JPH0216965B2 - - Google Patents
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- JPH0216965B2 JPH0216965B2 JP58027613A JP2761383A JPH0216965B2 JP H0216965 B2 JPH0216965 B2 JP H0216965B2 JP 58027613 A JP58027613 A JP 58027613A JP 2761383 A JP2761383 A JP 2761383A JP H0216965 B2 JPH0216965 B2 JP H0216965B2
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- Japan
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- displacement meter
- angle
- measurement
- distance
- point
- Prior art date
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/24—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明はレーザー光等を利用した光学的変位計
により、非接触で物体形状を測定する方法に係
り、特に、変位計の駆動を改良した物体断面形状
の自動測定法に関する。
により、非接触で物体形状を測定する方法に係
り、特に、変位計の駆動を改良した物体断面形状
の自動測定法に関する。
近時、オプトエレクトロニクスの発展に伴い、
レーザー光等の光学的手段により、非接触で物体
形状を測定する方法が開発されている。この方法
の内、倣い計測方式の一例を第１図により説明す
る。
レーザー光等の光学的手段により、非接触で物体
形状を測定する方法が開発されている。この方法
の内、倣い計測方式の一例を第１図により説明す
る。
被測定物体１の外部に配置された駆動テーブル
２は駆動機構３等により３次元的に駆動される。
駆動テーブル２に配置された光学系は、レーザー
等の光源４、半透鏡５、レンズ６，７、振動ピン
ホール８及び受光器９から成つている。また、演
算制御装置は振動ピンホール８の発振器１０、受
光器９の出力の増巾器１１、これら発振器１０及
び増巾器１１の出力を演算して駆動機構３を制御
する演算制御回路１２より成る。今、物体１とレ
ンズ６との距離Ａが、レンズ６の焦点距離に等し
い場合は、反射光は第１図に示すように振動ピン
ホールの振巾の中心で焦点を結ぶので、受光器９
の出力は最大となるが、距離Ａがレンズ６の焦点
距離f6の大小いずれの方向に偏つても、受光器９
の出力は減少する。更に、第２図に示すように周
波数で振動する振動ピンホールの作用により、
距離Ａがf6に等しい場合は受光器９の出力の周波
数は2であるが、Ａf6の場合の出力は周波数〓
となり、その位相は振動ピンホールの位相と夫々
同相もしくは逆相となる。したがつて、演算制御
回路１２により、出力の周波数及び位相の検出結
果に基づいて駆動機構３を駆動し、距離Ａをレン
ズ６の焦点距離f6に一致させれば、その駆動量に
よつて物体１の形状を倣い計測することができ
る。
２は駆動機構３等により３次元的に駆動される。
駆動テーブル２に配置された光学系は、レーザー
等の光源４、半透鏡５、レンズ６，７、振動ピン
ホール８及び受光器９から成つている。また、演
算制御装置は振動ピンホール８の発振器１０、受
光器９の出力の増巾器１１、これら発振器１０及
び増巾器１１の出力を演算して駆動機構３を制御
する演算制御回路１２より成る。今、物体１とレ
ンズ６との距離Ａが、レンズ６の焦点距離に等し
い場合は、反射光は第１図に示すように振動ピン
ホールの振巾の中心で焦点を結ぶので、受光器９
の出力は最大となるが、距離Ａがレンズ６の焦点
距離f6の大小いずれの方向に偏つても、受光器９
の出力は減少する。更に、第２図に示すように周
波数で振動する振動ピンホールの作用により、
距離Ａがf6に等しい場合は受光器９の出力の周波
数は2であるが、Ａf6の場合の出力は周波数〓
となり、その位相は振動ピンホールの位相と夫々
同相もしくは逆相となる。したがつて、演算制御
回路１２により、出力の周波数及び位相の検出結
果に基づいて駆動機構３を駆動し、距離Ａをレン
ズ６の焦点距離f6に一致させれば、その駆動量に
よつて物体１の形状を倣い計測することができ
る。
本方式には次の問題がある。
(a) 測定時間が長いこと。これは、第１図に示す
ように物体１のｘ−ｙ断面の形状を測定する場
合、ｘ軸方向の駆動にあわせて、常にｙ方向、
すなわち、光軸方向の駆動を行なう必要がある
からである。
ように物体１のｘ−ｙ断面の形状を測定する場
合、ｘ軸方向の駆動にあわせて、常にｙ方向、
すなわち、光軸方向の駆動を行なう必要がある
からである。
(b) 振動に弱いこと。これは、物体との距離の検
出に振動ピンホールを用いているため、外部か
らの加振に対して、共振等の問題を起こし易い
からである。
出に振動ピンホールを用いているため、外部か
らの加振に対して、共振等の問題を起こし易い
からである。
(c) 物体表面の大きな傾斜角に対して測定不能な
こと。これは、第１図の物体表面の法線と照射
光軸とのなす角αが大きくなると、受光器に向
かう反射光の光量が減少するためである。
こと。これは、第１図の物体表面の法線と照射
光軸とのなす角αが大きくなると、受光器に向
かう反射光の光量が減少するためである。
本発明の目的は、測定時間が短かく、かつ、物
体形状の急激な変化にも自動的に追随し得る測定
方法を提供するにある。
体形状の急激な変化にも自動的に追随し得る測定
方法を提供するにある。
本発明の測定方法の要点は次のとおりである。
(a) 物体との距離の測定に、測定可能範囲が広く
かつ原理的に振動を用いない変位計を利用した
こと。
かつ原理的に振動を用いない変位計を利用した
こと。
(b) 変位計を３次元駆動装置に取付け、この取付
部に角度変化機構を付設したこと。
部に角度変化機構を付設したこと。
(c) 変位計の距離と角度の測定限界内に制限範囲
を設定し、測定点で距離と角度のいずれかがこ
の制限範囲を外れた場合には、次の点の測定値
を得る前に上記制限範囲内に戻す制御を行なう
こと。
を設定し、測定点で距離と角度のいずれかがこ
の制限範囲を外れた場合には、次の点の測定値
を得る前に上記制限範囲内に戻す制御を行なう
こと。
以下、本発明の実施例を図面を引用して説明す
る。第３図はその全体構成を示したもので、基台
２０に置かれた被測定物体１の上方には、変位計
４０が角度変化機構２１を介して、クロスヘツド
２２に取付けられている。このクロスヘツド２２
は、三次元駆動装置のアーム２３と滑合し、その
ガイド部２４が横送りねじ２５に結合されたモー
タ２６の回転により左右に駆動されるため、変位
計４０は図示のｘ軸方向に移動可能となつてい
る。また、ｙ軸方向の移動はモータ２７に結合さ
れた縦方向送りねじ２８と、アーム２９に滑合さ
れたギアボツクス３０により行なわれる。更に、
モータ３１は基台３２に載せられた装置全体をｚ
軸方向に駆動する。したがつて、変位計４０は
ｘ，ｙ，ｚの３軸方向に移動可能であり、角度変
化機構２１の駆動モータ３３（第９図に示す）に
よりｚ軸に垂直な断面内で回転可能である。
る。第３図はその全体構成を示したもので、基台
２０に置かれた被測定物体１の上方には、変位計
４０が角度変化機構２１を介して、クロスヘツド
２２に取付けられている。このクロスヘツド２２
は、三次元駆動装置のアーム２３と滑合し、その
ガイド部２４が横送りねじ２５に結合されたモー
タ２６の回転により左右に駆動されるため、変位
計４０は図示のｘ軸方向に移動可能となつてい
る。また、ｙ軸方向の移動はモータ２７に結合さ
れた縦方向送りねじ２８と、アーム２９に滑合さ
れたギアボツクス３０により行なわれる。更に、
モータ３１は基台３２に載せられた装置全体をｚ
軸方向に駆動する。したがつて、変位計４０は
ｘ，ｙ，ｚの３軸方向に移動可能であり、角度変
化機構２１の駆動モータ３３（第９図に示す）に
よりｚ軸に垂直な断面内で回転可能である。
第４図は変位計の取付け状況を示す。以下の説
明では簡単のため照射光軸上に角度変化機構の回
転中心Ｄがあるものとし、投射光軸と物体１の表
面との交点をＰと呼び、PDの長さＬを変位計４
０と物体との距離と定義する。また、照射角α
は、照射角θdとＰ点における物体断面の法線ｎの
角度θoとのなす角度により定義する。ここに、α
は下式で表わされる。
明では簡単のため照射光軸上に角度変化機構の回
転中心Ｄがあるものとし、投射光軸と物体１の表
面との交点をＰと呼び、PDの長さＬを変位計４
０と物体との距離と定義する。また、照射角α
は、照射角θdとＰ点における物体断面の法線ｎの
角度θoとのなす角度により定義する。ここに、α
は下式で表わされる。
α＝θd−θo ………（）
第５図は本実施例で使用する変位計の構造を示
す。レーザー光等の光源４１より発射された光線
は、照射レンズ４２を通つて物体表面上の測定点
Ｐを照射するが、この拡散反射光は照射光軸と一
定角度をなす受光光軸上に設けた集光レンズ４３
により集光され、受光器４４で検出される。距離
測定の原理は、物体変位計との距離が変化すると
受光器４４上の受光面に対する反射光の入射位置
が連続的に変化する現象を用いたものであるが、
受光面の大きさ等の制約により、変位計で測定可
能な距離には自ずと限界があり、以下距離の測定
限度の上限及び下限を夫々Lnax及びLnioと呼ぶ。
す。レーザー光等の光源４１より発射された光線
は、照射レンズ４２を通つて物体表面上の測定点
Ｐを照射するが、この拡散反射光は照射光軸と一
定角度をなす受光光軸上に設けた集光レンズ４３
により集光され、受光器４４で検出される。距離
測定の原理は、物体変位計との距離が変化すると
受光器４４上の受光面に対する反射光の入射位置
が連続的に変化する現象を用いたものであるが、
受光面の大きさ等の制約により、変位計で測定可
能な距離には自ずと限界があり、以下距離の測定
限度の上限及び下限を夫々Lnax及びLnioと呼ぶ。
また、第６図ないし第８図は変位計の照射角α
の測定限度の説明図である。まず、第６図は反射
光の光量が最大値となる場合を示す。照射角αが
照射光軸と受光光軸のなす角βの２分の１である
ため、受光光軸の方向が拡散反射光の光量分布の
最大値の方向と一致している。一方、第７図及び
第８図は、測定可能な照射角αの上限及び下限を
示す。これら両図から、αが過大もしくは過小に
なつた場合は、受光光軸の方向が拡散反射の光量
が小さい領域になるため、受光器４４で光量不足
が起きることがわかる。この照射角αの上限及び
下限を夫々αnax及びαnioと呼ぶ。
の測定限度の説明図である。まず、第６図は反射
光の光量が最大値となる場合を示す。照射角αが
照射光軸と受光光軸のなす角βの２分の１である
ため、受光光軸の方向が拡散反射光の光量分布の
最大値の方向と一致している。一方、第７図及び
第８図は、測定可能な照射角αの上限及び下限を
示す。これら両図から、αが過大もしくは過小に
なつた場合は、受光光軸の方向が拡散反射の光量
が小さい領域になるため、受光器４４で光量不足
が起きることがわかる。この照射角αの上限及び
下限を夫々αnax及びαnioと呼ぶ。
第９図は本発明の演算制御機構を示したもので
ある。変位計４０から得られた距離Ｌに関する情
報は検出回路４５を経て演算制御回路４６に入力
される。また、ｘ，ｙ，ｚ軸の移動量を測定する
磁気スケール４７からの位置情報及び角度変化機
構２１のロータリーエンコーダ４８からの角度情
報は、夫々の検出回路４９及び５０を経て演算制
御回路４６に入力される。演算制御回路４６で
は、これらの情報に基づいて、物体１のＰ点の座
標（ｘ、ｙ、ｚ）を演算すると共に、その結果を
表示装置５１に表示する。更に、距離Ｌ及び照射
角αに関しては、後述の比較演算を行ない、その
結果に基づいて駆動モータ２６，２７，３１及び
３３の駆動制御を行なう。
ある。変位計４０から得られた距離Ｌに関する情
報は検出回路４５を経て演算制御回路４６に入力
される。また、ｘ，ｙ，ｚ軸の移動量を測定する
磁気スケール４７からの位置情報及び角度変化機
構２１のロータリーエンコーダ４８からの角度情
報は、夫々の検出回路４９及び５０を経て演算制
御回路４６に入力される。演算制御回路４６で
は、これらの情報に基づいて、物体１のＰ点の座
標（ｘ、ｙ、ｚ）を演算すると共に、その結果を
表示装置５１に表示する。更に、距離Ｌ及び照射
角αに関しては、後述の比較演算を行ない、その
結果に基づいて駆動モータ２６，２７，３１及び
３３の駆動制御を行なう。
次に、本実施例における変位計の具体的な駆動
制御方法を説明する。第１０図は、変位計の駆動
と距離Ｌの測定限度の関係を示す。図中のＡは、
距離Ｌに関して変位計が検出限度のほぼ中央に位
置しているので、何ら問題なく測定できる場合を
示す。しかし、変位計をｘ軸方向に平行に駆動し
ながら測定を続けて、図中のＢに移動した場合
は、距離Ｌが図中のロの曲線で示す検出限度Lnax
を越えてしまうので、距離の測定が不可能とな
る。したがつて、ＡからＢに至る途中の段階で、
この現象の発生を未然に防止し、図中Ｃに例示し
たように検出限度内に戻す制御が必要である。同
様の現象が第１１図に示すように照射角αについ
ても起こり得る。すなわち、図中ＡからＢの過程
でｘ軸及びｙ軸方向の駆動のみを行ない、物体１
の断面形状の変化にあわせてαの値を変更しない
と、図中Ｂのような場合が起こり、測定不可能と
なる。したがつて、ＡからＢに至る途中の段階
で、αについてもＢの場合の起きることを未然に
防止し、図中Ｃに例示したように角度の検出限度
内に戻す制御が必要となる。
制御方法を説明する。第１０図は、変位計の駆動
と距離Ｌの測定限度の関係を示す。図中のＡは、
距離Ｌに関して変位計が検出限度のほぼ中央に位
置しているので、何ら問題なく測定できる場合を
示す。しかし、変位計をｘ軸方向に平行に駆動し
ながら測定を続けて、図中のＢに移動した場合
は、距離Ｌが図中のロの曲線で示す検出限度Lnax
を越えてしまうので、距離の測定が不可能とな
る。したがつて、ＡからＢに至る途中の段階で、
この現象の発生を未然に防止し、図中Ｃに例示し
たように検出限度内に戻す制御が必要である。同
様の現象が第１１図に示すように照射角αについ
ても起こり得る。すなわち、図中ＡからＢの過程
でｘ軸及びｙ軸方向の駆動のみを行ない、物体１
の断面形状の変化にあわせてαの値を変更しない
と、図中Ｂのような場合が起こり、測定不可能と
なる。したがつて、ＡからＢに至る途中の段階
で、αについてもＢの場合の起きることを未然に
防止し、図中Ｃに例示したように角度の検出限度
内に戻す制御が必要となる。
一方、測定時間の短縮の観点からは、できる丈
位置及び角度の駆動の回数を減少させ、可能なら
ば断面形状の測定にあたつて必要なｘ軸の駆動だ
けにしたいという要求がある。
位置及び角度の駆動の回数を減少させ、可能なら
ば断面形状の測定にあたつて必要なｘ軸の駆動だ
けにしたいという要求がある。
本発明では、この矛盾する要求を、次のように
解決する。すなわち、まず、距離Ｌ及び角度αの
測定限度Lnio〜Lnax及びαnio〜αnax内に、制限範
囲Ll〜Lo及びαl〜αoを設定する。いま、ある測定
点Piで、Ｌないしαの測定値がこれら制限範囲を
外れた場合は、次の測定点Pi+1の測定をする前
に、Pi及びそれ以前のデータに基づいてＬないし
αを制限範囲内の値Lp及びαpに戻す制御を行な
う。ここに、以下の関係式が成立する。
解決する。すなわち、まず、距離Ｌ及び角度αの
測定限度Lnio〜Lnax及びαnio〜αnax内に、制限範
囲Ll〜Lo及びαl〜αoを設定する。いま、ある測定
点Piで、Ｌないしαの測定値がこれら制限範囲を
外れた場合は、次の測定点Pi+1の測定をする前
に、Pi及びそれ以前のデータに基づいてＬないし
αを制限範囲内の値Lp及びαpに戻す制御を行な
う。ここに、以下の関係式が成立する。
Lnio＜Ll≦Lp≦Lo＜Lnax ………（）
αnio＜αl≦αp≦αo＜αnax ………（）
この場合、Pi点よりも前のデータをも用いるの
は、照射角αの算定にはその点の法線の角度θoが
必要なためである。第１２図に示すように、この
θoの算定には図中のPi-2〜Pi点の座標を用い、例
えば多項式近似によりPi点の接点の傾きを求めれ
ばよい。
は、照射角αの算定にはその点の法線の角度θoが
必要なためである。第１２図に示すように、この
θoの算定には図中のPi-2〜Pi点の座標を用い、例
えば多項式近似によりPi点の接点の傾きを求めれ
ばよい。
このように本発明の物体形状の自動測定方法
は、受光器４４で物体の測定点を測定出来ない範
囲外であれば、変位計４０を測定距離および測定
角度限度範囲内に移動すると、測定点を測定でき
る。この結果、物体形状測定装置の動作を停止す
ることなく、連続して測定作業が出来ること、お
よび限度範囲内に変位計４０を移動するだけでよ
いから、正確な調整を必要としないこと、等によ
り、測定作業時間を大幅に短縮することができ
る。
は、受光器４４で物体の測定点を測定出来ない範
囲外であれば、変位計４０を測定距離および測定
角度限度範囲内に移動すると、測定点を測定でき
る。この結果、物体形状測定装置の動作を停止す
ることなく、連続して測定作業が出来ること、お
よび限度範囲内に変位計４０を移動するだけでよ
いから、正確な調整を必要としないこと、等によ
り、測定作業時間を大幅に短縮することができ
る。
第１３図は、この制御を採用した場合の、角度
変化機構の中心点Diの軌跡を示す。第１０図と比
較すると、本制御の採用により距離Ｌが測定限度
を越える現象が、未然に防止されていることがわ
かる。照射角αについても同様の制御により、同
様な効果が期待できる。
変化機構の中心点Diの軌跡を示す。第１０図と比
較すると、本制御の採用により距離Ｌが測定限度
を越える現象が、未然に防止されていることがわ
かる。照射角αについても同様の制御により、同
様な効果が期待できる。
なお、これらの制御を行なう場合には、制御後
のDiの座標（X′、Y′）及び取付け角θd′が、第１
２図にみるように制御前のDi点の座標（Ｘ、Ｙ）、
取付け角d〓及びPi点の座標（ｘ、ｙ）を用いれば
下式により与えられるので、３次元駆動装置の
ｘ、ｙ軸及び角度変化機構のθd軸を、これらの値
になるように駆動すればよい。
のDiの座標（X′、Y′）及び取付け角θd′が、第１
２図にみるように制御前のDi点の座標（Ｘ、Ｙ）、
取付け角d〓及びPi点の座標（ｘ、ｙ）を用いれば
下式により与えられるので、３次元駆動装置の
ｘ、ｙ軸及び角度変化機構のθd軸を、これらの値
になるように駆動すればよい。
θd′＝αp＋θo ………（）
X′＝Ｘ＋Lcosθd−Lpcosθd′ ………（）
Y′＝Ｙ＋Lsinθd−Lpsinθd′ ………（）
ここに、Lp，αpは（）及び（）式で示す
夫々の制限範囲内の適切な値である。
夫々の制限範囲内の適切な値である。
第１４図に、この制御方法のフローチヤートを
示す。上述の制御方法では、ｘ，ｙ軸及びθ軸の
駆動の後、その点で再度測定を行なつているが、
これは必ずしも必要でなく、図中の破線に示すよ
うに、次の点の測定に移行しても良い。
示す。上述の制御方法では、ｘ，ｙ軸及びθ軸の
駆動の後、その点で再度測定を行なつているが、
これは必ずしも必要でなく、図中の破線に示すよ
うに、次の点の測定に移行しても良い。
なお、以上の説明ではｚ軸に垂直な断面の形状
を得る場合を取り扱つているが、任意の断面に対
する測定を行なう場合にも、計算式及び制御方法
は複雑となるが、同様の制御を行なうことができ
る。
を得る場合を取り扱つているが、任意の断面に対
する測定を行なう場合にも、計算式及び制御方法
は複雑となるが、同様の制御を行なうことができ
る。
本発明は、上述の実施例のみにその適用が限定
されるのではなく、三次元駆動機構及び角度変化
機構の構成及び配置には、種々の変形例ないし応
用例が考えられるが、同様の制御方法を用いたも
のは全て本発明と同等とみなされる。
されるのではなく、三次元駆動機構及び角度変化
機構の構成及び配置には、種々の変形例ないし応
用例が考えられるが、同様の制御方法を用いたも
のは全て本発明と同等とみなされる。
本発明によれば測定の途中で、変位計の距離Ｌ
及び照射角αが検出限度外となることが未然に防
止でき、必要の都度この制御を行なうのみである
から測定時間の短縮が図れる。
及び照射角αが検出限度外となることが未然に防
止でき、必要の都度この制御を行なうのみである
から測定時間の短縮が図れる。
第１図は従来の形状測定装置の側面図、第２図
は従来の変位と出力の関係を示す説明図、第３図
は本発明の実施例の全体構成を示す側面図、第４
図は変位計の取付け状況の説明図、第５図は変位
計の構造図、第６図ないし第８図は変位計の照射
角の測定限度を示す説明図、第９図は演算制御機
構の説明図、第１０図は検出器の駆動方法と距離
の測定限度との関係を示す説明図、第１１図は検
出器の駆動方法と照射角の測定限度との関係を示
す説明図、第１２図は照射角の計算方法を示す説
明図、第１３図は本発明の効果を示す説明図、第
１４図は本発明による制御方法のフローチヤート
である。 １……被測定物体、２……駆動テーブル、３…
…駆動機構、８……振動ピンホール、９……受光
器、１０……発振器、１１……増巾器、１２……
演算制御回路、２１……角度変化機構、４０……
変位計、４２……照射レンズ、４３……集光レン
ズ、４４……受光器、４５……検出回路、４６…
…演算制御回路、４９，５０……検出回路。
は従来の変位と出力の関係を示す説明図、第３図
は本発明の実施例の全体構成を示す側面図、第４
図は変位計の取付け状況の説明図、第５図は変位
計の構造図、第６図ないし第８図は変位計の照射
角の測定限度を示す説明図、第９図は演算制御機
構の説明図、第１０図は検出器の駆動方法と距離
の測定限度との関係を示す説明図、第１１図は検
出器の駆動方法と照射角の測定限度との関係を示
す説明図、第１２図は照射角の計算方法を示す説
明図、第１３図は本発明の効果を示す説明図、第
１４図は本発明による制御方法のフローチヤート
である。 １……被測定物体、２……駆動テーブル、３…
…駆動機構、８……振動ピンホール、９……受光
器、１０……発振器、１１……増巾器、１２……
演算制御回路、２１……角度変化機構、４０……
変位計、４２……照射レンズ、４３……集光レン
ズ、４４……受光器、４５……検出回路、４６…
…演算制御回路、４９，５０……検出回路。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 物体の表面に投射した光線の反射光を受光す
ることで前記物体との距離を測定する、変位計と
この変位計を取り付けてこれを三次元的に駆動す
る駆動テーブルと、前記変位計の取付角度を変え
る角度変化機構と、前記変位計による距離の測定
値と前記駆動テーブルの駆動量及び前記変位計の
取付角度とを入力して演算すると共に、前記駆動
テーブルと前記角度変化機構の動きを制御する演
算制御機構とより構成され、被測定物体の断面形
状を測定点の集合として連続して測定する方法に
おいて、 前記各測定点で求めた前記変位計と前記測定点
との距離及び前記測定点における物体断面の法線
と照射光軸のなす角が、前記変位計の測定距離限
度及び測定角度限度範囲内の限定距離範囲および
限定角度範囲内にあるか否かを判定し、ある測定
点でこれらの少くとも一方がこれら限定範囲を外
れた場合には、次の測定点の測定を行なう前に、
前記限定範囲内に戻す制御を行なうことを特徴と
する物体形状の自動測定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2761383A JPS59154308A (ja) | 1983-02-23 | 1983-02-23 | 物体形状の自動測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2761383A JPS59154308A (ja) | 1983-02-23 | 1983-02-23 | 物体形状の自動測定方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59154308A JPS59154308A (ja) | 1984-09-03 |
| JPH0216965B2 true JPH0216965B2 (ja) | 1990-04-19 |
Family
ID=12225782
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2761383A Granted JPS59154308A (ja) | 1983-02-23 | 1983-02-23 | 物体形状の自動測定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59154308A (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60205306A (ja) * | 1984-03-30 | 1985-10-16 | Mitsubishi Electric Corp | 三次元自動計測システム |
| DE3836198A1 (de) * | 1987-10-23 | 1989-05-03 | Toyoda Machine Works Ltd | Lernverfahren zum erfassen einer bearbeitungslinie |
| JP4512405B2 (ja) * | 2004-04-23 | 2010-07-28 | 本田技研工業株式会社 | ３次元形状測定方法 |
| JP5187068B2 (ja) * | 2008-08-20 | 2013-04-24 | パルステック工業株式会社 | ３次元形状測定装置および３次元形状測定方法 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5280148A (en) * | 1975-12-26 | 1977-07-05 | Mitsubishi Motors Corp | Contactless measuring method and apparatus for same |
| JPS5834781A (ja) * | 1981-08-21 | 1983-03-01 | 株式会社日立製作所 | ロボツトによる形状ならい制御方法 |
-
1983
- 1983-02-23 JP JP2761383A patent/JPS59154308A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS59154308A (ja) | 1984-09-03 |
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