JPH02277527A - 薬液濾過装置 - Google Patents
薬液濾過装置Info
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- JPH02277527A JPH02277527A JP1098024A JP9802489A JPH02277527A JP H02277527 A JPH02277527 A JP H02277527A JP 1098024 A JP1098024 A JP 1098024A JP 9802489 A JP9802489 A JP 9802489A JP H02277527 A JPH02277527 A JP H02277527A
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- valves
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- 239000000126 substance Substances 0.000 title claims abstract description 31
- 239000007788 liquid Substances 0.000 title claims abstract description 19
- CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N Carbon dioxide Chemical compound O=C=O CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 42
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 23
- 229910002092 carbon dioxide Inorganic materials 0.000 claims abstract description 21
- 239000001569 carbon dioxide Substances 0.000 claims abstract description 21
- 238000001914 filtration Methods 0.000 claims description 8
- 239000012528 membrane Substances 0.000 claims description 5
- 239000012466 permeate Substances 0.000 abstract 1
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 239000008155 medical solution Substances 0.000 description 3
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-M Fluoride anion Chemical compound [F-] KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 1
- 230000002209 hydrophobic effect Effects 0.000 description 1
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 239000010802 sludge Substances 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)
- Filtration Of Liquid (AREA)
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は薬液濾過装置に関し、特に半導体基板処理に使
用する無機薬液の微粒子除去を行なう薬液濾過装置に関
する。
用する無機薬液の微粒子除去を行なう薬液濾過装置に関
する。
従来、この種の濾過器は、濾材を内蔵し、薬液の流入口
及び流出口を有し、この流入口、流出口に接続する配管
により構成されていた。
及び流出口を有し、この流入口、流出口に接続する配管
により構成されていた。
上述した従来の濾過器は、交換に際し、濾材が弗素樹脂
膜でできているため疎水性となっており、無機薬液の濾
過を行なう場合は、あらかじめ濾材をアルコールで浸漬
し、純水でアルコールを洗浄する作業を行なった後、薬
液配管を接続する様になっているので、薬液配管を接続
する作業の過程で濾材が乾燥し、薬液の濾材透過が円滑
に行なわれないという欠点がある。
膜でできているため疎水性となっており、無機薬液の濾
過を行なう場合は、あらかじめ濾材をアルコールで浸漬
し、純水でアルコールを洗浄する作業を行なった後、薬
液配管を接続する様になっているので、薬液配管を接続
する作業の過程で濾材が乾燥し、薬液の濾材透過が円滑
に行なわれないという欠点がある。
本発明の目的は、弗素樹脂膜の濾材を有する濾過器の交
換に際し、直ちに薬液配管を行ない、薬液の透過を行な
うことができる薬液濾過装置を提供することにある。
換に際し、直ちに薬液配管を行ない、薬液の透過を行な
うことができる薬液濾過装置を提供することにある。
本発明の薬液濾過装置は、弗素樹脂膜を濾材とする濾過
器と、炭酸ガスが濾過器を通って排出する様配管接続し
た炭酸ガス供給口及び排出口と、濾過器の薬液流入口に
接続した純水供給口及び薬液流出口に接続した純水排出
口とを有している。
器と、炭酸ガスが濾過器を通って排出する様配管接続し
た炭酸ガス供給口及び排出口と、濾過器の薬液流入口に
接続した純水供給口及び薬液流出口に接続した純水排出
口とを有している。
次に、本発明について図面を参照して説明する。第１図
は本発明の一実施例の配管系統図である。濾過器１の薬
液流入口１ａに接続するバルブＡ及びＣと、薬液流出口
１ｂに接続するバルブＢ及びＤと、濾過器２次側へ通ず
る接続口ＩＣに接続するバルブＥ及び１次側へ通ずる接
続口１ｄに接続するバルブＦを閉じ、濾過器１を交換し
た後、バルブＥ及びＦを開は炭酸ガスを内部の空気か完
全に炭酸ガスと置換するまで通じ、バルブＥひ閉める。
は本発明の一実施例の配管系統図である。濾過器１の薬
液流入口１ａに接続するバルブＡ及びＣと、薬液流出口
１ｂに接続するバルブＢ及びＤと、濾過器２次側へ通ず
る接続口ＩＣに接続するバルブＥ及び１次側へ通ずる接
続口１ｄに接続するバルブＦを閉じ、濾過器１を交換し
た後、バルブＥ及びＦを開は炭酸ガスを内部の空気か完
全に炭酸ガスと置換するまで通じ、バルブＥひ閉める。
次にバルブＣを開け、純水を導入し、濾過器１の１次側
内が完全に純水で満たされた後、バルブＦを閉じバルブ
Ｄを開ける。この時濾材内の炭酸ガスが純水に溶解する
事により純水が濾過器２次側に達する。２次側内炭酸ガ
スをバルブＤより純水とともに排出した後、バルブＣ及
びＤを閉じ、バルブＡ及びＢを開は薬液を流す。
内が完全に純水で満たされた後、バルブＦを閉じバルブ
Ｄを開ける。この時濾材内の炭酸ガスが純水に溶解する
事により純水が濾過器２次側に達する。２次側内炭酸ガ
スをバルブＤより純水とともに排出した後、バルブＣ及
びＤを閉じ、バルブＡ及びＢを開は薬液を流す。
第２図は本発明の他の実施例の配管系統図である。濾過
器１の、ハウジング部を下側に取付は濾過器１の１次側
へ通ずる接続口１ｄにバルブＥを接続し、２次側へ通ず
る接続口１ｃにバルブＦを接続し、第１の実施例と同手
順により炭酸カスをバルブＥを開は導入し、バルブＦよ
り排出し、純水及び薬液と順次置換する。この実施例で
は、炭酸ガスを濾過器１の１次側より導入する構造であ
るため、炭酸ガス中の微粒子が２次側にはいらないとい
う利点がある。
器１の、ハウジング部を下側に取付は濾過器１の１次側
へ通ずる接続口１ｄにバルブＥを接続し、２次側へ通ず
る接続口１ｃにバルブＦを接続し、第１の実施例と同手
順により炭酸カスをバルブＥを開は導入し、バルブＦよ
り排出し、純水及び薬液と順次置換する。この実施例で
は、炭酸ガスを濾過器１の１次側より導入する構造であ
るため、炭酸ガス中の微粒子が２次側にはいらないとい
う利点がある。
以上説明したように本発明は、薬液配管を接続した状態
で、空気から炭酸ガスに完全に置換し、炭酸ガスが純水
に溶解しやすい事を利用し、濾材の細孔内に純水を浸透
させて、炭酸ガスと純水を完全に置換し、無機薬液が純
水に溶解する事により、無機薬液と純水が完全に置換し
、弗素崩脂膜の濾材を効率良く使用できる効果がある。
で、空気から炭酸ガスに完全に置換し、炭酸ガスが純水
に溶解しやすい事を利用し、濾材の細孔内に純水を浸透
させて、炭酸ガスと純水を完全に置換し、無機薬液が純
水に溶解する事により、無機薬液と純水が完全に置換し
、弗素崩脂膜の濾材を効率良く使用できる効果がある。
第１図は本発明の一実施例の薬液濾過装置の配管系統図
、第２図は本発明の他の実施例の配管系統図である。 １・・・濾過器、１ａ・・・薬液流入口、１ｂ・・・薬
液流出口、ＩＣ・・・２次側接続口、１ｄ・・・１次側
接続口、Ａ・・・薬液流入バルブ、Ｂ・・・薬液流出バ
ルブ、Ｃ・・・純水供給バルブ、Ｄ・・・純水排出バル
ブ、Ｅ・・・炭酸ガス供給バルブ、Ｆ・・・炭酸ガス排
出バルブ。
、第２図は本発明の他の実施例の配管系統図である。 １・・・濾過器、１ａ・・・薬液流入口、１ｂ・・・薬
液流出口、ＩＣ・・・２次側接続口、１ｄ・・・１次側
接続口、Ａ・・・薬液流入バルブ、Ｂ・・・薬液流出バ
ルブ、Ｃ・・・純水供給バルブ、Ｄ・・・純水排出バル
ブ、Ｅ・・・炭酸ガス供給バルブ、Ｆ・・・炭酸ガス排
出バルブ。
Claims (1)
- 薬液の供給配管、若しくは、薬液貯槽の循環式濾過機構
に於いて使用する弗素樹脂膜を用いた濾過器と、炭酸ガ
スが濾過器を通って排出する様配管接続した炭酸ガス供
給口及び排出口と、濾過器の薬液流入口に接続した純水
供給口及び薬液流出口に接続した純水排出口とを有する
事を特徴とする薬液濾過装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1098024A JPH088978B2 (ja) | 1989-04-17 | 1989-04-17 | 薬液濾過装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1098024A JPH088978B2 (ja) | 1989-04-17 | 1989-04-17 | 薬液濾過装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02277527A true JPH02277527A (ja) | 1990-11-14 |
| JPH088978B2 JPH088978B2 (ja) | 1996-01-31 |
Family
ID=14208350
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1098024A Expired - Lifetime JPH088978B2 (ja) | 1989-04-17 | 1989-04-17 | 薬液濾過装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH088978B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04246828A (ja) * | 1991-02-01 | 1992-09-02 | Nec Kyushu Ltd | 半導体ウェーハの洗浄装置 |
-
1989
- 1989-04-17 JP JP1098024A patent/JPH088978B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04246828A (ja) * | 1991-02-01 | 1992-09-02 | Nec Kyushu Ltd | 半導体ウェーハの洗浄装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH088978B2 (ja) | 1996-01-31 |
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