JPH02270248A

JPH02270248A - シヤドウマスク用金属薄板及びその製造方法

Info

Publication number: JPH02270248A
Application number: JP1090191A
Authority: JP
Inventors: Tadashi Inoue; 正井上; Masayuki Kinoshita; 木下　正行; Tomoyoshi Okita; 大北　智良
Original assignee: NKK Corp; Nippon Kokan Ltd
Current assignee: JFE Engineering Corp
Priority date: 1989-04-10
Filing date: 1989-04-10
Publication date: 1990-11-05

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕この発明は、カラーテレビの受像管に使用されるシャド
ウマスク用金属薄板およびその製造方法に関するもので
ある。

〔従来の技術〕

カラーテレビの受像管に使用されるシャドウマスクの材
料は、従来、一般に低炭素のアルミキルド鋼やリムド鋼
等の金属薄板が使用されていた。

しかしながら、このようなアルミキルド鋼等の金属薄板
からなるシャドウマスクには、使用中の熱膨張による変
形のために、シャドウマスクと蛍光面との間の相対的位
置関係がずれて、色ずれが発生する問題があった。

近年、カラーテレビの高品位化に伴ない、上述の色ずれ
の発生が問題になっており、これを防止するために、シ
ャドウマスクの材料として、熱膨張係数の小さい、低熱
膨張性のＦｅ−Ｎｉ系インバー合金が注目されている。

しかしながら、インバー合金には、次のような問題があ
る。即ち、シャドウマスクは、熱放散の促進および防錆
のために、その表面上に黒色の酸化膜（以下、黒化膜と
いう）を形成することが必要とされている。しかるに、
インバー合金は、酸化しにくいＮ１を、３０〜４５ｗｔ
、χ含有しているために、形成された黒化膜が不均一に
なりやす（、そして、その黒色度が不十分であって熱輻
射率が低いために熱放散性に劣り、且つ、金属薄板に対
する密着性が悪く、剥離しやすい。

上述の問題を改善する方法として、例えば次の方法が知
られている。

（１）特開昭６０−１９４０５９号公報に開示された、
インバー合金の黒化膜の形成を、水蒸気雰囲気中の加熱
炉において行ない、水蒸気の量を制御して、その前段は
酸化力の弱い雰囲気で行ない、その後段は酸化力の強い
雰囲気で行なうことからなる方法（以下、先行技術１と
いう）。

（２）特開昭６１−２０１７６４号公報に開示された、
インバー合金の黒化膜の形成を、体積で１％以上の酸素
を含む雰囲気中で行なうことからなる方法（以下、先行
技術２という）。

（３）　　特開昭６１−６７７５４号公報に開示された
、Ｎｉ：２５〜５０ｗｔ、χ、希土類元素の少なくとも
１種：２０〜５０００ｐｐｌＩ、残り：Ｆｅからなるシ
ャドウマスク用金属薄板（以下、先行技術３という）。

（４）特開昭６１−２０１７５７号公報に開示された、
Ｎｉ：３０〜４５ｗｔ、χ、ＡＺ　：　０．３０超〜１
．　Ｏｗｔ、χ、Ｓｉ：０、１〜１．　Ｏｗｔ、χ、Ｍ
ｎ：０、ｌ　〜１．　Ｏｗｔ、χ、残り：Ｆｅからなる
シャドウマスク用金属″ＩＮＮ（以下、先行技術４とい
う）。

（５）特開昭６１−４３８３８号公報に開示された、Ｎ
ｉ：　２５〜５０ｗｔ、χ、Ｍｎ　：　０．８〜１０ｗ
ｔ、χ、残り：Ｆｅからｄるシャドウマスク用金属薄板
（以下、先行技術５という）。

（発明が解決しようとする！ＩＢ）上述の先行技術には、次のような問題がある。

即ち、先行技術！および２においては、黒化膜の形成を
特別の雰囲気下で行なわなければならないために、従来
の黒化処理炉を使用することができな゛い、先行技術３
および４によれば、黒化膜の密着性は改善されるが、そ
の熱輻射率が低く、熱放散性を改善することはできない
、そして、先行技術５によれば、黒化膜の熱放散性は、
ある程度改善されても、従来のアルミキルド鋼からなる
金属薄板と比較すると、依然として熱放散性に劣る。

従って、この発明の目的は、密着性および熱放散性に優
れた黒化膜を容易に形成することができ、且つ、低熱膨
張性を有する、品質の優れた、シャドウマスク用金属薄
板およびその製造方法を堤供することにある。

〔課題を解決するための手段〕

この発明のシャドウマスク用金属薄板は、基材としての
、Ｆｅ−Ｎｉ系インバー合金またはＦｅ−Ｎ１−Ｃｏ系
スーパーインバー合金のような低熱膨張性合金からなる
金ＷＡ薄板の少なくとも一方の表面上に、片面当り０．
１から１０μｍの厚さの鉄または鉄合金被膜が形成され
ていることに特徴を有するものである。そして、この発
明のシャドウマスク用金属薄板の製造方法は、基材とし
ての、低熱膨張性合金からなる金属薄板を調製し、次い
で、前記金属薄板に多数の孔を穿設し、次いで、前記多
数の孔が穿設された金属薄板を焼鈍し、次いで、前記焼
鈍された金属薄板を成形し、そして、次いで、前記成形
された金属薄板に黒化膜を形成することにより、シャド
ウマスク用金属薄板を製造する方法における、前記金属
薄板の調製工程、前記金属薄板の調製工程と前記多数の
孔の穿設工程との間、前記多数の孔の穿設工程と前記焼
鈍工程との間、前記焼鈍工程と前記成形工程との間、お
よび、前記成形工程と前記黒化膜の形成工程との間の何
れかにおいて、前記金属薄板の少なくとも一方の表面上
に、片面当り０．１からＩｏμｍの厚さの、鉄または鉄
合金被膜を形成することに特徴を有するものである。

この発明においては、基材として低熱膨張性合金を使用
することが必要である。低熱膨張性合金として、下記第
１表に示す化学成分組成のＦｅ−Ｎｉ系インバー合金、
または、下記第２表に示す化学成分組成のＦｅ−Ｎｉ−
Ｃｏ系スーパーインバー合金を使用する。

この発明において、上述した基材としての低熱膨張性合
金からなる金属薄板の少なくとも一方の表面上に、鉄ま
たは鉄合金被膜を形成する理由は。

次の通りである。即ち、鉄または鉄合金被膜の表面上に
黒化膜を形成することにより、形成された黒化膜の性質
は、従来の低炭素アルミキルド鋼からなる金属薄板の表
面に形成された黒化膜の性質に極めて近位したものにな
る。従って、低炭素アルミキルド鋼からなる金属薄板の
表面に形成された黒化膜と同程度に、均一で且つ優れた
密着性および熱放散性を有する黒化膜を形成することが
できる。

鉄または鉄合金被膜の厚さは、金属薄板の片面当り０．
１からｌ０ＪＦＩＩの範囲内に限定すべきである。

前記厚さが金属薄板の片面当り０．１　ｎ未満では、シ
ャドウマスクの製造工程中における熱処理時（黒化膜形
成のための熱処理を含む）に、鉄または鉄合金被膜中に
拡散した、金属薄板中のＮｌ量の割合が相対的に多くな
る。この結果、鉄または鉄合金被膜の形成による上述し
た作用に所望の効果を得ることができない、一方、前記
厚さが金属薄板の片面当りｌｏｎを超えると、その表面
に形成された黒化膜の密着性が劣化する。黒化膜の密着
性の点から、鉄または鉄合金被膜の好ましい厚さは、金
属薄板の片面当り０．５から３μｍの範囲内である。

鉄合金被膜は、下記成分組成からなっていることが必要
である。

−Ｐ、　Ｍｎ、　ＮｌおよびＣｏのうちの少なくとも１
つ二０．１〜２０ｗｔ、χ、および、残り：鉄および不
可避不純物。

合金元素として、ｐ、　Ｍｎ、　ＮｉおよびＣｏのうち
の少なくとも１つを選定した理由は、これらの元素と鉄
との鉄合金の酸化膜即ち黒化膜の熱輻射率が高いからで
ある。　Ｐ、　Ｍｎ、　ＮｉおよびＣｏのうちの少なく
とも１つの含有量がＱ、１ｗｔ、１未満では、上述した
作用に所望の効果が得られない、一方、前記含有量が２
０ｗｔ、χを超えても、上述した効果に格別の向上が得
られず、不経済である。

従って、Ｐ、　Ｍｎ、　ＮｉおよびＣｏのうちの少なく
とも１つの含有量は、０．１から２０ｗｔ、χの範囲内
に限定すべきである。熱輻射率の向上の点から、前記元
素の好ましい含有量は、５から１５ｗｔ、χの範囲内で
ある。

次に、この発明のシャドウマスク用金属薄板の製造方法
について述べる。

所定の化学成分組成を有する低熱膨張性合金を溶製しそ
して鋳造して、低熱膨張性合金のスラブを調製する０次
いで、前記スラブを熱間圧延し、得られた熱延金属板を
冷間圧延しそして焼鈍して、低熱膨張性合金からなる所
定厚さの金属薄板を調製する０次いで、上記により得ら
れた金属薄板に、エツチングによって多数の孔を穿設す
る０次いで、多数の孔が穿設された金属薄板を焼鈍し、
次いで、焼鈍された金属薄板を、所定形状に成形する０
次いで、所定形状に成形された金属薄板に対し黒化処理
を施し、その表面に黒化膜を形成する。

この発明においては、上述の製造工程中の、次の何れか
の工程または工程間において、金Ｒ藩板の少なくとも一
方の表面上に、片面当り０．１からｌＯμｍの厚さの、
鉄または鉄合金被膜を形成する。

（１）　　所定厚さの金属薄板を調製する工程。

（２）金属薄板を調製する工程と、金属薄板に多数の孔
を穿設する工程との間。

（３）　　金属薄板に多数の孔を穿設する工程と、多数
の孔が穿設された金属薄板を焼鈍する工程との間。

（４）多数の孔が穿設された金属薄板の焼鈍工程と、焼
鈍された金属薄板の成形工程との間。

（５）゛　　焼鈍された金属薄板の成形工程と、成形さ
れた金属薄板の黒化膜形成工程との間。

金属薄板の少な゛くとも一方の表面上に、鉄または鉄合
金被膜を形成する手段は、電解または無電解による湿式
メツキ、または、真空蒸着による乾式メツキ等、任意の
公知の方法によって行なう。

鉄または鉄合金被膜の形成を、上記（１）の、金属薄板
を調製する工程中において行なう場合には、最終の所定
厚さまで冷間圧延された金属Ｆｉｖｉに、前記被膜を形
成することが好ましい、更に、金属薄板に対する前記被
膜の密着性を向上させるために、前記被膜の形成後、４
００〜６００″Ｃの温度で、前記被膜に対し拡散処理を
施すことが望ましい。

鉄または鉄合金被膜の形成を、上記（３）の、金属薄板
に多数の孔を穿設する工程と、多数の孔が穿設された金
属薄板を焼鈍する工程との間において行なう場合には、
焼鈍により、金属薄板を構成する低熱膨張性合金が前記
被膜中に拡散することを考慮し、前記被膜の厚さを、０
．５〜５ｎとすることが好ましい。

なお、鉄または鉄合金被膜の形成を、金属薄板に多数の
孔を穿設する工程に先立って行なう場合には、前記多数
の孔をエツジングによって穿設する際における、エツジ
ングを施さない部分を覆うためのレジストおよびエツジ
ングを施すためのフォトマスクの、前記被膜に対する密
着性を良好ならしめるために、前記被膜の表面粗さを、
ＪＩＳで規定されている最大粗さで１〜５ｎ、中心線平
均粗さで０．２〜０．７ｎおよび１０点平均粗さで１〜
４ｎとすることが好ましい。

次に、この発明を、実施例により、比較例と対比しなが
ら、更に詳細に説明する。

〔実施例１〕下記第３表に示す化学成分組成の、低熱膨張性合金であ
るＦｅ　−Ｎｌ系インバー合金を、真空溶解炉によって
溶製した。

上記のインバー合金を鋳造して、スラブを調製した０次
いで、前記スラブを熱間圧延して、厚さ２．２閣の熱延
金属板を調製した０次いで、前記熱延金属板を冷間圧延
しそして焼鈍して、厚さ０．１５μｍの金属薄板を調製
した。

このようにして調製された金属薄板に対し、下記第４表
に示す条件でメツキ処理を施し、その両表面上に、本発
明の範囲内の厚さを有する鉄被膜このようにして、鉄被
膜が形成された金属薄板に対し、Ｈｌ：１５％およびＮ
、：２５％からなる、露点−３０°Ｃの雰囲気で、５０
０℃の温度の連続焼鈍炉中において、歪取り焼鈍を施し
た０次いで、歪取り焼鈍が施された金属薄板に対し、塩
化第２鉄によるスプレーエツチングを施して、前記金属
薄板に、孔径１５０ｎ、ピッチ３００μｍの多数の孔を
穿設した。

このようにして、多数の孔が穿設された金属薄板に対し
、非酸化性雰囲気中で、１０００　’Ｃの温度により２
０分間焼鈍を施した０次、いで、焼鈍された金属薄板に
対し、曲率半径８００■の曲面プレスにより成形加工を
施した。そして、次いで、成形加工の施された金属薄板
に対し、酸化性雰囲気中で、６５０℃の温度により３０
分間黒化膜形成処理を施し、かくして、第５表に示す本
発明の供試体（以下、本発明供試体という）阻２および
３を調製した。そして、比較のために、鉄被膜の厚さが
本発明の範囲外である、同じく第５表に示す比較用の供
試体（以下、比較用供試体という）石ｌおよび４を調製
した。

次に、鉄被膜の形成を、金属薄板の歪取り焼鈍工程と、
金属Ｗｉ＠に多数の孔を穿設する工程との間で行なった
ほかは、本発明供試体磁２と同じ方法により、第５表に
示す本発明供試体阻５〜７、および、鉄被膜の厚さが本
発明の範囲外である比較用供試体磁８を調製した。

次に、鉄被膜の形成を、金属薄板に多数の孔を穿設する
工程と、多数の孔が穿設された金属薄板を焼鈍する工程
との間において、金属薄板の片面のみに行なったほかは
、本発明供試体Ｎ１１２と同じ方法により、第５表に示
す、本発明供試体漱１０〜１２、および、鉄被膜の厚さ
が本発明の範囲外である比較用供試体Ｎｎ９を調製した
。

次に、鉄被膜の形成を、多数の孔が穿設された金属薄板
の焼鈍工程と、焼鈍された金属薄板の成形工程との間で
行なったほかは、本発明供試体石２と同じ方法により、
第５表に示す、本発明供試体Ｎ１１１３〜１５、および
、鉄被膜の厚さが本発明の範囲外である比較用供試体Ｎ
１１１６を調製した。

次に、鉄被膜の形成を、焼鈍された金属薄板の成形工程
と、成形された金属薄板の黒化膜形成工程との間におい
て、金属薄板の片面のみに行なったほかは、本発明供試
体？４ａ２と同じ方法により、第５表に示す、本発明供
試体階１８および１９、および、鉄被膜の厚さが本発明
の範囲外である比較用供試体ｍ１７を調製した。

上述のようにして調製された本発明供試体および比較用
供試体の各々について、熱放散性を示す熱輻射率、およ
び、黒イヒ膜の密着性を、次に述べるように評価した。

評価の結果を１．第５表に併せて示す。

（１）　　熱輻射率完全に熱を唆収する基準黒体の熱輻射率を１．０とした
場合の、熱輻射の比率によって評価した。

（２）黒化膜密着性供試体の表面にテープを貼り付け、このようにを調べ、
これを評価した。評価基準は、次の通りである。

Ｏ：剥離が全くなく、密着性が極めて良好である。

Ｏ：剥離がわずかで、密着性が良好である。

Δ：剥離がある程度あり、密着性がやや不良である。

×：剥離が多く、密着性が不良である。

第　　５　　表第５表から明らかなように、鉄被膜の厚さが本発明の範
囲を外れて薄い比較用供試体Ｎ［Ｌｌ、９および１７に
おいては、黒化膜の密着性は良好であるが、熱輻射率は
０．５未満であって低い、鉄被膜の厚さが本発明の範囲
を外れて厚い比較用供試体阻４，８および１６において
は、熱輻射率は０．５以上で高いが、黒化膜の密着性は
不良である。

これに対して、本発明供試体Ｎ１１２．３．６，７゜１
０．１１，１２．１３，１４，１５．１８および１９に
おいては、何れも、熱輻射率が０．５以上で高く、且つ
、黒化膜の密着性も良好である。

また、金属薄板に多数の孔を穿設する工程に先立、って
、金属薄板に鉄被膜を形成した本発明供試体Ｎｎ２，３
，５．６および７においては、エツチングによって穿設
された孔の界面の状態は、鉄被膜を形成しない場合と変
りがなく、金属薄板と鉄被膜との間において、エツチン
グ孔が横方向に広がるサイドエッチは発生しなかった。

更に、金属薄板に多数の孔を穿設した後に、金属薄板に
鉄被膜を形成した本発明供試体ｍｌ　Ｏ。

メツキ層が成長することはなく、メツキ後の孔の精度も
良好であった。

〔実施例２］金属薄板として、下記第６表に示す化学成分組成の、低
熱膨張性合金であるＦｅ−Ｎｉ−Ｃｏ系インバー合金を
使用したほかは、実施例１の本発明供試体漱２と同じ方
法、即ち、鉄被膜の形成を、金属薄板の調製に次いで、
その両表面に行なう方法により、第７表に示す本発明供
試体？４１１２１を調製した。そして、比較のために、
鉄被膜の厚さが本発明の範囲外である、同じく第７表に
示す比較用供試体阻２０および２２を調製した。

次に、鉄被膜の形成を、金属薄板の歪取り焼鈍工程と、
金属薄板に多数の孔を穿設する工程との間で行なったほ
かは、本発明供試体漱２１と同じ方法により、第７表に
示す本発明供試体Ｎｎ２３゜２４および、鉄被膜の厚さ
が本発明の範囲外である比較用供試体８１１２５を調製
した。

次に、鉄被膜の形成を、金属薄板に多数の孔を穿設する
工程と、多数の孔が穿設された金属薄板を焼鈍する工程
との間において、金属薄板の片面のみに行なったほかは
、本発明供試体Ｎａ２１と同じ方法により、第７表に示
す本発明供試体１ｈ２７゜２８、および、鉄被膜の厚さ
が本発明の範囲外である比較用供試体石２６を調製した
。

次に、鉄被膜の形成を、多数の孔が穿設された金属薄板
の焼鈍工程と、焼鈍された金属薄板の成形工程との間で
行なったほかは、本発明供試体阻２１と同じ方法により
、第７表に示す、本発明供試体Ｎ１１２９，３０を調製
した。

次に、鉄被膜の形成を、焼鈍された金属薄板の成形工程
と、成形された金属薄板の黒化膜形成工程との間におい
て、金属薄板の片面のみに行なったほかは、本発明供試
体阻２１と同じ方法により、第７表に示す、本発明供試
体＋４１６２、および、鉄被膜の厚さが本発明の範囲外
である比較用供試体阻３１を調製した。

上述のようにして調製された本発明供試体および比較用
供試体の各々について、実施例１と同じ方法により、熱
放散性を示す熱輻射率、および、黒化膜の密着性を評価
した。汁価結果を、第７表に併せて示す。

第　　７　　表第７表から明らかなように、鉄被膜の厚さが本発明の範
囲を外れて薄い比較用供試体Ｎｔ１２０゜２６および３
１においては、黒化膜の密着性は良好であるが、熱輻射
率は０．５未満であって低い。

鉄被膜の厚さが本発明の範囲１、を外れて厚い比較用供
試体ｆ４ａ２２および２５においては、熱輻射率は０．
６以上で高いが、黒化膜の密着性は不良である。

これに対して、本発明供試体Ｎ［Ｌ２１，２３゜２４．
２７．２Ｂ、２９．３０および３２においては、熱輻射
率が何れも０．６以上で高く、且つ、黒化膜の密着性も
良好で・ある。

また、金属薄板に多数の孔を穿設する工程に先立って、
金属薄板に鉄被膜を形成した本発明供試体１に２１．２
３および２４においては、エツチングによって穿設され
た孔の界面の状態は、鉄被膜を形成しない場合と変りが
なく、金属薄板と鉄被膜との間において、エツチング孔
が横方向に広がるサイドエッチは発生しなかった。

更に、金属薄板に多数の孔を穿設した後に、金属薄板に
鉄被膜を形成した本発明供試体患２７゜２Ｂ、２９．３
０および３２においては、メツキによる鉄被膜形成後の
孔の界面に、異常にメツキ層が成長することはなく、メ
ツキ後の孔の精度も良好であった。

〔実施例３〕金属薄板の両表面上に、９．５％Ｐ　−Ｆｅの鉄合金被
膜を形成したほかは、実施例１の本発明供試体Ｎ１１２
と同じ方法により、第８表（１）に示す本発明供試体Ｎ
＋１３４，３５、および、鉄合金被膜の厚さが本発明の
範囲外である比較用供試体Ｎ［Ｌ３３，３６を調製した
。そして、金属薄板の両表面上に、９．５％Ｐ−Ｆｅの
鉄合金被膜を形成し、被膜形成後、歪取り焼鈍を施さな
かったほかは、実施例１の本発明供試体阻２と同じ方法
により、本発明供試体Ｎ１１３８，３９、および、鉄合
金被膜の厚さが本発明の範囲外である比較用供試体Ｎａ
３７，４０を調製した。

金属薄板の両表面上に、１０．０％Ｍｎ　−Ｆｅの鉄合
金被膜を形成したほかは、実施例１の本発明供試体患２
と同じ方法により、第８表（１）に示す本発明供試体Ｎ
ａ４２．４３、および、鉄合金被膜の厚さが本発明の範
囲外である比較用供試体Ｎｌ１４１゜４４を調製した。

そして、金属薄板の両表面上に、ｉ　ｏ、　ｏ％Ｍｎ　
−Ｐｅの鉄合金被膜を形成し、被膜形成後、歪取り焼鈍
を施さなかったほかは、実施例１の本発明供試体Ｎａ２
と囮し方法により、本発明供試体８Ｉ１４６，４７、お
よび、鉄合金被膜の厚さが本発明の範囲外である比較用
供試体Ｎａ４５，４８゜を調製した。

金属薄板の両表面上に、１０．５％Ｎｉ−Ｆｅの鉄合金
被膜を形成したほかは、実施例１の本発明供試体Ｎ１１
２と同じ方法により、第８表（２）に示す本発明供試体
Ｎａ５０．５１．および、鉄合金被膜の厚さが本発明の
範囲外である比較用供試体Ｎａ４９゜５２を調製した。

そして、金属薄板の両表面上に、１０００％Ｎｉ−Ｐａ
の鉄合金被膜を形成し、被膜形成後、歪取り焼鈍を施さ
なかったほかは、実施例１の本発明供試体Ｎ１１２と同
じ方法により、本発明供試体？ｈ５４，５５、および、
鉄合金被膜の厚さが本発明の範囲外である・比較用供試
体Ｎａ５３，５６を調製した。

金属薄板の両表面上に、９．８％Ｃｏ　−Ｆｅの鉄合金
被膜を形成したほかは、実施例１の本発明供試体胤２と
同じ方法により、第８表（２）に示す本発明供試体Ｎ１
１５Ｂ、５９、および、鉄合金被膜の厚さが本発明の範
囲外である比較用供試体Ｎ１１５７，６０を調製した。

そして、金属薄板の両表面上に、９．８％Ｃｏ　−Ｆｅ
の鉄合金被膜を形成し、被膜形成後、歪取り焼鈍を施さ
なかったほかは、実施例１０本発明供試体阻２と同じ方
法により、本発明供試体ｍ６２，６３、および、鉄合金
被膜の厚さが本発明の範囲外である比較用供試体Ｎｎ６
１，６４を調製した。

上述のようにして調製された本発明供試体および比較用
供試体の各々について、実施例１と同じ方法により、熱
放散性を示す熱輻射率、および、黒化膜の密着性を評価
した。評価結果を、第８表（１）　（２）に併せて示す
。

第８表（１）第８表（２）第８表（＋）　（２）から明らかなように、鉄合金被膜
の厚さが本発明の範囲を外れて薄い比較用供試体麹３３
．３７，４１，４５，４９，５３．５７および６１にお
いては、黒化膜の密着性は良好であるが、熱輻射率は低
い、鉄合金被膜の厚さが本発明の範囲を外れて厚い比較
用供試体Ｎ１１３６．４０゜４４．４Ｂ、５２，５６．
６０および６４においては、熱輻射率は高いが、黒化膜
の密着性は不良である。

これに対して、本発明供試体Ｎｎ３４，３５゜３Ｂ、３
９，４２，４３．４６．４７．５０゜５１．５４，５５
．５Ｂ、５９．６２および６３においては、熱輻射率が
何れも０．６以上で高く、且つ、黒化膜の密着性も良好
である。また、上述した本発明供試体は、何れも、エツ
チングによって穿設された孔の界面の状態は、鉄合金被
膜を形成しない場合と変りがなく、金属薄板と鉄合金被
膜との間において、エツチング孔が横方向に広がるサイ
ドエッチは発生しなかった。

上述した実施例１．２および３の本発明供試体の黒化処
理性は、従来のアルミキルド鋼の場合とほとんど変らな
かった。

本発明の金ＩＩＦｉにおいて、金属薄板の一方の表面上
のみに鉄または鉄合金被膜を形成する場合には、ブラウ
ン管にこれを組み込んだときに、電子ビームが直接当た
る面に前記被膜を形成することが、シャドウマスクの熱
輻射能を向上させる上で好ましい。

〔発明の効果〕

以上述べたように、この発明によれば、密着性および熱
放散性に優れた黒化膜を容易に形成することができ、且
つ、低熱膨張性を有する、品質の優れたシャドウマスク
用金属薄板が得られる、工業上有用な効果がもたらされ
る。

Claims

【特許請求の範囲】１、基材としての、低熱膨張性合金からなる金属薄板の
少なくとも一方の表面上に、片面当り０．１から１０μ
ｍの厚さの鉄被膜が形成されていることを特徴とする、
シャドウマスク用金属薄板。２、基材としての、低熱膨張性合金からなる金属薄板の
少なくとも一方の表面上に、片面当り０．１から１０μ
ｍの厚さの鉄合金被膜が形成されていることを特徴とす
る、シャドウマスク用金属薄板。３、前記鉄合金被膜が、Ｐ、Ｍｎ、Ｎｉ、およびＣｏの
うちの少なくとも１つ：０．１〜２０ｗｔ．％、および
、残り：鉄および不可避不純物、からなる、請求項２記
載のシャドウマスク用金属薄板。４、前記低熱膨張性合金が、Ｆｅ−Ｎｉ系のインバー合
金である、請求項１または２記載のシャドウマスク用金
属薄板。５、前記低熱膨張性合金が、Ｆｅ−Ｎｉ−Ｃｏ系のスー
パーインバー合金である、請求項１または２記載のシャ
ドウマスク用金属薄板。６、基材としての、低熱膨張性合金からなる金属薄板を
調製し、次いで、前記金属薄板に多数の孔を穿設し、次
いで、前記多数の孔が穿設された金属薄板を焼鈍し、次
いで、前記焼鈍された金属薄板を成形し、そして、次い
で、前記成形された金属薄板に黒化膜を形成することに
より、シャドウマスク用金属薄板を製造する方法におけ
る、前記金属薄板を調製する工程で、前記金属薄板の少
なくとも一方の表面上に、片面当り０．１から１０μｍ
の厚さの、鉄または鉄合金被膜を形成することを特徴と
する、シャドウマスク用金属薄板の製造方法。７、基材としての、低熱膨張性合金からなる金属薄板を
調製し、次いで、前記金属薄板に多数の孔を穿設し、次
いで、前記多数の孔が穿設された金属薄板を焼鈍し、次
いで、前記焼鈍された金属薄板を成形し、そして、次い
で、前記成形された金属薄板に黒化膜を形成することに
より、シャドウマスク用金属薄板を製造する方法におけ
る、前記金属薄板を調製する工程と、前記金属薄板に多
数の孔を穿設する工程との間で、前記金属薄板の少なく
とも一方の表面上に、片面当り０．１から１０μｍの厚
さの、鉄または鉄合金被膜を形成することを特徴とする
、シャドウマスク用金属薄板の製造方法。８、基材としての、低熱膨張性合金からなる金属薄板を
調製し、次いで、前記金属薄板に多数の孔を穿設し、次
いで、前記多数の孔が穿設された金属薄板を焼鈍し、次
いで、前記焼鈍された金属薄板を成形し、そして、次い
で、前記成形された金属薄板に黒化膜を形成することに
より、シャドウマスク用金属薄板を製造する方法におけ
る、前記金属薄板に多数の孔を穿設する工程と、前記多
数の孔が穿設された金属薄板を焼鈍する工程との間で、
前記多数の孔が穿設された金属薄板の少なくとも一方の
表面上に、片面当り０．１から１０μｍの厚さの、鉄ま
たは鉄合金被膜を形成することを特徴とする、シャドウ
マスク用金属薄板の製造方法。９、基材としての、低熱膨張性合金からなる金属薄板を
調製し、次いで、前記金属薄板に多数の孔を穿設し、次
いで、前記多数の孔が穿設された金属薄板を焼鈍し、次
いで、前記焼鈍された金属薄板を成形し、そして、次い
で、前記成形された金属薄板に黒化膜を形成することに
より、シャドウマスク用金属薄板を製造する方法におけ
る、前記多数の孔が穿設された金属薄板の焼鈍工程と、
前記焼鈍された金属薄板の成形工程との間で、前記焼鈍
された金属薄板の少なくとも一方の表面上に、片面当り
０．１から１０μｍの厚さの、鉄または鉄合金被膜を形
成することを特徴とする、シャドウマスク用金属薄板の
製造方法。１０、基材としての、低熱膨張性合金からな
る金属薄板を調製し、次いで、前記金属薄板に多数の孔
を穿設し、次いで、前記多数の孔が穿設された金属薄板
を焼鈍し、次いで、前記焼鈍された金属薄板を成形し、
そして、次いで、前記成形された金属薄板に黒化膜を形
成することにより、シャドウマスク用金属薄板を製造す
る方法における、前記焼鈍された金属薄板の成形工程と
、前記成形された金属薄板に対する黒化膜形成工程との
間で、前記成形された金属薄板の少なくとも一方の表面
上に、片面当り０．１から１０μｍの厚さの、鉄または
鉄合金被膜を形成することを特徴とする、シャドウマス
ク用金属薄板の製造方法。