JPH0614837U

JPH0614837U - エアシャワー

Info

Publication number: JPH0614837U
Application number: JP5296392U
Authority: JP
Inventors: 村晃司下
Original assignee: JFE Steel Corp
Current assignee: JFE Steel Corp
Priority date: 1992-07-28
Filing date: 1992-07-28
Publication date: 1994-02-25

Abstract

(57)【要約】【目的】作業者の身体および衣服等に万遍にムラなく空
気流を吹き付けて塵埃を効率良く除去することができる
エアシャワーの提供。【構成】床に配設された回転台と、上部および側部に配
設された複数の空気吹出口とを有するエアシャワーであ
って、前記複数の空気吹出口から空気流を吹き出すとと
もに、前記回転台が回転するようにしてなるエアシャワ
ー。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案はエアシャワーに関し、特に、作業者の衣服等に万遍にムラなく気流を吹き付けて塵埃を効率良く除去することができるエアシャワーに関する。

【０００２】

【従来の技術】

クリーンルーム内における塵埃は、製造される半導体装置の品質、歩留りに大きな影響を与える。特に、近年、半導体装置の集積化、微細化が進行するに伴って、クリーンルーム内に許容される粒子の大きさおよび粒子数は、ますます低下していく傾向にある。そのため、衣服等に付着した塵埃をクリーンルーム内に持ち込まないように、クリーンルームへの入室に際して、作業者はブラシ等で衣服等に付着した塵埃を払い落とすとともに、入口に設置されたエアーシャワーによって、衣服等に気流を吹きつけ、塵埃を除去することが行われている。

【０００３】

【考案が解決しようとする課題】

しかし、上記従来のエアシャワーにおいては、空気流の吹き付け箇所が固定されているため、万遍にムラなく空気流が当たらず、十分に塵埃が除去されないおそれがあった。また、作業者自身が体を回転させても空気流がムラなく全身に当たるようにすることは困難であった。

【０００４】そこで本考案の目的は、作業者の身体および衣服等に万遍にムラなく空気流を吹き付けて塵埃を効率良く除去することができるエアシャワーを提供することにある。

【０００５】

【課題を解決するための手段】

前記課題を解決するために、本考案は、床に配設された回転台と、上部および側面に配設された複数の空気吹出口とを有するエアシャワーであって、前記複数の空気吹出口から空気流を吹き出すとともに、前記回転台が回転するようにしてなるエアシャワーを提供するものである。

【０００６】以下、本考案のエアシャワーについて、図１に示す実施態様に基づいて詳細に説明する。以下に示す説明は、図１において、紙面手前側に入口ドアーが設けられ、紙面裏側にクリーンルーム等への入口ドアーが設けられており、クリーンルーム等に入室する際には、作業者は紙面手前側の入口ドアーからエアシャワーに入り、エアシャワーにより塵埃等を吹き落とした後、紙面裏側の入口ドアーからクリーンルーム内に入室する場合を例にとり、本考案を説明するものである。

【０００７】図１に示すエアシャワーは、床に配設された回転台１と、上部に配設された空気吹出口２₁および２₂、ならびに側部に配設された空気吹出口２₃、２₄、２ ₅ 、２₆、２₇および２₈とを有するものである。

【０００８】このエアシャワーにおいて、回転台１は、回転軸３を介して駆動部４によって回転駆動される。この回転台は、通常、０．２〜０．４回／秒の回転速度で、２〜４回の整数回だけ回転される。

【０００９】また、この回転台は、その上面５を床面６と同一面上となるように形成してもよいし、床面６から一定の高さとなるように形成してもよい。上面が床面６と同一の高さになるように形成すれば、通行時に歩行の障害となる段差を形成せず、避難時の通路の安全上においても有効である。

【００１０】また、本考案のエアシャワーにおいては、複数の空気吹出口２₁、２₂、２₃ 、２₄、２₅、２₆、２₇および２₈が、上部および側部に配設されている。これらの複数の空気吹出口２₁、２₂、２₃、２₄、２₅、２₆、２₇および２₈ の中で、空気吹出口２₁および２₂のそれぞれは、架台７の内側上部に配設されている。この空気吹出口２₁および２₂のそれぞれは、架台７の上部に取付けられたフィルター８と連通され、該フィルター８を通過して清浄化された空気が吹き出されるように形設されている。また、空気吹出口２₃、２₄、２₅、２₆、２₇および２₈のそれぞれは、架台７の内側面に配設されている。空気吹出口２₃、２₄および２₅のそれぞれは、架台７の側部に取付けられたフィルター９と連通され、該フィルター９を通過して清浄化された空気が吹き出されるように形設されている。さらに、空気吹出口２₆、２₇および２₈のそれぞれは、架台７の側部に取付けられたフィルター１０と連通され、該フィルター１０を通過して清浄化された空気が吹き出されるように形設されている。

【００１１】本考案のエアシャワーにおいて、空気吹出口の設置箇所、設置間隔、設置数は、図１に示すものに限定されず、エアシャワー内の空間容積の大きさ、所要の清浄度、一度に使用する人数等にしたがって適宜選択される。また、空気吹出口の形状は、吹出方向を別個に独立して変更可能なノズル状のものとするのがよい。

【００１２】また、この空気吹出口からの空気の吹出時間は、通常、１０〜３０秒程度である。また空気の吹出量、吹出速度等は、エアシャワー室内の空間容積の大きさ、所要の清浄度等にしたがって適宜選択される。通常、吹出量は４〜１０ｍ³／ｍｉｎの範囲、好ましくは７ｍ³／ｍｉｎ程度であり、吹出速度は２０ｍ／ｓ以上、好ましくは２０〜３０ｍ／ｓの範囲である。

【００１３】架台７の上部に配設された空気吹出口２₁および２₂からは、送風ファン１１ ₁ および１１₂によって空気流通路１２を通って圧送された空気がフィルター８によって塵埃等を除去された後、エアシャワー室１３内に吹き出される。さらに、架台７の内側部に配設された空気吹出口２₃、２₄、２₅、２₆、２₇および２₈からは、送風ファン１１₁および１１₂によって空気流通路１２を通って圧送された空気がフィルター９または１０によって塵埃等を除去された後、エアシャワー室１３内に吹き出される。

【００１４】これらの空気吹出口２₁、２₂、２₃、２₄、２₅、２₆、２₇および２₈から吹き出された空気は、回転台１の上に乗った作業者の身体、衣服等に吹き付けられ、付着している塵埃が吹き落とされる。吹き落とされた塵埃を含む空気は、空気循環口１４から送風ファン１１₁または１１₂によって空気流通路１２に循環される。

【００１５】本考案のエアシャワーにおいて、回転台、あるいはエアシャワー室の入口ドア等にセンサーを設け、作業者が回転台に乗ったときに、回転台の回転および空気吹出口からの空気の吹出を開始するようにすれば、作業者がスイッチを手動で押す必要がなく、洗浄した手や手袋に汚れが付着することがないため、清浄性を保つ上で、有効である。

【００１６】本考案のエアシャワーは、図１において紙面手前側に設けられた入口ドアーからエアシャワー内に作業者が入り、作業者が回転台１に乗ると、回転台１が駆動部４によって回転される。このとき、作業者が回転台１とともに回転されるとともに、空気吹出口２₁〜２₈から、空気が作業者の衣服等に吹き付けられ、作業者の衣服等に付着している塵埃等が吹き落とされる。吹き落とされた塵埃等を含む空気は、送風ファン１１₁および１１₂によって空気循環口１４から空気流通路１２を通ってフィルター８、９または１０に循環され、これらのフィルター８、９または１０によって清浄化されて、空気吹出口２₁、２₂、２₃、２₄、２ ₅ 、２₆、２₇および２₈から吹き出される。所定の整数回数だけ回転した後、回転台１は、停止し、作業者は紙面裏側に設けられた出口ドアーから、このエアシャワーに連設されたクリーンルーム等に入室することができる。

【００１７】

【考案の効果】

本考案のエアシャワーは、クリーンルームへの入室に際して、作業者の衣服等に万遍にムラなく空気流を吹き付けて塵埃を効率良く除去することができる。そのため、クリーンルーム内の雰囲気の清浄化に有効であり、製品品質および歩留りの向上対策に有効である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案のエアシャワーの実施態様を説明する
図。

【符号の説明】

１回転台２₁，２₂，２₃，２₄，２₅，２₆，２₇，２₈ 空
気吹出口３回転軸４駆動部５上面６床面７架台８フィルター９フィルター１０フィルター１１₁，１１₂ 送風ファン１２空気流通路１３エアシャワー室１４空気循環口

Claims

【実用新案登録請求の範囲】

【請求項１】床に配設された回転台と、上部および側部
に配設された複数の空気吹出口とを有するエアシャワー
であって、前記複数の空気吹出口から空気流を吹き出す
とともに、前記回転台が回転するようにしてなるエアシ
ャワー。