JPH0227831U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0227831U JPH0227831U JP10278088U JP10278088U JPH0227831U JP H0227831 U JPH0227831 U JP H0227831U JP 10278088 U JP10278088 U JP 10278088U JP 10278088 U JP10278088 U JP 10278088U JP H0227831 U JPH0227831 U JP H0227831U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- stage
- guide shaft
- air
- air passage
- linear motor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000003068 static effect Effects 0.000 claims 4
- 230000002706 hydrostatic effect Effects 0.000 claims 1
Landscapes
- Machine Tool Units (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例の平面図、第２図は
Ａ―Ａ線断面図、第３図はＢ―Ｂ線断面図、第４
図は異なる実施例の断面図、第５図は従来のＸ―
Ｙステージの平面図である。 １……Ｘガイド軸、２……Ｘステージ、３……
Ｙガイド軸、４……Ｙステージ、５……エアーホ
ース、６ａ〜６ｋ……空気流路、７……定盤、８
……ストツパー兼連結部材、９……凹溝、１０…
…リニアモータ固定子、１１……リニアモータ可
動子、１２……エアーホース接続口。
Ａ―Ａ線断面図、第３図はＢ―Ｂ線断面図、第４
図は異なる実施例の断面図、第５図は従来のＸ―
Ｙステージの平面図である。 １……Ｘガイド軸、２……Ｘステージ、３……
Ｙガイド軸、４……Ｙステージ、５……エアーホ
ース、６ａ〜６ｋ……空気流路、７……定盤、８
……ストツパー兼連結部材、９……凹溝、１０…
…リニアモータ固定子、１１……リニアモータ可
動子、１２……エアーホース接続口。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) リニアモータの固定子を設けた１対のＹガ
イド軸を平行敷設し、そのＹガイド軸に夫々リニ
アモータ可動子を設けたＹステージを跨座させ、
このＹステージと直交し且つリニアモータ固定子
を設けたＸガイド軸で前記１対のＹステージ間を
連絡すると共に、このＸガイド軸にリニアモータ
可動子を設けたＸステージを跨座させ、各Ｘ，Ｙ
ステージを静圧軸受で支持するＸ―Ｙステージに
おいて、 前記１対のステージに夫々Ｙガイド軸を包絡す
る空気通路を設け、且つＸガイド軸に前記Ｙステ
ージに設けた空気通路と連通する空気通路を設け
且つ前記１対のＹステージの一方に前記空気通路
と連通する給気用エアホース接続口を設けると共
に、静圧空気を必要とする部分に前記空気通路と
連通する静圧空気の吐出口を設けたことを特徴と
するＸ―Ｙステージ。 (2) Ｘガイド軸とＹステージとを空間を介して
ストツパー部材を兼ねる連結部材で連結し、その
Ｘガイド軸とＹステージに設けた空気通路を給気
用エアホースで連結するようにした請求項１記載
のＸ―Ｙステージ。 (3) Ｘガイド軸に設ける静圧空気吐出口はＸス
テージのストロークの中心に位置する部分に設け
、Ｘステージにストローク方向の長さＸステージ
のストロークの半分以上とした静圧保持用凹溝を
設けてなる請求項１または２記載のＸ―Ｙステー
ジ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10278088U JPH0641788Y2 (ja) | 1988-08-04 | 1988-08-04 | Ｘ−ｙステージ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10278088U JPH0641788Y2 (ja) | 1988-08-04 | 1988-08-04 | Ｘ−ｙステージ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0227831U true JPH0227831U (ja) | 1990-02-22 |
| JPH0641788Y2 JPH0641788Y2 (ja) | 1994-11-02 |
Family
ID=31333005
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10278088U Expired - Lifetime JPH0641788Y2 (ja) | 1988-08-04 | 1988-08-04 | Ｘ−ｙステージ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0641788Y2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010096232A (ja) * | 2008-10-15 | 2010-04-30 | Toshiba Mach Co Ltd | エアテーブル装置および軸受間隔修正方法 |
-
1988
- 1988-08-04 JP JP10278088U patent/JPH0641788Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010096232A (ja) * | 2008-10-15 | 2010-04-30 | Toshiba Mach Co Ltd | エアテーブル装置および軸受間隔修正方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0641788Y2 (ja) | 1994-11-02 |
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