JPH0159838U - - Google Patents
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- JPH0159838U JPH0159838U JP15552087U JP15552087U JPH0159838U JP H0159838 U JPH0159838 U JP H0159838U JP 15552087 U JP15552087 U JP 15552087U JP 15552087 U JP15552087 U JP 15552087U JP H0159838 U JPH0159838 U JP H0159838U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- region
- insulating substrate
- load sensor
- capacitive load
- fixed electrode
- Prior art date
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- Granted
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- 239000000956 alloy Substances 0.000 claims description 4
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- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims description 2
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims description 2
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims 4
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 claims 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Description
第1図は本考案の一実施例を示す斜視図、第2
図はその断面図である。第3図は本考案による他
の実施例の斜視図、第4図はその断面図を示す。
第5図は従来の例を示す斜視図を、第6図は第5
図の空気コンデンサー部分の構造図、第7図は処
理回路の回路図、第8図は第7図の特性を示す図
である。 1,1′…絶縁性基板、2,2′…恒弾性合金
、3,3′…固定電極、31,32,31′,2
2′…導体パターン、4…シール部材、5,5′
,7,7′…貫通孔、6,6′…リード端子、7
…スペーサー、8…接着剤、33,33′…ジヤ
ンパー線、11,11′…空気コンデンサー、2
2′…回路パターン、22,222…回路部分、
111…固定フレーム、112,113…絶縁性
基板、114,115…電極、116…シール部
材、117,118…空気コンデンサーリード線
、33…ジヤンプ線、44…回路基板。
図はその断面図である。第3図は本考案による他
の実施例の斜視図、第4図はその断面図を示す。
第5図は従来の例を示す斜視図を、第6図は第5
図の空気コンデンサー部分の構造図、第7図は処
理回路の回路図、第8図は第7図の特性を示す図
である。 1,1′…絶縁性基板、2,2′…恒弾性合金
、3,3′…固定電極、31,32,31′,2
2′…導体パターン、4…シール部材、5,5′
,7,7′…貫通孔、6,6′…リード端子、7
…スペーサー、8…接着剤、33,33′…ジヤ
ンパー線、11,11′…空気コンデンサー、2
2′…回路パターン、22,222…回路部分、
111…固定フレーム、112,113…絶縁性
基板、114,115…電極、116…シール部
材、117,118…空気コンデンサーリード線
、33…ジヤンプ線、44…回路基板。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 1 絶縁性基板の面上の第1の領域に厚膜印刷に
よる固定電極がもうけられ、前記固定電極と対抗
して所定の空隙を有する恒弾性合金よりなる可動
電極板がもうけられて空気コンデンサーを形成し
、一方前記絶縁性基板の第2の領域には、処理回
路の配線パターンが形成されて、前記空気コンデ
ンサーの固定電極、可動電極の両電極が電気的に
前記配線パターンと接続されてなる静電容量式荷
重センサ。 2 前記第1の領域と第2の領域は、前記絶縁性
基板の同一面側に配置されている実用新案登録請
求の範囲第1項記載の静電容量式荷重センサ。 3 前記第1の領域と第2の領域は、前記絶縁性
基板の互に反対側面に配置されている実用新案請
求の範囲第1項記載の静電容量式荷重センサ。 4 前記固定電極の外側円周部分にはシール部材
が印刷されておりその上側に前記恒弾性合金によ
る可動電極がかぶせられており、前記シール部材
により、前記固定電極と可動電極間の対抗距離が
設定されている実用新案登録請求の範囲第1項記
載の静電容量式荷重センサ。 5 前記固定電極の外側部分に、所定厚みのリン
グ形状のスペーサーが配置され、前記恒弾性合金
による可動電極がその上にかぶせられ、接着剤に
より前記スペーサーと可動電極とを、前記絶縁性
基板に固定している実用新案登録請求の範囲第1
項記載の静電容量式荷重センサ。 6 前記固定電極とシール部材、あるいはスペー
サとの間の領域にて、絶縁性基板にその厚み方向
に貫通孔がもうけられている実用新案登録請求の
範囲第1項記載の静電容量式荷重センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987155520U JPH0743625Y2 (ja) | 1987-10-13 | 1987-10-13 | 静電容量式荷重センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987155520U JPH0743625Y2 (ja) | 1987-10-13 | 1987-10-13 | 静電容量式荷重センサ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0159838U true JPH0159838U (ja) | 1989-04-14 |
| JPH0743625Y2 JPH0743625Y2 (ja) | 1995-10-09 |
Family
ID=31433220
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1987155520U Expired - Lifetime JPH0743625Y2 (ja) | 1987-10-13 | 1987-10-13 | 静電容量式荷重センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0743625Y2 (ja) |
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02236858A (ja) * | 1989-03-10 | 1990-09-19 | Hitachi Ltd | 蓋装置 |
| JPH02281113A (ja) * | 1989-04-24 | 1990-11-16 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 重量センサ素子 |
| JPH041306U (ja) * | 1990-04-19 | 1992-01-08 | ||
| JPH0470904U (ja) * | 1990-10-31 | 1992-06-23 | ||
| JPH0727596A (ja) * | 1993-07-08 | 1995-01-27 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 静電容量型重量センサ素子およびその製造法 |
| JPH07210310A (ja) * | 1994-01-19 | 1995-08-11 | Nitta Ind Corp | 静電容量式センサー |
| JPH07280683A (ja) * | 1994-04-07 | 1995-10-27 | Nitta Ind Corp | 圧力センサー |
| JPH11211586A (ja) * | 1998-01-27 | 1999-08-06 | Matsushita Electric Works Ltd | 半導体装置 |
| WO2003010651A1 (en) * | 2001-07-27 | 2003-02-06 | Elantech Devices Corporation | Input device and its manufacturing method |
| WO2007138829A1 (ja) * | 2006-05-25 | 2007-12-06 | Omron Corporation | 静電容量式センサ |
| JP2019090731A (ja) * | 2017-11-15 | 2019-06-13 | オムロン株式会社 | 静電容量式圧力センサ |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5578228A (en) * | 1978-12-01 | 1980-06-12 | Besco Ind Inc | Power responsive motion transducer |
| JPS5654331A (en) * | 1979-09-21 | 1981-05-14 | Bosch Gmbh Robert | Volumetric pressure sensor |
-
1987
- 1987-10-13 JP JP1987155520U patent/JPH0743625Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
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|---|---|---|---|---|
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|---|---|---|---|---|
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| JPH0727596A (ja) * | 1993-07-08 | 1995-01-27 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 静電容量型重量センサ素子およびその製造法 |
| JPH07210310A (ja) * | 1994-01-19 | 1995-08-11 | Nitta Ind Corp | 静電容量式センサー |
| JPH07280683A (ja) * | 1994-04-07 | 1995-10-27 | Nitta Ind Corp | 圧力センサー |
| JPH11211586A (ja) * | 1998-01-27 | 1999-08-06 | Matsushita Electric Works Ltd | 半導体装置 |
| WO2003010651A1 (en) * | 2001-07-27 | 2003-02-06 | Elantech Devices Corporation | Input device and its manufacturing method |
| WO2007138829A1 (ja) * | 2006-05-25 | 2007-12-06 | Omron Corporation | 静電容量式センサ |
| JP2019090731A (ja) * | 2017-11-15 | 2019-06-13 | オムロン株式会社 | 静電容量式圧力センサ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0743625Y2 (ja) | 1995-10-09 |