JPH02276901A - 視覚センサの位置ズレ修正方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、視覚センサの位置ズレ修正方法に関する。

従来の技術 産業用ロボット等各種自動機械の動作補正等のために様
々な視覚センサが用いられることは公知である。

視覚センサを用いて産業用ロボット等の動作補正等を行
うためには、カメラで捕えた被対象物の位置を画像の座
標系であるセンサ座標系からロボット座標系に変換する
ためにロボット座標系を視覚センサに定義して両座標系
を整合させておく必要がある。いわゆるキャリブデータ
の設定を行う必要があり、例えば、２次キャリブデータ
の設定の場合、少なからず次に示すような３工程の処理
を必要とする。

１）カメラ光軸に垂直なロボット座標系の平面を指定し
、かつ、センサ座標系を基準とするロボット座標系の方
向を設定することにより各座標系の方向性を整合させる
処理。

２）　センサ座標系上の点とロボット座標系上の点とを
対応させ各座標軸の基準位置を整合させる処理。

３）センサ座標系上の距離とロボット座標系上の距離と
を比較し画素スケールを設定するための処理。

このように複雑な処理を行った後、始めて、産業用ロボ
ット等の動作補正を正確に行うことが可能となるが、視
覚センサのカメラに物品が衝突する等といった不慮の事
故によりカメラに位置ズレが生じると、予め設定された
ギヤリブデータによって正確な動作補正を行うことが不
能となるため、位置ズレを生じたカメラに対応して再度
ギヤリブデータの設定を行い、センサ座標系とロボット
座標系とを整合させなければならなかった。

発明が解決しようとする課題 前記従来技術では、ギヤリブデータの設定に必要とされ
る処理が非常に複雑で多大な時間を要し、特に、製造ラ
イン上に配備された産業用ロボットの視覚センサに位置
ズレが生じた場合には、ギヤリブデータの設定のために
ラインの稼働を全面的に停止する等といった措置が必要
となり、生産動車が著しく低下するといった欠点がある
。

そこで、本発明の目的は、複雑な処理を必要とせず、容
易に？Ｊ２覚センサの位置ズレを修正することのできる
視覚センサの位置ズレ修正方法を提供することにある。

課題を解決するための手段 本発明は、所定位置に配置した基準体を視覚センサのカ
メラで囮影し、該基準体における区別して認識可能な特
徴点のセンサ座標系における座標位ｎを検出して視覚セ
ンサ内に記憶さゼておき、前記カメラに位置ズレが生じ
た場合に、前記基準体を前記所定位置に配置し前記カメ
ラで撮影して前記記憶した特徴点に対応する特徴点のセ
ンサ座標系における座標位置を検出し、視覚センサで検
出した各特徴点の座標位置と記憶した座標位置間の位置
ズレを求めて基準体のセンサ座標系上の位置ズレを表示
手段に表示し、該表示に基いてカメラのズレを調整する
ことにより、前記課題を達成した。

作　　用 所定位置に配置した基準体を視覚センサのカメラで囮影
し、区別して認識可能な特徴点のセンサ座標系における
座標位置を検出して視覚センサ内に記憶させることによ
り、所定位置に配置した基準体とカメラとの位置関係を
定義し、視覚センサに記憶する。

カメラに位置ズレが生じた場合には、前記基準体を前記
所定位置に配置して前記カメラで囮影し、前記記憶した
特徴点に対応する特徴点のセンサ座標系における座標位
置を検出し、視覚センって検出した各特徴点の座標位置
と記憶した座標位置間の位置ズレを求めて基準体のセン
サ座標系上の位置ズレを表示手段に表示し、該表示に基
いてカメラのズレを調整する。

即ち、所定位置に配置された基準体に対して、定義され
た位置関係となるようにカメラの位置を調整することに
より、カメラの位置ズレが修復される。

実施例 第５図は、本発明の方法を実施する一実滴例の視覚セン
サシステムの要部ブロック図である。

図中、１０は画像中央処理装置で、該画像中央処理装置
１０は主中央処理装置（以下、メインＣＰＬＩという）
１１を有し、該メインＣＰｔＪ１１には、カメラインタ
フェイス１２１画像処理プロセッサ１３．コンソールイ
ンタフェイス１４１通信インタフェイス１５．ＴＶモニ
タインタフェイス１６、フレームメモリ１７．ＲＯＭで
形成されたコントロールソフト用メモリ１８．ＲＡＭ等
で構成されたプログラムメモリ１９．不揮発性ＲＡＭで
構成されたデータメモリ２０がバス２１で接続されてい
る。

カメラインタフェイス１２には部品等の対象物を囮影す
るカメラ２２が接続され、該カメラ２２の視野でとらえ
た画像は、グレイスケールによる濃淡画像に変換されて
フレームメモリ１７に格納される。

画像処理プロセッサ１３はフレームメモリ１７に格納さ
れた画像を処理し、対象物の識別１位置。

姿勢を計測する。

コンソールインタフェイス１４にはコンソール２３が接
続され、該コンソール２３は、液晶表示部のほか、各種
指令キー、アプリケーションプログラムの入力１編集、
σ録、実行などの操作を行うための数値キー等を有して
おり、上記液晶表示部には、各種データ設定のためのメ
ニューやプログラムのリストなどが表示できるようにな
っている。

また、コントロールソフト用メモリ１８にはメインＣＰ
Ｕ１１が該視覚センリシステムを制御するためのコント
ロールプログラムおよび後述する基準位置設定モードや
位置ズレ検出モードを実行するためのプログラム等が格
納されており、また、プログラムメモリ１９にはユーザ
が作成したプログラムが格納されている。

通信インタフェイス１５には産業用ロボット等、該視覚
センサシステムを利用するシステムが接続されている。

また、ＴＶモニタインタフェイス１６にはカメラ２２が
撮影した映像を表示するすモニタテレビ２４が接続され
ている。

視覚センサシステムにおけるハードウェア構成は従来の
ものと同様であるが、本実施例の視覚センサシステムで
は、本発明の方法を実現するための手段としての基準位
置設定モードや位置ズレ検出モードを実行するためのプ
ログラムがソフトウェアとして付加されている点が従来
のものと相違する。

第３図は産業用ロボット等を備えた製造ライン上に組込
まれた視覚セン９に対して本発明の方法を適用する際に
用いられる構成の一例を示す図であり、視覚センサのカ
メラ２２によって監視される領［１上の所定位置には、
基準体となるテンプレート２を所定位置に配置するため
の位置決めマーク３ａ、３ｂが描かれている。一方、基
準体となるテンプレート２の表面には、不等辺四角形状
の線画りが描かれており、線画りの四隅の点Ｐ１゜Ｐ２
．Ｐ３．Ｐ４の各々によって、区別して認識可能な特徴
点く以下、単に特徴点という）が形成されている。

以下、本実施例の視覚センサの基準位置設定モードおよ
び位置ズレ検出モードにおいて実行される処理を示すフ
ローヂャート第１図、第２図と共に、本実施例における
位置決め修正方法を説明する。

オペレータは、まず、視覚センサのカメラ２２の位置が
正常な状態、例えば、キャリブデータを設定した直後の
段階で、製造ラインの領域１上に描かれた位置決めマー
ク３ａ、３ｂを基準としてテンプレート２を位置決めし
、該アンプレート２を所定（Ｄ置に配置する（第３図参
照）。

次に、視覚センサのコンソール２３に設けられたモード
指定キーを操作してＣＰＵ１１に指令を与え、コントロ
ールソフト用メモリ１８に記憶された基準位置設定モー
ドの処理（第１図参照）を開始させる。

コントロールソフトに従って基準位置設定モードの処理
を開始したＣＰＵ１１は、カメラ２２にスナップ指令を
出力し、所定位置に配置されたテンプレート２の線画り
をカメラ２２で撮影し、画像処理プロセッサ１３でグレ
イスケール瀧淡処理を行った後、線画りの画＠ｄ（第４
図中実線で示す）をフレームメモリ１７に格納する（ス
テップ８１）。次に、ＣＰＵ１１は画像処理プロセッサ
１３に対象物検出指令を出力して従来と同様の方法で対
象物の検出を行わせ（ステップＳ２）、検出した対象物
の画像ｄから対象物の位置と姿勢（回転角）を求め（ス
テップＳ３）、画＠ｄ上の特徴点ｐ１〜ｐ４の位置をカ
メラ固有のセンリ座標系Ｘ−Ｙにおける座標成分×１〜
Ｘ４及びＹ１〜Ｙ４としてデータメモリ２０に記憶し、
所定位置に配置されたテンプレート２と正常な位置にあ
るカメラ２２との位置関係を定義して（ステップＳ４）
、基準位置設定モードの処理を終了する。

なお、ＣＰＵ１１による基準位置設定モードの処理が終
了した後、オペレータは、テンプレート２を製造ライン
の領域１上から取外し、製造ラインの稼働を可能な状態
とする。

そして、製造ラインの稼動中に視覚セン９のカメラ２２
に物品が衝突する等といった不慮の事故が生じ、カメラ
２２の位置ズレを発見した場合、オペレータは、−旦ラ
インの可動を停止して、製迄ラインの領域１上に描かれ
た位置決めマーク３ａ、３ｂによって規定される所定位
置にテンプレート２を天地左右とも誤ることなく位置決
めし、視覚センサのコンソール２３に設けられたモード
指定キーを操作してＣＰＵ１１に指令を与え、コントロ
ールソフト用メモリ１８に記憶された位置ズレ検出モー
ドの処理（第２図参照）を開始させる一方、目視による
カメラ位置の修正作業を開始する。

コントロールソフトに従って位置ズレ検出モードの処理
を開始したＣＰＵ１１は、オペレータのキー操作によっ
て位置ズレ検出指令が入力されているか否かを判別し、
位置ズレ検出指令が入力されていなければそのまま待機
状態に入るので（ステップ５１０１）、オペレータはこ
の間に目視判断に基く第１回目のカメラ位置の修正作業
を完了し、指令キーを操作してＣＰＵ１１の待機状態を
解除する。

待機状態を解除されたＣＰＵ１１は、カメラ２２にスナ
ップ指令を出力し、所定位置に配置されたテンプレート
２の線画りをカメラ２２で撮影し、両会処理プロセッサ
１３でグレイスケール濃淡処理を行った後、線画りの画
像ｄ’　　（第４図中二点鎖線で示す）をフレームメモ
リ１７に格納する（ステップ３１０２＞。次に、ＣＰｔ
Ｊｌｌは画像処理プロセッサ１３に対象物検出指令を出
力して従来と同様の方法で対象物の検出を行わせ（ステ
ップ８１０３）、検出した対象物の画像ｄ′から対象物
の位置と姿勢（回転角）を求め（ステップ８１０４）、
画像ｄ′上の特徴点ｐ１′〜ｐ４’　の位置をカメラ固
有のセンサ座標系Ｘ−Ｙにおける座標成分Ｘ１’〜Ｘ４
’およびＹ１’〜Ｙ４’　としてレジスタに記憶し、所
定位δに配置されたテンプレート２とカメラ２２の現在
位置との関係を一時記憶した後（ステップ８１０５）、
位置ズレの総和を記憶するレジスタＥおよび特徴点を識
別する指標ｉに０をセットして（ステップ８１０６）、
各特徴点間の位置ズレの総和を求めるためのループ状の
処理（ステップ８１０７〜ステツプ５１０９）に移行す
る。

次いで、特徴点を識別する指標ｉの値をインクリメント
しくステップ５１０７）、ｉ指標１の値に塞いて、デー
タメｔす２０から画像ｄ上の特徴点ｐ１を示す座標値Ｘ
ｉ、”ｙ’ｉを読込み、画像ｄ上の特徴点ｐｉとこれに
対応する画ｆｇ！ｄ’上の特徴点ｐｉ′との間のズレを
締出し、算出されたズレをレジスタＦに加陳する（ステ
ップ８１０８）。

なお、特徴点ｐｉと特徴点ｐ　＋ｌ　との間のズレは１
、２ （Ｘｉ−Ｘｉ　　）　　＋　（Ｙｉ−Ｙｉ’　＞２の演
惇式により距離の２乗で示される値である。

次いで、特徴点を識別する指標１の値が４に達したか否
か、即ち、画像ｄ上の特徴点ρ１．ｐ、２゜ｐ３．　ｐ
４および画像ｄ′上の特徴点ｐ１′ｐ２’　、ｐ３’　
、ｐ４’の対応する各特徴点間のズレを加算する処理が
すべて実行されたか否かを判別しくステップ５１０９）
、指標１の値が４に達していなければ、再度ステップ５
１０７に移行して指標ｉの値をインクリメントし、ステ
ップ８１０７〜ステツプ５１０９によって構成されるル
ープ状の処理を繰返し実行する。

このようにしてループ状の処理が繰返し実行される間に
、ステップ５１０９で指標ｉの値が４に達したと判別さ
れたならば、各特徴点間のズレが全て婁）出され、各特
徴点間のズレの総和がレジスタＦに記憶されたことを意
味し、ＣＰＵ１１はステップ５１１０に移行する。即ち
、ステップ５１０７−−ステツプ５１０９によって構成
されるループ状の処理は、 を実行するための処理である。

ステップ５１１０に移行したＣＰＵ１１は、レジスタＥ
に記憶された各特徴点間のズレの総和が許容設定１ａ　
ｅの範囲に収まっているか否かを判別し、ズレの総和が
許容設定値ｅの範囲に収まっていなければ、各特徴点間
のズレの総和Ｅをモニタテレヒ２４またはコンソールの
両方若しくはどちらか一方に表示し、また、カメラ２２
の位置を再調整すべき旨をモニタテレビ２４にメツセー
ジとして表示した後（ステップ５１１１）、再度ステッ
プ５１０１に復帰して、位置ズレ検出指令の入力を持つ
待機状態に入る。

オペレータはモニタテレビ２４に表示されたズレの総和
Ｅの値およびメツセージにより、第１回目のカメラ位置
の修正作業が不適当であったものと判断し、再度、目視
判断に基くカメラ位置の修正を行い、適正な修正を行っ
たと判断した段階で、再度指令キーを操作してＣＰＵ１
１の待機状態を解除し、ＣＰＵ１１によりステップ８１
０２以下の処理を実行させる。

ステップ８１０２〜ステツプ８１１０の処理を実行した
結果、ステップ８１１０においてズレの総和が許容設定
値ｅの範囲に収まっていないと判別されたならば、ＣＰ
Ｕ１１は、再度、カメラ２２の位置を再調整すべき旨を
モニタテレビ２４にメツセージとして表示するので、オ
ペレータはこの表示に基づいて更にカメラ位置の修正作
業を行うこととなる。

また、本実施例では、ズレの総和が許容設定値ｅの範囲
に収まっていないと判別された場合、メツセージと共に
ズレの総和Ｅの値を表示するようにしているので、２回
、３回・・・とカメラ位置の修正作業を行う必要がある
場合、ズレの総和Ｅの表示内容の変化に基いて、カメラ
位置の修正方向を推測することができる。例えば、第１
回目の修正作業で表示されたズレの総和Ｆに比べ第２回
目の修正作業で表示されたズレの総ｆｆ１Ｅの値の方が
大きくなっていれば、第２回目の昨１方向が誤っている
ことを意味し、オペレータは第３回目の修正作業で第２
回目の場合と逆の方向にカメラ位置を修正する必要があ
り、また、第１回目のべ正作業で表示されたズレの総和
Ｅに比べ第２回目の修正作業で表示されたズレの総和Ｅ
の値の方が小さくなっていれば、第２回目の修正方向が
正しいことを意味するので、オペレータはカメラの修正
量の刻み幅を小さくして、第３回目の修正作業で第２回
目の場合と同方向にカメラ位置を修正すればよい。

オペレータは、このようにしてカメラ２２の修正作業を
行う毎に、指令４−を操作して位置ズレ検出モードにお
けるステップ８１０２以下の処理を実行させるが、ステ
ップ８１１０においてズレの総和が許容設定ｔｆｊｅよ
りも小さいと判別されたならば、ＣＰＩＪＩＩは、ズレ
の総和Ｅの値が許容設定値Ｃの範囲に収まっている旨の
メツセージをモニタテレビ２４に表示しくステップ８１
１２）、位置ズレ検出モードの処理を全て終了する。こ
れは、適切な修正作業が行われたことを意味するもので
あり、オペレータはモニタテレビ２４に表示されたメツ
セージに従い、カメラの修正作業を完了させる。

なお、モニタテレビ２４上の各表示は、オペレータが別
のモード選択キーを操作した段階で自動的に消去される
。

以上に述べたように、本実施例においては、視覚センサ
のカメラ２２が正常な位置にある状態で基準体となるテ
ンプレート２を所定位置に配置し、テンプレート２に描
かれた線画りの特徴点ＰＩ。

Ｐ２．Ｐ３．Ｐ４をカメラ２２で撮影しくステップＳ１
）、該特徴点Ｐ１．Ｐ２．Ｐ３．Ｐ４のセンサ座標系に
おける座標位置１）１．ｌ）２．ｐ３゜ｐ４をセンサ座
標系Ｘ−Ｙの各軸方向の成分として視覚センサ内のデー
タメモリ２０に記憶することにより（ステップ８２〜ス
テツプＳ４）、所定位置に配置したテンプレート２０と
カメラ２２との正常な位置関係を定義し、カメラ２２に
位置ズレが生じた場合には、再度、位置決め？−り３ａ
。

３ｂによって規定される所定位置にテンプレート２を配
置し、線画りの特徴点Ｐ１．Ｐ２．Ｐ３゜Ｐ４をカメラ
２２で撮影しくステップ８１０２）、該特徴点ＰＩ、Ｐ
２．Ｐ３．Ｐ４のセンサ座標系における座標位置ｐ１’
　、　ｐ２’　、　ｐ３’ｐ４′をセンサ座標系Ｘ−Ｙ
の各軸方向の成分として検出しくステップ８１０３〜ス
テツプ５１０５）、センサ座標系Ｘ−Ｙ上で対応する各
特徴点ｐｉ、ｐｔ′の座標位置間のズレを求めるように
している（ステップ８１０８）。

本実施例においては、更に、ステップ８１０７〜ステッ
プ５１０９によって椙成されるループ状の処理によって
、センサ座標系ｘ−Ｙ上の各特徴点ｐｉ、ｐｉ’の座標
位置間のズレの総和Ｅを算出し、表示手段となるモニタ
テレビ２４に表示しくステップ８１１１）、ズレの総和
Ｅの値が小さくなる方向、即ら、位置ずれを生じたカメ
ラ２２が正常な位置にある状態で定義されたカメラ２２
とテンプレート２どの位隋関係を満足させる方向に該カ
メラ２２の位置を修正するようにしており、この条件が
満足された段階でカメラ２２の位置がほぼ完全に修復さ
れたことになる（ステップ５１１２）。

また、本実施例では対応する各特徴点ｐｉ。

ｐｉ′間のＸ軸およびＹ軸方向の位置ズレ吊の総和Ｅを
表示するようにしたが、別の実施例として、各軸方向の
位置ズレ暑の総和Ｅ　　、Ｅ　　を別個にＹ 表示することもできる。この場合、位置ズレ検出モード
のステップ８１０８で、Ｘ軸方向の位置ズレ■及びＹ軸
方向の位置ズレωを後述する（１）。

（２）式で別個に粋出し、位置ズレ吊の総和を記憶する
レジスタＥ、Ｅ、に順次加締し、ステラプ５１１１で位
置ズレωの総和Ｅ、Ｅ、を別個に表示する。従って、オ
ペレータがカメラ２２の位置を修正する際には、ステッ
プ５１１１で表示された位置ズレｆｆ１Ｅ、Ｅ、の値に
基き、各＠毎に修正作業を行うことができ、修正方向の
推測が一層容易となる。なお、位置ズレ聞が許容範囲内
にあるか否かの判別処理であるステップ５１１０および
修正作業が適切に行われたことを表示するステップ５１
１２の処理では、本実施例と同様、各軸方向の位置ズレ
聞の総和Ｅを用いて処理を実行しても一層に差支えない
。

、　　　２ Ｅ　　←　（Ｙｉ−Ｙｉ　　　）　　　　　・・・　（
２）さらに、これら位置ズレ聞の表示はモニタテレビ２
４による可視表示に限らず、ブザー等を用いた音声表示
とすることもできる。たとえば、位置ズレ検出モードの
ステップ８１０２〜ステツプ５１１１までの処理をルー
プ状に繰返し実行させ、ステップ５１１０で位置ズレ量
の総和Ｅが許容設定値ｅよりも小さいと判別された時、
ステップ５１１２の処理に換え、所定時間作動するタイ
マによってブザーを鳴らし、修正作業が適切に行われた
ことを音声表示するようにする。このようにすれば、カ
メラ２２の位置を修正する毎に指令キーを操伯して位置
ズレ検出信号を入力したり、モニタテレビ２４の表示や
メツセージを一々確認する必要もなく、オペレータはカ
メラ２２の配設位置にとどまって一層円滑に修正作業を
行うことができる。

また、位置ズレ検出モードでカメラ２２がとらえる画像
、即ち、特徴点ｐｉ’　、　ｐ２’　、　ｐ３’ｐ４′
を常時モニタテレビ２４に表示すると共に、基準位置検
出モードでデータメモリ２０に記憶された特徴点の位置
ｐ１．　ｐ２．ｐ３．ｐ４をモニタテレビ２４に重合さ
せて表示するようにし、モニタテレビ２４の画像を見な
がら、対応する各特徴点の位置が一致するようにカメラ
２２の位置を調整することによって該カメラ２２の位置
ズレを修正したり、また、基準位置検出モードでカメラ
２２がとらえた特徴点の位置ｐ１．　ｐ２．Ｄ３゜ｐ４
に対応してモニタテレビ２４の画面上に印を付けておき
、位置ズレ検出モードでカメラ２２がとらえてモニタテ
レビ２４上に表示する特徴点の位置ｐ１’　、ｐ２’　
、ｐ３’　、ｐ４’　が前記中と一致するようにカメラ
２２の位置ズレを修正することもできる。

また、テンプレート２上の線画りの形状は不等辺四角形
等に限るものでなく、区別して識別できる特徴点を複数
個有するものであればどのような形状であってもよく、
また、基準位置検出モードでデータメモリ２０に記憶す
る特徴点の数も、必ずしも全ての特徴点を用いる必要は
なく、前記特徴点の内から少なくとも二つのものを用い
れば充分である。

発明の効果 本発明の視覚センサの位置ズレ修正方法によれば、視覚
センサに位置ズレが生じた場合であってもカメラ自体の
位置を容易に修正することができるので、従来のように
、位置ズレが生じる度にキヤリブデータの再設定等の複
雑な処理を行う必要はなく、セン＋１座標系と産業用ロ
ボツ１−等各種自動機械の座標系とを速やかに整合さけ
ることができ、製造ライン上に配設された視覚センサに
位置ズレが生じた場合でも長時間ラインを停止して修復
作業を行う必要がなくなり、位置ズレ発生時における生
産効率の低下が最小限に抑制される。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の基準位置設定モードを示す
フローチャート、第２図は同実施例の位置ズレ検出モー
ドを示すフローチャート、第３図同実施例に本発明の方
法を適用する際に用いる構成の一例を示す模式図、第４
図は同実施例の基準位置設定モードおよび位置ズレ検出
モードでとらえられる画像の一例を示す概念図、第５図
は同実施例を実施する視覚センサの要部ブロック図であ
る。 １・・・カメラによってとらえられる領域、２・・・基
準体としてのテンプレート、３ａ、３ｂ・・・位置決め
マーク、Ｄ・・・線画、ｄ、ｄ’　・・・線画りの画像
、Ｐ１〜Ｐ４・・・特徴点、 ｐ１〜ｐ４．Ｄ１’〜ｐ４′・・・セン（）座標系にお
ける特徴点の画像、１０・・・画像中火処理装置、１１
・・・主中央処理装置、１２・・・カメラインクフェイ
ス、１３・・・画像処理プロセッサ、１４・・・コンソ
ールインタフェイス、１５・・・通信インタフ１イス、
１６・・・ＴＶモニタインタフェイス、１７・・・フレ
ームメモリ、１８・・・コントロールソフト用メモリ、
１９・・・プログラムメモリ、２０・・・データメモリ
、２１・・・バス、２２・・・カメラ、２３・・・コン
ソール、２４・・・モニタテレビ。 第　４０ −−→×

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 所定位置に配置した基準体を視覚センサのカメラで撮影
   し、該基準体における区別して認識可能な特徴点のセン
   サ座標系における座標位置を検出して視覚センサ内に記
   憶させておき、前記カメラに位置ズレが生じた場合に、
   前記基準体を前記所定位置に配置し前記カメラで撮影し
   て前記記憶した特徴点に対応する特徴点のセンサ座標系
   における座標位置を検出し、視覚センサで検出した各特
   徴点の座標位置と記憶した座標位置間の位置ズレを求め
   て基準体のセンサ座標系上の位置ズレを表示手段に表示
   し、該表示に基いてカメラのズレを調整するようにした
   視覚センサの位置ズレ修正方法。