JPH02275910A - 光ファイバの固定方法 - Google Patents
光ファイバの固定方法Info
- Publication number
- JPH02275910A JPH02275910A JP1098411A JP9841189A JPH02275910A JP H02275910 A JPH02275910 A JP H02275910A JP 1098411 A JP1098411 A JP 1098411A JP 9841189 A JP9841189 A JP 9841189A JP H02275910 A JPH02275910 A JP H02275910A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical fiber
- substrate
- groove
- curvature
- buried
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Light Guides In General And Applications Therefor (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
本発明は光ファイバを用いて構成した研磨型光カプラに
関し、基板と光ファイバの固定方法の改善に関する。
関し、基板と光ファイバの固定方法の改善に関する。
〈従来の技術〉
第5図は従来の光フアイバカプラを示ずものである。図
において1は例えば石英ガラス等からなる一対の基板で
あり、それぞれの基板には光ファイバ2か埋め込まれ1
例えばa側から入射した光がす、c側に所定の分岐比で
分岐される。
において1は例えば石英ガラス等からなる一対の基板で
あり、それぞれの基板には光ファイバ2か埋め込まれ1
例えばa側から入射した光がす、c側に所定の分岐比で
分岐される。
第6図(a)〜(c)は上記カプラの概略製作工程を示
す図で9 (a)は基板1に曲率半径rで講8を形成し
、この溝の曲面に沿って光ファイバ2を埋設/固定した
状態を示す斜視図である。
す図で9 (a)は基板1に曲率半径rで講8を形成し
、この溝の曲面に沿って光ファイバ2を埋設/固定した
状態を示す斜視図である。
(b)は基板1の表面の点線で示す部分を研磨した状態
を示ず断面図である。研磨は光ファイバのクラッド3と
コア4の距離が数μmとなるまで行う。(、c)は上記
(a)、(b)の工程で製作した2つの基板を固定させ
る前の状態を示す斜視図である。この場合、基板は研磨
したクラッド3のeで示す部分を密着させて固定する。
を示ず断面図である。研磨は光ファイバのクラッド3と
コア4の距離が数μmとなるまで行う。(、c)は上記
(a)、(b)の工程で製作した2つの基板を固定させ
る前の状態を示す斜視図である。この場合、基板は研磨
したクラッド3のeで示す部分を密着させて固定する。
上記構成によれば2つのコアが数μmの所まで接近した
状態になる。このようにコア同士か接近すると、光はそ
れぞれのコアを独立に伝搬せず互いに光パワーの授受を
行いながら伝搬する。このため、一方のコアに光を入射
すると、その光は他方のコアに結合する。従って2本の
コア間の距離と結合部分の長さを調整することにより必
要な分岐比を得ることが出来る。
状態になる。このようにコア同士か接近すると、光はそ
れぞれのコアを独立に伝搬せず互いに光パワーの授受を
行いながら伝搬する。このため、一方のコアに光を入射
すると、その光は他方のコアに結合する。従って2本の
コア間の距離と結合部分の長さを調整することにより必
要な分岐比を得ることが出来る。
〈発明が解決しようとする課題〉
しかしながら、上記構成の光カプラにおいては光ファイ
バを基板の溝に固定する際に光硬化性接着剤を用いて固
定しているので1周囲温度が変化した場合基板と接着剤
の熱膨脹係数の違い(光硬化性接着剤の膨張係数は石英
ガラスの100〜1000倍稈度ある)に基づく変位に
より、2つの基板に固定された光ファイバの接触位置が
変化し。
バを基板の溝に固定する際に光硬化性接着剤を用いて固
定しているので1周囲温度が変化した場合基板と接着剤
の熱膨脹係数の違い(光硬化性接着剤の膨張係数は石英
ガラスの100〜1000倍稈度ある)に基づく変位に
より、2つの基板に固定された光ファイバの接触位置が
変化し。
分岐比が変化するという問題があった。
本発明は上記従来技術にお(する問題を解決する為に成
されたもので、基板と光ファイバを接着剤を用いずに固
定する事により温度依存性のない光フアイバカプラを提
供することを目的とする。
されたもので、基板と光ファイバを接着剤を用いずに固
定する事により温度依存性のない光フアイバカプラを提
供することを目的とする。
〈課題を解決するための手段〉
上記課題を解決するための本発明の構成は請求項1に関
しては a)熱膨脹係数か光ファイバと同程度の金属性基板表面
の深さ方向に所定の曲率半径で光ファイバを埋設する溝
を加工する工程と b)光ファイバの一部に金属薄膜を付着する工程と。
しては a)熱膨脹係数か光ファイバと同程度の金属性基板表面
の深さ方向に所定の曲率半径で光ファイバを埋設する溝
を加工する工程と b)光ファイバの一部に金属薄膜を付着する工程と。
、c)前記基板の講に前記す工程で加工した光ファイバ
を配設する工程と。
を配設する工程と。
d)前記光ファイバを配設した基板にメツキを方也ず工
程とを含むものであり。
程とを含むものであり。
請求項2に関しては
a)ガラス基板表面の深さ方向に所定の曲率半径で光フ
ァイバを埋設する溝を加工する工程と。
ァイバを埋設する溝を加工する工程と。
b)前記ガラス基板の消に光ファイバを配設する」−程
と 、c)前記溝に有機挂素化合物を主成分とする液体を注
入して加水分解反応により前記溝中にゲル状のシリカを
形成する工程と。
と 、c)前記溝に有機挂素化合物を主成分とする液体を注
入して加水分解反応により前記溝中にゲル状のシリカを
形成する工程と。
d)前記基板を加熱して前記ゲル状のシリカをガラス化
する工程を含むものであり。
する工程を含むものであり。
請求項3に関しては。
a)ガラス基板表面の深さ方向に所定の曲率半径で光フ
ァイバを埋設する溝を加工する工程とb)前記ガラス基
板の溝部に燃焼している挂素化合物の炎を当て、その燃
焼によって生ずるSio2の微小な粒子を前記泊にわず
かにイf、積さぜる工程と 、c)前記酒に光ファイバを配設する11.稈とd)前
記基板の溝部に燃焼している拝素化合物を照射し、前記
渦に5jO2の微小な粒子を更に堆積させる工程と e)前記基板を加熱して前記堆積させなSiO2の微小
な粒子を焼結する工程を含むものであり請求項4に関し
ては a)石英基板表面の深さ方向に所定の曲率半径で光ファ
イバを埋設する泊を加工する工程とb)前記基板の渦に
光ファイバを配置し、前記講と光ファイバの隙間に前記
基板と同程度の熱膨脹係数を有する結晶化ガラスの粉末
を充填する工程と 、c)前記基板を加熱して前記充填した結晶化ガラスの
粉末を焼結する工程を含むものである。
ァイバを埋設する溝を加工する工程とb)前記ガラス基
板の溝部に燃焼している挂素化合物の炎を当て、その燃
焼によって生ずるSio2の微小な粒子を前記泊にわず
かにイf、積さぜる工程と 、c)前記酒に光ファイバを配設する11.稈とd)前
記基板の溝部に燃焼している拝素化合物を照射し、前記
渦に5jO2の微小な粒子を更に堆積させる工程と e)前記基板を加熱して前記堆積させなSiO2の微小
な粒子を焼結する工程を含むものであり請求項4に関し
ては a)石英基板表面の深さ方向に所定の曲率半径で光ファ
イバを埋設する泊を加工する工程とb)前記基板の渦に
光ファイバを配置し、前記講と光ファイバの隙間に前記
基板と同程度の熱膨脹係数を有する結晶化ガラスの粉末
を充填する工程と 、c)前記基板を加熱して前記充填した結晶化ガラスの
粉末を焼結する工程を含むものである。
く作用〉
光ファイバの固定部材として基板と同程度の熱膨脹係数
を有する金属やガラスを用いているので温度変動に対す
る基板と光ファイバの位置変化が少ない。
を有する金属やガラスを用いているので温度変動に対す
る基板と光ファイバの位置変化が少ない。
〈実施例〉
以下1本発明の実施例を図面に基づいて説明する。第1
図(a)〜(d)は本発明の請求項1に関する一実施例
を示す概略製作工程図である。
図(a)〜(d)は本発明の請求項1に関する一実施例
を示す概略製作工程図である。
工程(a>
金属性基板1に所定の曲率半径で講8を形成する。この
例においては基板材質として熱膨脹係数が光ファイバと
同程度な超低熱膨脹合金(例えば商品名スーパーインバ
ー・・・Fe63%、 −Ni32% −Co5%)を
用い、講はタイシングツやワイヤーンー等を用いて形成
する。
例においては基板材質として熱膨脹係数が光ファイバと
同程度な超低熱膨脹合金(例えば商品名スーパーインバ
ー・・・Fe63%、 −Ni32% −Co5%)を
用い、講はタイシングツやワイヤーンー等を用いて形成
する。
工程(b)
光ファイバ2の基板に固定される外周部分に金属10を
付着さぜる。付着金属としては例えばTi、Cr、Nb
等光ファイバに対して強固に固着する材質を使用する。
付着さぜる。付着金属としては例えばTi、Cr、Nb
等光ファイバに対して強固に固着する材質を使用する。
金属を付着させる手段としては溶射、スパッタ、蒸着等
を用いる。
を用いる。
工程(c)
溝8の部分を除いて基板全体にレジメl〜11を塗布後
、工程1〕て作成した光ファイバ2を基板の講に配置し
て接着テープや針金等を用いて光ファイバか講の底部で
、かつ、講のRに沿った状態で配設する。
、工程1〕て作成した光ファイバ2を基板の講に配置し
て接着テープや針金等を用いて光ファイバか講の底部で
、かつ、講のRに沿った状態で配設する。
工程(d)
に程Cで作製した基板をめっき層に入れ、めっきを行う
。めっき液としては硫酸ニッケル、硫酸鉄、硝酸コバル
1〜の混合液を用いる。(d)図において12はめっき
層、13は電源、14は白金等の陽極、]5はめっき液
、16は収(=Iけ台である。
。めっき液としては硫酸ニッケル、硫酸鉄、硝酸コバル
1〜の混合液を用いる。(d)図において12はめっき
層、13は電源、14は白金等の陽極、]5はめっき液
、16は収(=Iけ台である。
(e)図は光ファイバか埋設された泊にめっきが施され
光ファイバか固定された状態を示している。
光ファイバか固定された状態を示している。
上記(a)〜(d>の工程によれば光ファイバを接着剤
を用いることなく基板に固定する事が出来る。
を用いることなく基板に固定する事が出来る。
第2図(b)〜(d)は請求項2に関する一実施例を示
す概略製作工程図である。なお、ここでは工程(a)と
しての基板の製作工程は省略するが、利質、形状および
光ファイバ即設溝とも第5図で示ず従来例と同様に千1
英ガラスで形成されているものとする。
す概略製作工程図である。なお、ここでは工程(a)と
しての基板の製作工程は省略するが、利質、形状および
光ファイバ即設溝とも第5図で示ず従来例と同様に千1
英ガラスで形成されているものとする。
工程(b)
ガラス基板の溝に光ファイバを配設して請求項1で述べ
たと同様に配設し、この光ファイバが配設された渦に有
機桂素系化合物を主成分とする液体を付着させる。この
液体としては例えばSi(C21T50 )T ) 4
に1(20,およびGc02B203を加えたものを用
いる。この場合820は加水分解を早める為に機能し、
Ge 02 、 B2O3はゲル状のシリカをガラス
化する際に加熱温度を低下させる為に機能する。なお、
前記液体は光ファイバの」−面を覆い、湯からこぼれ落
ちない程度の量とする。上記のまま基板を大気中に放置
(12時間程度)シ、前記液体を加水分解反応によりゲ
ル状のシリカ(SiとOHが結びついたもの)とする。
たと同様に配設し、この光ファイバが配設された渦に有
機桂素系化合物を主成分とする液体を付着させる。この
液体としては例えばSi(C21T50 )T ) 4
に1(20,およびGc02B203を加えたものを用
いる。この場合820は加水分解を早める為に機能し、
Ge 02 、 B2O3はゲル状のシリカをガラス
化する際に加熱温度を低下させる為に機能する。なお、
前記液体は光ファイバの」−面を覆い、湯からこぼれ落
ちない程度の量とする。上記のまま基板を大気中に放置
(12時間程度)シ、前記液体を加水分解反応によりゲ
ル状のシリカ(SiとOHが結びついたもの)とする。
工程 (c)
基板を800〜・1000°Cに加熱してゲル状のシリ
カをガラス(S i 02 )化する。
カをガラス(S i 02 )化する。
上記工程の方法においても接着剤を用いることなく基板
に光ファイバを固着する事か出来、固定部材がガラスで
あることから熱膨脹係数の違いはほとんどない。
に光ファイバを固着する事か出来、固定部材がガラスで
あることから熱膨脹係数の違いはほとんどない。
第3図(a)〜(d)は請求項3に関する一実施例を示
す概略工程図である。この方法においても基板は請求項
2と同様なので工程(a)は省略する。
す概略工程図である。この方法においても基板は請求項
2と同様なので工程(a)は省略する。
工程(b)
ガス状の拌素化合物(例えばS i C(l aを主成
分としS i H4と02を加えたもの)をバーナ等で
噴射しながら燃焼させ、基板の滑部にその炎を当て、燃
焼によって生ずる5in2の微小な粒子を前記溝にわず
かに堆積させ、溝の底部に煤状のS i 02を付着さ
ぜる。
分としS i H4と02を加えたもの)をバーナ等で
噴射しながら燃焼させ、基板の滑部にその炎を当て、燃
焼によって生ずる5in2の微小な粒子を前記溝にわず
かに堆積させ、溝の底部に煤状のS i 02を付着さ
ぜる。
工程(c)
工程(b)で付着させたS i 02の上に光ファイバ
を配設し、その上に前記バーナーの炎を当て光ファイバ
の表面を含んで更に煤状の5102をイー1着させる。
を配設し、その上に前記バーナーの炎を当て光ファイバ
の表面を含んで更に煤状の5102をイー1着させる。
工程(c)基板を800〜1000℃に加熱して煤状の
シリカをガラス化する。
シリカをガラス化する。
」二記工程の方法においても接着剤を用いることなく基
板に光ファイバを固着する事が出来る。
板に光ファイバを固着する事が出来る。
第4図(b)、(c)は請求項3に関する一実施例を示
す概略工程図である。この方法においても基板は第2の
請求項のものと同じなので工程(a)は省略する。
す概略工程図である。この方法においても基板は第2の
請求項のものと同じなので工程(a)は省略する。
、工程 (b)
基板の溝に光ファイバを配設し、前記溝と光ファイバの
隙間に基板と同程度の熱膨脹係数を有する結晶化ガラス
3の粉末を充填する。
隙間に基板と同程度の熱膨脹係数を有する結晶化ガラス
3の粉末を充填する。
工程(c)
基板を加熱して充填した結晶化ガラス3の粉末を例えば
レーザ光をレンズ4を介して照射して焼結させる。なお
、結晶化ガラスにカーボンや金属片を混入させてレーザ
光の吸熱効果を良くする事も可能である。
レーザ光をレンズ4を介して照射して焼結させる。なお
、結晶化ガラスにカーボンや金属片を混入させてレーザ
光の吸熱効果を良くする事も可能である。
上記請求項1〜4のいずれかの工程を用いることにより
光ファイバを接着剤を用いずにノル板に固定する事が出
来る。
光ファイバを接着剤を用いずにノル板に固定する事が出
来る。
〈発明の効果〉
以上、実施例とともに具体的に説明したように本発明に
よれば、基板の溝に光ファイバを固定するに際し、接着
剤を用いていないので温度変動に対する分岐比の変化の
少ない光フアイバカプラを実現する事が出来る。
よれば、基板の溝に光ファイバを固定するに際し、接着
剤を用いていないので温度変動に対する分岐比の変化の
少ない光フアイバカプラを実現する事が出来る。
第1図〜第4図は本発明の一実施例を示す概略工程図1
第5図は従来の光フアイバカプラを示す斜視図、第6図
は光フアイバカプラの概略製作工程を示す図である。 1・・・ガラス基板、1a・・・金属性基板、2・・・
光ファイバ、3・・・結晶化ガラス。 ノロ 刃之イ・す含 二元ファイバ (、c) (e) 途
第5図は従来の光フアイバカプラを示す斜視図、第6図
は光フアイバカプラの概略製作工程を示す図である。 1・・・ガラス基板、1a・・・金属性基板、2・・・
光ファイバ、3・・・結晶化ガラス。 ノロ 刃之イ・す含 二元ファイバ (、c) (e) 途
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1) a)熱膨脹係数が光ファイバと同程度の金属性基板表面
の深さ方向に所定の曲率半径で光ファイバを埋設する溝
を加工する工程と、 b)光ファイバの一部に金属薄膜を付着する工程と、 c)前記基板の溝に前記b工程で加工した光ファイバを
配設する工程と、 d)前記光ファイバを配設した基板にメッキを施す工程
とを含む事を特徴とする光ファイバの固定方法。 2) a)ガラス基板表面の深さ方向に所定の曲率半径で光フ
ァイバを埋設する溝を加工する工程と、b)前記ガラス
基板の溝に光ファイバを配設する工程と、 c)前記溝に有機挂素化合物を主成分とする液体を注入
して加水分解反応により前記溝中にゲル状のシリカを形
成する工程と、 d)前記基板を加熱して前記ゲル状のシリカをガラス化
する工程を含む事を特徴とする光ファイバの固定方法。 3) a)ガラス基板表面の深さ方向に所定の曲率半径で光フ
ァイバを埋設する溝を加工する工程と、b)前記ガラス
基板の溝部に燃焼している挂素化合物の炎を当て、その
燃焼によって生ずるSiO_2の微小な粒子を前記溝に
わずかに堆積させる工程と、 c)前記溝に光ファイバを配設する工程と、d)前記基
板の溝部に燃焼している挂素化合物の炎を当て、前記溝
にSiO_2の微小な粒子を更に堆積させる工程と、 e)前記基板を加熱して前記堆積させたSiO_2の微
小な粒子を焼結する工程を含む事を特徴とする光ファイ
バの固定方法。 4) a)石英基板表面の深さ方向に所定の曲率半径で光ファ
イバを埋設する溝を加工する工程と、b)前記基板の溝
に光ファイバを配置し、前記溝と光ファイバの隙間に前
記基板と同程度の熱膨脹係数を有する結晶化ガラスの粉
末を充填する工程と、 c)前記基板を加熱して前記充填した結晶化ガラスの粉
末を焼結する工程を含む事を特徴とする光ファイバの固
定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1098411A JPH02275910A (ja) | 1989-04-18 | 1989-04-18 | 光ファイバの固定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1098411A JPH02275910A (ja) | 1989-04-18 | 1989-04-18 | 光ファイバの固定方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02275910A true JPH02275910A (ja) | 1990-11-09 |
Family
ID=14219086
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1098411A Pending JPH02275910A (ja) | 1989-04-18 | 1989-04-18 | 光ファイバの固定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02275910A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2017500610A (ja) * | 2013-12-18 | 2017-01-05 | レイセオン カンパニー | 高出力光ファイバの熱マネジメント |
| JP2017503915A (ja) * | 2013-11-22 | 2017-02-02 | インフォテック エスピー.オー.オー.Inphotech Sp. O. O. | 導電性コーティングを有する光ファイバを金属要素に接着させる方法 |
-
1989
- 1989-04-18 JP JP1098411A patent/JPH02275910A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2017503915A (ja) * | 2013-11-22 | 2017-02-02 | インフォテック エスピー.オー.オー.Inphotech Sp. O. O. | 導電性コーティングを有する光ファイバを金属要素に接着させる方法 |
| JP2017500610A (ja) * | 2013-12-18 | 2017-01-05 | レイセオン カンパニー | 高出力光ファイバの熱マネジメント |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4384038A (en) | Method of producing integrated optical waveguide circuits and circuits obtained by this method | |
| CA1333856C (en) | Method of making integrated optical component | |
| JPH02275910A (ja) | 光ファイバの固定方法 | |
| JPH11125727A (ja) | 光導波路の製造方法 | |
| Butt et al. | Numerical scrutiny of a silica-titania-based reverse rib waveguide with vertical and rounded sidewalls | |
| JPH04238305A (ja) | ポリマーコートガラスコア光導波路 | |
| US20040047580A1 (en) | Light waveguide and its manufacturing method | |
| JPS63192004A (ja) | 導波路形光学素子およびその製造方法 | |
| EP1211532A3 (en) | Optical device for mounting optical elements | |
| JPS59189308A (ja) | 光フアイバと光導波路との接続方法 | |
| JP3307505B2 (ja) | 石英系コーナーミラー導波路とその製造方法 | |
| JPS59198407A (ja) | 回折格子付き光導波膜の製造方法 | |
| JPH02244104A (ja) | ガラス光導波路 | |
| JPS6343105A (ja) | 単一モ−ド光導波路 | |
| JPS602905A (ja) | 拡散形ガラス導波路の製造方法 | |
| JPS59137346A (ja) | ガラス導波路の作製法 | |
| JPH0688914A (ja) | 光導波路及びその製造方法 | |
| CN1330986C (zh) | 一种脊形圆波导器件的制作方法 | |
| JPS63184707A (ja) | 平面状光導波路の製造方法 | |
| JPH06214128A (ja) | 光導波回路 | |
| JPS61273505A (ja) | 光平面導波路の製造方法 | |
| JP2588710B2 (ja) | 石英系光導波膜の製造方法 | |
| JPH0310205A (ja) | 基板型光導波路の製造方法 | |
| JPS6145202A (ja) | 光導波路 | |
| JP2842874B2 (ja) | 導波路型光デバイスの製造方法 |