合致させて、突き合わせ巻線
溝、ガラス溝200にガラスを充填して接着し、両者を
一体化する(同図(f))。
から取り離しく同図(e)) 、互いのフェライトウェ
ハーのトラック溝300を合致させて、突き合わせ巻線
溝、ガラス溝200にガラスを充填して接着し、両者を
一体化する(同図(f))。
このとき、はぼ1/2分割時のときにセンターをずらし
ているので、貼り合わせた2枚のフェライトウェハーの
外周には径方向への段差しが生じる。
ているので、貼り合わせた2枚のフェライトウェハーの
外周には径方向への段差しが生じる。
貼り付けの終わったウェハ一体は、巻線溝方向にそって
カットされる。これにより、多数のブロック400を得
ることができる(同図(g))。
カットされる。これにより、多数のブロック400を得
ることができる(同図(g))。
この場合、ブロックの巻線溝方向長さはそれぞれ異なる
ことになる。
ことになる。
これらの各ブロック400に対して、それぞれテープ摺
接面となる部分を研削により曲面仕上げする(同図(h
))。この場合、ブロックには段差りが生じているため
に、ブロックの側面からデプスを読み取ることができ、
段差の分読み取りが容品である。従来であると、ブロッ
クの端面から面積の狭いガラス溝断面の範囲でしか読み
取ることができなかったが、この方式であると、ガラス
溝の露出面積が段差のために広くなっている。よって、
曲面仕上げするときの作業も容易である。
接面となる部分を研削により曲面仕上げする(同図(h
))。この場合、ブロックには段差りが生じているため
に、ブロックの側面からデプスを読み取ることができ、
段差の分読み取りが容品である。従来であると、ブロッ
クの端面から面積の狭いガラス溝断面の範囲でしか読み
取ることができなかったが、この方式であると、ガラス
溝の露出面積が段差のために広くなっている。よって、
曲面仕上げするときの作業も容易である。
曲面仕上げされたブロックは、ベース(図示せず)に貼
り付けて、トラック溝に沿ってスライスする(同図(i
))。これにより同図N)に示すようなヘッドチップ5
00を得ることができる。
り付けて、トラック溝に沿ってスライスする(同図(i
))。これにより同図N)に示すようなヘッドチップ5
00を得ることができる。
なお、巻線溝とガラス溝については、詳細に区別示しさ
なかったが、同図(j)に示すように、ヘッドチップ5
00の後部に切り欠きのように形成される部分501が
ガラス溝であり、ここにガラスが充填されて2つのコア
半休が接合されている。
なかったが、同図(j)に示すように、ヘッドチップ5
00の後部に切り欠きのように形成される部分501が
ガラス溝であり、ここにガラスが充填されて2つのコア
半休が接合されている。
この発明は、上記の実施例に限定されるものではない。
上記の実施例では、結晶方位の同じフェライトウェハー
IA、IBを用いたが、方位の異なるもので、コア半休
を得る場合は、第2図に示すように、方位の異なる方向
に1/2分割したフェライトウェハー2A、3A同志を
組み合わせ、ベース101に貼り付けてもよい(同図(
a)、(b)。そして、中心線をずらすようにフェライ
トウェハー2A、2Bを加工(同図(c))して準備す
る。この後の処理は、先の説明した処理と同じである。
IA、IBを用いたが、方位の異なるもので、コア半休
を得る場合は、第2図に示すように、方位の異なる方向
に1/2分割したフェライトウェハー2A、3A同志を
組み合わせ、ベース101に貼り付けてもよい(同図(
a)、(b)。そして、中心線をずらすようにフェライ
トウェハー2A、2Bを加工(同図(c))して準備す
る。この後の処理は、先の説明した処理と同じである。
なお、ブロック長の小さなものは使用しないことを前提
として、第3図に示すように、巻線溝、ガラス溝、トラ
ック溝を形成した後、予め、フェライトウェハIA、I
Bの端部4A、4Bを切り離しておき(同図(a))
、その後の加工(同図(b))を進めてもよい。
として、第3図に示すように、巻線溝、ガラス溝、トラ
ック溝を形成した後、予め、フェライトウェハIA、I
Bの端部4A、4Bを切り離しておき(同図(a))
、その後の加工(同図(b))を進めてもよい。
[発明の効果]
以上説明したようにこの発明によれば、工程数を削減で
きるとともに、インゴットの利用効率を向上でき、曲面
仕上げ時の作業も容易になる。
きるとともに、インゴットの利用効率を向上でき、曲面
仕上げ時の作業も容易になる。
また、大きな面積のウェハを扱うので大量生産上の作業
性がよい。
性がよい。
第1図はこの発明の一実施例を示す工程説明図、第2図
及び第3図はそれぞれこの発明の他の実施例を説明する
ために示した図、第4図は従来の製造工程を説明するた
めに示した図である。 100・・・円板状フェライトウェハー 101・・・
ベース、IA、IB・・・フェライトウニI\−200
・・・巻線溝、ガラス溝、300・・・トラック溝、4
00・・・ブロック。
及び第3図はそれぞれこの発明の他の実施例を説明する
ために示した図、第4図は従来の製造工程を説明するた
めに示した図である。 100・・・円板状フェライトウェハー 101・・・
ベース、IA、IB・・・フェライトウニI\−200
・・・巻線溝、ガラス溝、300・・・トラック溝、4
00・・・ブロック。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 インゴットから直接切出した円板状のフェライトウェハ
をほぼ1/2分割する工程と、 このように得られた第1と第2のほぼ半円状フェライト
ウェハーを、ベースに組み合わせ貼り付ける工程と、 一方の半円状フェライトウェハーに巻線溝、ガラス充填
用溝を加工し、また両方の半円状フェライトウェハーに
トラック溝を加工する工程と、上記ように加工された前
記一方の半円状フェライトウェハーに膜付けし、他方の
半円状フェライトウェハーと前記トラック溝を合致させ
て接着突き合わせする工程と、 この工程で一体化されたウェハ体を巻線溝の方向へカッ
トし複数のブロックを切り出す工程と、この工程で切り
出されたブロックに対して、テープ摺接面側を曲面仕上
げする工程と、 この工程で得られたブロックを、巻線溝に交差する方向
へスライスしてヘッドチップを得る工程とを具備したこ
とを特徴とする磁気ヘッドの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23763690A JPH04117605A (ja) | 1990-09-07 | 1990-09-07 | 磁気ヘッドの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23763690A JPH04117605A (ja) | 1990-09-07 | 1990-09-07 | 磁気ヘッドの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04117605A true JPH04117605A (ja) | 1992-04-17 |
Family
ID=17018266
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23763690A Pending JPH04117605A (ja) | 1990-09-07 | 1990-09-07 | 磁気ヘッドの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04117605A (ja) |
-
1990
- 1990-09-07 JP JP23763690A patent/JPH04117605A/ja active Pending
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