JPH022812A - フィルター - Google Patents
フィルターInfo
- Publication number
- JPH022812A JPH022812A JP63143955A JP14395588A JPH022812A JP H022812 A JPH022812 A JP H022812A JP 63143955 A JP63143955 A JP 63143955A JP 14395588 A JP14395588 A JP 14395588A JP H022812 A JPH022812 A JP H022812A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- filter
- air
- filter membrane
- hydrophobic
- hydrophobic filter
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 5
- 238000001914 filtration Methods 0.000 claims description 3
- 230000002209 hydrophobic effect Effects 0.000 abstract description 9
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Landscapes
- Filtration Of Liquid (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は半導体装置の製造に使用する薬液や水をろ過す
るフィルターに関するものである。
るフィルターに関するものである。
従来、この種のフィルターにはエアぬきを行うための穴
しかもうけられておらず、エアをぬくためにはこの穴に
バルブ類を接続して定期的に操作していた。
しかもうけられておらず、エアをぬくためにはこの穴に
バルブ類を接続して定期的に操作していた。
上述した従来のフィルターは、エアぬきを行うための穴
しか設けられていないので、エアを抜くためには複雑な
外部配管や制御を必要とするという欠点がある。
しか設けられていないので、エアを抜くためには複雑な
外部配管や制御を必要とするという欠点がある。
本発明のフィルターは、薬液や水をろ過する筒状フィル
ターにおいて、フィルター内部のエアーを抜くために該
フィルター上部に設けられたエアー抜き穴に自動エアぬ
きを持つことを特徴とする。
ターにおいて、フィルター内部のエアーを抜くために該
フィルター上部に設けられたエアー抜き穴に自動エアぬ
きを持つことを特徴とする。
次に、本発明について図面を参照して説明する。
第１図は、本発明の一実施例の断面図である。
図に示すようにフィルター１の底部に設けられた入口２
から導入された薬液はろ紙３を通りフィルター１の底部
の出口４へ出てくる。このとき、フィルター内部に、た
まっていたエアーはフィルター上部のエアぬき穴５下に
エアぬき穴をおおうように取付けられた疎水性フィルタ
ー膜６を通り外部へ排出される。薬液は疎水性フィルタ
ー膜にて止められ外部へは流出しない。
から導入された薬液はろ紙３を通りフィルター１の底部
の出口４へ出てくる。このとき、フィルター内部に、た
まっていたエアーはフィルター上部のエアぬき穴５下に
エアぬき穴をおおうように取付けられた疎水性フィルタ
ー膜６を通り外部へ排出される。薬液は疎水性フィルタ
ー膜にて止められ外部へは流出しない。
以上説明したように本発明は、フィルターのエアぬき穴
に疎水性フィルター膜を取り付けることにより、フィル
ター自身で自動的にエアぬきを行うことができ、複雑な
外部配管や制御をなくすことができるという効果がある
。
に疎水性フィルター膜を取り付けることにより、フィル
ター自身で自動的にエアぬきを行うことができ、複雑な
外部配管や制御をなくすことができるという効果がある
。
第１図は、本発明の一実施例の断面図である。
１・・・・・・フィルター ２・・・・・・入口、３・
・・・・・ろ紙、４・・・・・・出口、５・・・・・・
エアぬき穴、６・・・・・・疎水性フィルター膜。 代理人 弁理士 内 原 晋 茅
・・・・・ろ紙、４・・・・・・出口、５・・・・・・
エアぬき穴、６・・・・・・疎水性フィルター膜。 代理人 弁理士 内 原 晋 茅
Claims (1)
- 薬液や水をろ過する筒状フィルターにおいて、フィルタ
ー内部のエアーをぬくために該フィルター上部に設けら
れたエアーぬき穴に自動エアぬきを持つことを特徴とす
るフィルター。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63143955A JPH022812A (ja) | 1988-06-10 | 1988-06-10 | フィルター |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63143955A JPH022812A (ja) | 1988-06-10 | 1988-06-10 | フィルター |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH022812A true JPH022812A (ja) | 1990-01-08 |
Family
ID=15350939
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63143955A Pending JPH022812A (ja) | 1988-06-10 | 1988-06-10 | フィルター |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH022812A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7625760B2 (en) | 1999-08-11 | 2009-12-01 | Asahi Kasei Kabushiki Kaisha | Analyzing cartridge and liquid feed control device |
| JP2020197102A (ja) * | 2019-06-05 | 2020-12-10 | フジモリ産業株式会社 | トンネルの防水シート用空気抜き装置 |
-
1988
- 1988-06-10 JP JP63143955A patent/JPH022812A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7625760B2 (en) | 1999-08-11 | 2009-12-01 | Asahi Kasei Kabushiki Kaisha | Analyzing cartridge and liquid feed control device |
| JP2020197102A (ja) * | 2019-06-05 | 2020-12-10 | フジモリ産業株式会社 | トンネルの防水シート用空気抜き装置 |
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