JPH088978B2 - 薬液濾過装置 - Google Patents
薬液濾過装置Info
- Publication number
- JPH088978B2 JPH088978B2 JP1098024A JP9802489A JPH088978B2 JP H088978 B2 JPH088978 B2 JP H088978B2 JP 1098024 A JP1098024 A JP 1098024A JP 9802489 A JP9802489 A JP 9802489A JP H088978 B2 JPH088978 B2 JP H088978B2
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- dioxide gas
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Links
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Landscapes
- Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)
- Filtration Of Liquid (AREA)
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は薬液濾過装置に関し、特に半導体基板処理に
使用する無機薬液の微粒子除去を行なう薬液濾過装置に
関する。
使用する無機薬液の微粒子除去を行なう薬液濾過装置に
関する。
従来、この種の濾過器は、瀘材を内蔵し、薬液の流入
口及び流出口を有し、この流入口，流出口に接続する配
管により構成されていた。
口及び流出口を有し、この流入口，流出口に接続する配
管により構成されていた。
上述した従来の濾過器は、交換に際し、瀘材が弗素樹
脂膜でできているため疎水性となっており、無機薬液の
濾過を行なう場合は、あらかじめ瀘材をアルコールで浸
漬し、純水でアルコールを洗浄する作業を行なった後、
薬液配管を接続する様になっているので、薬液配管を接
続する作業の過程で瀘材が乾燥し、薬液の瀘材透過が円
滑に行なわれないという欠点がある。
脂膜でできているため疎水性となっており、無機薬液の
濾過を行なう場合は、あらかじめ瀘材をアルコールで浸
漬し、純水でアルコールを洗浄する作業を行なった後、
薬液配管を接続する様になっているので、薬液配管を接
続する作業の過程で瀘材が乾燥し、薬液の瀘材透過が円
滑に行なわれないという欠点がある。
本発明の目的は、弗素樹脂膜の瀘材を有する濾過器の
交換に際し、直ちに薬液配管を行ない、薬液の透過を行
なうことができる薬液濾過装置を提供することにある。
交換に際し、直ちに薬液配管を行ない、薬液の透過を行
なうことができる薬液濾過装置を提供することにある。
本発明の薬液濾過装置は、弗素樹脂膜を瀘材とする濾
過器と、炭酸ガスが濾過器を通って排出する様配管接続
した炭酸ガス供給口及び排出口と、濾過器の薬液流入口
に接続した純水供給口及び薬液流出口に接続した純水排
出口とを有している。
過器と、炭酸ガスが濾過器を通って排出する様配管接続
した炭酸ガス供給口及び排出口と、濾過器の薬液流入口
に接続した純水供給口及び薬液流出口に接続した純水排
出口とを有している。
次に、本発明について図面を参照して説明する。第１
図は本発明の一実施例の配管系統図である。濾過器１の
薬液流入口1aに接続するバルブＡ及びＣと、薬液流出口
1bに接続するバルブＢ及びＤと、濾過器２次側へ通ずる
接続口1cに接続するバルブＥ及び１次側へ通ずる接続口
1dに接続するバルブＦを閉じ、濾過器１を交換した後、
バルブＥ及びＦを開け炭酸ガスを内部の空気が完全に炭
酸ガスと置換するまで通じ、バルブＥを閉める。次にバ
ルブＣを開け、純水を導入し、濾過器１の１次側内が完
全に純水で満たされた後、バルブＦを閉じバルブＤを開
ける。この時瀘材内の炭酸ガスが純水に溶解する事によ
り純水が濾過器２次側に達する。２次側内炭酸ガスをバ
ルブＤより純水とともに排出した後、バルブＣ及びＤを
閉じ、バルブＡ及びＢを開け薬液を流す。
図は本発明の一実施例の配管系統図である。濾過器１の
薬液流入口1aに接続するバルブＡ及びＣと、薬液流出口
1bに接続するバルブＢ及びＤと、濾過器２次側へ通ずる
接続口1cに接続するバルブＥ及び１次側へ通ずる接続口
1dに接続するバルブＦを閉じ、濾過器１を交換した後、
バルブＥ及びＦを開け炭酸ガスを内部の空気が完全に炭
酸ガスと置換するまで通じ、バルブＥを閉める。次にバ
ルブＣを開け、純水を導入し、濾過器１の１次側内が完
全に純水で満たされた後、バルブＦを閉じバルブＤを開
ける。この時瀘材内の炭酸ガスが純水に溶解する事によ
り純水が濾過器２次側に達する。２次側内炭酸ガスをバ
ルブＤより純水とともに排出した後、バルブＣ及びＤを
閉じ、バルブＡ及びＢを開け薬液を流す。
第２図は本発明の他の実施例の配管系統図である。濾
過器１の、ハウジング部を下側に取付け濾過器１の１次
側へ通ずる接続口1dにバルブＥを接続し、２次側へ通ず
る接続口1cにバルブＦを接続し、第１の実施例と同手順
により炭酸ガスをバルブＥを開け導入し、バルブＦより
排出し、純水及び薬液と順次置換する。この実施例で
は、炭酸ガスを濾過器１の１次側より導入する構造であ
るため、炭酸ガス中の微粒子が２次側にはいらないとい
う利点がある。
過器１の、ハウジング部を下側に取付け濾過器１の１次
側へ通ずる接続口1dにバルブＥを接続し、２次側へ通ず
る接続口1cにバルブＦを接続し、第１の実施例と同手順
により炭酸ガスをバルブＥを開け導入し、バルブＦより
排出し、純水及び薬液と順次置換する。この実施例で
は、炭酸ガスを濾過器１の１次側より導入する構造であ
るため、炭酸ガス中の微粒子が２次側にはいらないとい
う利点がある。
以上説明したように本発明は、薬液配管を接続した状
態で、空気から炭酸ガスに完全に置換し、炭酸ガスが純
水に溶解しやすい事を利用し、瀘材の細孔内に純水を浸
透させて、炭酸ガスと純水を完全に置換し、無機薬液が
純水に溶解する事により、無機薬液と純水が完全に置換
し、弗素樹脂膜の瀘材を効率良く使用できる効果があ
る。
態で、空気から炭酸ガスに完全に置換し、炭酸ガスが純
水に溶解しやすい事を利用し、瀘材の細孔内に純水を浸
透させて、炭酸ガスと純水を完全に置換し、無機薬液が
純水に溶解する事により、無機薬液と純水が完全に置換
し、弗素樹脂膜の瀘材を効率良く使用できる効果があ
る。
第１図は本発明の一実施例の薬液濾過装置の配管系統
図、第２図は本発明の他の実施例の配管系統図である。 １……濾過器、1a……薬液流入口、1b……薬液流出口、
1c……２次側接続口、1d……１次側接続口、Ａ……薬液
流入バルブ、Ｂ……薬液流出バルブ、Ｃ……純水供給バ
ルブ、Ｄ……純水排出バルブ、Ｅ……炭酸ガス供給バル
ブ、Ｆ……炭酸ガス排出バルブ。
図、第２図は本発明の他の実施例の配管系統図である。 １……濾過器、1a……薬液流入口、1b……薬液流出口、
1c……２次側接続口、1d……１次側接続口、Ａ……薬液
流入バルブ、Ｂ……薬液流出バルブ、Ｃ……純水供給バ
ルブ、Ｄ……純水排出バルブ、Ｅ……炭酸ガス供給バル
ブ、Ｆ……炭酸ガス排出バルブ。
Claims (1)
- 【請求項１】薬液の供給配管、若しくは、薬液貯槽の循
環式濾過機構に於いて使用する弗素樹脂膜を用いた濾過
器と、炭酸ガスが濾過器を通って排出する様配管接続し
た炭酸ガス供給口及び排出口と、濾過器の薬液流入口に
接続した純水供給口及び薬液流出口に接続した純水排出
口とを有する事を特徴とする薬液濾過装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1098024A JPH088978B2 (ja) | 1989-04-17 | 1989-04-17 | 薬液濾過装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1098024A JPH088978B2 (ja) | 1989-04-17 | 1989-04-17 | 薬液濾過装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02277527A JPH02277527A (ja) | 1990-11-14 |
| JPH088978B2 true JPH088978B2 (ja) | 1996-01-31 |
Family
ID=14208350
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1098024A Expired - Lifetime JPH088978B2 (ja) | 1989-04-17 | 1989-04-17 | 薬液濾過装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH088978B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2908044B2 (ja) * | 1991-02-01 | 1999-06-21 | 九州日本電気株式会社 | 半導体ウェーハの洗浄装置 |
-
1989
- 1989-04-17 JP JP1098024A patent/JPH088978B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH02277527A (ja) | 1990-11-14 |
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