JPH02270249A - シヤドウマスク用金属薄板及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ この発明は、カラーテレビの受像管に使用されるシャド
ウマスク用金属薄板およびその製造方法に関するもので
ある。

［従来の技術］ カラーテレビの受像管に使用されるシャドウマスクの材
料は、従来、一般に低炭素のアルミキルド鋼やリムド鋼
等の金属薄板が使用されていた。

しかしながら、このようなアルミキルド鋼等の金属薄板
からなるシャドウマスクには、使用中の熱膨張による変
形のために、シャドウマスクと蛍光面との間の相対的位
置関係がずれて、色ずれが発生する問題があった。

近年、カラーテレビの高品位化に伴ない、上述の色ずれ
の発生が問題になっており、これを防止するために、シ
ャドウマスクの材料として、熱膨張係数の小さい、低熱
膨張性のＦｅ　−Ｎｉ系インバー合金が注目されている
。

しかしながら、インバー合金には、次のような問題があ
る。即ち、シャドウマスクは、熱放散の促進および防錆
のために、その表面上に黒色の酸化膜（以下、黒化膜と
いう）を形成することが必要とされている。しかるに、
インバー合金は、酸化しにくいＮｉを、３０〜４５ｗｔ
、％含有しているために、形成された黒化膜が不均一に
なりやすく、そして、その黒色度が不十分であって熱輻
射率が低いために熱放散性に雪劣り、且つ、金Ｒ薄板に
対する密着性が悪く、剥離しやすい。

上述の問題を改善する方法として、例えば、次の方法が
知られている。

（１）特開昭６０−１９４０５９号公報に開示された、
インバー合金の黒化膜の形成を、水蒸気雰囲気中の加熱
炉において行ない、水蒸気の量を制御して、その前段は
酸化力の弱い雰囲気で行ない、その後段は酸化力の強い
雰囲気で行なうことからなる方法（以下、先行技術１と
いう）。

（２）特開昭６１−２０１７６４号公報に開示された、
インバー合金の黒化膜の形成を、体積で１％以上の酸素
を含む雰囲気中で行なうことからなる方法（以下、先行
技術２という）。

（３）特開昭６１−６７７５４号公報に開示された、Ｎ
ｉ：２５〜５０ｗｔ、％、希土類元素の少なくとも１種
：２０〜５０００ｐｐｍ、残り：Ｆｅからなるシャドウ
マスク用金属薄板（以下、先行技術３という）。

（４）特開昭６１−２０１７５７号公報に開示された、
Ｎｊ：３０〜４５ｖｔ、％、ＡＱ：０．３０超〜１．Ｏ
ｖｔ、％、ｓｊ：０．１〜１、Ｏｗｔ、％、Ｍｎ　：　
０．１”１．Ｏｗｔ、％、　残り二Ｆｅからなるシャド
ウマスク用金属薄板（以下、先行技術４という）。

（５）特開昭６１−４３８３８号公報に開示された、Ｎ
ｉ：２５〜５０ｗｔ１％、Ｍｎ　：　０，８〜ｌｏｗｔ
、％、　残り：Ｆｅからなるシャドウマスク用金属薄板
（以下、先行技術５という）。

［発明が解決しようとする課題］ 上述の先行技術には、次のような問題がある。

即ち、先行技術１および２においては、黒化膜の形成を
特別の雰囲気下で行なわなければならないために、従来
の黒化処理炉を使用することができない、先行技術３お
よび４によれば、黒化膜の密着性は改善されるが、その
熱輻射率が低く、熱放散性を改善することはできない。

そして、先行技術５によれば、黒化膜の熱放散性は、あ
る程度改善されても、従来のアルミキルド鋼からなる金
属薄板と比較すると、依然として熱放散性に劣る。

従って、この発明の目的は、密着性および熱放散性に優
れた黒化膜を容易に形成することができ。

且つ、ガス放出性が良好でありそして低熱膨張性を有す
る、品質の優れた、シャドウマスク用金属薄板およびそ
の製造方法を提供することにある。

［課題を解決するための手段］ この発明のシャドウマスク用金属薄板は、基材としての
、Ｆｅ　−Ｎｉ系インバー合金またはＦｅ　−Ｎｉ　−
Ｃｏ系スーパーインバー合金のような低熱膨張性合金か
らなる金属薄板の少なくとも一方の表面上に、片面当り
０．１から１０μ園の厚さのアルミニウムまたはアルミ
ニウム合金被膜が形成されていることに特徴を有するも
のである。そして、この発明のシャドウマスク用金属薄
板の製造方法は、基材としての、低熱膨張性合金からな
る金属薄板を調製し、次いで、前記金属薄板に多数の孔
を穿設し、次いで、前記多数の孔が穿設された金属薄板
を焼鈍し、次いで、前記焼鈍された金属薄板を成形し、
そして、次いで、前記成形された金属薄板に黒化膜を形
成することにより、シャドウマスク用台Ｘ薄板を製造す
る方法における、前記金Ｒ′４板の調製工程、前記金属
薄板の調製工程と前記多数の孔の穿設工程との間、前記
多数の孔の穿設工程と前記焼鈍工程との間、前記焼鈍工
程と前記成形工程との間、および、前記成形工程と前記
黒化膜の形成工程との間の何れかにおいて、前記金ｐＡ
薄板の少なくとも一方の表面上に、片面当り０．１から
１０μｍの厚さの、アルミニウムまたはアルミニウム合
金被膜を形成することに特徴を有するものである。

この発明においては、基材として低熱膨張性合金を使用
することが必要である。低熱膨張性合金として、下記第
１表に示す化学成分組成のＦｅ　−Ｎｉ系インバー合金
、または、下記第２表に示す化学成分組成のＦａ　−Ｎ
ｉ　−Ｃｏ系スーパーインバー合金を使用する。

第　　１　　表 （ｗｔ、％） （ｗｔ、幻 この発明において、上述した基材としての低熱膨張性合
金からなる金属薄板の少なくとも一方の表面−ヒに、ア
ルミニウムまたはアルミニウム合金被膜を形成する理由
は次の通りである。即ち、アルミニウムまたはアルミニ
ウム合金被膜の表面上に形成された黒化膜は、密着性、
熱放散性およびガス放出性において、従来のアルミキル
ド鋼からなる金属薄板の表面上に形成された黒化膜と同
一またはそれ以上に優れたものとなる。

アルミニウムまたはアルミニウム合金被膜の厚さは、金
ｐＡ薄板の片面当り０．１から１０μ鳳の範囲内に限定
すべきである。前記厚さが金属薄板の片面当り０．１μ
履未満では、シャドウマスクの製造工程中における熱処
理時（黒化膜形成のための熱処理を含む）に、アルミニ
ウムまたはアルミニウム合金被膜中に拡散した。金属薄
板中のＮｉ量の割合が相対的に多くなる。この結果、ア
ルミニウムまたはアルミニウム合金被膜の形成による上
述した作用に所望の効果を得ることができない。一方、
前記厚さが金属薄板の片面当り１０μｍを超えると、そ
の表面に形成された黒化膜の密着性が劣化する。

黒化膜の密着性の点から、アルミニウムまたはアルミニ
ウム合金被膜の好ましい厚さは、金属薄板の片面当り０
．５から３μ履の範囲内である。

シャドウマスクに、アルミニウムまたはアルミニウム合
金被膜が形成された金属薄板を使用すると、これをブラ
ウン管内に組み入れて使用した際のガス放出量（電子ビ
ームの照射によりシャドウマスクの温度が上昇し、シャ
ドウマスク内の吸蔵ガスが放出されるｆｆ１）を低下さ
せることができる。

アルミニウムまたはアルミニウム合金被膜の厚さを、上
述した０、５から３μｍの範囲内にすると、　前記ガス
放出量を、−段と低下させることができる。

アルミニウム合金被膜は、下記成分組成からなっている
ことが必要である。

Ｆｅ　：　０．１〜５０ｗｔ、％、および、残りニアル
ミニウムおよび不可避不純物。

合金元素としてＦｅを選定した理由は、ＡＱ−Ｆｅ合金
の酸化膜即ち黒化膜の密着性および熱輻射率が高く且つ
ガス放出性が低いからである。

Ｆｅの含有量が０．１ｗｔ、％未満では、上述した作用
に所望の効果が得られない。一方、　Ｆｅの含有量が５
０ｗｔ、％を超えても、上述した効果に格別の向上が得
られない、従って、Ｆｅの含有量は、０．１から５０ｗ
ｔ、％の範囲内に限定すべきである。

次に、この発明のシャドウマスク用金属薄板の製造方法
について述べる。

調製する。次いで、前記スラブを熱間圧延し、得られた
熱延金属板を冷間圧延しそして焼鈍して、低熱膨張性合
金からなる所定厚さの金属薄板を調製する０次いで、上
記により得られた金属薄板に、エツチングによって多数
の孔を穿設する。次いで、多数の孔が穿設された金ＩＡ
薄板を焼鈍し、次いで。

焼鈍された金属薄板を、所定形状に成形する。次いで、
所定形状に成形された金属薄板に対し黒化処理を施し、
その表面に黒化膜を形成する。

この発明においては、上述の製造工程中の、次の何れか
の工程または工程間において、金属薄板の少なくとも一
方の表面上に、片面当り０．１から１０μｍの厚さの、
　アルミニウムまたはアルミニウム合金被膜を形成する
。

（１）所定厚さの金属薄板を調製する工程。

（２）金属薄板を調製する工程と、金Ｒ薄板に多数の孔
を穿設する工程との間。

（３）金属薄板に多数の孔を穿設、する工程と、多数の
孔が穿設された金属薄板を焼鈍する工程との間。

（４）多数の孔が穿設された金属薄板の焼鈍工程と、焼
鈍された金属薄板の成形工程との間。

（５）焼鈍された金属薄板の成形工程と、成形された金
属薄板の黒化膜形成工程との間。

金属薄板の訃会合少なくとも一方の表面上に。

アルミニウムまたはアルミニウム合金被膜を形成する手
段は、真空蒸着による乾式メツキ、または、溶融メツキ
等任意の公知の方法によって行なう。

アルミニウムまたはアルミニウム合金被膜の構成を、上
記（１）の、金属薄板を調製する工程中において行なう
場合には、最終の所定厚さまで冷間圧延された金属薄板
に、前記被膜を形成することが好ましい。更に、金属薄
板に対する前記被膜の密着性を向上させるために、前記
被膜の形成後、４００〜６００℃の温度で、前記被膜に
対し拡散処理を施すことが望ましい。

アルミニウムまたはアルミニウム合金被膜の形成を、上
記（３）の、金属薄板に多数の孔を穿設する工程と、多
数の孔が穿設された金属薄板を焼鈍する工程との間にお
いて行なう場合には、焼鈍により、金属薄板を構成する
低熱膨張性合金が前記被膜中に拡散することを考慮し、
前記被膜の厚さを、０．５〜５μ■とすることが好まし
い。

なお、アルミニウムまたはアルミニウム合金被膜の形成
を、金属薄板に多数の孔を穿設する工程に先立って行な
う場合には、前記多数の孔をエツジングによって穿設す
る際における。エツジングを施さない部分を覆うための
レジストおよびエツジングを施すためのフォトマスクの
、前記被膜に対する密着性を良好ならしめるために、前
記被膜の表面粗さを、ＪＩＳで規定されている最大粗さ
で１〜５μｍ、中心線平均粗さで０．２〜０．７μｍお
よび１０点平均粗さで１〜４μ増とすることが好ましい
。

次に、この発明を、実施例により、比較例と対比しなが
ら、更に詳細に説明する。

［実施例１］ 下記第３表に示す化学成分組成の、低熱膨張性合金であ
るＦｅ　−Ｎｉ系インバー合金を、真空溶解炉によって
溶製した。

第　　３　　表 （ｉ＋ｔ、％） 上記のインバー合金を鋳造して、スラブを調製した。次
いで、前記スラブを熱間圧延して、厚さ２．２ｎｉｍの
熱延金属板を調製した。次いで、前記熱延金属板を冷間
圧延しそして焼鈍して、厚さ、０．１５＋ｎｍの金属薄
板を調製した。

このようにして調製された金属薄板に対し、放電処理（
Ａｒイオンエツチング）を施し、次いで、真空蒸着（エ
レクトロビーム加熱、　ｌ０ＫＶ、　５００鵬Ａ）によ
って、その両表面上に１本発明の範囲内の厚さを有する
アルミニウム被膜を形成した。

このようにして、アルミニウム被膜が形成された金属薄
板に対し、　Ｈ，：　７５％およびＮ２：　２５％から
なる、露天−３０℃の雰囲気で、５００℃の温度の連続
焼鈍炉中において、歪取り焼鈍を施した。次いで、歪取
り焼鈍が施された全屈薄板に対し、塩化第２鉄によるス
プレーエツチングを施して、前記金属薄板に、孔径１５
０μｍ、ピッチ３００μｍの多数の孔を穿設した。

このようにして、多数の孔が穿設された金属薄板に対し
、非酸化性雰囲気中で、１０００℃の温度により２０分
間焼鈍を施した０次いで、焼鈍された金属薄板に対し、
　曲率半径８００ｍｕ＋の曲面プレスにより成形加工を
施した。そして１次いで、成形加工の施された金属薄板
に対し、酸化性雰囲気中で、６５０℃の温度により３０
分間黒化膜形成処理を施し、かくして、第４表に示す本
発明の供試体（以下、本発明供試体という）Ｎａ２およ
び３を調製した。

そして、比較のために、ア）Ｉ＜ミニラム被膜の厚さが
本発明の範囲外である、同じく第４表に示す比較用の供
試体（以下、比較用供試体という）Ｎα１および４を調
製した。

次に、アルミニウム被膜の形成を、金属薄板の歪取り焼
鈍工程と、金属薄板に多数の孔を穿設する工程との間で
行なったほかは、本発明供試体Ｈａ２と同じ方法により
、第４表に示す本発明供試体Ｎｎ　６および７、および
、アルミニウム被膜の厚さが本発明の範囲外である比較
用供試体Ｐｋ１５および８を調製した。

次に、アルミニウム被膜の形成を、金属薄板に多数の孔
を穿設する工程と、多数の孔が穿設された金属薄板を焼
鈍する工程との間において、金属薄板の片面のみに行な
ったほかは１本発明供試体Ｎａ　２と同じ方法により、
第４表に示す、本発明供試体Ｎ（１１０，１１および、
アルミニウム被膜の厚さが本発明の範囲外である比較用
供試体ＩＪｎ９，１２を調製した。

次に、アルミニウム被膜の形成を、多数の孔が穿設され
た金属薄板の焼鈍工程と、焼鈍された金属薄板の成形工
程との間で行なったほかは、本発明供試体Ｎｏ　２と同
じ方法により、第４表に示す、本発明供試体Ｎｎ１３〜
１５、および、アルミニウム被膜の厚さが本発明の範囲
外である比較用供試体Ｎα１６をｔＡ製した。

次に、アルミニウム被膜の形成を、焼鈍された金属薄板
の成形工程と、成形された金属薄板の黒化膜形成工程と
の間において、金属薄板の片面のみに行なったほかは１
本発明供試体＆２と同じ方法により、第４表に示す、本
発明供試体Ｎα１８および１９、および、アルミニウム
被膜の厚さが本発明の範囲外である比較用供試体Ｎ１１
１７を！ｌ！ｉＩＩした。

上述のようにして調製された本発明供試体および比較用
供試体の各々について、熱放散性を示す熱輻射率、黒化
膜の密着性、および、ガス放出性を、次に述べるように
評価した９評価の結果を。

第５表に併せて示す。

（１）熱輻射率 完全に熱を吸収する基準黒体の熱輻射率を１．０とした
場合の、熱輻射の比率によって評価した。

（２）黒化膜密着性 供試体の表面にテープを貼り付け、このようにテープが
貼り付けられた供試体に対し、１８０度の角度で密着面
げを施したときのテープの剥離状態を調べ、これを評価
した。評価基準は、次の通りである。

◎：剥離が全くなく、密着性が極めて良好である。

○：剥隨がわずかで、密着性が良好である。

Δ：ｐＪ離がある程度あり、密着性がやや不良である。

×：剥離が多く、密着性が不良である。

（３）ガス放出性 供試体を、８００℃の巴度で３分間加熱したときにおけ
る、単位重量当りのガス放出量（Ｔｏｒｒ、　Ｑ　／ｇ
）によって評価した。

第４表から明らかなように、アルミニウム被膜の厚さが
本発明の範囲を外れて薄い比較用供試体Ｎｉｌ、５．９
および１７においては、黒化膜の密着性は良好であるが
、熱輻射率は０．５未満であって低い。

アルミニウム被膜の厚さが本発明の範囲を外れて厚い比
較用供試体Ｎ１１４．８．１２および１６においては。

熱輻射率は０．５以上で高いが、黒化膜の密着性は不良
である。また、上記比較用供試体においては、何れもガ
ス放出量が１．５Ｘ　１０−”Ｔｏｒｒ、　Ｑ　／ｇ以
上であある。

これに対して５本発明供試体Ｎｏ　２，３，６，７，１
０，１１゜１３．１４，１５，１ｇおよび１９において
は、何れも熱輻射率が０．５以上で高く、黒化膜の密着
性は良好であり、且つ、ガス放出量は、ｔ、ｏｘ　１０
−”Ｔｏｒｒ、　Ｒ／ｇ以下で少なく、特に、被膜の厚
さが０．５から３μｍの範囲内である本発明供試体ＮＱ
２，３，６，７．１０．１４および１９のガス放出量は
、極めて少ない。

また、金属薄板に多数の孔を穿設する工程に先立って、
金属薄板にアルミニウム被膜を形成した本発明供試体Ｎ
１１２．３．６および７においては、エツチングによっ
て穿設された孔の界面の状態は、アルミニウム被膜を形
成しない場合と変りがなく、金属薄板とアルミニウム被
膜との間において、エツチング孔が横方向に広がるサイ
ドエッチは発生しなかった。

更に、金属薄板に多数の孔を穿設した後に、金属薄板に
アルミニウム被膜を形成した本発明供試体ＮＱ１０，１
１，１３，１４，１５，１８．および】９においては、
被膜形成後３面に異常は認められず、孔の精度も良好で
あった。

［実施例２］ 金属薄板として、下記第５表に示す化学成分組成の、低
熱膨張性合金であるＦｅ　−Ｎｉ　−Ｃｏ系インバー合
金を使用したほかは、実施例１の本発明供試体＆２と同
じ方法、即ち、アルミニウム被膜の形成を、金属薄板の
調製に次いで、その両表面に行なう方法により、第６表
に示す本発明供試体Ｎα２１を調製した。そして、比較
のために５アルミニウム被膜の厚さが本発明の範囲外で
ある、同じく第６表に示す比較用供試体Ｎｎ２０および
２２を調製した。

第５表 （讐ｔ９％） 次に、アルミニウム被膜の形成を、金属薄板の歪取り焼
鈍工程と、金属薄板に多数の孔を穿設する工程との間で
行なったほかは１本発明供試体Ｎα２１と同じ方法によ
り、第６表に示す、本発明供試体Ｎα２３，２４．およ
び、アルミニウム被膜の厚さが本発明の範囲外である比
較用供試体Ｎｎ２５を調製した。

次に、アルミニウム被膜の形成を、金属薄板に多数の孔
を穿設する工程と、多数の孔が穿設された金属薄板を焼
鈍する工程との間において、金属薄板の片面のみに行な
ったほかは、本発明供試体ＮＱ２１と同じ方法により、
第６表に示す、本発明供試体Ｎα２７．２８、および、
アルミニウム被膜の厚さが本発明の範囲外である比較用
供試体Ｎα２６を！ｌｊｌ製した。

次に、アルミニウム被膜の形成を、多数の孔が穿設され
た金属薄板の焼鈍工程と、焼鈍された金属薄板の成形工
程との間において、金属薄板の片面のみに行なったほか
は１本発明供試体Ｎα２１と同じ方法により、第６表に
示す、本発明供試体Ｎα２９゜３０を調製した。

次に、アルミニウム被膜の形成を、焼鈍された金属薄板
の成形工程と、成形された金属薄板の黒化膜形成工程と
の間において、金属薄板の片面の−みに行なったほかは
、本発明供試体Ｎα２１と同じ方法により、第６表に示
す、本発明供試体Ｎｎ３２、および、アルミニウム被膜
の厚さが本発明の範囲外である比較用供試体Ｎα３１を
調製した。

上述のようにして調製された本発明供試体および比較用
供試体の各々について、実施例１と同じ　。

方法により、熱放散性を示す熱輻射率、黒化膜の密着性
、および、ガス放出性を評価した。評価結果を、第６表
に併せて示す。

第６表から明らかなように、アルミニウム被膜の厚さが
本発明の範囲を外れて薄い比較用供試体ＮＱ２０，２６
および３１においては、黒化膜の密着性は良好であるが
、熱輻射率は０．５未満であって低い。

アルミニウム被膜の厚さが本発明の範囲を外れて厚い比
較用供試体Ｎα２２および２５においては、熱輻射率は
０．６以上で高いが、黒化膜の密着性は不良である。ま
た、上記比較用供試体においては、何れもガス放出量が
２．Ｏｘ　１Ｏ−２Ｔｏｒｒ、　（１／ｇ以上である。

これに対して、本発明供試体ＮＧ２１，２３，２４，２
７．２ｇ。

２９．３０および３２においては、熱輻射率が何れも０
．６以上で高く、且つ、黒化膜の密着性も良好であり、
且つ、ガス放出量は、１．ＯＸ　１０””Ｔｏｒｒ、　
Ｑ　／ｇ以下で少なく、特に、被膜の厚さが０：５から
３μｍの範囲内である本発明供試体Ｎｎ２１，２３，２
４，２７，２８．３０および３２のガス放出量は、極め
て少ない。

また、金属薄板に多数の孔を穿設する工程に先立って、
金属薄板にアルミニウム被膜を形成した本発明供試体Ｎ
Ｑ２１，２３および２４においては、エツチングによっ
て穿設された孔の界面の状態は、アルミニウム被膜を形
成しない場合と変りがなく、金属薄板とアルミニウム被
膜との間において、エツチング孔が横方向に広がるサイ
ドエッチは発生しなかった。

更に、金属薄板に多数の孔を穿設した後に、金属薄板に
アルミニウム被膜を形成した本発明供試体Ｎα２７．２
８，２９．３０および３２においては、被膜形成後の孔
の界面に異常は認められず、孔の精度も良好であった。

［実施例３］ 金属薄板の両表面上に、３０％Ｆｅ　−Ａ　Ｑのアルミ
ニウム合金被膜を、真空蒸着によって形成したほかは、
実施例１の本発明供試体Ｎα２と同じ方法により、第７
表に示す本発明供試体Ｎｏ３４〜３６、および、アルミ
ニウム合金被膜の厚さが本発明の範囲外である比較用供
試体Ｎα３３を調製した。そして、金属薄板の両表面上
に、３０％Ｆｅ−Ａ１１ｌのアルミニウム合金被膜を真
空蒸着によって形成し、被膜形成後、歪取り焼鈍を施さ
なかったほかは、実施例１の本発明供試体Ｎａ　２と同
じ方法により、本発明供試体Ｎａ５Ｂ〜４０、およびア
ルミニウム合金被膜の厚さが本発明の範囲外である比較
用供試体ＮＣＬ３７を調製した。

上述のようにして調製された本発明供試体および比較用
供試体の各々について、実施例１と同じ方法により、熱
放散性を示す熱輻射率、黒化膜の密着性、および、ガス
放出性を評価した。評価結果を、第７表に併せて示す。

第７表から明らかなように、アルミニウム合金被膜の厚
さが本発明の範囲を外れて薄い比較用供試体Ｎα３３お
よび３７においては、黒化膜の密着性は良好であるが、
熱輻射率は低い。また、ガス放出量が２．ＯＸ　１Ｏ−
２Ｔｏｒｒ、　Ｑ　／ｇ以上である。

これに対して、本発明供試体Ｎｃ３４，３５，３６，３
８．３’ｌおよび４０においては、熱輻射率が何れも０
．６以上で高く、黒化膜の密着性も良好であり、且つ、
ガス放出量は０．５Ｘ　１０−”Ｔｏｒｒ、　Ｑ　／ｇ
以下で少ない。また、上述した本発明供試体は、何れも
、エツチングによって穿設された孔の界面の状態は、ア
ルミニウム合金被膜を形成しない場合と変りがなく、金
属薄板とアルミニウム合金被膜との間において、鳳ツチ
ング孔が横方向に広がるサイドエッチは発生しなかった
。

上述した実施例１，２および３の本発明供試体の黒化処
理性は、従来のアルミキルド鋼の場合とほとんど変らな
かった。

本発明の金属薄板において、金属薄板の一方の表面上の
みに、アルミニウムまたはアルミニウム合金被膜を形成
する場合には、ブラウン管にこれを組み込んだときに、
電子ビームが直接光たる面に前記被膜を形成することが
、シャドウマスクの熱輻射能を向上させる上で好ましい
。

［発明の効果コ 以上述べたように、この発明によれば、密着性および熱
放散性に優れた黒化膜を容易に形成することができ、且
つ、ガス放出性が良好であり、そして、低熱膨張性を有
する、品質の優れたシャドウマスク用金属薄板が得られ
る、工業上有用な効果がもたらされる。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、基材としての、低熱膨張性合金からなる金属薄板の
   少なくとも一方の表面上に、片面当り０．１から１０μ
   ｍの厚さのアルミニウム被膜が形成されていることを特
   徴とする、シャドウマスク用金属薄板。 ２、基材としての、低熱膨張性合金からなる金属薄板の
   少なくとも一方の表面上に、片面当り０．１から１０μ
   ｍの厚さのアルミニウム合金被膜が形成されていること
   を特徴とする、シャドウマスク用金属薄板。 ３、前記アルミニウム合金被膜が、 Ｆｅ：０．１〜５０ｗｔ．％、および、残り：アルミニ
   ウムおよび不可避不純物 からなる、請求項２記載のシャドウマスク用金属薄板。 ４、前記低熱膨張性合金が、Ｆｅ−Ｎｉ系のインバー合
   金である、請求項１または２記載のシャドウマスク用金
   属薄板。 ５、前記低熱膨張性合金が、Ｆｅ−Ｎｉ−Ｃｏ系のスー
   パーインバー合金である、請求項１または２記載のシャ
   ドウマスク用金属薄板。 ６、基材としての、低熱膨張性合金からなる金属薄板を
   調製し、次いで、前記金属薄板に多数の孔を穿設し、次
   いで、前記多数の孔が穿設された金属薄板を焼鈍し、次
   いで、前記焼鈍された金属薄板を成形し、そして、次い
   で、前記成形された金属薄板に黒化膜を形成することに
   より、シャドウマスク用金属薄板を製造する方法におけ
   る、前記金属薄板を調製する工程で、前記金属薄板の少
   なくとも一方の表面上に、片面当り０．１から１０μｍ
   の厚さの、アルミニウムまたはアルミニウム合金被膜を
   形成することを特徴とする、シャドウマスク用金属薄板
   の製造方法。 ７、基材としての、低熱膨張性合金からなる金属薄板を
   調製し、次いで、前記金属薄板に多数の孔を穿設し、次
   いで、前記多数の孔が穿設された金属薄板を焼鈍し、次
   いで、前記焼鈍された金属薄板を成形し、そして、次い
   で、前記成形された金属薄板に黒化膜を形成することに
   より、シャドウマスク用金属薄板を製造する方法におけ
   る、前記金属薄板を調製する工程と、前記金属薄板に多
   数の孔を穿設する工程との間で、前記金属薄板の少なく
   とも一方の表面上に、片面当り０．１から１０μｍの厚
   さの、アルミニウムまたはアルミニウム合金被膜を形成
   することを特徴とする、シャドウマスク用金属薄板の製
   造方法。 ８、基材としての、低熱膨張性合金からなる金属薄板を
   調製し、次いで、前記金属薄板に多数の孔を穿設し、次
   いで、前記多数の孔が穿設された金属薄板を焼鈍し、次
   いで、前記焼鈍された金属薄板を成形し、そして、次い
   で、前記成形された金属薄板に黒化膜を形成することに
   より、シヤドウマスク用金属薄板を製造する方法におけ
   る、前記金属薄板に多数の孔を穿設する工程と、前記多
   数の孔が穿設された金属薄板を焼鈍する工程との間で、
   前記多数の孔が穿設された金属薄板の少なくとも一方の
   表面上に、片面当り０．１から１０μｍの厚さの、アル
   ミニウムまたはアルミニウム合金被膜を形成することを
   特徴とする、シャドウマスク用金属薄板の製造方法。 ９、基材としての、低熱膨張性合金からなる金属薄板を
   調製し、次いで、前記金属薄板に多数の孔を穿設し、次
   いで、前記多数の孔が穿設された金属薄板を焼鈍し、次
   いで、前記焼鈍された金属薄板を成形し、そして、次い
   で、前記成形された金属薄板に黒化膜を形成することに
   より、シャドウマスク用金属薄板を製造する方法におけ
   る、前記多数の孔が穿設された金属薄板の焼鈍工程と、
   前記焼鈍された金属薄板の成形工程との間で、前記焼鈍
   された金属薄板の少なくとも一方の表面上に、片面当り
   ０．１から１０μｍの厚さの、アルミニウムまたはアル
   ミニウム合金被膜を形成することを特徴とする、シャド
   ウマスク用金属薄板の製造方法。 １０、基材としての、低熱膨張性合金からなる金属薄板
   を調製し、次いで、前記金属薄板に多数の孔を穿設し、
   次いで、前記多数の孔が穿設された金属薄板を焼鈍し、
   次いで、前記焼鈍された金属薄板を成形し、そして、次
   いで、前記成形された金属薄板に黒化膜を形成すること
   により、シャドウマスク用金属薄板を製造する方法にお
   ける、前記焼鈍された金属薄板の成形工程と、前記成形
   された金属薄板に対する黒化膜形成工程との間で、前記
   成形された金属薄板の少なくとも一方の表面上に、片面
   当り０．１から１０μｍの厚さの、アルミニウムまたは
   アルミニウム合金被膜を形成することを特徴とする、シ
   ャドウマスク用金属薄板の製造方法。