JPH02282222A - カラー液晶表示装置用電極板 - Google Patents
カラー液晶表示装置用電極板Info
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- JPH02282222A JPH02282222A JP1103714A JP10371489A JPH02282222A JP H02282222 A JPH02282222 A JP H02282222A JP 1103714 A JP1103714 A JP 1103714A JP 10371489 A JP10371489 A JP 10371489A JP H02282222 A JPH02282222 A JP H02282222A
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Landscapes
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、カラー液晶表示装置用電極板に関するもので
ある。
ある。
従来のカラー液晶表示装置には、液晶を介して対向する
一対の透明基板のいずれか一方の透明基板の液晶層側の
ITO膜などからなる透明電極を形成し、この透明電極
」二に複数のカラーフィルターを所定のパターンで配置
されたものと、」1記透明基板の液晶層側の面に、」−
記カラーフィルターを同様に配置し、これらのカラーフ
ィルター」二に保護膜を介して、透明電極膜を形成した
ものとがある。
一対の透明基板のいずれか一方の透明基板の液晶層側の
ITO膜などからなる透明電極を形成し、この透明電極
」二に複数のカラーフィルターを所定のパターンで配置
されたものと、」1記透明基板の液晶層側の面に、」−
記カラーフィルターを同様に配置し、これらのカラーフ
ィルター」二に保護膜を介して、透明電極膜を形成した
ものとがある。
従来技術の前者の場合、高吹マルチイブレックス駆動の
際、電気光学特性において、カラーフィルター層の容量
成分により急峻性の低下と駆動電圧の上昇が生じるので
、実用」二、後者の方が望ましい。
際、電気光学特性において、カラーフィルター層の容量
成分により急峻性の低下と駆動電圧の上昇が生じるので
、実用」二、後者の方が望ましい。
後者の場合でも、各カラーフィルター間で凹凸部を形成
しているため、透明電極膜を形成する際、前記凹部の透
明電極パターン精度が低下したり断線及び配向不良が生
じる欠点があった。
しているため、透明電極膜を形成する際、前記凹部の透
明電極パターン精度が低下したり断線及び配向不良が生
じる欠点があった。
この対策として、カラーフィルターを被うため、スピン
コータ及びロールコータ等を用いて、有機高分子膜から
なる保護膜を形成する方法もあるが、透明電極膜を形成
する際に用いる薬液により、前記保護膜が部分的に膨潤
及び膜ベリ等の影響により、保護膜と透明電極j戻との
密着性に劣る欠点があった。また、前記保護膜」−に透
明電極を形成する際、カラーフィルターもしくは保護膜
にシワ及びクラックが発生し、透明電極のパターニング
時に透明電極の断線が生しる欠点もあった。
コータ及びロールコータ等を用いて、有機高分子膜から
なる保護膜を形成する方法もあるが、透明電極膜を形成
する際に用いる薬液により、前記保護膜が部分的に膨潤
及び膜ベリ等の影響により、保護膜と透明電極j戻との
密着性に劣る欠点があった。また、前記保護膜」−に透
明電極を形成する際、カラーフィルターもしくは保護膜
にシワ及びクラックが発生し、透明電極のパターニング
時に透明電極の断線が生しる欠点もあった。
一方、蒸着法やスパッタ法及びブラスマCVD法等で形
成した無機薄膜をカラーフィルターの保護IIλとして
用いた場合は、l[・1薬品性に富み、保護膜と透明電
極膜との密着性は良好であるが、薄膜がゆえに、各カラ
ーフィルター間の凹凸部を埋めてカラーフィルター表面
を平坦化することは困y、[1であり、セルギャップの
不均一・から液晶層にかかる電気光学特性にバラツキを
生じる欠点があった。
成した無機薄膜をカラーフィルターの保護IIλとして
用いた場合は、l[・1薬品性に富み、保護膜と透明電
極膜との密着性は良好であるが、薄膜がゆえに、各カラ
ーフィルター間の凹凸部を埋めてカラーフィルター表面
を平坦化することは困y、[1であり、セルギャップの
不均一・から液晶層にかかる電気光学特性にバラツキを
生じる欠点があった。
更に、カラーフィルター上あるいはカラーフィルター中
に異物が(=J着もしくは混入している場合は、透明電
極パターン形成時に、異物を核としてクラックが発生し
、透明電極の断線及びカラーフィルターの脱色が生じる
欠点があった。
に異物が(=J着もしくは混入している場合は、透明電
極パターン形成時に、異物を核としてクラックが発生し
、透明電極の断線及びカラーフィルターの脱色が生じる
欠点があった。
また、有機高分子膜と〕](η機M膜との組み合せによ
るカラーフィルターを被うような平juな保護膜を全1
mへ夕で形成した場合は、実装9iAi了部の透明電極
膜の下に有機高分子膜が形成されているために、透明基
板のスクライブ処理時に前記保護膜のはく離及び実装時
の圧力もしくは取り扱い時に発生するキズ等により透明
電極膜の断線による実装不良が生じる欠点があった。
るカラーフィルターを被うような平juな保護膜を全1
mへ夕で形成した場合は、実装9iAi了部の透明電極
膜の下に有機高分子膜が形成されているために、透明基
板のスクライブ処理時に前記保護膜のはく離及び実装時
の圧力もしくは取り扱い時に発生するキズ等により透明
電極膜の断線による実装不良が生じる欠点があった。
この発明は以上の事情を鑑みなされたもので、その主要
な目的は、カラーフィルターを被うような透明な有機高
分子膜と無機薄膜との組み合せでしかも、シール部及び
実装端子部から有機高分子膜を除去した(j4造による
耐薬品性及び耐液晶性に富んだ平坦な保護膜を形成する
とともに、透明電極膜を形成する際に発生するカラーフ
ィルターもしくは保護膜にシワ及びクラック等による透
明電極膜の断線欠陥等を生じない実装信頼性と良好な配
向を有する表示信頼性の高い安価なカラー液晶表示装置
用電極板を提供することができる。
な目的は、カラーフィルターを被うような透明な有機高
分子膜と無機薄膜との組み合せでしかも、シール部及び
実装端子部から有機高分子膜を除去した(j4造による
耐薬品性及び耐液晶性に富んだ平坦な保護膜を形成する
とともに、透明電極膜を形成する際に発生するカラーフ
ィルターもしくは保護膜にシワ及びクラック等による透
明電極膜の断線欠陥等を生じない実装信頼性と良好な配
向を有する表示信頼性の高い安価なカラー液晶表示装置
用電極板を提供することができる。
この発明は、液晶を介して対向する一対の透明基板とこ
の−・方の透明基板の液晶層側に所定の多数色のパター
ンで配置された複数のカラーフィルターを備えたカラー
液晶表示装置において、前記カラーフィルターが、顔料
分散型の印刷カラーフィルターもしくはカラーレジスト
による顔料分散41′!のカラーフィルターて、各カラ
ーフィルターを被うように透明な有機高分子膜で平坦化
処理をほどこし、かつ、無機薄膜及び透明電極膜とが積
層されるとともに、シール部及び実装端子部に透明な有
機高分子膜が形成されていないカラー液晶表示装置用電
極板である。
の−・方の透明基板の液晶層側に所定の多数色のパター
ンで配置された複数のカラーフィルターを備えたカラー
液晶表示装置において、前記カラーフィルターが、顔料
分散型の印刷カラーフィルターもしくはカラーレジスト
による顔料分散41′!のカラーフィルターて、各カラ
ーフィルターを被うように透明な有機高分子膜で平坦化
処理をほどこし、かつ、無機薄膜及び透明電極膜とが積
層されるとともに、シール部及び実装端子部に透明な有
機高分子膜が形成されていないカラー液晶表示装置用電
極板である。
〔実施例1〕
第1図において、カラー液晶表示装置(10)は、液晶
層(11)を介して上下に対向する一対の透明ガラス基
板(1)、 (2)と、この下側の透明ガラス基板(2
)の上面に所定のRGBに配置された複数のカラーフィ
ルター(5)と各カラーフィルターを被うように透明な
有機高分子膜(6)、無機薄膜(7)及び透明電極(I
TO)膜(8)とがこの順で積層されており、さらに配
向膜(9)が形成されている。
層(11)を介して上下に対向する一対の透明ガラス基
板(1)、 (2)と、この下側の透明ガラス基板(2
)の上面に所定のRGBに配置された複数のカラーフィ
ルター(5)と各カラーフィルターを被うように透明な
有機高分子膜(6)、無機薄膜(7)及び透明電極(I
TO)膜(8)とがこの順で積層されており、さらに配
向膜(9)が形成されている。
また、上側の透明ガラス基板(1)の下面は、透明電極
(ITO)膜(3)及び配向膜(4)とから主として+
14成される。
(ITO)膜(3)及び配向膜(4)とから主として+
14成される。
透明ガラス基板(2)には、カラーレジストによる顔料
分散型のカラーフィルター(6)が多数色で所定のパタ
ーンで配置されている。
分散型のカラーフィルター(6)が多数色で所定のパタ
ーンで配置されている。
透明なポリパラバン酸 樹脂1部、溶剤としてN−メチ
ル−2ピロリドン6部に溶かし、前記カラーフィルター
イXJ透明ガラス基板に、スクリーン印刷機により透明
なポリパラバン酸 樹脂を用いて前記カラーフィルター
を被うように、所定のパターンを形成した。
ル−2ピロリドン6部に溶かし、前記カラーフィルター
イXJ透明ガラス基板に、スクリーン印刷機により透明
なポリパラバン酸 樹脂を用いて前記カラーフィルター
を被うように、所定のパターンを形成した。
熱硬化は230°C11時間とし、膜厚は2μmとなっ
た。
た。
欣に、低温高速スパッタ装置で220°Cに加熱しなか
らSiO2ターゲットを用いて、Arガス雰囲気中にて
全面をスパックし1300人のSiO2無機薄膜(7)
を形成し、引き続きITOターゲッ1へを用いて、Ar
、02ガス雰囲気中にて全面をスパッタし1500人の
ITO透明電極膜(8)を形成した。
らSiO2ターゲットを用いて、Arガス雰囲気中にて
全面をスパックし1300人のSiO2無機薄膜(7)
を形成し、引き続きITOターゲッ1へを用いて、Ar
、02ガス雰囲気中にて全面をスパッタし1500人の
ITO透明電極膜(8)を形成した。
更に、フメトレジスhoFPR−800を用いて、IT
O透明電極膜(8)を所定のフ第1・マスクでバターニ
ングし、シール部及び実装端子部から透明な有機高分子
膜を除去した構造のカラー液晶表示装置用電極板を形成
したが、カラーフィルター及び保護膜にシワ及びクラッ
クの発生はなかった。また、実装時の圧力による透明電
極膜の断線もしくは取り扱いキズ等による実装不良が生
じない実装信頼性と配向不良を生じない良〃rな液晶配
向を有する表示信頼性、及び耐薬品性、耐溶剤性の高い
ことが確認されている。
O透明電極膜(8)を所定のフ第1・マスクでバターニ
ングし、シール部及び実装端子部から透明な有機高分子
膜を除去した構造のカラー液晶表示装置用電極板を形成
したが、カラーフィルター及び保護膜にシワ及びクラッ
クの発生はなかった。また、実装時の圧力による透明電
極膜の断線もしくは取り扱いキズ等による実装不良が生
じない実装信頼性と配向不良を生じない良〃rな液晶配
向を有する表示信頼性、及び耐薬品性、耐溶剤性の高い
ことが確認されている。
〔実施例2〕
顔料分散型の印刷カラーフィルターイ」透明カラス基j
Fi(2)に、透明なポリパラバン酸 1b1脂1部、
溶剤としてN−メチル−2ピロッドン4部に溶かし、ス
クリーン印刷機により、透明なポリパラバン酸 樹脂を
前記印刷カラーフィルターを被うように所定のパターン
を形成した。
Fi(2)に、透明なポリパラバン酸 1b1脂1部、
溶剤としてN−メチル−2ピロッドン4部に溶かし、ス
クリーン印刷機により、透明なポリパラバン酸 樹脂を
前記印刷カラーフィルターを被うように所定のパターン
を形成した。
熱処理は250℃、1時間とし、膜厚は4μmとなった
。
。
次に、低温高速スパッタ装置で240°Cに加熱しなか
らSi○2ターゲッI・を用いて、Arガス雰囲気中に
て全面スパッタし100OAのSiO2無機薄膜(7)
を形成し、引き続き、工TOターゲットを用いて、Ar
、02カス雰囲気中にて全面スパッタし1500Aの工
TO透明電極膜(8)を形成した。
らSi○2ターゲッI・を用いて、Arガス雰囲気中に
て全面スパッタし100OAのSiO2無機薄膜(7)
を形成し、引き続き、工TOターゲットを用いて、Ar
、02カス雰囲気中にて全面スパッタし1500Aの工
TO透明電極膜(8)を形成した。
更に、フォトレジストoFPR−800を用いて、■T
O透明電極膜(8)を所定のフォトマスクを用いてパタ
ーニングし、シール部及び実装端子部から透明な有機高
分子膜を除去した構造のカラー液晶表示装置用電極板を
形成したが、カラーフィルター及び保護膜にシワ及びク
ラックの発生はなかった。
O透明電極膜(8)を所定のフォトマスクを用いてパタ
ーニングし、シール部及び実装端子部から透明な有機高
分子膜を除去した構造のカラー液晶表示装置用電極板を
形成したが、カラーフィルター及び保護膜にシワ及びク
ラックの発生はなかった。
また、実装時の圧力による透明電極膜の断線もしくは取
り扱いキズ等による実装不良が生じない実装信頼性と配
向不良を生じない良好な液晶配向を有する表示信頼性及
び耐薬品性、耐溶剤性が高いことが確認されている。
り扱いキズ等による実装不良が生じない実装信頼性と配
向不良を生じない良好な液晶配向を有する表示信頼性及
び耐薬品性、耐溶剤性が高いことが確認されている。
〔実施例3〕
カラーレジストによる顔料分散型のカラーフィルターイ
」透明ガラス基板(2)に、透明な感光性ポリパラバン
酸 樹脂(東燃石油化学(株)製部品名XT−501)
(6)をスピンコータで塗膜し、ブレベーク処理後、所
定のフォトマスクを用いてUVn光、現像、リンス処理
後、ボストベーク処理にて熱硬化し、シール部及び実装
端子部から感光性ポリパラバン酸 樹脂を除去した。
」透明ガラス基板(2)に、透明な感光性ポリパラバン
酸 樹脂(東燃石油化学(株)製部品名XT−501)
(6)をスピンコータで塗膜し、ブレベーク処理後、所
定のフォトマスクを用いてUVn光、現像、リンス処理
後、ボストベーク処理にて熱硬化し、シール部及び実装
端子部から感光性ポリパラバン酸 樹脂を除去した。
粘度は580cps、スピン回転数3000rpm、ス
ピン時間30秒間、熱硬化は230℃、1時間とし、膜
厚は1.8μmとなった。
ピン時間30秒間、熱硬化は230℃、1時間とし、膜
厚は1.8μmとなった。
この時点で、シール部及び実装端子部に感光性ポリパラ
バン酸 樹脂の、薄い被膜が形成されているため02プ
ラズマ処理により、感光性ポリパラバン酸 樹脂を確実
に除去した。
バン酸 樹脂の、薄い被膜が形成されているため02プ
ラズマ処理により、感光性ポリパラバン酸 樹脂を確実
に除去した。
次に、低温高速スパッタ装置で220°Cに加熱しなか
らSi○2ターゲットを用いて、Arガス雰囲気中にて
全面スパッタし1500へのSiO2無機薄膜(7)を
形成し、引き続き、■Toターゲットを用いて、Ar、
02ガス雰囲気中にて全面スパッタし1500AのIT
O透明電極膜(8)を形成した。
らSi○2ターゲットを用いて、Arガス雰囲気中にて
全面スパッタし1500へのSiO2無機薄膜(7)を
形成し、引き続き、■Toターゲットを用いて、Ar、
02ガス雰囲気中にて全面スパッタし1500AのIT
O透明電極膜(8)を形成した。
更に、フオトレジス1−oFPR−800を用いて、I
TO透明電極膜く8)を所定のフォトマスりを用いて、
バターニングし、シール部及び実装端子部から透明な有
機高分子膜を除去した構造のカラー液晶表示装置用電極
板を形成したが、カラーフィルター及び保護膜には、シ
ワ及びクラックによる透明電極膜の断線は発生しなかっ
た。また、実装時の圧力による透明電極膜の断線及び取
り扱いキズ等による実装不良が生じない実装信頼性と配
向不良を生じない良好な液晶配向を有する表示信頼性及
び耐薬品性、耐溶剤性が高いことが確認されている。
TO透明電極膜く8)を所定のフォトマスりを用いて、
バターニングし、シール部及び実装端子部から透明な有
機高分子膜を除去した構造のカラー液晶表示装置用電極
板を形成したが、カラーフィルター及び保護膜には、シ
ワ及びクラックによる透明電極膜の断線は発生しなかっ
た。また、実装時の圧力による透明電極膜の断線及び取
り扱いキズ等による実装不良が生じない実装信頼性と配
向不良を生じない良好な液晶配向を有する表示信頼性及
び耐薬品性、耐溶剤性が高いことが確認されている。
以上のように本発明は、顔料分散型の印刷カラーフィル
ターもしくはカラーレジストによる顔料分散型のカラー
フィルター上に、所定のパターンで有機高分子IIMを
形成し、カラーフィルター表面の凹凸をなくす平坦化膜
として用いるとともに、シール部及び実装端子部から平
坦化膜を除去し、かつ、無機f(9膜を8′tTRシた
構造にすることにより、耐薬品性、耐溶剤層、耐液晶性
及び実装信頼性を付与し、カラーフィルター上の透明電
極により、きわめて良好な液晶駆動条件となり表示品質
の向上及び高歩留りをもたらした。
ターもしくはカラーレジストによる顔料分散型のカラー
フィルター上に、所定のパターンで有機高分子IIMを
形成し、カラーフィルター表面の凹凸をなくす平坦化膜
として用いるとともに、シール部及び実装端子部から平
坦化膜を除去し、かつ、無機f(9膜を8′tTRシた
構造にすることにより、耐薬品性、耐溶剤層、耐液晶性
及び実装信頼性を付与し、カラーフィルター上の透明電
極により、きわめて良好な液晶駆動条件となり表示品質
の向上及び高歩留りをもたらした。
第1図は、本発明のカラー液晶表示装置用電極板を採用
したカラー液晶表示装置の模式断面図、第2図は、従来
のカラー液晶表示装置用電極板を採用したカラー液晶表
示装置の模式断面図である。 1.2.2’、22・・透明ガラス基板3、 8. 2
3. 28・・透明電極膜4、 9. 24. 29川
配向膜 5.25・・・カラーフィルター層 6.26・・・平坦化膜 7.27・・・無機薄膜 10.30・・・カラー液晶表示装置 11.31・・・液晶層 12.32・・・シール剤 以」二 出願人 セイコーエプソン株式会社
したカラー液晶表示装置の模式断面図、第2図は、従来
のカラー液晶表示装置用電極板を採用したカラー液晶表
示装置の模式断面図である。 1.2.2’、22・・透明ガラス基板3、 8. 2
3. 28・・透明電極膜4、 9. 24. 29川
配向膜 5.25・・・カラーフィルター層 6.26・・・平坦化膜 7.27・・・無機薄膜 10.30・・・カラー液晶表示装置 11.31・・・液晶層 12.32・・・シール剤 以」二 出願人 セイコーエプソン株式会社
Claims (3)
- (1)液晶層を介して対向する一対の透明基板と、この
一方の透明基板の液晶側に所定の多数色のパターンで配
置された複数のカラーフィルターを備えたカラー液晶表
示装置において、前記カラーフィルターは、顔料分散型
の印刷カラーフィルターもしくはカラーレジストによる
顔料分散型のカラーフィルターとし、前記カラーフィル
ターを被うような透明な有機高分子膜、無機薄膜及び透
明電極膜とが積層されるとともに、シール部及び実装端
子部から有機高分子膜を除去したことを特徴とするカラ
ー液晶表示装置用電極板。 - (2)有機高分子膜が、ポリパラバン酸樹脂もしくは感
光性ポリパラバン酸樹脂からなることを特徴とする請求
項1記載のカラー液晶表示装置用電極板。 - (3)無機薄膜が酸化ケイ素もしくは窒化ケイ素からな
り、その膜厚が500Å〜3000Å程度であることを
特徴とする請求項1記載のカラー液晶表示装置用電極板
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1103714A JPH02282222A (ja) | 1989-04-24 | 1989-04-24 | カラー液晶表示装置用電極板 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1103714A JPH02282222A (ja) | 1989-04-24 | 1989-04-24 | カラー液晶表示装置用電極板 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02282222A true JPH02282222A (ja) | 1990-11-19 |
Family
ID=14361380
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1103714A Pending JPH02282222A (ja) | 1989-04-24 | 1989-04-24 | カラー液晶表示装置用電極板 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02282222A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5488497A (en) * | 1992-11-02 | 1996-01-30 | Sharp Kabushiki Kaisha | Color liquid crystal device with organic smoothing layer over ITO separated by an oxide layer and a nitride layer |
-
1989
- 1989-04-24 JP JP1103714A patent/JPH02282222A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5488497A (en) * | 1992-11-02 | 1996-01-30 | Sharp Kabushiki Kaisha | Color liquid crystal device with organic smoothing layer over ITO separated by an oxide layer and a nitride layer |
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