JPH02281113A - 重量センサ素子 - Google Patents
重量センサ素子Info
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- JPH02281113A JPH02281113A JP1103814A JP10381489A JPH02281113A JP H02281113 A JPH02281113 A JP H02281113A JP 1103814 A JP1103814 A JP 1103814A JP 10381489 A JP10381489 A JP 10381489A JP H02281113 A JPH02281113 A JP H02281113A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、電子レンジなどの加熱調理器に用いられる食
品重量検知用の重量センサに用いられる重量センサ素子
、特に静電容量型重量センサ素子に関する。
品重量検知用の重量センサに用いられる重量センサ素子
、特に静電容量型重量センサ素子に関する。
従来の技術
従来、この種の重量センサ素子は、例えば第１２図（ａ
）もしくは（ｂ）に示すような構造になっていた。
）もしくは（ｂ）に示すような構造になっていた。
即ち、同図（ａ）においては、一対のアルミナ平板１．
２が、同図（ｂ）においては、アルミナ平板３と金属板
４とが、一定の間隔をあけて互いに平行になるようにエ
ポキシなどの有機接着層５で固着していた。アルミナ平
板１，２．３の内面に円形の電極６，７．８を設け、そ
れぞれ電極６，７間もしくは電極８．金属板４間でコン
デンサを形成していた。アルミナ平板１もしくは３上の
中央部に砲弾型の荷重点９．ＩＯを固定し、同荷重点に
荷重を印加し、アルミナ平板１もしくは３をダイアフラ
ムとして動作させ、前記コンデンサの静電容量値から、
荷重点に印加される荷重を検知する重量センサ素子とし
ていた。
２が、同図（ｂ）においては、アルミナ平板３と金属板
４とが、一定の間隔をあけて互いに平行になるようにエ
ポキシなどの有機接着層５で固着していた。アルミナ平
板１，２．３の内面に円形の電極６，７．８を設け、そ
れぞれ電極６，７間もしくは電極８．金属板４間でコン
デンサを形成していた。アルミナ平板１もしくは３上の
中央部に砲弾型の荷重点９．ＩＯを固定し、同荷重点に
荷重を印加し、アルミナ平板１もしくは３をダイアフラ
ムとして動作させ、前記コンデンサの静電容量値から、
荷重点に印加される荷重を検知する重量センサ素子とし
ていた。
尚、この時大気圧の変動によるダイアフラムの変形を避
けるために、ダイアフラム１もしくは３に貫通孔２１も
しくは２２を設けていた。
けるために、ダイアフラム１もしくは３に貫通孔２１も
しくは２２を設けていた。
発明が解決しようとする課題
しかし、このような構造のものでは、一対のアルミナ平
板１．２を、もしくはアルミナ平板３と金属板４とを一
定の間隔になるようにエポキシなどの有機接着層５で固
着できるように、有機接着層に粒径の揃った球状のフィ
ラーなどを混入して、シルクスクリーン法などにより塗
布して用いていた。このため、有機接着層の塗布量に過
不足があった場合、シール幅が狭くなったり、広くなっ
たりしていた。即ち、塗布量が不足した場合、シール高
さが含有するフィラーの粒径で規制されるため、シール
幅が狭くなったり、遂には上下平板を充分に接着できな
くなり、空間が発生し接着強度が低下したりしていた。
板１．２を、もしくはアルミナ平板３と金属板４とを一
定の間隔になるようにエポキシなどの有機接着層５で固
着できるように、有機接着層に粒径の揃った球状のフィ
ラーなどを混入して、シルクスクリーン法などにより塗
布して用いていた。このため、有機接着層の塗布量に過
不足があった場合、シール幅が狭くなったり、広くなっ
たりしていた。即ち、塗布量が不足した場合、シール高
さが含有するフィラーの粒径で規制されるため、シール
幅が狭くなったり、遂には上下平板を充分に接着できな
くなり、空間が発生し接着強度が低下したりしていた。
また塗布量が多過ぎた場合、シール高さが規制されてい
るため、有機接着層かにじみ出し、シール幅が非常に広
くなり、遂には内部の電極にかかる場合などもあり、結
露などが発生しやすくなり、耐湿特性が悪くなったりし
ていた。即ち、シール幅が狭くなったり、広くなったり
することは、センサ素子のダイアフラム径が実質上、広
くなったり、狭くなったりすることであるから、センサ
素子の感度（荷重に対する容量変化）も非常に大きく変
動することがあった。
るため、有機接着層かにじみ出し、シール幅が非常に広
くなり、遂には内部の電極にかかる場合などもあり、結
露などが発生しやすくなり、耐湿特性が悪くなったりし
ていた。即ち、シール幅が狭くなったり、広くなったり
することは、センサ素子のダイアフラム径が実質上、広
くなったり、狭くなったりすることであるから、センサ
素子の感度（荷重に対する容量変化）も非常に大きく変
動することがあった。
また、内部の電極上ににじんだ場合は、電極間の誘電率
が空気から有機接着層へと大幅に変化することを意味し
、センサ素子の静電容量も大幅に変化することになるな
どの問題があった。
が空気から有機接着層へと大幅に変化することを意味し
、センサ素子の静電容量も大幅に変化することになるな
どの問題があった。
そこで、本発明は有機接着層の塗布量の過不足が発生し
ても、シール幅の変動の少ない重量センサ素子を得るこ
とを第１の目的としている。
ても、シール幅の変動の少ない重量センサ素子を得るこ
とを第１の目的としている。
第２の目的は、有機接着層の内部電極へのにじみを防止
することによる耐湿特性を向上した重量センサ素子を得
ることにある。第３の目的は、シ−ル幅の変動を押え、
且つ、充分な接着強度のある重量センサ素子を得ること
にある。
することによる耐湿特性を向上した重量センサ素子を得
ることにある。第３の目的は、シ−ル幅の変動を押え、
且つ、充分な接着強度のある重量センサ素子を得ること
にある。
課題を解決するための手段
上記第１の目的を達成するために、本発明はエポキシな
どの有機接着層を、無機接着層と有機接着層の二層から
なる接着層とするものである。
どの有機接着層を、無機接着層と有機接着層の二層から
なる接着層とするものである。
また第２の目的を達成するために、有機接着層の幅を無
機接着層の幅よりも狭くするものである。
機接着層の幅よりも狭くするものである。
また第３の目的を達成するために、有機接着層と接する
板体の表面を粗したり、また表面が酸化性表面の場合、
不働態化したりするものである。
板体の表面を粗したり、また表面が酸化性表面の場合、
不働態化したりするものである。
作用
本発明の重量センサ素子は、一対の平板を、ガラス質な
どからなる無機接着層と、エポキシなどからなる有機接
着層の二層から固着するため、従来のように有機接着層
だけで固着していた場合に比べ、シール幅の安定性は大
幅に向上する。即ち、エポキシなどの有機接着層は、加
熱硬化せしめる際に、表面張力などにより狭空間に引き
込まれる性質があるため、塗布量に過不足が発生しても
硬化する場合、予め設けられた無機接着層の部分近くに
拡張・収縮に留まる。
どからなる無機接着層と、エポキシなどからなる有機接
着層の二層から固着するため、従来のように有機接着層
だけで固着していた場合に比べ、シール幅の安定性は大
幅に向上する。即ち、エポキシなどの有機接着層は、加
熱硬化せしめる際に、表面張力などにより狭空間に引き
込まれる性質があるため、塗布量に過不足が発生しても
硬化する場合、予め設けられた無機接着層の部分近くに
拡張・収縮に留まる。
更に、予め設けられた無機接着層のシール幅が有機接着
層のシール幅よりも広ければ、加熱硬化後の有機接着層
のシール幅が前記無機接着層のシール幅よりも狭くなっ
ても拡がることがない。
層のシール幅よりも広ければ、加熱硬化後の有機接着層
のシール幅が前記無機接着層のシール幅よりも狭くなっ
ても拡がることがない。
また、有機接着層の塗布量が不足し、シール幅が狭くな
っても、有機接着層と接する平板の表面を粗したり、あ
るいは表面が酸化性表面である場合には、表面を不働態
化することにより強固な接着力が得られる。
っても、有機接着層と接する平板の表面を粗したり、あ
るいは表面が酸化性表面である場合には、表面を不働態
化することにより強固な接着力が得られる。
実施例
以下、本発明の一実施例を添付図面により説明する。第
１図は、本発明による重量センサ素子の断面図であって
、１１．１２は一対の非導電性平板としての＠厚０．６
３５’ ｍｍのアルミナ平板、１３．１４は平板１１．
１２を一定の間隔約５０μｍに保持し、平行に固着する
ためのガラス質などからなる無機接着層と、エポキシな
どからなる有機接着層とを示す。
１図は、本発明による重量センサ素子の断面図であって
、１１．１２は一対の非導電性平板としての＠厚０．６
３５’ ｍｍのアルミナ平板、１３．１４は平板１１．
１２を一定の間隔約５０μｍに保持し、平行に固着する
ためのガラス質などからなる無機接着層と、エポキシな
どからなる有機接着層とを示す。
１５はダイアフラムとして動作するアルミナ平板１１の
中央部に固定された荷重点を示す。１６．１７はアルミ
ナ平板ＩＬ １２に設けられた互いに対面した電極を示
し、コンデンサを形成している。１６’ 、 １７’は
それぞれの電極の取り出しリード部分を示す。
中央部に固定された荷重点を示す。１６．１７はアルミ
ナ平板ＩＬ １２に設けられた互いに対面した電極を示
し、コンデンサを形成している。１６’ 、 １７’は
それぞれの電極の取り出しリード部分を示す。
尚、接着層１３．１４の内径はφ２４．外径はφ２８で
あった。接着層１３．１４の厚さは、それぞれ平板１１
と１２との間の平均間隔約５０μｍの半分とした。２３
はアルミナ平板１１に設けられた貫通孔を示す。
あった。接着層１３．１４の厚さは、それぞれ平板１１
と１２との間の平均間隔約５０μｍの半分とした。２３
はアルミナ平板１１に設けられた貫通孔を示す。
無機接着層１３として、５ｉＯｚ、ＰｂＯなどを主成分
とするガラス質を用い、約５０μｍの粒径を有するＴｉ
Ｏ２系フィラーを混入し、約７００°Ｃで焼成し形成し
た。有機接着層１４として、一般によく知られているビ
スフェノール型エポキシレジンとへキサヒドロ無水フタ
ル酸を主成分とし、粒径２０μｍ程度の５ｊＯｚ系フイ
ラーを含有したものを用い、１６０°Ｃで加熱硬化して
形成した。
とするガラス質を用い、約５０μｍの粒径を有するＴｉ
Ｏ２系フィラーを混入し、約７００°Ｃで焼成し形成し
た。有機接着層１４として、一般によく知られているビ
スフェノール型エポキシレジンとへキサヒドロ無水フタ
ル酸を主成分とし、粒径２０μｍ程度の５ｊＯｚ系フイ
ラーを含有したものを用い、１６０°Ｃで加熱硬化して
形成した。
第２図に、接着層の拡大断面図を示す。第２図（ａ）、
（ｂ）、 （Ｃ）は有機接着層の塗布量がそれぞれ、
適性量１４ａの場合、５０％増量１４ｂした場合、５０
％減量１４Ｃした場合の接着層の断面形状を示す。第３
図に、第２図（ａ）、 （ｂ）、 （Ｃ）に対応した従
来の結果、適性量５ａ、５０％増量５ｂ、５０％減量５
Ｃの場合を、それぞれ示す。第４図に有機接着層の塗布
量の適性量に対する比と、標準シール幅２ｍｍの変化の
様子を示す。実線１８は本発明の結果、点線１９は従来
の結果を示す。印刷法の場合、通常塗布量は±４０％程
度変動するため、従来の重量センサ素子では、シール幅
が±０．８ｍｍ程度、即ち、１．２〜２．８ｍｍ程度変
動していた。本発明の場合は、同図より±０．４ｍｍ程
度、即ち、１．６〜２．４ｍｍの変動となり、シール幅
の安定性が大幅に向上した。シール幅が変動するという
ことは、ダイアフラムとして動作する径が変動すること
を意味し、センサ素子としての感度が変動することをも
意味している。従って、本発明の重量センサ素子は、従
来のものに比べ、シール幅が大幅に安定し、更には素子
感度をも安定した。
（ｂ）、 （Ｃ）は有機接着層の塗布量がそれぞれ、
適性量１４ａの場合、５０％増量１４ｂした場合、５０
％減量１４Ｃした場合の接着層の断面形状を示す。第３
図に、第２図（ａ）、 （ｂ）、 （Ｃ）に対応した従
来の結果、適性量５ａ、５０％増量５ｂ、５０％減量５
Ｃの場合を、それぞれ示す。第４図に有機接着層の塗布
量の適性量に対する比と、標準シール幅２ｍｍの変化の
様子を示す。実線１８は本発明の結果、点線１９は従来
の結果を示す。印刷法の場合、通常塗布量は±４０％程
度変動するため、従来の重量センサ素子では、シール幅
が±０．８ｍｍ程度、即ち、１．２〜２．８ｍｍ程度変
動していた。本発明の場合は、同図より±０．４ｍｍ程
度、即ち、１．６〜２．４ｍｍの変動となり、シール幅
の安定性が大幅に向上した。シール幅が変動するという
ことは、ダイアフラムとして動作する径が変動すること
を意味し、センサ素子としての感度が変動することをも
意味している。従って、本発明の重量センサ素子は、従
来のものに比べ、シール幅が大幅に安定し、更には素子
感度をも安定した。
更に、シール幅の安定性を改良した実施例を第５図に示
す。第５図は第２図と同様接着層の拡大断面図を示す。
す。第５図は第２図と同様接着層の拡大断面図を示す。
同図において、３１は無機接着層の幅を、約１．５倍に
したものを示す。従って、を機接着層の塗布量が適性量
の場合３２ａ、適性量の５０％の場合３２ｂ、５０％減
量の場合３２ｃをそれぞれ第５図（ａ）、 （ｂ）、
（ｃ）に示す。同図より明らかなように有機接着層３２
ａ、３２ｂ、３２ｃの塗布量が適性量の±５０％変動し
ても、無機接着層３１の内側への有機接着層のにじみ出
しは皆無となった。即ち、予め幅広の無機接着層を設け
、有機接着層の内径さえ合致させておきさえおけば、有
機接着層の加熱硬化時の表面張力により、有機接着層の
塗布厚が変動しても、内側へのにじみ出しは皆無となっ
た。
したものを示す。従って、を機接着層の塗布量が適性量
の場合３２ａ、適性量の５０％の場合３２ｂ、５０％減
量の場合３２ｃをそれぞれ第５図（ａ）、 （ｂ）、
（ｃ）に示す。同図より明らかなように有機接着層３２
ａ、３２ｂ、３２ｃの塗布量が適性量の±５０％変動し
ても、無機接着層３１の内側への有機接着層のにじみ出
しは皆無となった。即ち、予め幅広の無機接着層を設け
、有機接着層の内径さえ合致させておきさえおけば、有
機接着層の加熱硬化時の表面張力により、有機接着層の
塗布厚が変動しても、内側へのにじみ出しは皆無となっ
た。
従って、センサ素子のダイアフラム径の接着層のにじみ
出しによる変動は皆無となり、センサ素子の感度は非常
に安定なものになった。
出しによる変動は皆無となり、センサ素子の感度は非常
に安定なものになった。
更に、有機接着層の内側へのにじみ出しがなくなったた
め、電極部にかかることがなくなり、耐湿特性も向上し
た。即ち、温度３０°Ｃ一定で、相対湿度を３０％から
９５％へと変化させながら、センサ素子の特性を測定す
る耐湿環境特性試験を実施すると、本発明による第５図
に示す有機接着層のにじみ出しのない素子は、その静電
容量値は殆んど変化しなかったが、従来のセンサ素子で
は相対湿度７０％以上で大幅に変化した。変化幅の大き
いものは、有機接着層が内側ににしみ出し、殆んど電極
部に接するばかりであった。これは有機接着層と平板と
の界面において、高湿度下において、結露などが発生し
やすいものと考えられる。
め、電極部にかかることがなくなり、耐湿特性も向上し
た。即ち、温度３０°Ｃ一定で、相対湿度を３０％から
９５％へと変化させながら、センサ素子の特性を測定す
る耐湿環境特性試験を実施すると、本発明による第５図
に示す有機接着層のにじみ出しのない素子は、その静電
容量値は殆んど変化しなかったが、従来のセンサ素子で
は相対湿度７０％以上で大幅に変化した。変化幅の大き
いものは、有機接着層が内側ににしみ出し、殆んど電極
部に接するばかりであった。これは有機接着層と平板と
の界面において、高湿度下において、結露などが発生し
やすいものと考えられる。
更に、有機接着層の塗布量の変動に伴なう接着力の低下
に対し、平板の表面粗さを大きくし接着力の向上を図っ
た。即ち、前記荷重点１５に衝撃荷重５ ｋｇ Ｘ ５
ｃｍを２０回印加し、その前後でのセンサ素子の感度
変化を測定した。素子１００台測定した結果、実用上問
題となる感度が５％以上変化したものが２０台発生した
。素子２０台の接着層幅の最小幅を測定した所、第６図
の結果を得た。同図より、この原因は接着層幅の減少に
よる接着力の低下によるものと考えられた。従って、平
板の表面を粗し接着強度を向上せしめた。第７図にアル
ミナ平板の表面粗度と研磨砥粒の関係を示す。第８図に
接着強度と研磨砥粒の関係を示す。第７図の数字は研磨
に用いた砥粒の番数を示す。尚、１μｍダイアは、粒径
１μｍのダイアペーストによるパフ研磨の結果を示す。
に対し、平板の表面粗さを大きくし接着力の向上を図っ
た。即ち、前記荷重点１５に衝撃荷重５ ｋｇ Ｘ ５
ｃｍを２０回印加し、その前後でのセンサ素子の感度
変化を測定した。素子１００台測定した結果、実用上問
題となる感度が５％以上変化したものが２０台発生した
。素子２０台の接着層幅の最小幅を測定した所、第６図
の結果を得た。同図より、この原因は接着層幅の減少に
よる接着力の低下によるものと考えられた。従って、平
板の表面を粗し接着強度を向上せしめた。第７図にアル
ミナ平板の表面粗度と研磨砥粒の関係を示す。第８図に
接着強度と研磨砥粒の関係を示す。第７図の数字は研磨
に用いた砥粒の番数を示す。尚、１μｍダイアは、粒径
１μｍのダイアペーストによるパフ研磨の結果を示す。
第８図横軸のａ、ｂ、ｃ、ｄ。
ｅは第７図のａ、ｂ、ｃ、ｄ、ｅに対応する。同図より
接着強度が表面粗度に大きく依存することがわかる。＃
２０００番で研磨した平板を用いて、前記と同様の衝
撃荷重の試験を実施した所、５％以上の感度変化の発生
は皆無となった。
接着強度が表面粗度に大きく依存することがわかる。＃
２０００番で研磨した平板を用いて、前記と同様の衝
撃荷重の試験を実施した所、５％以上の感度変化の発生
は皆無となった。
第９図に本発明の他の実施例による重量センサ素子の断
面図を示す。同図において、１１は内部に電極１６．取
り出しリード部１６′を有するアルミナ平板、３４は４
２６合金からなる導電性基板、１３は無機接着層、１４
は有機接着層を示す。電極１６と導電性基板３４とでコ
ンデンサを形成し、荷重点１５に印加される荷重により
、アルミナ平板１１が弾性ダイアフラムとして動作し、
静電容量型重量センサ素子として動作する。この種の重
量センサ素子に対しても前記第２図、もしくは第５図に
示したのと同様の効果が得られた。第１０図、第１１図
に導電性平板４２６合金の表面粗度と接着強度との関係
を示冊 す。第１０図（ａ）は４２６合金の未研磨の表面状態を
、同図（ロ）は＃６００番の砥粒で研磨した表面状態を
、同図（Ｃ）は希硝酸系の酸で不働態化した表面状態を
示す。第１１図に、第１０図（ａ）、 （ｂＬ （Ｃ）
に対応した有機接着層の接着強度を示す。前述した衝撃
荷重試験を実施した所、第１０図（ａ）の場合は、１０
０台中３ｓ台が、５％以上の感度変化を示し、実用上問
題があったが、同図（ｂ）、 （Ｃ）の場合は、５％以
上の変化を生じたものが皆無となった。
面図を示す。同図において、１１は内部に電極１６．取
り出しリード部１６′を有するアルミナ平板、３４は４
２６合金からなる導電性基板、１３は無機接着層、１４
は有機接着層を示す。電極１６と導電性基板３４とでコ
ンデンサを形成し、荷重点１５に印加される荷重により
、アルミナ平板１１が弾性ダイアフラムとして動作し、
静電容量型重量センサ素子として動作する。この種の重
量センサ素子に対しても前記第２図、もしくは第５図に
示したのと同様の効果が得られた。第１０図、第１１図
に導電性平板４２６合金の表面粗度と接着強度との関係
を示冊 す。第１０図（ａ）は４２６合金の未研磨の表面状態を
、同図（ロ）は＃６００番の砥粒で研磨した表面状態を
、同図（Ｃ）は希硝酸系の酸で不働態化した表面状態を
示す。第１１図に、第１０図（ａ）、 （ｂＬ （Ｃ）
に対応した有機接着層の接着強度を示す。前述した衝撃
荷重試験を実施した所、第１０図（ａ）の場合は、１０
０台中３ｓ台が、５％以上の感度変化を示し、実用上問
題があったが、同図（ｂ）、 （Ｃ）の場合は、５％以
上の変化を生じたものが皆無となった。
更に、導電性基板を不働態化処理することにより、高温
高温放置（６０°Ｃ１９０％、 ５００ｈｒ）による接
着力の低下も、非常に減少することをも確認した。
高温放置（６０°Ｃ１９０％、 ５００ｈｒ）による接
着力の低下も、非常に減少することをも確認した。
尚、前記本発明の実施例において、非導電性平板として
アルミナ平板を用いたが、弾性的特性に優れ、且つ、薄
く、良好な平面度の得られるものならば良く、例えば強
靭な特性を有するジルコニアなどの磁器板でも良い。更
に、平面度の得られやすい石英ガラス、硼珪酸ガラスな
どのガラス板でも良い。
アルミナ平板を用いたが、弾性的特性に優れ、且つ、薄
く、良好な平面度の得られるものならば良く、例えば強
靭な特性を有するジルコニアなどの磁器板でも良い。更
に、平面度の得られやすい石英ガラス、硼珪酸ガラスな
どのガラス板でも良い。
また、導電性基板としてもステンレス コバール、４２
６合金など弾性的性質に優れたものであれば良い。
６合金など弾性的性質に優れたものであれば良い。
更に、有機接着層として、前記実施例として、エポキシ
系樹脂を用いたが、フェノール系、尿素系等の熱硬化性
樹脂でも良い。更に、本実施例において、接着層を無機
接着層と有機接着層との２層を用いたが、加熱硬化温度
の異なる接着層であれば、本発明の構成とその効果は実
現し得るものであることは明白である。
系樹脂を用いたが、フェノール系、尿素系等の熱硬化性
樹脂でも良い。更に、本実施例において、接着層を無機
接着層と有機接着層との２層を用いたが、加熱硬化温度
の異なる接着層であれば、本発明の構成とその効果は実
現し得るものであることは明白である。
発明の効果
以上のように本発明の重量センサ素子は、一対の平板を
無機接着層とを機接着層との２層で接着するため、接着
層のにじみ出しがなくなり、接着幅の安定性を大幅に向
上することが出来た。
無機接着層とを機接着層との２層で接着するため、接着
層のにじみ出しがなくなり、接着幅の安定性を大幅に向
上することが出来た。
更に、用いる平板の表面粗度、あるいは表面を不働態化
することにより、接着力を向上するとともにセンサ素子
特性の安定性を達成することができた。
することにより、接着力を向上するとともにセンサ素子
特性の安定性を達成することができた。
第１図は本発明の一実施例による重量センサ素子の断面
図、第２図、第３図、第５図は同重量センサ素子接着部
の拡大断面図、第４図、第６図は同型量センサ素子の特
性図、第７図、第１０図は表面粗度を示す図、第８図、
第１１図は接着強度を示す図、第９図は本発明の他の実
施例による重量センサ素子の断面図、第１２図は従来の
重量センサ素子の断面図である。 １１、１２・・・・・・非導電性平板、１３・・・・・
・無機接着層、１４・・・・・・有機接着層、１６．１
．７・・・・・・電極。 代理人の氏名 弁理士 粟野重孝 はか１名城 第 図 ／ 第 図 θ、５ −Ｏ 塗 布 量 ／、Ｊ （泪りす値０ ／ Ｚ ３ ４− ノτ＼ １囁蒼 （ｉｍｑに、）α 第１Ｏ図 ｐルに ｌｔｎ慴・ 第 図 第 １２図 ａ。
図、第２図、第３図、第５図は同重量センサ素子接着部
の拡大断面図、第４図、第６図は同型量センサ素子の特
性図、第７図、第１０図は表面粗度を示す図、第８図、
第１１図は接着強度を示す図、第９図は本発明の他の実
施例による重量センサ素子の断面図、第１２図は従来の
重量センサ素子の断面図である。 １１、１２・・・・・・非導電性平板、１３・・・・・
・無機接着層、１４・・・・・・有機接着層、１６．１
．７・・・・・・電極。 代理人の氏名 弁理士 粟野重孝 はか１名城 第 図 ／ 第 図 θ、５ −Ｏ 塗 布 量 ／、Ｊ （泪りす値０ ／ Ｚ ３ ４− ノτ＼ １囁蒼 （ｉｍｑに、）α 第１Ｏ図 ｐルに ｌｔｎ慴・ 第 図 第 １２図 ａ。
Claims (8)
- （１）一対の非導電性の板体からなり、前記一対の板体
が、一定の空間をあけて互いに平行に配置され、且つ、
その周辺部を、無機接着層と有機接着層との二層からな
る接着層で固定され、且つ、前記平行に配置された板体
の互いに向かい合う平面に、電極を備え静電容量を形成
するとともに、前記板体の少なくとも一方が重量に応じ
、弾性ダイアフラムとして動作してなる重量センサ素子
。 - （２）非導電性板体と導電性板体との一対の板体からな
り、前記一対の板体が、一定の空間をあけて互いに平行
に配置され、且つ、その周辺部を、無機接着層と有機接
着層との二層からなる接着層で固定され、且つ、前記平
行に配置された非導電性板体の、導電性板体に向かい合
う平面に電極を備え、前記電極と、前記導電性板体との
間に静電容量を形成するとともに、前記板体の少なくと
も一方が重量に応じ、弾性ダイアフラムとして動作して
なる重量センサ素子。 - （３）前記無機接着層が硝子層からなり、且つ、有機接
着層がエポキシ系樹脂層からなる特許請求の範囲第（１
）項または第（２）項記載の重量センサ素子。 - （４）前記無機接着層の幅が、前記有機接着層の幅より
も広い特許請求の範囲第（１）項または第（２）項記載
の重量センサ素子。 - （５）前記有機接着層と接する板体の表面を粗してなる
特許請求の範囲第（１）項または第（２）項記載の重量
センサ素子。 - （６）前記非導電性板体が、アルミナ、ジルコニアなど
の磁器、もしくは石英ガラス、硼珪酸ガラスなどのガラ
スからなる特許請求の範囲第（１）項または第（２）項
記載の重量センサ素子。 - （７）前記導電性板体が、ステンレス、コバール、４２
６合金系金属からなる特許請求の範囲第（２）項記載の
重量センサ素子。 - （８）前記導電性板体を酸洗し、表面に不働態層を形成
してなる特許請求の範囲第（７）項記載の重量センサ素
子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1103814A JPH081400B2 (ja) | 1989-04-24 | 1989-04-24 | 重量センサ素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1103814A JPH081400B2 (ja) | 1989-04-24 | 1989-04-24 | 重量センサ素子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02281113A true JPH02281113A (ja) | 1990-11-16 |
| JPH081400B2 JPH081400B2 (ja) | 1996-01-10 |
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ID=14363876
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1103814A Expired - Fee Related JPH081400B2 (ja) | 1989-04-24 | 1989-04-24 | 重量センサ素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH081400B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0727596A (ja) * | 1993-07-08 | 1995-01-27 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 静電容量型重量センサ素子およびその製造法 |
| GB2379408A (en) * | 2001-09-07 | 2003-03-12 | Visteon Global Tech Inc | Compliant standoff for low pressure sensing device |
| CN107687888A (zh) * | 2017-08-17 | 2018-02-13 | 安徽柯力电气制造有限公司 | 一种数字式称重传感器的生产工艺 |
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| JPS56147310A (en) * | 1980-04-16 | 1981-11-16 | Hitachi Ltd | Conductive adhesive |
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| JPS6423121A (en) * | 1987-07-20 | 1989-01-25 | Matsushita Electric Industrial Co Ltd | Weight detector |
| JPH0159838U (ja) * | 1987-10-13 | 1989-04-14 |
-
1989
- 1989-04-24 JP JP1103814A patent/JPH081400B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| GB2379408B (en) * | 2001-09-07 | 2003-11-05 | Visteon Global Tech Inc | Compliant standoff for low pressure sensing device |
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| US6752022B2 (en) | 2001-09-07 | 2004-06-22 | Visteon Global Technologies, Inc. | Compliant standoff for low pressure sensing device |
| CN107687888A (zh) * | 2017-08-17 | 2018-02-13 | 安徽柯力电气制造有限公司 | 一种数字式称重传感器的生产工艺 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH081400B2 (ja) | 1996-01-10 |
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