JPH0227541U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0227541U JPH0227541U JP10708288U JP10708288U JPH0227541U JP H0227541 U JPH0227541 U JP H0227541U JP 10708288 U JP10708288 U JP 10708288U JP 10708288 U JP10708288 U JP 10708288U JP H0227541 U JPH0227541 U JP H0227541U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- case
- opening
- pressure sensor
- diaphragm
- introduction port
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 1
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Description
第１図は、この考案の一実施例に係る静電容量
式圧力センサの第２図中―線における断面図
、第２図は、同静電容量式圧力センサの一部を破
断して示す外観斜視図、第３図は、同静電容量式
圧力センサの変形例を示す断面図、第４図は、従
来の静電容量式圧力センサの断面図である。 ２：ケース、２ａ：圧力導入口、２ｂ：開口部
、３：ダイヤフラム、４：可動電極、５：固定電
極、６：絶縁シート、６′：スペーサ、７：金属
板。
式圧力センサの第２図中―線における断面図
、第２図は、同静電容量式圧力センサの一部を破
断して示す外観斜視図、第３図は、同静電容量式
圧力センサの変形例を示す断面図、第４図は、従
来の静電容量式圧力センサの断面図である。 ２：ケース、２ａ：圧力導入口、２ｂ：開口部
、３：ダイヤフラム、４：可動電極、５：固定電
極、６：絶縁シート、６′：スペーサ、７：金属
板。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 圧力導入口と開口部とを有するケースと、この
ケース内にその周縁を支持して設けられ、このケ
ース内を圧力導入口側と開口部側とに隔離するダ
イヤフラムと、このダイヤフラム上に支持される
可動電極と、この可動電極と対向し、前記開口部
を被蓋する固定電極とを備えてなる静電容量式圧
力センサにおいて、 前記固定電極とは絶縁され、この固定電極の外
面側に重ねられる誘電板を備えたことを特徴とす
る静電容量式圧力センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10708288U JPH0227541U (ja) | 1988-08-11 | 1988-08-11 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10708288U JPH0227541U (ja) | 1988-08-11 | 1988-08-11 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0227541U true JPH0227541U (ja) | 1990-02-22 |
Family
ID=31341174
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10708288U Pending JPH0227541U (ja) | 1988-08-11 | 1988-08-11 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0227541U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002505749A (ja) * | 1997-06-20 | 2002-02-19 | エムケイエス・インストゥルメンツ・インコーポレーテッド | 改良された電極支持体を備える容量型圧力変換器 |
-
1988
- 1988-08-11 JP JP10708288U patent/JPH0227541U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002505749A (ja) * | 1997-06-20 | 2002-02-19 | エムケイエス・インストゥルメンツ・インコーポレーテッド | 改良された電極支持体を備える容量型圧力変換器 |