JPH06345206A - クリーン装置付き荷保管設備 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 全体構造を簡素化、コンパクト化し得るとと
もに、スペース効率を向上し得、しかも棚に対しては、
汚れたエアが漏れることなく、かつ形式や規模に関係な
く常にクリーンエアを均一状に供給し得るクリーン装置
付き荷保管設備を提供する点にある。 【構成】 各送風機23の稼動によって空間16内のエアを
吸引し得、吐出される送気を、フィルタ22を通してクリ
ーン度の高いクリーンエアにし、棚14に対して後面側か
ら供給し得る。各収納空間13内に格納されている荷５
は、後面から前面へと流れるクリーンエアによって高ク
リーン度に維持し得る。空間16が大気圧状であり、フィ
ルタを通らない汚れたエアが棚側へ漏れたり、カバー11
の接合部から外部へ漏れない。棚14の下方に各種装置を
配設するスペースを不要にし得る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、たとえば半導体のよう
な塵埃を極端にきらう製品の保管に採用されるクリーン
装置付き荷保管設備に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、この種の設備としては、たとえば
特開平３−152004号公報に見られるクリーンルーム内の
荷保管設備が提供されている。この従来構成は、前面と
後面とを開放した荷収納部の後面側にフィルタを配設す
るとともに、このフィルタの後方に隔壁を介してエア供
給路を形成している。そして荷収納部の下方に、前記エ
ア供給路に吐出部が連通しかつ荷収納部を通ったクリー
ンエアを吸引部を介して吸引自在な送風機を設け、前記
隔壁の後方に本体外板を設けて両者間にエア回収路を形
成するとともに、このエア回収路を、前記送風機を配設
した区画室内に連通している。

【０００３】この従来形式によると、送風機の吐出部か
らの送気はエア供給路内を上方へと流れ、そして各フィ
ルタを通ってクリーン度の高いクリーンエアとなり荷収
納部に後面側から供給され、以て荷収納部内は、後面か
ら前面へと流れるクリーンエアによって高クリーン度を
維持し得る。また荷収納部を通ったクリーンエアは再び
送風機に吸引されて循環使用される。

【０００４】その際に送風機の吸引力はエア回収路にも
作用して、このエア回収路を陰圧化（負圧化）してお
り、したがって隔壁の接合部からエア回収路に漏れた汚
れたエアは、この吸引力により速やかに送風機に吸引さ
れることになり、外部へ流出することはない。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかし、上記した従来
構成によると、エア供給路が高く陽圧化（高加圧化）さ
れていることから、荷収納部を形成する後枠部とフィル
タとの接合部の隙間から、フィルタを通らない汚れたエ
アが漏れて（リーク）荷収納部へと流出する恐れがあ
り、そのため接合部には、コーキングなど面倒で高価な
密閉処理が必要であった。さらにエア供給路の背面側に
隔壁によるエア回収路を形成することで、構造が複雑に
なっていた。また荷収納部の下方に、送風機を配設する
ための区画室を形成したことで、全体の大型化を招くと
ともに、荷収納部の最下段のレベルが高くなってスペー
ス効率が悪くなる。なお、荷収納部の上方に送風機など
を配設した形式も考えられるが、この形式も前述の下方
に配設した形式と同様に、全体の大型化を招くことにな
る。

【０００６】本発明の目的とするところは、全体構造を
簡素化、コンパクト化し得るとともに、スペース効率を
向上し得、しかも棚に対しては、汚れたエアが漏れるこ
となく、かつ形式や規模に関係なく常にクリーンエアを
均一状に供給し得るクリーン装置付き荷保管設備を提供
する点にある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成すべく本
第１発明のクリーン装置付き荷保管設備は、上下方向に
複数段の収納空間を有する棚を設け、この棚は前面を開
放するとともに、後面側は空間を置いてカバーにより閉
塞し、前記空間内に、送風機とフィルタとからなるクリ
ーンエア供給ユニットを上下複数段に設けるとともに、
カバー側にエア取り入れ口を設けている。

【０００８】そして本第２発明は、上記した第１発明の
クリーン装置付き荷保管設備において、各クリーンエア
供給ユニットのそれぞれに、空間側からのエア吸入量を
調節するエア吸入量調節装置を設けている。

【０００９】さらに本第３発明は、上記した第２発明の
クリーン装置付き荷保管設備において、エア吸入量調節
装置は、開口率の異なる複数種のメッシュ板からなり、
選択した一枚のメッシュ板を、クリーンエア供給ユニッ
トの吸引部に対向して、クリーンエア供給ユニットの本
体に着脱自在に構成している。

【００１０】

【作用】上記した本第１発明の構成によると、各送風機
の稼動によって空間内のエアを吸引し得、そして吐出さ
れる送気を、フィルタを通してクリーン度の高いクリー
ンエアにし得、棚に対して後面側から供給し得る。した
がって棚の各収納空間内に格納されている荷は、後面か
ら前面へと流れるクリーンエアによって高クリーン度に
維持し得る。

【００１１】クリーンエア供給ユニットの運転時に、空
間内は大気圧に近い状態（各送風機の吸引力により少し
負圧化されている。）であることから、この空間内のク
リーン度の低いエアが、クリーンエア供給ユニットを通
らずに棚側に漏れたり、カバーの接合部から外部に漏れ
たりしない。また棚の後面に送風機を有するクリーンエ
ア供給ユニットを上下複数段に設けることで、棚の下方
に各種装置（送風機）用のスペースを不要にして、全体
をコンパクトに形成し得るとともに、最下段の収納空間
の位置を低くし得る。

【００１２】そして上記した本第２発明の構成による
と、空間へのエア取り入れ口に近い側のクリーンエア供
給ユニットにおけるエア吸入量調節装置は、その開口率
を低く調節し得、そして中間部のクリーンエア供給ユニ
ットでは開口率を中間に調節し得、またエア取り入れ口
から遠い側のクリーンエア供給ユニットでは開口率を高
く調節し得る。このようにエア取り入れ口に近いクリー
ンエア供給ユニットほど吸入量を絞ることで、各送風機
の稼動によってエア取り入れ口から空間内に吸引された
エアは、各クリーンエア供給ユニットの吸引部に均一状
に吸引される。

【００１３】しかも複数の送風機を設けたことで生じる
ところの、各収納空間に対するエア圧のばらつき（クリ
ーンエア供給の不均一）を、各エア吸入量調節装置の調
節により修正し得、以て各クリーンエア供給ユニットか
ら棚側に向けてクリーンエアを均一状に供給し得る。

【００１４】さらに上記した本第３発明の構成による
と、開口率の異なる複数種のメッシュ板を選択して着装
することで、吸入量の絞り調節を行え得る。

【００１５】

【実施例】以下に本発明の第一の実施例を図１、図２に
基づいて説明する。１はクリーンルームで、天井側（あ
るいは側壁側など）からフィルタ２を通してクリーンエ
ア３が下吹きされ、下降するクリーンエア３がメッシュ
形式の床４を通して床下に吸引されるように構成してあ
る。10は密閉式のクリーン装置付き荷保管設備で、箱状
の本体外板（カバーの一例）11内には、棚板12により上
下方向に複数の収納空間13を区画形成した棚14が、前面
を通路15に対向させて左右一対に設けられる。

【００１６】これら棚14は、通路15側に向いた前面と、
反対側の後面とが開放され、そして後面と前記本体外板
11の後板部11Ａとの間に空間16が形成されるとともに、
この空間16内に、前記荷収納部14の後面を覆うようにし
てクリーンエア供給ユニット20が上下五段（複数段）に
設けられる。ここでは横方向で二列のクリーンエア供給
ユニット20を示しているが、これは一列や二列以上であ
ってもよい。

【００１７】なお前記本体外板11は、前述した後板部11
Ａと、天板部11Ｂと、側板部11Ｃと、底板部11Ｄと、棚
14の下方に位置する仕切り板部11Ｅならびに前板部11Ｆ
などにより形成され、これら11Ａ〜11Ｆの適宜なもの
で、カバーの一部が形成される。

【００１８】前記クリーンエア供給ユニット20は、前面
が開放した箱枠状の本体21と、この本体21の前面側を覆
うべく設けたフィルタ22と、本体21の後面側に設けた送
風機（ファン）23などにより構成される。この送風機23
は、その吐出部24が前記フィルタ22に向き、そして吸引
部25が前記空間16に開口されている。

【００１９】前記通路15内には搬入出装置30が設けられ
る。この搬入出装置30は、通路15内に奥部に設けた上下
方向の支持枠31と、この支持枠31内に設けた昇降動装置
に連動した昇降台32と、この昇降台32上に設けられかつ
通路15のほぼ全長に亘るガイド部（レール）33と、この
ガイド部33に支持案内されて棚14の前面に沿って移動自
在な可動台34と、この可動台34上に設けた出し入れ具35
などにより構成されている。そして出し入れ具35は、リ
ンク機構36により横方向に出退自在に構成されている。

【００２０】前記天板部11Ｂで空間16の上部に対向する
部分と、仕切り板部11Ｅで空間16の下部に対向する部分
とには、それぞれエア取り入れ口17，18Ａが形成され、
また前板部11Ｆには、通路15と前記空間16の下部とを連
通するエア取り入れ口18Ｂが形成されており、さらに底
板部11Ｄで通路15に対向する部分にはエア流出口19が形
成されている。なお各口17，18Ａ，18Ｂ，19は多孔状や
スリット状に形成されている。５は取り扱われる荷を示
す。

【００２１】前記クリーン装置付き荷保管設備10では、
荷５の入出庫を行うために、搬入装置や搬出装置が設け
られる。これら搬入装置や搬出装置は種々の形式があ
り、たとえば図１の仮想線で示すように、一方の棚14に
おいて上段の収納空間13の一部を利用して搬入装置６が
設けられ、そして下段の収納空間13の一部を利用して搬
出装置７が設けられている。その際に搬入装置６や搬出
装置７は開閉自在な扉体などを有し、また搬入装置６の
入口部外方には、たとえば自走台車形式の荷搬送手段８
が配設される。

【００２２】次に上記した第一の実施例の作用を説明す
る。クリーン装置付き荷保管設備10においては常に高い
クリーン度が保たれている。すなわち各送風機23の稼動
によって空間16内のエアが吸引部25から吸引され、そし
て吐出部24から本体21内に吐出される。この吐出される
送気は、対向しているフィルタ22を通ってクリーン度の
高いクリーンエア37となり、棚14に対して後面側から供
給される。

【００２３】したがって棚14の各収納空間13内に格納さ
れている荷５は、後面から前面へと流れるクリーンエア
37によって高クリーン度が維持されている。そして棚14
を通ったクリーンエア37は通路15内に流入したのち下方
へと流れ、その一部はエア流出口19を通って床４下へ流
出し、また残りの大部分は、送風機23群の稼動により生
じた吸引力によってエア取り入れ口18Ｂ，18Ａを通って
空間16内に流入し、循環使用される。その際に天井側か
らのクリーンエア３の一部が、エア取り入れ口17を通っ
て空間16内に流入することで補充される。

【００２４】前述したクリーンエア供給ユニット20の運
転時に空間16内は、送風機23群の吸引力により少し負圧
化されているがほぼ大気圧状であることから、この空間
16内のクリーン度の低いエアが、クリーンエア供給ユニ
ット20を通らずに棚14側に漏れたり、後板部11Ａの接合
部から外部に漏れたりしない。そして棚14の下方に各種
装置（送風機）用のスペースを不要にして、全体をコン
パクトに形成し得るとともに、最下段の収納空間13の位
置を低くし得る。

【００２５】たとえば荷搬送手段８により搬送されてき
た入庫しようとする荷５は、搬入装置６を介して搬入出
装置30に受け取られる。そして搬入出装置30における昇
降台32の昇降動と、可動台34の移動と、出し入れ具35の
受け渡し動（図２における実線と仮想線参照。）との組
合せ動作によって、目的とする収納空間13に納められ
る。また搬入出装置30の逆作動によって、目的とする収
納空間13の荷５を搬出装置７を介して出庫し得る。

【００２６】上記の第一の実施例では、通路15内に流入
したのち下方へと流れるクリーンエア37の大部分を、エ
ア取り入れ口18Ｂ，18Ａを通して空間16内に流入させ循
環使用しているが、これは図３で示す第二の実施例のよ
うに、全てをエア流出口19から床４下へ流出させ、そし
てエア取り入れ口17から空間16内にエアを取り入れても
よい。

【００２７】前記クリーンエア供給ユニット20としては
種々な構造のものが採用され、またエア取り入れ口17，
18Ａ，18Ｂの形成位置は任意となる。すなわち、図４、
図５で示す第三の実施例において、各クリーンエア供給
ユニット20のそれぞれには、空間16側からのエア吸入量
を調節するエア吸入量調節装置40が設けられる。

【００２８】ここでエア吸入量調節装置40は、開口率
（たとえば孔数）の異なる複数種のメッシュ板41Ａ，41
Ｂ，41Ｃ・・・41Ｎからなり、選択した一枚のメッシュ
板を、クリーンエア供給ユニット20の吸引部25に対向し
て、クリーンエア供給ユニット20の本体21に着脱自在に
構成している。ここで着脱は、メッシュ板41Ａ，41Ｂ，
41Ｃ・・・41Ｎの外縁部に外側から通したボルト体42
を、本体21における吸引部25の外周に固定したナット体
43に螺合させることで行える。

【００２９】なお本体21の吐出部24にはパンチングメタ
ル44が設けられ、このパンチングメタル44は棚14側に対
向されている。そして本体21の外側コーナ部は円弧面45
に形成されている。さらに底板部11Ｄ側にエア取り入れ
口46が形成されている。

【００３０】この第三の実施例によると、空間16へのエ
ア取り入れ口18Ａに近い下部のクリーンエア供給ユニッ
ト20に開口率の低いメッシュ板41Ｃが取り付けられ、そ
して中間部のクリーンエア供給ユニット20に開口率が中
間のメッシュ板41Ａが取り付けられ、またエア取り入れ
口18Ａから遠い上部のクリーンエア供給ユニット20に開
口率の高いメッシュ板41Ｂが取り付けられる。

【００３１】これにより、各送風機23の稼動によってエ
ア取り入れ口18Ｂ，18Ａから空間16内に吸引されたエア
は、下部ほど吸入量が絞られていることから、各クリー
ンエア供給ユニット20の吸引部25に均一状に吸引される
ことになる。また第一や第二の実施例では、複数の送風
機23を設けたことで、各収納空間13に対するエア圧のば
らつき（クリーンエア供給の不均一）を生じるが、これ
は各エア吸入量調節装置40の調節によって修正し得、以
て各クリーンエア供給ユニット20から棚14側に向けてク
リーンエア37を均一状に供給し得る。

【００３２】これらのことにより、エア取り入れ口が異
なる形式の変化や、規模が異なる高さの変化などに関係
なく、棚14に対して常にクリーンエア37を均一状に供給
し得る。

【００３３】なおエアの補充は、図４の実線イで示すよ
うに底板部11Ｄに形成したエア取り入れ口46を通してク
リーンルーム１側から、あるいは図４の実線ロで示すよ
うに底板部11Ｄに形成したエア取り入れ口46を通して床
４側から、または図４の仮想線ハで示すように後板部11
Ａに形成したエア取り入れ口（図示せず。）を通してク
リーンルーム１側から、さらにはこれらの組み合わせに
より行われる。

【００３４】上記の各実施例で示すように、通路15内に
流入したのち下方へと流れるクリーンエア37の大部分ま
たは全てをエア流出口19から床４下へ流出させ、そして
補充などによりクリーンルーム１側のエアを使用するこ
とにより、送風機23群の運転熱によりエアが必要以上に
加熱されることを抑え、荷５に対する熱影響を防止し得
る。

【００３５】上記の各実施例では、左右一対の棚14間に
搬入出装置30を配設した形式を示したが、これは一方の
棚14と搬入出装置30とを組み合わせた形式、一方の棚14
のみの形式などであってもよい。また搬入出装置30とし
ては、たとえば全体が走行するクレーン形式や、移動や
走行を行わない定置形式など種々な形式が採用される。
さらにクリーン装置付き荷保管設備10をクリーンルーム
１内に設置したが、これは通常の室に設置してもよい。

【００３６】上記の第三の実施例では、エア吸入量調節
装置40として開口率の異なる複数種のメッシュ板41Ａ，
41Ｂ，41Ｃ・・・41Ｎを示したが、本第２発明において
は、本体21側に多数の孔による吸引部25を形成し、そし
て本体21に対して回転またはスライド自在な多孔の可動
板を設けて、その回転またはスライドにより両孔の連通
面積を変化させて開口率を変えるようにしたエア吸入量
調節装置40、吸引部25に対して板を接近離間自在とし
て、その隙間を変化させて開口率を変えるようにしたエ
ア吸入量調節装置40など、別な形式を採用し得る。

【００３７】

【発明の効果】上記構成の本第１発明によると、空間内
が大気圧状であることから、フィルタを通らない汚れた
エアが棚側へ漏れたり、カバーの接合部から外部へ漏れ
ることがなく、したがってコーキングなどによる密閉処
理や特別な漏れ防止構造を不要にできて、全体を、構造
簡単にして安価に提供できる。またクリーンエア供給ユ
ニットを上下複数段に設けることで、棚の上方や下方に
は、送風機など各種装置を配設するスペースを不要にで
き、全体構造の簡素化、高さを低くできることによるコ
ンパクト化などを図ることができるとともに、棚の最下
段収納空間のレベルを低くできてスペース効率を向上で
きる。

【００３８】そして上記構成の本第２発明によると、各
エア吸入量調節装置を操作して開口率を調節すること
で、各送風機の稼動によってエア取り入れ口から空間内
に吸引されたエアを、エア取り入れ口に近いクリーンエ
ア供給ユニットほど吸入量を絞って、各クリーンエア供
給ユニットの吸引部に均一状に吸引させることができ、
さらに複数の送風機によるエア圧のばらつきをエア吸入
量調節装置の操作により修正でき、したがって、棚に対
するクリーンエアの供給は、エア取り入れ口が異なる形
式の変化や、規模が異なる高さの変化などに関係なく、
しかも棚の上部や下部に関係なく、常に均一状に行うこ
とができる。

【００３９】さらに上記構成の本第３発明によると、開
口率の異なる複数種のメッシュ板を選択して着装するこ
とで、吸入量の絞り調節を簡単にかつ安価にして行うこ
とができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第一の実施例を示し、クリーン装置付
き荷保管設備の一部切り欠き正面図である。

【図２】同クリーン装置付き荷保管設備の横断平面図で
ある。

【図３】本発明の第二の実施例を示し、クリーン装置付
き荷保管設備の一部切り欠き正面図である。

【図４】本発明の第三の実施例を示し、クリーン装置付
き荷保管設備の一部切り欠き正面図である。

【図５】同クリーンエア供給ユニット部分の一部切り欠
き正面図である。

【符号の説明】

１ クリーンルーム 10 クリーン装置付き荷保管設備 11 本体外板（カバー） 12 棚板 13 収納空間 14 棚 15 通路 16 空間 17 エア取り入れ口 18Ａ エア取り入れ口 18Ｂ エア取り入れ口 19 エア流出口 20 クリーンエア供給ユニット 21 本体 22 フィルタ 23 送風機 24 吐出部 25 吸引部 30 搬入出装置 37 クリーンエア 40 エア吸入量調節装置 41Ａ メッシュ板 41Ｂ メッシュ板 41Ｃ メッシュ板 46 エア取り入れ口

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 上下方向に複数段の収納空間を有する棚
   を設け、この棚は前面を開放するとともに、後面側は空
   間を置いてカバーにより閉塞し、前記空間内に、送風機
   とフィルタとからなるクリーンエア供給ユニットを上下
   複数段に設けるとともに、カバー側にエア取り入れ口を
   設けたことを特徴とするクリーン装置付き荷保管設備。
2. 【請求項２】 各クリーンエア供給ユニットのそれぞれ
   に、空間側からのエア吸入量を調節するエア吸入量調節
   装置を設けたことを特徴とする請求項１記載のクリーン
   装置付き荷保管設備。
3. 【請求項３】 エア吸入量調節装置は、開口率の異なる
   複数種のメッシュ板からなり、選択した一枚のメッシュ
   板を、クリーンエア供給ユニットの吸引部に対向して、
   クリーンエア供給ユニットの本体に着脱自在に構成した
   ことを特徴とする請求項２記載のクリーン装置付き荷保
   管設備。