JPH0228351Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 考案の技術分野 本考案は、クリンルームの出入口に設置される
清浄用空気噴射装置、すなわちエアーシヤワーに
関する。

従来技術 半導体製品などは、清浄空間、すなわちクリン
ルーム内で製造される。

クリンルーム内の作業員は、クリンウエアを着
用しながら必要な作業を行なう。

作業員がクリンルームの内部に入るとき、ゴミ
の持ち込みを防止するために、エアーシヤワーの
内部で噴射空気流によりクリンウエアのほこりや
ゴミなどを取り除くことになる。

従来のこの種のエアーシヤワーでは、一方の方
向から噴射空気流が流れるだけであるため、被服
全体について充分な清浄化が困難であり、また作
業員自身が廻りながらその噴射空気流を体の周囲
で受けるため、ゴミの完全なかき落としが困難で
ある。

考案の目的 したがつて、本考案の目的は、噴射空気流を作
業員の身長の範囲内で均一に噴射できるように
し、またクリンウエアのゴミなどの付着を完全に
取り除くことである。

考案の概要 そこで、本考案は、密閉可能なシヤワー室内に
ターンテーブルを設け、このターンテーブルの周
囲に複数のエアーノズルを配置し、これらのエア
ーノズルを上下方向に移動できるようにしてい
る。したがつて、作業員は、そのターンテーブル
の上で廻りながら、エアーノズルの上下動によ
り、身体の全域部分で均一な噴射空気流を浴びる
ことになる。

したがつて、クリンルームのゴミなどは、その
噴射空気流によつて完全に取り除かれ、外部に排
出される。

考案の構成 図は、本考案の回転式エアーシヤワー１を示し
ている。この回転式エアーシヤワー１は、密閉可
能なシヤワー室２の内部でターンテーブル３およ
び複数のエアーノズル４を備えている。

上記ターンテーブル３は、シヤワー室２の底部
に水平な状態で設けられており、その垂直方向の
回転軸５の部分で軸受け６により、機台７に対し
回転自在に支持されている。そして、この回転軸
５は、この実施例で、中空体となつており、その
中空部分で、吸引口８を形成してお、ダクトなど
によりブロア１２に接続されている。また、この
回転軸５は、下端部分のウオームギヤ９によりモ
ータ１０のウオーム１１がかみ合つており、その
モータ１０によつて駆動されるようになつてい
る。

一方、上記エアーノズル４は、ターンテーブル
３の外周位置で上下方向に設けられた一対のチエ
ーンホイル１３に巻き掛けられたチエン１４の部
分に所定の間隔をおいて固定されており、駆動用
の減速機付モータ１５の回転時に、チエン１４の
上下方向の移動とともに、昇降自在に支持されて
いる。ここで、チエンホイール１３、チエン１４
および減速機付モータ１５は、エアノズル４の上
下動手段を構成している。なお、エアーノズル４
は、それぞれフレキシブルチユーブなどによつて
圧縮空気源１６に接続されている。

考案の作用 上記シヤワー室２は、図示しないドアなどによ
つて密閉できるようになつており、作業員は、そ
の部分からシヤワー室２の内部に入り、ターンテ
ーブル３の上に乗つた状態でシヤワー室２を密閉
状態とする。この状態で、図示しない操作スイツ
チによつてモータ１０および減速機付モータ１５
を起動させるとともに、ブロア１２を始動させ、
またノズル４の通路を開く。これによつて、ター
ンテーブル３が回転するため、作業員は、ターン
テーブル３の上に乗つているだけで、適当な速度
によつて廻る。

一方、減速機付モータ１５は、チエンホイール
１３を回転させることによつて、エアーノズル４
を上方の位置から下方の位置へと移動させる。こ
のとき、エアーノズル４は、圧縮空気源１６から
清浄用の空気を取り入れ、作業員に向けて噴射
し、作業員のクリンウエアに付着したゴミなどを
空気流によつて吹き飛ばす。この間に、ブロア１
２がその吸引口８からシヤワー室２の内部の空気
を吸い込んで、外部に排出しているため、エアー
ノズル４によつて吹き飛ばされたコミなどは、下
向きに空気流とともに流れ落ち、吸引口８の内部
を通つて、外部に排出される。

このように、作業員がターンテーブル３の回転
によつて、廻りながら、かつ上から下に向かうエ
アーノズル４の空気流によつて、体全体に、しか
も均一な噴射空気流を受けることになる。このた
め、クリンウエアに付着したゴミなどは、その空
気流によつて、確実に取り除かれ、外部に排出さ
れる。

なお、上記エアーノズル４は、上から下に移動
した時点で、１回の動作を終了する。しかし、必
要に応じて、この動作を何度か繰り返すこともで
きる。またこのエアーノズル４は、チエン１４に
等間隔で設けられており、減速機付モータ１５の
連続的なある方向への回転によつて、順次上方か
ら下方に移動するようにしてもよい。また、エア
ーノズル４がやや下向きで、回転円の接線方向に
向けられておれば、空気流は、渦流となつて、吸
引口８に流れるため、ゴミなどは、その過程で外
部に飛散しない。

考案の効果 本考案では、ターンテーブルの回転、および複
数のエアーノズルからの噴射流によつて、クリン
ウエア全体に噴射空気流が当てられるため、ゴミ
などが確実に取り除かれ、また作業員がシヤワー
室内で自ら廻る必要もなくなる。しかも、複数の
エアーノズルが上下動手段によつて、上方から下
方へと移動する状態で設けられており、噴射空気
流がクリンウエアの上方から下方へと順次当てら
れるため、吹き飛ばされたゴミなどが確実に下方
の吸引口に吸い込まれ、シヤワー室内部で残るこ
とがなく、したがつてゴミなどの処理が確実とな
る。

【図面の簡単な説明】

図は本考案の回転式エアーシヤワーの垂直断面
図である。 １…回転式エアーシヤワー、２…シヤワー室、
３…ターンテーブル、４…エアーノズル、５…回
転軸、６…軸受け、７…機台、８…吸引口、９…
ウオームギヤ、１０…モータ、１１…ウオーム、
１２…ブロア、１３…チエンホイール、１４…チ
エン、１５…減速機付モータ、１６…圧縮空気
源。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 密閉可能なシヤワー室内の底部にターンテーブ
   ルを設け、このターンテーブルに吸引口を形成
   し、この吸引口を吸引空気源に接続するととも
   に、上記シヤワー室内で上記ターンテーブルの外
   側位置にエアーノズルを配置し、このエアーノズ
   ルを圧縮空気源に接続し、さらに上記エアーノズ
   ルを上下動手段により昇降自在に複数設けてなる
   ことを特徴とする回転式エアーシヤワー。