JPH02280802A

JPH02280802A - 低沸点溶剤の回収方法

Info

Publication number: JPH02280802A
Application number: JP1103072A
Authority: JP
Inventors: Mikio Akamatsu; 赤松　幹雄; Masashi Okawa; 大川　正志; Tadashi Hizawa; 檜沢　正
Original assignee: Toho Chemical Engineering and Construction Co Ltd
Current assignee: Toho Chemical Engineering and Construction Co Ltd
Priority date: 1989-04-21
Filing date: 1989-04-21
Publication date: 1990-11-16
Anticipated expiration: 2011-01-24
Also published as: JPH084682B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕本発明は、電子部品、電機部品、精密機械部品等の洗浄
液、プリント基板の剥離液、現像液、樹脂加工部品の充
填液等として使用された結果、工程油、樹脂等を含む状
態で排出された低沸点溶剤、特にフロン１１２、フロン
１１３．１．１．１．−トリクロロエタン、］・］リク
ロロエチレン、塩化メチレンアセトン、アルコール類、
メヂルエチルケトン等の溶剤の回収方法に関するもので
ある。

本発明は、これらの洗浄等に使用された低沸点溶剤を、
高品位で回収するとともに、大気中に放出される、又は
、産業廃棄物として処理されるこれら溶剤の濃度を低下
させることができる。

（従来技術とその問題点）低沸点溶剤、特にフロン類は幅広い用途で利用され、そ
の関連製品は日常生活のすみずみまで浸透している。

しかしながら、水素を含まないフロン類、すなわちフロ
ン１１３、フロン１１、フロン１２等の大気中への放出
は、オゾン層を破壊から保護するために、その規制が強
く求められている。

これらのフロン類は電子部品、電機部品等の洗浄・乾燥
・樹脂充填等に広く使用されながら、その特性から回収
されず、多くが大気中に放出されているのが現状である
。しかも、現在のところ有効な代替品は長期毒性検査の
段階にあり実用化されていない。

従来、前記したような低沸点溶剤（ＬＡ下溶剤という）
を用いた洗浄機等から排出される溶剤の第１のものは、
機能時にガス化し、洗浄機等からガス状態で排出される
もので、これは活性炭等の吸着剤を用いて回収すること
ができる。

しかしながら、洗浄機等の構造により、気化した溶剤を
局所吸引ダクトにより回収する形式のものでは、多くは
回収されず、大気中に放出されてしまう。

第２のものは、工程油、樹脂等を含む用済み溶剤として
液状で洗浄機等から排出される。通常の洗浄機等には、
蒸溜機が併設され用済みの溶剤を蒸溜して再使用するが
、回収効率が低く、回収効率を高めようとすると回収溶
剤の純度が低くなるという問題がある。

このため、蒸溜残渣には相当量の溶剤を含んだまま産業
廃棄物として処理されるのが実状である。例えば、フロ
ン１１３と切削油との混合系の廃液を８５℃で蒸溜した
あとの残漬には約４０％のフロン１１３が残存しており
、このまま産業廃棄物として処理され、結果的に環境汚
染の原因となっている。

（発明の目的）本発明は、このように−旦使用された溶剤、特にフロン
類を有効に回収するとともに、環境汚染を防止すること
を目的とするものである。

〔発明の構成〕

（１）電子部品、電機部品、精密機械部品等の洗浄等に
使用され、洗浄機等から排出された工程油、樹脂等を含
む低沸点溶剤含有排出液を曝気処理して生じた低沸点溶
剤含有ガス（Ａ）と、該洗浄機等から排出されたままの
低沸点溶剤含有ガス（Ｂ）とを、ガス状態のまま活性炭
を吸着材とした回収装置に供給し、低沸点溶剤を活性炭
に吸着させて回収することを特徴とする低沸点溶剤の回
収方法。

（２）■程油、樹脂等を含む低沸点溶剤含有排出液を、
予め蒸溜に付して低沸点溶剤を回収した後、曝気処理に
付することを特徴とする請求項（１）記載の回収方法。

本発明は、電子部品、ｆｔｌｌｆｉ部品、精密機械部品
等の洗浄液、プリント基板の剥離液、現像液、樹脂加工
部品の充填液等として使用された結果、工程油、樹脂等
を含む状態で排出された低沸点溶剤溶液に適用され、本
発明によると、低沸点溶剤、特にフロン類について有効
な回収が可能であり、その結果、大気中に放出される、
及び、地中に浸透される溶剤の量を極めて低くすること
ができる。

従来、洗浄機等から排出された使用済み廃液には工程油
、樹脂等を含むが、この廃液を併設された蒸溜機にて加
熱し溶剤を蒸発させ、これを冷却して溶剤を回収すると
、溶剤の濃度が低くなるにつれて、廃液の温度が上昇し
、回収溶剤に工程油、樹脂等を多く含み、品位が低下す
るばかりでなく、回収効率が低く、しかも廃液中に含ま
れる溶剤の量も多く大気中に放出される溶剤のけも多く
なる。本発明方法によると、従来技術の欠点が数段され
、高品位の溶剤が回収できるとともに、環境汚染を防止
することができる。

ン１１３．１．ｉ、ｉ、−ｔ−リクＯロエタン、トリク
ロロエチレン、塩化メチレン、アセトン、アルコール類
、メチルエヂルケトン等又はこれらの混合物である。

本発明を図面によって説明づる。

第１図、第２図は、洗浄機に本発明を適用した場合のフ
ローシートを示したものであり、第１図は、蒸溜機の併
設された洗浄機、第２図は蒸溜機の併設されていない洗
浄機について示したものである。

第１図及び第２図において、１は洗浄機、２−１〜２−
Ｘは洗浄機内に配設された洗浄液槽、３は洗浄液移送管
、４は被洗浄物搬送ルート、５は川魚溜器、６は曝気槽
、１は活性炭吸脱着装置、７−１へ・７−２は吸脱稠塔
−をそれぞれ示す。

第１図において、洗浄機１内に搬送された被洗浄物は洗
浄ルート４に従って、複数の洗浄槽２−１〜２−Ｘに順
次送られ、洗浄された後、洗浄機外に搬出される。

洗浄液は被洗浄物とは、逆の方向から供給され洗浄槽２
−Ｘ〜２−１を順次送液される。

洗浄槽２−１から排出された溶剤は移送管３によって川
魚溜器５に入り、ここで単蒸溜され、溶剤は洗浄槽２−
Ｘに戻され再使用される。洗浄槽２−Ｘには不足分の゛
溶剤が新たに加えられる。

川魚溜器から排出された低濃度の溶剤を含む廃液は、曝
気槽６に移送され曝気処理がされる。

曝気処理された後の液は廃棄される。

一方、洗浄槽から蒸発したガス状の溶剤は槽上の蒸気ラ
インより下にあるが、被洗浄物の出し入れにより蒸気ラ
インが上昇し、又は、蒸気槽が攪拌され溶剤のガスの一
部は洗浄器から排気管を通し系外に排気される。このよ
うにして洗浄機から排出された溶剤を含むガスは、ガス
ｍ度が低く、冷却等によって溶剤を捕捉することが困難
である。たとえ一部を捕捉し得たとしても、蒸気正分の
溶剤は含まれる。

他方、曝気により気化した溶剤は、空気等の曝気ガスと
の混合物として曝気槽６から排出される。曝気槽６から
排出された混合ガスは工程油などのオイルミストを含む
可能性があるので、ミストキャッチャ−を通すことが好
ましい。

効果を有するものとして、壁面を流下させながら脱気す
る、いわゆる濡れ壁塔形式のものも使用できるが、気・
液の接触効率、装置の単純化の観点から嘔気方式が好ま
しい。

これら、洗浄機１及び曝気槽６から排出されたガス状洗
浄液を含む混合ガスは、溶剤含有率が低いため、冷却等
によって溶剤を混合ガス中から分離することはできない
。しかし、この両者を活性炭を吸着材とする吸脱着装置
７に供給することにより吸着される。

活性炭としては、通常の粒状活性炭、粉状活性炭、ｍ紐
状活性炭等特に制限されることなく利用される。

吸脱着装置としては、以に知られているものが使用でき
る。活性炭層に吸着された溶剤は既知の方法、例えば水
蒸気を用いて脱着し回収されるが、加熱空気による脱着
は、回収効率を低下するので好ましくない。

第２図は、蒸溜機が併設されていない洗ｆｐ橢を例示し
たフローシートを示しＩｃものである。

第２図に示した方法においては、洗浄機から排出された
使用済み溶剤を、直接曝気槽に移され、曝気処理される
以外は、第１図と同じである。

（実施例）実施例１フロン１１３（沸点：　４７．５７℃、密度１．５６５
ｇ／ｃｃ（２５℃）〕を溶剤とし使用して、アルミニウ
ム製エアコン部品を洗浄した。

洗浄機から排出された使用済み溶剤液を８５℃に設定さ
れた蒸溜器で単蒸溜し残渣を取り出した。

この洗浄機では、このときの蒸溜残渣は３日間に１度、
２００リツターが排出され、この蒸溜残漬には、フロン
１１３が４０．１Ｍ１％含まれていた。

この蒸溜残渣１０リッターを曝気槽に移し、常温下で曝
気した。

空気は１．１ｍ　”　／時間とし、８時間曝気した。

その結果、曝気処理後の残漬のフロン１１３含有聞は、
１．７容量％であり、蒸溜残漬に含まれていた約９６％
のフロン１１３が蒸溜残清から除去されたことになる。

溶剤を含む曝気ガスと、洗浄機から排気されたガスとを
、粒状活性炭と繊維状活性炭とを組合Ｉた吸脱着装置に
供給し溶剤を活性炭で捕捉した。

活性炭層を通過したガスに含まれるフロン１１３は、５
７０ｐｐ−であった。

この活性炭層から水蒸気にてフロン１１３を脱着し、フ
ロン１１３を回収した。この回収フロン１１３のガスク
ロマトグラフィー〔（株）日立製作新製〕のチャートは
第３図に示した通りであり、第４図に示したフロン１１
３のスタンダードのガスクロマトグラフィーのチャート
と対比しても差はなく、純度は高く洗ｆｆ１１１１にて
再使用された。

一方、曝気槽から排出された曝気後の廃液のガスクロマ
トグラフィーのチャートは第５図の通りであり、曝気処
理前の廃液のガスクロマトグラフィーのチャートである
第６図に比較しフロン１１３の含ｎｆｆ１は極めて少な
かった。

以上の通り、熱温残渣は、そのまま産業廃棄物として廃
棄する場合に比較し環境汚染に与える１マゝ影ｗ、ｋｉ′極めて軽微なものとなる。

（発明の効果）本発明によると下記の効果が得られる。

■　洗浄機等の排出ガス、排出液中の低沸点溶剤を総合
的に回収し、しかも大気中に放出される、又は、産業廃
棄物として廃棄される残漬中に含まれるところのこれら
の低沸点溶媒の１１度を低下することができる。特に廃
棄される残渣に含まれる低沸点溶剤を回収するのに効果
的である。

■　廃液中の残存溶剤を簡便な方法で効率よく、且つ高
純度で回収できる。

■　一般には常温で処理できるため、加熱するためのエ
ネルギーコストがかからず、加熱による溶剤の変質もな
く、高品位の溶剤を回収することができる。

■　局所吸引ダクトによらず、溶剤槽全体を密閉室内に
配置し、該室内のガスを総合的に補集することにより、
排出される使用済み溶剤の回収と相俟って、投入溶剤の
９０％以上を回収することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図及び第２図は、洗浄機に本発明を適用した場合の
フローシートを例示したものである。第３図は、本発明によって回収されたフロン１１３のガ
スクロマトグラフィーのチャートを示したものである。第４図は、フロン１１３の標準ガスクロマトグラフィー
のチ１シートを示したものである。第５図、本発明による曝気処理後の廃液のガスクロマト
グラフィーのチャートを示したものである。第６図は、曝気処理前の廃液のガスクロマトグラフィー
のチャートを示したものである。第１図及び第２図における符号の説明１：洗浄機、２−１〜２−ｘ：洗浄機内に配設された洗
浄液槽、３：洗浄液移送管、４：被洗浄物搬送ルート、
５：車前溜器、６：＠気槽、１：活性炭吸脱着装置、７
−１〜７−２：吸脱＠基筒３図第４特許出願人　　東邦花工臆！！１１ｓＩ式会社代理人弁
理士　　土　居　三　部第図第図

Claims

【特許請求の範囲】

（１）電子部品、電機部品、精密機械部品等の洗浄等に
使用され、洗浄機等から排出された工程油、樹脂等を含
む低沸点溶剤含有排出液を曝気処理して生じた低沸点溶
剤含有ガス（Ａ）と、該洗浄機等から排出されたままの
低沸点溶剤含有ガス（Ｂ）とを、ガス状態のまま活性炭
を吸着材とした回収装置に供給し、低沸点溶剤を活性炭
に吸着させて回収することを特徴とする低沸点溶剤の回
収方法。
（２）工程油、樹脂等を含む低沸点溶剤含有排出液を、
予め蒸溜に付して低沸点溶剤を回収した後、曝気処理に
付することを特徴とする請求項（１）記載の回収方法。