JPH02270706A - クリーンルーム内の荷保管装置 - Google Patents
クリーンルーム内の荷保管装置Info
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- JPH02270706A JPH02270706A JP9398989A JP9398989A JPH02270706A JP H02270706 A JPH02270706 A JP H02270706A JP 9398989 A JP9398989 A JP 9398989A JP 9398989 A JP9398989 A JP 9398989A JP H02270706 A JPH02270706 A JP H02270706A
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- air
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- clean air
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- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 claims description 8
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 abstract description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 abstract description 2
- 238000013019 agitation Methods 0.000 abstract 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 abstract 1
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 description 7
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 description 7
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 238000000638 solvent extraction Methods 0.000 description 1
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 1
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- Ventilation (AREA)
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、たとえば半導体のような塵埃を極端にきらう
製品の保管に採用されるクリーンルーム内の荷保＠装置
に関するものである。
製品の保管に採用されるクリーンルーム内の荷保＠装置
に関するものである。
従来の技術
従来、この種の装置としては、たとえば実開昭６３−６
７５０５号公報に見られる構造が提供されている。
７５０５号公報に見られる構造が提供されている。
づなわも従来構成は、箱状の本体内に、前面と後面とが
開放しかつ多数の収納空間を形成した棚を設け、この棚
の後面側にフィルタを配設覆るとともに、このフィルタ
の後方に流路を形成し、そして棚の下方に設けた送風機
の吐出部を前記流路に連通している。
開放しかつ多数の収納空間を形成した棚を設け、この棚
の後面側にフィルタを配設覆るとともに、このフィルタ
の後方に流路を形成し、そして棚の下方に設けた送風機
の吐出部を前記流路に連通している。
この従来形式によると、送風機は本体内の下部から吸引
したエアを流路内に供給し、そして供給されたエアはフ
ィルタを通ってクリーンエアどなり、このクリーンエア
が棚内を前面側に流れることで本体内のクリーン度を高
く保っている。また前面側に流出したクリーンエアは本
体内の下部へと流れ、前述したように送風機に吸引され
て循環使用される。
したエアを流路内に供給し、そして供給されたエアはフ
ィルタを通ってクリーンエアどなり、このクリーンエア
が棚内を前面側に流れることで本体内のクリーン度を高
く保っている。また前面側に流出したクリーンエアは本
体内の下部へと流れ、前述したように送風機に吸引され
て循環使用される。
発明が解決しようと覆る課題
上記の従来形式によると、循環使用されるクリーンエア
が次第に脣渇ツることになり、したがって半導体などの
ように、製品の特性上、極力温度変化を避（ブる必要が
ある荷の保管に採用することはできない。これに対して
は、本体の下部に冷却エアを供給し、この冷却■アをク
リーンエアに合流させて流路に供給づ−ることが考えら
れるが、この場合に冷却エアとクリーンエアとの撹拌が
完全に行われず、棚に吹き出されるクリーンエアに温度
差が発生することになる。
が次第に脣渇ツることになり、したがって半導体などの
ように、製品の特性上、極力温度変化を避（ブる必要が
ある荷の保管に採用することはできない。これに対して
は、本体の下部に冷却エアを供給し、この冷却■アをク
リーンエアに合流させて流路に供給づ−ることが考えら
れるが、この場合に冷却エアとクリーンエアとの撹拌が
完全に行われず、棚に吹き出されるクリーンエアに温度
差が発生することになる。
本発明の目的とするところは、循環されるクリーンエア
に一部冷却エアを合流させて、クリーンエアの昇温を防
止し得、しかも合流時の撹拌、混合を完全に行えるクリ
ーンルーム内の荷保管装置を提供する点にある。
に一部冷却エアを合流させて、クリーンエアの昇温を防
止し得、しかも合流時の撹拌、混合を完全に行えるクリ
ーンルーム内の荷保管装置を提供する点にある。
課題を解決するための手段
上記目的を達成するために本発明におけるクリーンルー
ム内の荷保管装置け、前面と後面とを開放した荷収納部
の後面側にフィルタを配設ダるとともに、このフィルタ
の後方にエア供給路を形成し、このエア供給路に吐出部
が連通し、かつ荷収納部を通ったクリーンエアを吸引部
を介して吸引自在な送風機を設け、この送風機の吸引部
側に低温エアを供給Ｊ−る低温エア供給路を設（プるど
ともに、この低温エア供給路の吐出口に対向してエア拡
散部祠を設Ｃプている。
ム内の荷保管装置け、前面と後面とを開放した荷収納部
の後面側にフィルタを配設ダるとともに、このフィルタ
の後方にエア供給路を形成し、このエア供給路に吐出部
が連通し、かつ荷収納部を通ったクリーンエアを吸引部
を介して吸引自在な送風機を設け、この送風機の吸引部
側に低温エアを供給Ｊ−る低温エア供給路を設（プるど
ともに、この低温エア供給路の吐出口に対向してエア拡
散部祠を設Ｃプている。
作用
かかる本発明の構成にＪ、ると、送風機の吐出部からの
送気はエア供給路内を流れ、そしてフィルタを通ること
でクリーン度の高いクリーンエアとなって荷収納部に後
面側から供給される。したがって荷収納部内は、後面か
ら前面へと流れるクリーンエアによって高クリーン度を
維持し得る。荷収納部を通ったクリーンエアは再び送ｆ
ｆ１ｌｆｆに吸引されて循環使用される。その際に送風
機の吸引部側に低温１ア供給路を通して適量の低温］、
アが供給されており、しかもエア拡散部祠によって拡散
されることから、クリーンエアに対して完全に撹拌、混
合されて合流したのち送［Ｆｌで吸引し得る。
送気はエア供給路内を流れ、そしてフィルタを通ること
でクリーン度の高いクリーンエアとなって荷収納部に後
面側から供給される。したがって荷収納部内は、後面か
ら前面へと流れるクリーンエアによって高クリーン度を
維持し得る。荷収納部を通ったクリーンエアは再び送ｆ
ｆ１ｌｆｆに吸引されて循環使用される。その際に送風
機の吸引部側に低温１ア供給路を通して適量の低温］、
アが供給されており、しかもエア拡散部祠によって拡散
されることから、クリーンエアに対して完全に撹拌、混
合されて合流したのち送［Ｆｌで吸引し得る。
実施例
以下に本発明の一実施例を図面に基づいて説明する。
１はクリーンルームで、大月側からフィルタ２を通して
クリーンエア３を下吹きし、下降覆るクリーンエア３を
メッシコ形式の床４を通して床下に吸引するように構成
しである。５は密閉式の荷保管装置で、箱状の本体６内
には、上下方向に複数の収納空間７を区画形成した荷収
納部（棚）８が通路９を置いて左右一対設けられる。こ
れら荷収納部８は、通路９側に向いた前面と反対側の後
面とが開放され、そして後面を覆うようにしてフィルタ
１０を配設するとともに、このフィルタ１０の後方で本
体６との間にエア供給路１１を形成している。前記本体
６内の下部には前記通路９側に連通した区画室１２が形
成８れ、この区画室１２内に、その吐出部１３が前記エ
ア供給路１１に連通した送風機１４を設けている。この
送風機１４の吸引部１５は区画室１２内に開放し、前記
荷収納部８を通って通路９に流出したクリーンエア１６
を、区画室１２を介して吸引Ｊべく構成しである。前記
床４ならびに本体６を貫通して、前記区画室１２に低温
エア１７を供給する低温１ア供給路１８が配管１９によ
って形成され、その吐出口２０に対向してゼん孔抵抗板
（１ア拡散部拐の一例）２１を設（ブでいる。この氾ん
孔抵抗板２１は、多数のゼん孔２２を有７Ｊるドーム形
状であるが、形状は種々に変更し青る。前記通路９内に
は搬人出装置３０が設【）られ、この搬入用装置３０【
よ、床レール３１と、この床レール３１にψ輪３２を介
して支持案内され、かつ両荷収納部８の前面に沿った一
定経路」ニを走行自在な台車３３と、この台車３３．１
１から立設した支持枠３４と、この支持枠３４内に配設
したガイド体に案内される昇降台３５と、この昇降台３
５上に設けたターンテーブル３６と、このターンテーブ
ル３６上に横方向移動自在に設【ブた可動台３７と、こ
の可動台３７から前方に突出し、かつ互いに接近離間自
在な一対の支持腕３８とから構成される。
クリーンエア３を下吹きし、下降覆るクリーンエア３を
メッシコ形式の床４を通して床下に吸引するように構成
しである。５は密閉式の荷保管装置で、箱状の本体６内
には、上下方向に複数の収納空間７を区画形成した荷収
納部（棚）８が通路９を置いて左右一対設けられる。こ
れら荷収納部８は、通路９側に向いた前面と反対側の後
面とが開放され、そして後面を覆うようにしてフィルタ
１０を配設するとともに、このフィルタ１０の後方で本
体６との間にエア供給路１１を形成している。前記本体
６内の下部には前記通路９側に連通した区画室１２が形
成８れ、この区画室１２内に、その吐出部１３が前記エ
ア供給路１１に連通した送風機１４を設けている。この
送風機１４の吸引部１５は区画室１２内に開放し、前記
荷収納部８を通って通路９に流出したクリーンエア１６
を、区画室１２を介して吸引Ｊべく構成しである。前記
床４ならびに本体６を貫通して、前記区画室１２に低温
エア１７を供給する低温１ア供給路１８が配管１９によ
って形成され、その吐出口２０に対向してゼん孔抵抗板
（１ア拡散部拐の一例）２１を設（ブでいる。この氾ん
孔抵抗板２１は、多数のゼん孔２２を有７Ｊるドーム形
状であるが、形状は種々に変更し青る。前記通路９内に
は搬人出装置３０が設【）られ、この搬入用装置３０【
よ、床レール３１と、この床レール３１にψ輪３２を介
して支持案内され、かつ両荷収納部８の前面に沿った一
定経路」ニを走行自在な台車３３と、この台車３３．１
１から立設した支持枠３４と、この支持枠３４内に配設
したガイド体に案内される昇降台３５と、この昇降台３
５上に設けたターンテーブル３６と、このターンテーブ
ル３６上に横方向移動自在に設【ブた可動台３７と、こ
の可動台３７から前方に突出し、かつ互いに接近離間自
在な一対の支持腕３８とから構成される。
荷２５は製品を収納自在なケース形状であって、上部の
両側面には、前記支持腕３８が下方から係合自在な被係
止突条２５ａが設けられる。前記荷収納部８の一方（他
方または両方でもよい）で下部には受は台形式の荷捌き
ｇＪＪ２３が設けられ、この荷捌き場２３に対向して本
体６には開口部２４が形成されている。４０は一定経路
上を自動走行自在な搬送台車て、横方向への可動台４１
と、この可動台４１の前面に設（プた昇降枠４２と、こ
の貸降枠４２に互いに接近１ｍ自在に設けた一対の支持
腕４３などから構成される。
両側面には、前記支持腕３８が下方から係合自在な被係
止突条２５ａが設けられる。前記荷収納部８の一方（他
方または両方でもよい）で下部には受は台形式の荷捌き
ｇＪＪ２３が設けられ、この荷捌き場２３に対向して本
体６には開口部２４が形成されている。４０は一定経路
上を自動走行自在な搬送台車て、横方向への可動台４１
と、この可動台４１の前面に設（プた昇降枠４２と、こ
の貸降枠４２に互いに接近１ｍ自在に設けた一対の支持
腕４３などから構成される。
次に上記実施例の作用を説明する。
荷保管装置５においては常に高いクリーン度が保たれて
いる。すなわち送風機１４の稼動によって吐出部１３か
ら吐出される送気はエア供給路１１内を上昇し、そして
フィルタ１０を通ってクリーン度の高いクリーンエア１
６となり、荷収納部８に対して後面側から供給される。
いる。すなわち送風機１４の稼動によって吐出部１３か
ら吐出される送気はエア供給路１１内を上昇し、そして
フィルタ１０を通ってクリーン度の高いクリーンエア１
６となり、荷収納部８に対して後面側から供給される。
したがって荷収納部８内は、後面から前面へと流れるク
リーンエア１６によって高クリーン度が維持されている
。荷収納部８を通ったクリーンエア１６は通路９内に流
入し、その一部は開口部２４を通ってクリーンルーム１
内に流出し、また残部は区画室１２に流入して送７ｉｔ
機）４に吸引され、循環使用される。その際に区画室１
２には低温エア供給路１８を通して適量の低温エア１７
が供給されており、しかも低温エア１７はせん孔数抗板
２１に衝突したのち各ぜん孔２２がら噴出されるように
拡散されることから、前述のように通路９側から流入し
てぎたクリーンエア１６に対して完全に撹拌、混合され
て合流することになる。したがって荷収納部８に対して
後面側から供給されるクリーンエア１６は、適温でかつ
温度差は発生しない。
リーンエア１６によって高クリーン度が維持されている
。荷収納部８を通ったクリーンエア１６は通路９内に流
入し、その一部は開口部２４を通ってクリーンルーム１
内に流出し、また残部は区画室１２に流入して送７ｉｔ
機）４に吸引され、循環使用される。その際に区画室１
２には低温エア供給路１８を通して適量の低温エア１７
が供給されており、しかも低温エア１７はせん孔数抗板
２１に衝突したのち各ぜん孔２２がら噴出されるように
拡散されることから、前述のように通路９側から流入し
てぎたクリーンエア１６に対して完全に撹拌、混合され
て合流することになる。したがって荷収納部８に対して
後面側から供給されるクリーンエア１６は、適温でかつ
温度差は発生しない。
たとえば搬送台車４０により搬送されてきた荷２５は、
昇降枠４２の上昇と、可動台４１の前進動と、Ｒ降枠４
２の下降とによって荷捌き場２３に卸し１ｑる。
昇降枠４２の上昇と、可動台４１の前進動と、Ｒ降枠４
２の下降とによって荷捌き場２３に卸し１ｑる。
そして搬入用装置３０にお【プる台車３３の走（１ｖＪ
と、昇降台３５の昇ｆｉｌｅと、ターン゛ｉ−−プル３
６の回転動と、可動台３７の前進、後退勤と、支持腕４
３の接近離間動との組合せ動作によって、荷捌き場２３
上の荷２５を目的とづる収納空間７に格納し得る。なＪ
３逆作動によって、目的とづる収納空間７の荷２５を搬
送台車４０に渡−ｉ得る。
と、昇降台３５の昇ｆｉｌｅと、ターン゛ｉ−−プル３
６の回転動と、可動台３７の前進、後退勤と、支持腕４
３の接近離間動との組合せ動作によって、荷捌き場２３
上の荷２５を目的とづる収納空間７に格納し得る。なＪ
３逆作動によって、目的とづる収納空間７の荷２５を搬
送台車４０に渡−ｉ得る。
発明の効果
上記構成の本発明によると、送風機の吐出部からの送気
はエア供給路内を流れ、そしてフィルタを通ることでク
リーン度の高いクリーン１アとなって荷収納部に後面側
から供給でき、したがって荷収納部内は、後面から前面
へと流れるクリーンエアによって高クリーン度を維持覆
ることができる。そして荷収納部を通ったクリーンエア
は再び送風機で吸引して循環使用づ−ることができる。
はエア供給路内を流れ、そしてフィルタを通ることでク
リーン度の高いクリーン１アとなって荷収納部に後面側
から供給でき、したがって荷収納部内は、後面から前面
へと流れるクリーンエアによって高クリーン度を維持覆
ることができる。そして荷収納部を通ったクリーンエア
は再び送風機で吸引して循環使用づ−ることができる。
その際に、送７！１１１１の吸引部側に低温エア供給路
を通しで適量の低温エアを供給できて、循環使用される
クリーン１アのＭＷを防止でき、しかも低温エアをエア
拡散部材によって拡散できることから、クリーンエアに
対して完全に撹拌、混合（〕で合流したのち送風機に吸
引さゼることがてき、したがって荷収納部には温度差の
発生しないクリーンエアを供給することができる。また
エア拡散部材を配設することは、取付けや調整を簡単に
できるとともに安価に捉供できる。
を通しで適量の低温エアを供給できて、循環使用される
クリーン１アのＭＷを防止でき、しかも低温エアをエア
拡散部材によって拡散できることから、クリーンエアに
対して完全に撹拌、混合（〕で合流したのち送風機に吸
引さゼることがてき、したがって荷収納部には温度差の
発生しないクリーンエアを供給することができる。また
エア拡散部材を配設することは、取付けや調整を簡単に
できるとともに安価に捉供できる。
図面は本発明の一実施例を示し、第１図は縦断側面図、
第２図は要部の斜視図、第３図は要部の縦断面図である
。 ５・・・荷保管装置、６・・・本体、７・・・収納空間
、８・・・荷収納部、１０・・・フィルタ、１１・・・
エア供給路、１２・・・区画室、１３・・・［■出品、
１４・・送風機、１５・・吸引部、１６・・・クリーン
エア、１７・・・低温１ア、１８・・・低温］、ノ′供
給路、２０・・・吐出「Ｊ、２１・・・μん孔数抗板（
コニフ′拡散部材）、２２・・・ｔ！Ｖｖ孔、２３・・
・荷捌さ一場、２５・・・傭、３０・・搬入用装置、４
０・・・搬送台車。 代理人 森 本 義 弘
第２図は要部の斜視図、第３図は要部の縦断面図である
。 ５・・・荷保管装置、６・・・本体、７・・・収納空間
、８・・・荷収納部、１０・・・フィルタ、１１・・・
エア供給路、１２・・・区画室、１３・・・［■出品、
１４・・送風機、１５・・吸引部、１６・・・クリーン
エア、１７・・・低温１ア、１８・・・低温］、ノ′供
給路、２０・・・吐出「Ｊ、２１・・・μん孔数抗板（
コニフ′拡散部材）、２２・・・ｔ！Ｖｖ孔、２３・・
・荷捌さ一場、２５・・・傭、３０・・搬入用装置、４
０・・・搬送台車。 代理人 森 本 義 弘
Claims (1)
- １、前面と後面とを開放した荷収納部の後面側にフィル
タを配設するとともに、このフィルタの後方にエア供給
路を形成し、このエア供給路に吐出部が連通し、かつ荷
収納部を通ったクリーンエアを吸引部を介して吸引自在
な送風機を設け、この送風機の吸引部側に低温エアを供
給する低温エア供給路を設けるとともに、この低温エア
供給路の吐出口に対向してエア拡散部材を設けたことを
特徴とするクリーンルーム内の荷保管装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1093989A JP2544202B2 (ja) | 1989-04-13 | 1989-04-13 | クリ―ンル―ム内の荷保管装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1093989A JP2544202B2 (ja) | 1989-04-13 | 1989-04-13 | クリ―ンル―ム内の荷保管装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02270706A true JPH02270706A (ja) | 1990-11-05 |
| JP2544202B2 JP2544202B2 (ja) | 1996-10-16 |
Family
ID=14097812
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1093989A Expired - Fee Related JP2544202B2 (ja) | 1989-04-13 | 1989-04-13 | クリ―ンル―ム内の荷保管装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2544202B2 (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60138136U (ja) * | 1984-02-27 | 1985-09-12 | 株式会社ダイフク | クリ−ンル−ム内の荷搬送設備 |
-
1989
- 1989-04-13 JP JP1093989A patent/JP2544202B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60138136U (ja) * | 1984-02-27 | 1985-09-12 | 株式会社ダイフク | クリ−ンル−ム内の荷搬送設備 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2544202B2 (ja) | 1996-10-16 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |