JPH02273348A - 光磁気記録媒体 - Google Patents
光磁気記録媒体Info
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- JPH02273348A JPH02273348A JP9453489A JP9453489A JPH02273348A JP H02273348 A JPH02273348 A JP H02273348A JP 9453489 A JP9453489 A JP 9453489A JP 9453489 A JP9453489 A JP 9453489A JP H02273348 A JPH02273348 A JP H02273348A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、光磁気記録媒体、特に膜面と垂直方向に磁化
容易軸を有する磁性膜を記録層とし、レーザーなどの光
ビームを照射した領域に反転磁区を作ることにより情報
を記録することができ磁気光学効果を利用して読み出す
ことができる光磁気記録媒体に関する。
容易軸を有する磁性膜を記録層とし、レーザーなどの光
ビームを照射した領域に反転磁区を作ることにより情報
を記録することができ磁気光学効果を利用して読み出す
ことができる光磁気記録媒体に関する。
従来の光磁気記録媒体は、大容量ファイルメモリの一つ
として注目されており、記録情報の書換が可能であると
言う利点を持っていることから、コードデータファイル
メモリを始め、画像ファイルメモリ等広範囲な応用が各
所で盛んに研究されている。その記録媒体としては、Ｔ
ｂ、Ｇｄ５Ｄｙ、Ｈｏ等の希土類金属ＲＥと、Ｆｅ、
Ｃｏ、Ｎｉ等の遷移金属ＴＭとの組合せによって作成さ
れるＲＥ−ＴＭ系非晶質磁性合金薄膜が、記録感度が高
く、粒界ノイズが少なく、膜面に垂直方向の磁気異方性
を有する膜が容易に作られる等の利点を有するため、最
も有望視されている。
として注目されており、記録情報の書換が可能であると
言う利点を持っていることから、コードデータファイル
メモリを始め、画像ファイルメモリ等広範囲な応用が各
所で盛んに研究されている。その記録媒体としては、Ｔ
ｂ、Ｇｄ５Ｄｙ、Ｈｏ等の希土類金属ＲＥと、Ｆｅ、
Ｃｏ、Ｎｉ等の遷移金属ＴＭとの組合せによって作成さ
れるＲＥ−ＴＭ系非晶質磁性合金薄膜が、記録感度が高
く、粒界ノイズが少なく、膜面に垂直方向の磁気異方性
を有する膜が容易に作られる等の利点を有するため、最
も有望視されている。
そして、記録層にＴｂＦｅＣｏやＣｄＴｂＦｅを用いた
光磁気記録媒体は、データ転送レイトが比較的低くても
利用できるコードデータファイル用としては、既に、実
用レベルにある。
光磁気記録媒体は、データ転送レイトが比較的低くても
利用できるコードデータファイル用としては、既に、実
用レベルにある。
近年、この光磁気記録媒体の高性能化の一つとして、デ
ータ転送レイトの高速化が挙げられる。
ータ転送レイトの高速化が挙げられる。
これは、画像ファイルのように、実時間で大量のデータ
を記録再生する分野では、特に強く要請されている。
を記録再生する分野では、特に強く要請されている。
データ転送レイトを高めるためには、ディスクの高速回
転時に十分な記録再生信号が得られることが必要である
ので、記録層には、従来よりも高い記録感度と再生出力
が要求される。
転時に十分な記録再生信号が得られることが必要である
ので、記録層には、従来よりも高い記録感度と再生出力
が要求される。
記録層に対する情報の記録は、一方向に着磁させておき
レーザビームを照射して、媒体温度をキューリー温度Ｔ
ｃ近傍まで上昇させ、外部印加磁界と記録層の反磁界に
よって、反転磁区な形成することにより行われる。
レーザビームを照射して、媒体温度をキューリー温度Ｔ
ｃ近傍まで上昇させ、外部印加磁界と記録層の反磁界に
よって、反転磁区な形成することにより行われる。
従って、記録層を高感度にするには、キュリー温度Ｔｃ
を低くする必要がある。
を低くする必要がある。
方、再生は磁気光学効果を用いて、行われる。
すなわち、記録層の反転磁区の有無に対応して、媒体か
らの反射光の偏向面が回転することを利用して、記録層
から情報を読み出すため、高い再生出力を得るためには
、上記偏向面の回転角すなわちカー回転角θ、を大きく
する必要がある。
らの反射光の偏向面が回転することを利用して、記録層
から情報を読み出すため、高い再生出力を得るためには
、上記偏向面の回転角すなわちカー回転角θ、を大きく
する必要がある。
しかしながら、このような上述した従来の光磁気記録媒
体は、データ転送レイトの高速化の要請に答えるために
は、低いキューリー温度Ｔｃで高いカー回転角θ、を有
する記録層が必要であるが、ＴｂＦｅ＋ＴｂＦｅＣｏに
代表される従来の’ＲＥＴＭ系非晶質磁性合金薄膜にお
いては、一般に、キューリー温度Ｔｃが低下するに連れ
て、カー回転角θ、は小さくなる傾向がある。（内山他
、昭和６０年電気学会全国大会Ｓ・３−１参照。）例え
ば、コードデータファイル用にしばしば用いられるＲＥ
量２０ａｔ％近傍の組成を有する記録層のカー回転角θ
、は、キューリー温度Ｔｃが２００℃の時０．３７度で
あるが、キューリー温度Ｔｃを１５０℃に下げると、０
．３０度まで低下する。このように従来の記録媒体では
、高感度化を指向すると再生出力が大きく低下する七い
う欠点があった。
体は、データ転送レイトの高速化の要請に答えるために
は、低いキューリー温度Ｔｃで高いカー回転角θ、を有
する記録層が必要であるが、ＴｂＦｅ＋ＴｂＦｅＣｏに
代表される従来の’ＲＥＴＭ系非晶質磁性合金薄膜にお
いては、一般に、キューリー温度Ｔｃが低下するに連れ
て、カー回転角θ、は小さくなる傾向がある。（内山他
、昭和６０年電気学会全国大会Ｓ・３−１参照。）例え
ば、コードデータファイル用にしばしば用いられるＲＥ
量２０ａｔ％近傍の組成を有する記録層のカー回転角θ
、は、キューリー温度Ｔｃが２００℃の時０．３７度で
あるが、キューリー温度Ｔｃを１５０℃に下げると、０
．３０度まで低下する。このように従来の記録媒体では
、高感度化を指向すると再生出力が大きく低下する七い
う欠点があった。
本発明の光磁気記録媒体は、希土類金属薄膜と遷移金属
を主成分とする薄膜とが、交互に積層された周期多層膜
を記録層とする光磁気記録媒体に於いて、前記希土類金
属薄膜の一層当たりの膜厚値がその希土類原子直径より
大きく、希土類原子直径の３倍より小さいように構成さ
れる。
を主成分とする薄膜とが、交互に積層された周期多層膜
を記録層とする光磁気記録媒体に於いて、前記希土類金
属薄膜の一層当たりの膜厚値がその希土類原子直径より
大きく、希土類原子直径の３倍より小さいように構成さ
れる。
次に、本発明の実施例について、図面を参照して説明す
る。
る。
第１図は本発明の一実施例を示す断面図である。
第１図に示す光磁気記録媒体は、厚さ１．２ ｍｍのガ
ラスの基板１上に、記録層としてＴｂ３とＦｅＣ。
ラスの基板１上に、記録層としてＴｂ３とＦｅＣ。
膜４とが交互に積層された厚さ１００ＯＡの周期多層膜
２が形成され、この上にＳｉ３Ｎ４膜がら成る厚さ８０
０人の保護層５が形成されている。
２が形成され、この上にＳｉ３Ｎ４膜がら成る厚さ８０
０人の保護層５が形成されている。
記録層は２元ＤＣマダネトロンスパッタ法で作製される
。第２図に示すような作成装置では、記録層は、基板１
を回転しながら、Ｔｂのターゲット８とＦ ｅ ９０
ＣＯｌｏのターゲラＩ・９に、各々独立にＤＣ電力を投
入１〜て同時成膜（共り、バッタ）することにより作製
される。
。第２図に示すような作成装置では、記録層は、基板１
を回転しながら、Ｔｂのターゲット８とＦ ｅ ９０
ＣＯｌｏのターゲラＩ・９に、各々独立にＤＣ電力を投
入１〜て同時成膜（共り、バッタ）することにより作製
される。
記録膜の周期構造を決めるＴｂ膜３とＦｅＣ。
膜４のそれぞれ一層轟たりの膜厚ＤＴ□とり、。。。
は、基板回転数、ＤＣ投入電力およびＴｂ膜３に対する
ＦｅＣｏ膜４のスパッタレート比Ｒにより選択される。
ＦｅＣｏ膜４のスパッタレート比Ｒにより選択される。
表１に、主なスパッタ条件を示す。
表 １ スパッタ条件
ｓｉ３］’Ｊ４膜からなる厚さ８００人の保護層５は、
Ｓｉターゲットを用い、ＡｒとＮ２の混合ガス（５０％
Ｎ２）を、スパッタガスとした反応性スパッタにより、
パワー密度８ｗ／ｃｕｔ、スパッタガス圧２．５Ｘ１０
’Ｐａで作製される。
Ｓｉターゲットを用い、ＡｒとＮ２の混合ガス（５０％
Ｎ２）を、スパッタガスとした反応性スパッタにより、
パワー密度８ｗ／ｃｕｔ、スパッタガス圧２．５Ｘ１０
’Ｐａで作製される。
第３図に上記記録膜のキューリー温度Ｔｃおよびカー回
転角θ、とＴｂ膜３の一層当たりの膜厚ＤＴｂとの関係
を、スパッタレート比Ｒ（ＦｅＣｏ／Ｔｂ）が１．１５
と１．２５の場合に付いて示す。何れの場合も、膜厚Ｄ
ＴｂがＴｂの原子直径近傍の３５人からその約３倍の１
０．８人の範囲で、キューリー温度Ｔｃは、膜厚ＤＴｂ
の増加に伴って、減少するが、カー回転角θ、は殆ど変
わらないことが分かる。
転角θ、とＴｂ膜３の一層当たりの膜厚ＤＴｂとの関係
を、スパッタレート比Ｒ（ＦｅＣｏ／Ｔｂ）が１．１５
と１．２５の場合に付いて示す。何れの場合も、膜厚Ｄ
ＴｂがＴｂの原子直径近傍の３５人からその約３倍の１
０．８人の範囲で、キューリー温度Ｔｃは、膜厚ＤＴｂ
の増加に伴って、減少するが、カー回転角θ、は殆ど変
わらないことが分かる。
膜厚ＤＴｂの増加に伴うキューリー温度Ｔｃの減少は、
スパッタレート比Ｒが１．１５より１．２５の方が著し
い。
スパッタレート比Ｒが１．１５より１．２５の方が著し
い。
また、上記記録膜は、膜厚Ｉ）Ｔｂが１０．８人より小
さい範囲では、膜面に垂直方向に磁気異方性を有してい
た。
さい範囲では、膜面に垂直方向に磁気異方性を有してい
た。
例えば、膜厚ＤＴｂが８人スパッタレート比Ｒが１．２
５の場合には、キューリー温度Ｔｃが１５０℃、カー回
転角θ、が０．４度の記録膜が得られる。
５の場合には、キューリー温度Ｔｃが１５０℃、カー回
転角θ、が０．４度の記録膜が得られる。
第４図に示す他の実施例では、直径１３０ｍｍ、厚さ１
．２ｍｍのポリカーボネイトの基板１４の上に、この記
録膜を、Ｓｉ３Ｎ４膜からなる厚さ８００人の保護層５
と１５で挟むように形成し、記録再生特性を測定した。
．２ｍｍのポリカーボネイトの基板１４の上に、この記
録膜を、Ｓｉ３Ｎ４膜からなる厚さ８００人の保護層５
と１５で挟むように形成し、記録再生特性を測定した。
記録再生特性の評価はＮＡｏ、５の対物レンズを有する
ＰＩＮ−差動光学系を用い、周速１１．３ｍ／ｓ（ディ
スク回転数１８０Ｏｒｐｍ、半径６０ｍｍ）、記録周波
数２．５ ＭＨｚ、記録パルスデューティ５０％、バイ
アス磁界２５００ｅで行った。その結果、搬送波の２次
高調波歪が極小となる最適記録パワーとして、７ｍＷが
得られた。
ＰＩＮ−差動光学系を用い、周速１１．３ｍ／ｓ（ディ
スク回転数１８０Ｏｒｐｍ、半径６０ｍｍ）、記録周波
数２．５ ＭＨｚ、記録パルスデューティ５０％、バイ
アス磁界２５００ｅで行った。その結果、搬送波の２次
高調波歪が極小となる最適記録パワーとして、７ｍＷが
得られた。
この値は従来の標準的な記録膜（Ｔｃ＝２００℃、θ、
＝０．３７度）を用いた場合に比べて、２〜３ｍＷ小さ
く、記録感度の大幅な高感度化が達成された。
＝０．３７度）を用いた場合に比べて、２〜３ｍＷ小さ
く、記録感度の大幅な高感度化が達成された。
また、ＣＮＲは、従来より１〜２ｄＢ高い、５６〜５７
ｄＢが得られた。
ｄＢが得られた。
ここで、希土類金属薄膜と遷移金属を主成分とする薄膜
としては、上述のものに限定されるものではない。例え
ば希土類金属薄膜として、Ｄｙ膜、Ｇｄ膜、ＧｄＴｂ合
金膜、遷移金属を主成分とする薄膜としてＦｅ膜、Ｃｏ
膜、ＦｅＣｏＴｉ合金膜を用いた場合でも、同様の効果
がみられた。
としては、上述のものに限定されるものではない。例え
ば希土類金属薄膜として、Ｄｙ膜、Ｇｄ膜、ＧｄＴｂ合
金膜、遷移金属を主成分とする薄膜としてＦｅ膜、Ｃｏ
膜、ＦｅＣｏＴｉ合金膜を用いた場合でも、同様の効果
がみられた。
本発明の光磁気記録媒体は、低いキューリー温度Ｔｃで
高いカー回転角θ、を得ることができるので、高い記録
感度と高い再生出力を得ることができるという効果があ
る。
高いカー回転角θ、を得ることができるので、高い記録
感度と高い再生出力を得ることができるという効果があ
る。
第１図は本発明の一実施例を示す断面図、第２図は第１
図に示す周期多層膜の作製装置を説明するための正面図
、第３図は第１図に示す実施例の特性図、第４図は本発
明の他の実施例を示す断面図である。 １．１４・・・・・基板、２・・・・周期多層膜、３・
・・・・Ｔｂ膜、４・・・・・・ＦｅＣｏ膜、５，１５
・・・・・保護膜、６・・・・・・基板ボルダ、７・・
・・・・スパッタチャンバ、８．９・・・・・・ターゲ
ラｌ−１１０，１１・・・・・・ターゲットホルダ、１
２，１．３・・・・・・ＤＣ電源、θゆ・・・・カー回
転角、Ｔｃ・・・・・・キューリー温度。 代理人 弁理士 内 原 晋
図に示す周期多層膜の作製装置を説明するための正面図
、第３図は第１図に示す実施例の特性図、第４図は本発
明の他の実施例を示す断面図である。 １．１４・・・・・基板、２・・・・周期多層膜、３・
・・・・Ｔｂ膜、４・・・・・・ＦｅＣｏ膜、５，１５
・・・・・保護膜、６・・・・・・基板ボルダ、７・・
・・・・スパッタチャンバ、８．９・・・・・・ターゲ
ラｌ−１１０，１１・・・・・・ターゲットホルダ、１
２，１．３・・・・・・ＤＣ電源、θゆ・・・・カー回
転角、Ｔｃ・・・・・・キューリー温度。 代理人 弁理士 内 原 晋
Claims (1)
- 基板と、希土類金属薄膜の一層当たりの膜厚値がその希
土類原子直径より大きく希土類原子直径の３倍より小さ
い希土類金属薄膜と遷移金属を主成分とする薄膜とが交
互に前記基板の上に形成された周期多層膜と、前記周期
多層膜を覆うように形成された保護層とを含むことを特
徴とする光磁気記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1094534A JP2647958B2 (ja) | 1989-04-13 | 1989-04-13 | 光磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1094534A JP2647958B2 (ja) | 1989-04-13 | 1989-04-13 | 光磁気記録媒体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02273348A true JPH02273348A (ja) | 1990-11-07 |
| JP2647958B2 JP2647958B2 (ja) | 1997-08-27 |
Family
ID=14112997
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1094534A Expired - Lifetime JP2647958B2 (ja) | 1989-04-13 | 1989-04-13 | 光磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2647958B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH087352A (ja) * | 1994-06-24 | 1996-01-12 | Nec Corp | 光磁気記録媒体及びその製造方法 |
Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61108112A (ja) * | 1984-10-31 | 1986-05-26 | Ricoh Co Ltd | 垂直磁化膜 |
| JPS6226659A (ja) * | 1985-07-26 | 1987-02-04 | Sony Corp | 光磁気記録媒体 |
| JPS6271041A (ja) * | 1985-09-24 | 1987-04-01 | Toshiba Corp | 光磁気記録媒体及びその製造方法 |
| JPS6333764A (ja) * | 1986-07-29 | 1988-02-13 | Fujitsu Ltd | 乾式電子写真装置の現像器 |
| JPS63211141A (ja) * | 1987-02-27 | 1988-09-02 | Nippon Hoso Kyokai <Nhk> | 光磁気記録媒体 |
| JPS63269354A (ja) * | 1987-04-28 | 1988-11-07 | Ricoh Co Ltd | 光磁気記録媒体 |
| JPS6446847A (en) * | 1987-08-18 | 1989-02-21 | Fujitsu Ltd | Error detection system |
-
1989
- 1989-04-13 JP JP1094534A patent/JP2647958B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61108112A (ja) * | 1984-10-31 | 1986-05-26 | Ricoh Co Ltd | 垂直磁化膜 |
| JPS6226659A (ja) * | 1985-07-26 | 1987-02-04 | Sony Corp | 光磁気記録媒体 |
| JPS6271041A (ja) * | 1985-09-24 | 1987-04-01 | Toshiba Corp | 光磁気記録媒体及びその製造方法 |
| JPS6333764A (ja) * | 1986-07-29 | 1988-02-13 | Fujitsu Ltd | 乾式電子写真装置の現像器 |
| JPS63211141A (ja) * | 1987-02-27 | 1988-09-02 | Nippon Hoso Kyokai <Nhk> | 光磁気記録媒体 |
| JPS63269354A (ja) * | 1987-04-28 | 1988-11-07 | Ricoh Co Ltd | 光磁気記録媒体 |
| JPS6446847A (en) * | 1987-08-18 | 1989-02-21 | Fujitsu Ltd | Error detection system |
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|---|---|---|---|---|
| JPH087352A (ja) * | 1994-06-24 | 1996-01-12 | Nec Corp | 光磁気記録媒体及びその製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2647958B2 (ja) | 1997-08-27 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
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