JPH02276130A - 電子管の気密封止方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の目的］ （産業上の利用分野） この発明は、例えば進行波管のパイプ状真空容器を製造
する場合等に使用して好適な電子管の気密封止方法に関
する。

（従来の技術） 一般に、電子管は電子のエネルギをマイクロ波又はＸ線
等の電磁波に変換する装置である。このため電子の速度
を、より光束に近い速度で運動させる必要があり、且つ
熱陰極を使用する場合、陰極の劣化を防ぐ必要があるた
め、電子管内を高真空に保たなければならない。

このような電子管例えば進行波管は第３図に示すように
構成され、電子ビームを発生する電子銃部１と、電子ビ
ームとマイクロ波との相互作用によりマイクロ波の増幅
が行われる高周波作用部（遅波回路部）２と、この高周
波作用部２においてマイクロ波の増幅作用に関与し終っ
た電子ビームを捕獲する少なくとも１個のコレクタ電極
を有するコレクタ部３とからなっている。

そして、高周波作用部２は、パイプ状真空外囲器４内に
ヘリックス５が３本の誘電体支持棒６により支持固定さ
れていて、この高周波作用部２の両端にはそれぞ・れ入
力線路７及び出力線路８が突設されている。

この入力線路７と出力線路８はいずれも棒状内導体とパ
イプ状外導体とからなる同軸線路にして、駆動人力を外
部から高周波作用部２に伝え、高周波作用部２において
増幅されたマイクロ波を外部へ取出す部分である。

製造時には、この入力線路７や出力線路８を高周波作用
部２に接続するが、この場合、パイプ状真空外囲器４と
入力線路７や出力線路８のパイプ状外導体とを接続する
気密封止として、従来はＴＩＧ溶接、高周波ろう付け、
電気炉等によるろう付けにより行なっていた。

（発明が解決しようとする課題） ところが、上記のような従来の方法には、それぞれ次の
ような不都合がある。

即ち、ＴＩＧ溶接は、微細部及び複雑な構造には適さず
、溶接後に発生する歪みにより部品の曲がりが生じ易い
。

又、高周波ろう付けは、ろう付は部具外の場所がろう付
は温度以上に加熱される可能性が大きく、この場合も高
精度を要求される複雑な構造には適さない。

これに対し、水素炉によるろう付けは、どのような構造
にも適するが、温度管理の難しさ、及び熱彫版の異なる
部品が複雑に組合わされた物においては、ろう付は後に
変形を起こす。更に、進行波管のデイスト−ジョンスク
イズ等の組立て構造においては、パイプ状真空外囲器４
がアニールされて硬度が低下してしまい、ヘソックス５
を安定に支持出来なくなって、その役目を果たさなくな
る。

この発明は、微細化及び複雑化した構造の場合にも適し
、而も高精度を要求される電子管の気密封止方法を提供
することを目的とする。

［発明の構成］ （課題を解決するための手段） この発明は、互いに交差するように一体化される第１の
パイプ状容器と第２のパイプ状容器のリング状被接合部
に、光源からの熱線をリング状に集光して局部加熱し、
ろう材を溶かして気密ろう接する電子管の気密封止方法
である。

（作用） この発明によれば、被ろう接部のみを一度に且つ均一に
加熱することが出来るため、被ろう接部における曲がり
の防止が可能となり、更に被接合部以外は殆ど加熱され
ないので、被接合部以外の部分の熱変形の発生を抑える
ことが出来る。

（実施例） 以下、図面を参照して、この発明の一実施例を詳細に説
明する。

尚、従来り（第４図）と同一箇所は同一符号を付す。

進行波管のパイプ状真空容器の気密封止にこの発明を適
用した場合を第１図に示す。即ち、Ｍ。

或いはステンレス製の薄肉パイプ状真空外囲器４の両端
部近傍の外周の一部に、所定寸法の透孔を形成しである
。そして、これら透孔に、高周波入力線路７、或いは高
周波出力線路８の各Ｍｏ又はステンレス製の薄肉パイプ
状外導体７　ａ　ｓ　８　ａめ先端を挿入する。こうし
て、パイプ状真空外囲器４に対して、各パイプ状外導体
７　ａｓ　８　ａは直交するように突き合わせられてい
る。これらの被接合部１０に、リング状のろう材１１を
配置する。

そこで、リング状の被接合部に対して垂直に延長された
外導体７ａの真上の中心軸上に、キセノンランプ等の光
源及び集光レンズ等（図示せず）を内蔵する光溶接機の
光源部９を同軸的に配置する。そして、この光源部９か
らの熱線りを集光レンズにより被接合部１０に集光する
。

この場合、第２図（ａ）、（ｂ）に示すように熱線りの
エネルギー密度を被接合部１０に合致するようにリング
状焦点形状Ｌａに分布させる如く集光する。

この集光されたリング状熱線のリング状焦点Ｌａにより
被接合部１０及びろう材１１を局部加熱し、ろう材１１
を溶かして気密ろう接する。

このようにリング状に熱線りを集光しているので、互い
に交差するパイプ状容器の気密封止を容品に行なうこと
が出来る。

而も、リング状被接合部１０が均一に加熱さ朴、他の部
分が殆ど温度上昇しないため、歪みによる曲がり等の変
形の発生がなくなるので、高精度の組立てが可能となる
。

尚、パイプ状真空外囲器４と出力線路８とのろう付けの
場合も、上記入力線路７の場合と全く同様に行なう。

第１図中の符号１２は、パイプ状真空外囲器４の周りに
嵌合した多数のポールピースを表わしている。

又、この発明は第１のパイプ状容器に対して第２のパイ
プ状容器が直角でない角度で交差するように突き合わせ
られた構造の場合も、リング状被接合部に対して略々型
直な方向から熱線を照射し、リング状に集光してろう接
することが出来る。

［発明の効果］ 以上説明したように、この発明によれば、互いに交差す
る第１のパイプ状容器と第２のパイプ状容器のリング状
被接合部に、光源からの熱線をリング状に集光して局部
加熱し、ろう材を溶かして気密ろう接するので、リング
状被接合部のみを局部加熱して気密接合することが出来
、他の部分の加熱を殆ど生じさせないで組立てることが
可能である。

従って、高精度の組立てが出来る。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例に係る電子管の気密封止方
法を示す概略構成図、第２図（ａ）（ｂ）はこの発明の
気密封止方法において光源からの熱線を集光する状態を
示し、（ａ）は側面図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ’線に
沿って切断し矢印方向に見た焦点分布図、第３図は電子
管の一例（進行波管）を示す概略断面図である。 ４・・・パイプ状真空外囲器（第１のパイプ状容器）　
７・・・入力線路、８・・・出力線路、７ａ。 ８ａ・・・外導体（第２のパイプ状容器）　９・・・光
溶接機の光源部、１０・・・リング状被接合部、Ｌａ・
・・熱線焦点形状。 出願人代理人　弁理士　鈴江武彦 第２Ｗｉ

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 電子管を構成する第１のパイプ状容器とこの第１のパイ
   プ状容器の一部側面に突当たるように配置された第２の
   パイプ状容器とのリング状被接合部をろう接により気密
   封止する電子管の気密封止方法において、 上記第１のパイプ状容器と第２のパイプ状容器のリング
   状被接合部に、上記第２のパイプ状容器側に配置された
   光源からの熱線を上記リング状被接合部にリング状に集
   光して局部加熱し、ろう材を溶かして気密ろう接するこ
   とを特徴とする電子管の気密封止方法。