JPH0227170A - クライオポンプ - Google Patents
クライオポンプInfo
- Publication number
- JPH0227170A JPH0227170A JP17505788A JP17505788A JPH0227170A JP H0227170 A JPH0227170 A JP H0227170A JP 17505788 A JP17505788 A JP 17505788A JP 17505788 A JP17505788 A JP 17505788A JP H0227170 A JPH0227170 A JP H0227170A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cryopanel
- screen
- temperature
- panel
- cryopump
- Prior art date
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- Granted
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- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はクライオポンプに係り、特に排気速度の維持に
好適なりライオポンプに関する。
好適なりライオポンプに関する。
従来の装置は、ブイ、デイ、アイ低温工学ハンドブック
（内田老鶴圃新社昭和５７年９月１５日発行）の第３７
２頁において論じられている。
（内田老鶴圃新社昭和５７年９月１５日発行）の第３７
２頁において論じられている。
上記従来技術は、熱容量を小さくするため等肉化した第
１パネルの真円度保持について配慮がされておらず、第
１パネルと、真空槽が接触して熱リークが生じたり、第
１パネルと排気速度制御板とが接触して、塵が発生した
り、制御板の動きをロックしたり、第１パネルと排気速
度制御板とに過大のすき間が生じて、排気速度を絞れな
くなる等の問題があった。
１パネルの真円度保持について配慮がされておらず、第
１パネルと、真空槽が接触して熱リークが生じたり、第
１パネルと排気速度制御板とが接触して、塵が発生した
り、制御板の動きをロックしたり、第１パネルと排気速
度制御板とに過大のすき間が生じて、排気速度を絞れな
くなる等の問題があった。
本発明の目的は、排気速度可変形のクライオポンプの排
気速度の可変範囲を拡大すること及び、塵の発生を抑制
したクライオポンプを提供することにある。
気速度の可変範囲を拡大すること及び、塵の発生を抑制
したクライオポンプを提供することにある。
上記目的は、排気速度制御板の動きに対し、接触せず、
薄肉の第１パネルとのすき間が極小になる様に拘束板を
第１パネルに設けることにより、達成される。
薄肉の第１パネルとのすき間が極小になる様に拘束板を
第１パネルに設けることにより、達成される。
本発明のクライオポンプは、複数の低温度レベルの低温
面、より温度の低い低温面に熱的に一体化した極低温ク
ライオパネル、該極低温クライオパネルを包含し、かつ
、より温度の高い円筒部を有した低温クライオパネルよ
り成るクライオポンプにおいて、該低温クライオパネル
の円筒部に、円筒部断面の真円度を保持する様に形状保
持手段を設けたことを特徴とする。
面、より温度の低い低温面に熱的に一体化した極低温ク
ライオパネル、該極低温クライオパネルを包含し、かつ
、より温度の高い円筒部を有した低温クライオパネルよ
り成るクライオポンプにおいて、該低温クライオパネル
の円筒部に、円筒部断面の真円度を保持する様に形状保
持手段を設けたことを特徴とする。
尚、形状保持手段を介して、この低温クライオパネルを
構成するパネルの一部を保持固定することが好ましい。
構成するパネルの一部を保持固定することが好ましい。
第１パネルの断面円形形状が変形しない様に第１パネル
の外側又は内側に設けた薄肉の拘束板により、第１パネ
ルは真円度を保つことができるので第１パネルの断面円
形と同心上で回転する排気速度制御板の外周部と第１パ
ネル間のすき間は、一定間隙に且つ最小に形成され排気
速度を極小値まで絞ることができるので、排気速度の可
変範囲を拡大できるとともに１両者は非接触状態を維持
できるので、塵の発生を防止できる。
の外側又は内側に設けた薄肉の拘束板により、第１パネ
ルは真円度を保つことができるので第１パネルの断面円
形と同心上で回転する排気速度制御板の外周部と第１パ
ネル間のすき間は、一定間隙に且つ最小に形成され排気
速度を極小値まで絞ることができるので、排気速度の可
変範囲を拡大できるとともに１両者は非接触状態を維持
できるので、塵の発生を防止できる。
〔実施例〕
以下、本発明の一実施例を第１図により説明する。ヘリ
ウムガス等の作動流体の断熱膨張等により寒冷を発生す
る冷凍機１の第１温度ステージ２及び第２温度ステージ
３には、それぞれ、第１クライオパネル４及び第２クラ
イオパネル５を熱接触良好に一体化している。第１クラ
イオパネル４の端部に、メネジ溝付きのノブ６を第１ク
ライオパネル４の内側にハンダ付又は銀ろう付は等によ
って、十字方向４ヶ号に設け、これに、円錐状コーン形
のパネル７を付けたバッフル８をネジ９で熱接触良く一
体化している。これらのクライオパネルは、真空槽１０
で大気と隔離し、フランジ１］で真空排気対象物に取り
付ける。また、バッフル８の中央下部に回転体］２を設
け、これにスクリーン１３を取付けて、パンフル８の一
半径力向に固定したスクリーン始点体１４を始点にスク
リーン１３を扉状にＯ°〜３６０°の範囲で開閉する。
ウムガス等の作動流体の断熱膨張等により寒冷を発生す
る冷凍機１の第１温度ステージ２及び第２温度ステージ
３には、それぞれ、第１クライオパネル４及び第２クラ
イオパネル５を熱接触良好に一体化している。第１クラ
イオパネル４の端部に、メネジ溝付きのノブ６を第１ク
ライオパネル４の内側にハンダ付又は銀ろう付は等によ
って、十字方向４ヶ号に設け、これに、円錐状コーン形
のパネル７を付けたバッフル８をネジ９で熱接触良く一
体化している。これらのクライオパネルは、真空槽１０
で大気と隔離し、フランジ１］で真空排気対象物に取り
付ける。また、バッフル８の中央下部に回転体］２を設
け、これにスクリーン１３を取付けて、パンフル８の一
半径力向に固定したスクリーン始点体１４を始点にスク
リーン１３を扉状にＯ°〜３６０°の範囲で開閉する。
第１クライオパネル４の内側には、真円度を保持するた
めに、補強リング１５を一体化している。
めに、補強リング１５を一体化している。
本クライオポンプの運転中は、第１クライオパネル４を
約８０Ｋまで冷却し、被排気ガス中の高沸点ガス例えば
、水、炭酸ガス等を凝縮排気し、約２０Ｋに冷却した第
２クライオパネル５で、低沸点ガス例えば、窒素、酸素
、アルゴン、水素等のガスを凝縮・吸着排気する。スク
リーン」−３を閉じた状態では、第２クライオパネル５
が全面に渡って真空排気対象物に対面するので排気速度
は最大値を示し、逆に、スクリーン］−３を拡げた状態
では、第２クライオパネルは全面に渡って覆われること
になり、排気速度は最小値を示す。この最大値と最小値
との幅が広い方が排気速度の可変性に優れている。スク
リーン１３を金鉱の状態では、排気ガスは、第１クライ
オパネル４の内側とスクリーン１３の先端との間のすき
間を通り、第２クライオパネル５で凝縮・吸着されるの
で、このすき間を小さく押えることが最小値をより小さ
くすることができる。したがって、第１クライオパネル
４の内側を精度よく真円に形成する必要がある。しかし
、第１クライオパネル４は、低熱容量化の為に薄肉で製
作してあり、真円に成形することが難しい。そこで、強
度の強い材質で製作した補強リング１５を取り付けて真
円状態を保つことにより、該すき間を小さくでき、がっ
、スクリーン先端と第１クライオパネル４とを非接触状
態に保ち、塵の発生及び、スクリーンのロック等を生じ
させない効果がある。
約８０Ｋまで冷却し、被排気ガス中の高沸点ガス例えば
、水、炭酸ガス等を凝縮排気し、約２０Ｋに冷却した第
２クライオパネル５で、低沸点ガス例えば、窒素、酸素
、アルゴン、水素等のガスを凝縮・吸着排気する。スク
リーン」−３を閉じた状態では、第２クライオパネル５
が全面に渡って真空排気対象物に対面するので排気速度
は最大値を示し、逆に、スクリーン］−３を拡げた状態
では、第２クライオパネルは全面に渡って覆われること
になり、排気速度は最小値を示す。この最大値と最小値
との幅が広い方が排気速度の可変性に優れている。スク
リーン１３を金鉱の状態では、排気ガスは、第１クライ
オパネル４の内側とスクリーン１３の先端との間のすき
間を通り、第２クライオパネル５で凝縮・吸着されるの
で、このすき間を小さく押えることが最小値をより小さ
くすることができる。したがって、第１クライオパネル
４の内側を精度よく真円に形成する必要がある。しかし
、第１クライオパネル４は、低熱容量化の為に薄肉で製
作してあり、真円に成形することが難しい。そこで、強
度の強い材質で製作した補強リング１５を取り付けて真
円状態を保つことにより、該すき間を小さくでき、がっ
、スクリーン先端と第１クライオパネル４とを非接触状
態に保ち、塵の発生及び、スクリーンのロック等を生じ
させない効果がある。
第２図は本発明になる他の実施例を示すもので、第１図
と異なる点は、第１クライオパネル４の内側に補強リン
グ１５を設ける代りに、第１クライオパネル自身に凹状
１６の塑性加工を施して補強し、真円に成形する様にし
た時である。また、第１パネル先端部１７を内側に曲げ
込みさらに真円状態を保持しやすくしている。本実施例
によれば、補強リングを別に設けることなく真円状態を
保持できるので、第１パネルの熱容量を増すことなく、
かつ、製作コストを低減できる効果がある。
と異なる点は、第１クライオパネル４の内側に補強リン
グ１５を設ける代りに、第１クライオパネル自身に凹状
１６の塑性加工を施して補強し、真円に成形する様にし
た時である。また、第１パネル先端部１７を内側に曲げ
込みさらに真円状態を保持しやすくしている。本実施例
によれば、補強リングを別に設けることなく真円状態を
保持できるので、第１パネルの熱容量を増すことなく、
かつ、製作コストを低減できる効果がある。
第３図は、本発明になる他の実施例を示すもので、第１
図と異なる点は、メネジ溝付ノブを補強リングを一体化
したメネジ付の補強リング１８を設はバッフル８を補強
リング１８に取り付けた点にある。本実施例によれば、
メネジを正確な位置に機械加工できるので、バッフル８
を取り付ける際、メネジの位置不正確により、第１クラ
イオパネルを拘束して変形させることがないので、さら
に真円状態を保つことができる効果がある。
図と異なる点は、メネジ溝付ノブを補強リングを一体化
したメネジ付の補強リング１８を設はバッフル８を補強
リング１８に取り付けた点にある。本実施例によれば、
メネジを正確な位置に機械加工できるので、バッフル８
を取り付ける際、メネジの位置不正確により、第１クラ
イオパネルを拘束して変形させることがないので、さら
に真円状態を保つことができる効果がある。
本発明によれば、薄肉のクライオパネルの真円状態を保
持し、排気速度可変用のスクリーンとのすき間を十分小
さく、かつ、非接触状態を保つことができるので、排気
速度の最小値を小さく、すなわち、可変範囲を拡大し、
かつ、接触等による塵の発生を防止できる効果がある。
持し、排気速度可変用のスクリーンとのすき間を十分小
さく、かつ、非接触状態を保つことができるので、排気
速度の最小値を小さく、すなわち、可変範囲を拡大し、
かつ、接触等による塵の発生を防止できる効果がある。
第１図は本発明の一実施例のクライオポンプの断面図、
第２図、第３図は本発明の夫々化の実施例を示すクライ
オポンプ上端部の断面図である。 ４・・・第１クライオパネル、５・・・第２クライオパ
ネル、８・・・バッフル、１０・・・真空槽、１３・・
・スクリーン、１５・・・補強リング。 イ ）７う４才／ぐ不））７ ／８ ・、巧乏４１゛多イ伸−Ｉノズ
第２図、第３図は本発明の夫々化の実施例を示すクライ
オポンプ上端部の断面図である。 ４・・・第１クライオパネル、５・・・第２クライオパ
ネル、８・・・バッフル、１０・・・真空槽、１３・・
・スクリーン、１５・・・補強リング。 イ ）７う４才／ぐ不））７ ／８ ・、巧乏４１゛多イ伸−Ｉノズ
Claims (1)
- １、複数の低温度レベルの低温面と、より温度の低い低
温面を熱的に一体化した極低温クライオパネル、上記極
低温クライオパネルを包含し、かつ、該パネルより温度
の高い同心円筒部の低温クライオパネルより成るクライ
オポンプにおいて、該低温クライオパネルの円筒部に、
円筒部断面の真円度を保持する様に形状保持手段を設け
たことを特徴とするクライオポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17505788A JPH0227170A (ja) | 1988-07-15 | 1988-07-15 | クライオポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17505788A JPH0227170A (ja) | 1988-07-15 | 1988-07-15 | クライオポンプ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0227170A true JPH0227170A (ja) | 1990-01-29 |
| JPH0454070B2 JPH0454070B2 (ja) | 1992-08-28 |
Family
ID=15989479
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17505788A Granted JPH0227170A (ja) | 1988-07-15 | 1988-07-15 | クライオポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0227170A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009058800A (ja) * | 2007-08-31 | 2009-03-19 | Katsuko Kaneko | 文字シール収納教材 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59131779A (ja) * | 1982-09-29 | 1984-07-28 | シ−ヴイ−アイ・インコ−ポレイテツド | クライオポンプ |
-
1988
- 1988-07-15 JP JP17505788A patent/JPH0227170A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59131779A (ja) * | 1982-09-29 | 1984-07-28 | シ−ヴイ−アイ・インコ−ポレイテツド | クライオポンプ |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009058800A (ja) * | 2007-08-31 | 2009-03-19 | Katsuko Kaneko | 文字シール収納教材 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0454070B2 (ja) | 1992-08-28 |
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