JPH0159838U - - Google Patents

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JPH0159838U
JPH0159838U JP15552087U JP15552087U JPH0159838U JP H0159838 U JPH0159838 U JP H0159838U JP 15552087 U JP15552087 U JP 15552087U JP 15552087 U JP15552087 U JP 15552087U JP H0159838 U JPH0159838 U JP H0159838U
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capacitive load
fixed electrode
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JP15552087U
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  • Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
  • Measuring Fluid Pressure (AREA)

Description

【図面の簡単な説明】
第1図は本考案の一実施例を示す斜視図、第2
図はその断面図である。第3図は本考案による他
の実施例の斜視図、第4図はその断面図を示す。
第5図は従来の例を示す斜視図を、第6図は第5
図の空気コンデンサー部分の構造図、第7図は処
理回路の回路図、第8図は第7図の特性を示す図
である。 1,1′…絶縁性基板、2,2′…恒弾性合金
、3,3′…固定電極、31,32,31′,2
2′…導体パターン、4…シール部材、5,5′
,7,7′…貫通孔、6,6′…リード端子、7
…スペーサー、8…接着剤、33,33′…ジヤ
ンパー線、11,11′…空気コンデンサー、
2′
…回路パターン、22222…回路部分、
111…固定フレーム、112,113…絶縁性
基板、114,115…電極、116…シール部
材、117,118…空気コンデンサーリード線
33…ジヤンプ線、44…回路基板。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 1 絶縁性基板の面上の第1の領域に厚膜印刷に
    よる固定電極がもうけられ、前記固定電極と対抗
    して所定の空隙を有する恒弾性合金よりなる可動
    電極板がもうけられて空気コンデンサーを形成し
    、一方前記絶縁性基板の第2の領域には、処理回
    路の配線パターンが形成されて、前記空気コンデ
    ンサーの固定電極、可動電極の両電極が電気的に
    前記配線パターンと接続されてなる静電容量式荷
    重センサ。 2 前記第1の領域と第2の領域は、前記絶縁性
    基板の同一面側に配置されている実用新案登録請
    求の範囲第1項記載の静電容量式荷重センサ。 3 前記第1の領域と第2の領域は、前記絶縁性
    基板の互に反対側面に配置されている実用新案請
    求の範囲第1項記載の静電容量式荷重センサ。 4 前記固定電極の外側円周部分にはシール部材
    が印刷されておりその上側に前記恒弾性合金によ
    る可動電極がかぶせられており、前記シール部材
    により、前記固定電極と可動電極間の対抗距離が
    設定されている実用新案登録請求の範囲第1項記
    載の静電容量式荷重センサ。 5 前記固定電極の外側部分に、所定厚みのリン
    グ形状のスペーサーが配置され、前記恒弾性合金
    による可動電極がその上にかぶせられ、接着剤に
    より前記スペーサーと可動電極とを、前記絶縁性
    基板に固定している実用新案登録請求の範囲第1
    項記載の静電容量式荷重センサ。 6 前記固定電極とシール部材、あるいはスペー
    サとの間の領域にて、絶縁性基板にその厚み方向
    に貫通孔がもうけられている実用新案登録請求の
    範囲第1項記載の静電容量式荷重センサ。
JP1987155520U 1987-10-13 1987-10-13 静電容量式荷重センサ Expired - Lifetime JPH0743625Y2 (ja)

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JPH0159838U true JPH0159838U (ja) 1989-04-14
JPH0743625Y2 JPH0743625Y2 (ja) 1995-10-09

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Cited By (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02236858A (ja) * 1989-03-10 1990-09-19 Hitachi Ltd 蓋装置
JPH02281113A (ja) * 1989-04-24 1990-11-16 Matsushita Electric Ind Co Ltd 重量センサ素子
JPH041306U (ja) * 1990-04-19 1992-01-08
JPH0470904U (ja) * 1990-10-31 1992-06-23
JPH0727596A (ja) * 1993-07-08 1995-01-27 Matsushita Electric Ind Co Ltd 静電容量型重量センサ素子およびその製造法
JPH07210310A (ja) * 1994-01-19 1995-08-11 Nitta Ind Corp 静電容量式センサー
JPH07280683A (ja) * 1994-04-07 1995-10-27 Nitta Ind Corp 圧力センサー
JPH11211586A (ja) * 1998-01-27 1999-08-06 Matsushita Electric Works Ltd 半導体装置
WO2003010651A1 (en) * 2001-07-27 2003-02-06 Elantech Devices Corporation Input device and its manufacturing method
WO2007138829A1 (ja) * 2006-05-25 2007-12-06 Omron Corporation 静電容量式センサ
JP2019090731A (ja) * 2017-11-15 2019-06-13 オムロン株式会社 静電容量式圧力センサ

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5578228A (en) * 1978-12-01 1980-06-12 Besco Ind Inc Power responsive motion transducer
JPS5654331A (en) * 1979-09-21 1981-05-14 Bosch Gmbh Robert Volumetric pressure sensor

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5578228A (en) * 1978-12-01 1980-06-12 Besco Ind Inc Power responsive motion transducer
JPS5654331A (en) * 1979-09-21 1981-05-14 Bosch Gmbh Robert Volumetric pressure sensor

Cited By (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02236858A (ja) * 1989-03-10 1990-09-19 Hitachi Ltd 蓋装置
JPH02281113A (ja) * 1989-04-24 1990-11-16 Matsushita Electric Ind Co Ltd 重量センサ素子
JPH041306U (ja) * 1990-04-19 1992-01-08
JPH0470904U (ja) * 1990-10-31 1992-06-23
JPH0727596A (ja) * 1993-07-08 1995-01-27 Matsushita Electric Ind Co Ltd 静電容量型重量センサ素子およびその製造法
JPH07210310A (ja) * 1994-01-19 1995-08-11 Nitta Ind Corp 静電容量式センサー
JPH07280683A (ja) * 1994-04-07 1995-10-27 Nitta Ind Corp 圧力センサー
JPH11211586A (ja) * 1998-01-27 1999-08-06 Matsushita Electric Works Ltd 半導体装置
WO2003010651A1 (en) * 2001-07-27 2003-02-06 Elantech Devices Corporation Input device and its manufacturing method
WO2007138829A1 (ja) * 2006-05-25 2007-12-06 Omron Corporation 静電容量式センサ
JP2019090731A (ja) * 2017-11-15 2019-06-13 オムロン株式会社 静電容量式圧力センサ

Also Published As

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JPH0743625Y2 (ja) 1995-10-09

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