JPH02278537A - 光記録情報媒体の製造方法 - Google Patents
光記録情報媒体の製造方法Info
- Publication number
- JPH02278537A JPH02278537A JP9928589A JP9928589A JPH02278537A JP H02278537 A JPH02278537 A JP H02278537A JP 9928589 A JP9928589 A JP 9928589A JP 9928589 A JP9928589 A JP 9928589A JP H02278537 A JPH02278537 A JP H02278537A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- medium
- lattice
- recording
- manufacturing
- optical recording
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims description 24
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 22
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 21
- 239000010408 film Substances 0.000 claims abstract description 15
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 15
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 15
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 claims abstract description 11
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims abstract description 11
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims abstract description 10
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims abstract description 6
- 238000005323 electroforming Methods 0.000 claims abstract description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 12
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 8
- 238000001746 injection moulding Methods 0.000 abstract description 3
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 abstract description 3
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 3
- 238000001093 holography Methods 0.000 description 3
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000031700 light absorption Effects 0.000 description 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Laminated Bodies (AREA)
- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明は光記録情報媒体の製造方法に係り、特に追記型
ディスクに使用される光記録情報媒体の製造方法に関す
る。
ディスクに使用される光記録情報媒体の製造方法に関す
る。
(従来技術)
従来、追記型光ディスクに使用される光記録方式には透
明な有機膜と金属膜を順次形成した透明基板に基板側か
らレーザー光を照射することにより、金属膜近傍の有機
膜に穴を明け、金属膜を変形させることにより反射率を
変化させたものがある。また、他の光記録方式としては
記録媒体表面の微細構造をレーザー光で照射することに
より変化させ反射率を変える方式、あるいはこれと類似
の方法としてプラスチック基板の表面に、記録スポット
より十分少ない凹凸の微細構造と金属膜を形成し、これ
にレーサー光を照射することにより微細構造を破壊し、
反射率を変化させて追記を可能とした、いわゆる蛾目(
moth Eye ME)ディスク方式等が知られてい
る。
明な有機膜と金属膜を順次形成した透明基板に基板側か
らレーザー光を照射することにより、金属膜近傍の有機
膜に穴を明け、金属膜を変形させることにより反射率を
変化させたものがある。また、他の光記録方式としては
記録媒体表面の微細構造をレーザー光で照射することに
より変化させ反射率を変える方式、あるいはこれと類似
の方法としてプラスチック基板の表面に、記録スポット
より十分少ない凹凸の微細構造と金属膜を形成し、これ
にレーサー光を照射することにより微細構造を破壊し、
反射率を変化させて追記を可能とした、いわゆる蛾目(
moth Eye ME)ディスク方式等が知られてい
る。
第8図は従来例のMEディスクの製造方法を説明するた
めの斜視図であり、以下図面を用いて説明する。まずガ
ラス基板11上に、あらかじめトラック制御用プリグル
ープパターンを露光現像したフォトレジスト12に2光
束の平行レーサー光20を照射した後、ガラス基板11
を90°回転させて再度平行レーザー光を照射して縦縞
、横縞の後記するメツシュパターンをホログラフィ−法
で露光させる。又上記パターンは4光束の平行レーザー
光を所定の位置から一度に照射してメツシュ状パターン
を形成することも出来る。
めの斜視図であり、以下図面を用いて説明する。まずガ
ラス基板11上に、あらかじめトラック制御用プリグル
ープパターンを露光現像したフォトレジスト12に2光
束の平行レーサー光20を照射した後、ガラス基板11
を90°回転させて再度平行レーザー光を照射して縦縞
、横縞の後記するメツシュパターンをホログラフィ−法
で露光させる。又上記パターンは4光束の平行レーザー
光を所定の位置から一度に照射してメツシュ状パターン
を形成することも出来る。
第9図はガラス裁板にメツシュパターンとプリグループ
を形成した後の斜視図であり、図中24はメツシュ状パ
ターン、25はプリグループである。第10図は第9図
のI−I切断線に沿った一部拡大断面図である。このメ
ツシュ状パターン24とプリグループ25とが形成され
たフォトレジスト12から、電鋳法により図示しない金
型を作り、この金型を用いて片面に前記メツシュ状パタ
ーン24とプリグループ25が形成されたプラスチック
基板26を形成する。
を形成した後の斜視図であり、図中24はメツシュ状パ
ターン、25はプリグループである。第10図は第9図
のI−I切断線に沿った一部拡大断面図である。このメ
ツシュ状パターン24とプリグループ25とが形成され
たフォトレジスト12から、電鋳法により図示しない金
型を作り、この金型を用いて片面に前記メツシュ状パタ
ーン24とプリグループ25が形成されたプラスチック
基板26を形成する。
次に第11図の断面図に示す様に、成形されたプラスチ
ック基板26のメツシュ状パターン24及びプリグルー
プ25の面上に白金、ニッケル、クロム等の金属薄膜2
7を蒸着又はスパッタ法にて薄膜として設け、更にその
面上に保護膜28を積層することによりMEディスクを
形成する。
ック基板26のメツシュ状パターン24及びプリグルー
プ25の面上に白金、ニッケル、クロム等の金属薄膜2
7を蒸着又はスパッタ法にて薄膜として設け、更にその
面上に保護膜28を積層することによりMEディスクを
形成する。
第12図は第11図に示すMEディスクの記録・再生を
説明するだめの断面図であり、同図を用いて作用を説明
する。記録レンズ22によって集光したレーサー光を用
いて書込みを行う場合、金属薄膜27が積層されたメツ
シュ状パターン24は光吸収層となり、プラスチック基
板26を透過して照射するレーザー光を吸収し、そのレ
ーザー熱により表面のメツシュパターン24が溶解し、
平坦となり情報記録ピット23を記録することが出来る
。
説明するだめの断面図であり、同図を用いて作用を説明
する。記録レンズ22によって集光したレーサー光を用
いて書込みを行う場合、金属薄膜27が積層されたメツ
シュ状パターン24は光吸収層となり、プラスチック基
板26を透過して照射するレーザー光を吸収し、そのレ
ーザー熱により表面のメツシュパターン24が溶解し、
平坦となり情報記録ピット23を記録することが出来る
。
(発明が解決しようとする課題)
従来の光記録情報媒体の製造方法においては、プリグル
ープ記録とホログラフィ−法によるメツシュ状パターン
記録と二工程を要し、又ホログラフィ−法によるメツシ
ュ状パターンは大面積に微細な凹凸ピットを記録するの
が困難であり大型情報媒体の製造には適さないという問
題点があった。
ープ記録とホログラフィ−法によるメツシュ状パターン
記録と二工程を要し、又ホログラフィ−法によるメツシ
ュ状パターンは大面積に微細な凹凸ピットを記録するの
が困難であり大型情報媒体の製造には適さないという問
題点があった。
(課題を解決するための手段)
本発明は上記課題を解決するためになされたものであり
レーサー光を照射して書込みを行う光記録情報媒体の製
造方法において、ガラス盤上に塗布したフォトレジスI
・にレーザー光を照射して微細な格子状ピットを同心円
又はスパイラル状に記録する工程と、前記格子状ピット
が記録されたフォトレジストから電鋳法にて金型を作製
し、プラスチックにより、前記格子状ピットを片面に有
する複製プラスチック基板を作成する工程と、その複製
プラスチック基板に前記格子状ピットを有する面上に金
属薄膜を形成し、その金属薄膜上に保護膜を形成する工
程とから成ることを特徴とする光記録情報媒体の製造方
法を提供しようとするものである。
レーサー光を照射して書込みを行う光記録情報媒体の製
造方法において、ガラス盤上に塗布したフォトレジスI
・にレーザー光を照射して微細な格子状ピットを同心円
又はスパイラル状に記録する工程と、前記格子状ピット
が記録されたフォトレジストから電鋳法にて金型を作製
し、プラスチックにより、前記格子状ピットを片面に有
する複製プラスチック基板を作成する工程と、その複製
プラスチック基板に前記格子状ピットを有する面上に金
属薄膜を形成し、その金属薄膜上に保護膜を形成する工
程とから成ることを特徴とする光記録情報媒体の製造方
法を提供しようとするものである。
(実施例)
第1図は本発明になる光記録情報媒体の製造方法を説明
するための断面図であり、同図において、11はフォト
レジスト12を塗布したガラス基板、13はターンテー
ブル、14はターンテーブルを回転させるためのモータ
ー 15はターンテーブルを半径方向に移動させるため
のフィードスクリュー Lはレーザー光であり、拡大レ
ンズ15を透過したのち、幅1.8mmのスリット17
により、スリット光とされ、ミラー18を介して記録レ
ンズ19によりターンテーブル上にレーザースポットを
照射される構造になっている。
するための断面図であり、同図において、11はフォト
レジスト12を塗布したガラス基板、13はターンテー
ブル、14はターンテーブルを回転させるためのモータ
ー 15はターンテーブルを半径方向に移動させるため
のフィードスクリュー Lはレーザー光であり、拡大レ
ンズ15を透過したのち、幅1.8mmのスリット17
により、スリット光とされ、ミラー18を介して記録レ
ンズ19によりターンテーブル上にレーザースポットを
照射される構造になっている。
次に製造方法について説明する。まずターンテーブル上
3上にフォトレジストを塗布したガラス基板11を載置
し、モーター14によりターンテーブル13を回転させ
る。次に記録レンズ19を透過したスリット状レーサー
光りを断続的にガラス基板11に照射すると共に、フィ
ードスクリュを作動させることにより、回転するターン
テーブル13を半径方向に移動させ、フォトレジスト]
2上に格子状ピット21をスパイラル又は同心固状に記
録していく。第2図は第1図に示す装置により形成され
た格子状ピットの平面図、第3図は第2図のI−I切断
線に沿った一部断面図であ昇L す、フォトレジスト12上に記録・峡像されたトラック
間ピッチが1,6μmの格子状ピット21を示す。
3上にフォトレジストを塗布したガラス基板11を載置
し、モーター14によりターンテーブル13を回転させ
る。次に記録レンズ19を透過したスリット状レーサー
光りを断続的にガラス基板11に照射すると共に、フィ
ードスクリュを作動させることにより、回転するターン
テーブル13を半径方向に移動させ、フォトレジスト]
2上に格子状ピット21をスパイラル又は同心固状に記
録していく。第2図は第1図に示す装置により形成され
た格子状ピットの平面図、第3図は第2図のI−I切断
線に沿った一部断面図であ昇L す、フォトレジスト12上に記録・峡像されたトラック
間ピッチが1,6μmの格子状ピット21を示す。
次に上記格子状ピッチ2]が記録されたフォトレジスト
12上に、図示しない導電膜を蒸着又はスパッタ法によ
り成膜する。次にこの導電膜を電極として電鋳法により
金型を作成し、この金型を用いて光記録情報媒体の基体
となるプラスチック基板26を射出成型により製造する
。第4図は本発明の製造方法により製造された光記録情
報媒体の断面図であり、以下この媒体の製造方法につい
て述べる。まず射出成型により片面に格子状ピット21
が転写されたプラスチック基板26上に白金、ニッケル
、クロム等の金属薄膜27を、例へば500人の厚さに
蒸着する。次にこの金属薄膜27上にフォトポリマーか
らなる保護膜を成膜することにより光記録情報媒体を得
る。
12上に、図示しない導電膜を蒸着又はスパッタ法によ
り成膜する。次にこの導電膜を電極として電鋳法により
金型を作成し、この金型を用いて光記録情報媒体の基体
となるプラスチック基板26を射出成型により製造する
。第4図は本発明の製造方法により製造された光記録情
報媒体の断面図であり、以下この媒体の製造方法につい
て述べる。まず射出成型により片面に格子状ピット21
が転写されたプラスチック基板26上に白金、ニッケル
、クロム等の金属薄膜27を、例へば500人の厚さに
蒸着する。次にこの金属薄膜27上にフォトポリマーか
らなる保護膜を成膜することにより光記録情報媒体を得
る。
以下、本発明の製造方法によって得られた光記録情報媒
体の使用法を第5図及び第6図を用いて説明する。記録
に際し記録・再生レンズ22より記録し、レーザースポ
ットをプラスチック基板26側から金属膜27に照射す
ると、熱により格子状ピット21−が熱変形して平坦部
23か形成される。この平坦部23は格子状ピット21
に比較して反射率が大となるから、情報信号を反射率の
差として記録することが出来る。第7図(a)の如く平
坦部23の反射率は高いため入射レーザーの数10%が
反射されるが、格子状ピット21に入射した光は第7図
(b)の様に格子状ピット21によって、回折され反射
率が低下するため、その反射率の差か情報信号として再
生することが出来る。
体の使用法を第5図及び第6図を用いて説明する。記録
に際し記録・再生レンズ22より記録し、レーザースポ
ットをプラスチック基板26側から金属膜27に照射す
ると、熱により格子状ピット21−が熱変形して平坦部
23か形成される。この平坦部23は格子状ピット21
に比較して反射率が大となるから、情報信号を反射率の
差として記録することが出来る。第7図(a)の如く平
坦部23の反射率は高いため入射レーザーの数10%が
反射されるが、格子状ピット21に入射した光は第7図
(b)の様に格子状ピット21によって、回折され反射
率が低下するため、その反射率の差か情報信号として再
生することが出来る。
(効果)
上述の様に本発明の製造方法によって得られた光記録情
報媒体は使用に際し、情報記録された情報記録ピットと
記録されない格子状ピットの反射率の差が大きく、信号
として読み取りが容易で、且つ光ディスクに必要なプリ
グループなくして格子状ピットがトラック制御用信号と
しても兼ねることが出来る。又ホログラフィ−技術を用
いていないため従来の光記録情報媒体の製造設備をその
まま使用して追記型の光記録情報媒体の製造が可能とな
る。
報媒体は使用に際し、情報記録された情報記録ピットと
記録されない格子状ピットの反射率の差が大きく、信号
として読み取りが容易で、且つ光ディスクに必要なプリ
グループなくして格子状ピットがトラック制御用信号と
しても兼ねることが出来る。又ホログラフィ−技術を用
いていないため従来の光記録情報媒体の製造設備をその
まま使用して追記型の光記録情報媒体の製造が可能とな
る。
第1図は本発明になる光記録情報媒体の製造方法を説明
するための断面図、第2図は第1図に示す装置により形
成された格子状ピット平面図、第3図は第2図I−I切
断線に沿った一部断面図、第4図は本発明の製造方法に
より製造された光記録情報媒体の一部断面図、第5図〜
第7図は第4図に示す光記録媒体の記録・再生の原理を
説明するための説明図、第8図は従来のMEディスクの
製造方法を説明するための斜視図、第9図はガラス基板
上にメツシュパターンとプリグループを形成した後の斜
視図、第10図は第9図I−I切断線に沿った一部拡大
図、第11図は従来の光記録情報媒体の一部断面図、第
12図は第10図に示す従来のMEディスクの記録・再
生の原理の説明図。 11・・・ガラス基板、12・・・フォトレジスト、1
9・・・記録レンズ、21・・・格子状ピット、22・
・記録・再生レンズ、23・・・情報記録ピット、25
・・・プリグループ、26・・・プラスチック基板、2
7・・・金属薄膜、28・・・保護膜。
するための断面図、第2図は第1図に示す装置により形
成された格子状ピット平面図、第3図は第2図I−I切
断線に沿った一部断面図、第4図は本発明の製造方法に
より製造された光記録情報媒体の一部断面図、第5図〜
第7図は第4図に示す光記録媒体の記録・再生の原理を
説明するための説明図、第8図は従来のMEディスクの
製造方法を説明するための斜視図、第9図はガラス基板
上にメツシュパターンとプリグループを形成した後の斜
視図、第10図は第9図I−I切断線に沿った一部拡大
図、第11図は従来の光記録情報媒体の一部断面図、第
12図は第10図に示す従来のMEディスクの記録・再
生の原理の説明図。 11・・・ガラス基板、12・・・フォトレジスト、1
9・・・記録レンズ、21・・・格子状ピット、22・
・記録・再生レンズ、23・・・情報記録ピット、25
・・・プリグループ、26・・・プラスチック基板、2
7・・・金属薄膜、28・・・保護膜。
Claims (1)
- レーザー光を照射して書込みを行う光記録情報媒体の
製造方法において、ガラス盤上に塗布したフォトレジス
トにレーザー光を照射して微細な格子状ピットを同心円
又はスパイラル状に記録する工程と、前記格子状ピット
が記録されたフォトレジストから電鋳法にて金型を作製
し、プラスチックにより、前記格子状ピットを片面に有
する複製プラスチック基板を作成する工程と、その複製
プラスチック基板に前記格子状ピットを有する面上に金
属薄膜を形成し、その金属薄膜上に保護膜を形成する工
程とから成ることを特徴とする光記録情報媒体の製造方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9928589A JPH02278537A (ja) | 1989-04-19 | 1989-04-19 | 光記録情報媒体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9928589A JPH02278537A (ja) | 1989-04-19 | 1989-04-19 | 光記録情報媒体の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02278537A true JPH02278537A (ja) | 1990-11-14 |
Family
ID=14243380
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9928589A Pending JPH02278537A (ja) | 1989-04-19 | 1989-04-19 | 光記録情報媒体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02278537A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102602075A (zh) * | 2012-02-29 | 2012-07-25 | 苏州金海薄膜科技发展有限公司 | 一种镭射屏幕保护膜及其制备方法 |
-
1989
- 1989-04-19 JP JP9928589A patent/JPH02278537A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102602075A (zh) * | 2012-02-29 | 2012-07-25 | 苏州金海薄膜科技发展有限公司 | 一种镭射屏幕保护膜及其制备方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2723986B2 (ja) | 光ディスク原盤の作製方法 | |
| EP0107379B1 (en) | Data storage medium | |
| EP0025253B1 (en) | Optical recording disk | |
| EP0447711B1 (en) | Process for manufacturing an optical disk master | |
| KR100798193B1 (ko) | 다층 광디스크 및 다층 광디스크의 제작 방법 | |
| EP0611473B1 (en) | Optical disc master | |
| EP0241028B1 (en) | A photo-mask for use in manufacturing an optical memory disc, a method for making the photo-mask and a method for manufacturing the optical memory disc | |
| JPS5916332B2 (ja) | 原盤複製用成形型 | |
| JPH02278537A (ja) | 光記録情報媒体の製造方法 | |
| JPH01158640A (ja) | 光ディスクの製造方法 | |
| JP2517470B2 (ja) | 光学ディスクマスタ―の製造方法及び装置 | |
| JPS5894149A (ja) | 光デイスクの光干渉型案内溝作製用原板の製造法 | |
| JP2577058B2 (ja) | 光メモリ素子用基板およびその製造方法 | |
| JPH04302833A (ja) | 光ディスク及びその製造方法 | |
| JPS5953615B2 (ja) | 情報記録媒体の製造方法 | |
| JP4675543B2 (ja) | 光記録媒体の製造方法および製造装置 | |
| JPS6222251A (ja) | 情報記録媒体円盤の製作法 | |
| JPS63181141A (ja) | 光学的記録媒体の製造方法 | |
| JP2006351174A (ja) | ドライブ記録可能なマスター媒体 | |
| JPH0210536A (ja) | 光ディスク基板の製造方法 | |
| JPH09265661A (ja) | 記録媒体およびその製造方法 | |
| JPH11238256A (ja) | 光学記録媒体とその製造方法とこれに用いる光学記録媒体の製造装置 | |
| JPS6129592A (ja) | 二次元光学用パタ−ンの形成方法 | |
| JP2006092625A (ja) | 凹凸パターンの記録方法、光ディスク原盤、光学記録再生媒体、および凹凸を有する基体 | |
| JPH04184729A (ja) | 光記録媒体及び光記録媒体の製造方法 |