JPH02284011A - 樹脂膜の膜厚計測装置 - Google Patents
樹脂膜の膜厚計測装置Info
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- JPH02284011A JPH02284011A JP10351389A JP10351389A JPH02284011A JP H02284011 A JPH02284011 A JP H02284011A JP 10351389 A JP10351389 A JP 10351389A JP 10351389 A JP10351389 A JP 10351389A JP H02284011 A JPH02284011 A JP H02284011A
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Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
本発明はプラスチックフィルム等の樹脂膜の厚みを計測
するための計測装置に関する。
するための計測装置に関する。
[従来の技術]
一般に、プラスチックフィルムのラミネート装置では、
品質向上及びフィルム原材料の節約等の点からフィルム
膜厚を一定に制御する必要がある。
品質向上及びフィルム原材料の節約等の点からフィルム
膜厚を一定に制御する必要がある。
このためにはフィルム膜厚を精度よく検出することが不
可欠である。
可欠である。
従来、フィルム膜厚を検出する際には、フ、イルムに赤
外線を照射してフィルムによる赤外線の吸収量に基づい
てフィルム膜厚を検出する計測装置、ベータ線あるいは
X線等の放射線をフィルムに照射してフィルムによる放
射線の吸収量に基づいてフィルム膜厚を検出する計測装
置、及びロール上を移動するフィルム及び基準面(ロー
ル表面)にレーザ光を照射しつつ走査して基準面とフィ
ルム表面との変位に基づいてフィルム膜厚を検出する計
測装置が用いられている。
外線を照射してフィルムによる赤外線の吸収量に基づい
てフィルム膜厚を検出する計測装置、ベータ線あるいは
X線等の放射線をフィルムに照射してフィルムによる放
射線の吸収量に基づいてフィルム膜厚を検出する計測装
置、及びロール上を移動するフィルム及び基準面(ロー
ル表面)にレーザ光を照射しつつ走査して基準面とフィ
ルム表面との変位に基づいてフィルム膜厚を検出する計
測装置が用いられている。
[発明が解決しようとする課題]
ところで、上述の赤外線を用いる計JIIJ装置の場合
、赤外線の吸収量がフィルムの材質により異なるため、
予めフィルム材質ごとに膜厚が既知であるフィルムを用
いて、赤外線吸収量を校正しておかねばならず、校正の
ための作業が極めて面倒である。さらに、基材が透明で
あるか、不透明であるかによりそれぞれ赤外線透過形ま
たは赤外線反射形の計測装置を用いねばならない。即ち
、基材の種類によって計測装置を使い分けねばならない
。
、赤外線の吸収量がフィルムの材質により異なるため、
予めフィルム材質ごとに膜厚が既知であるフィルムを用
いて、赤外線吸収量を校正しておかねばならず、校正の
ための作業が極めて面倒である。さらに、基材が透明で
あるか、不透明であるかによりそれぞれ赤外線透過形ま
たは赤外線反射形の計測装置を用いねばならない。即ち
、基材の種類によって計測装置を使い分けねばならない
。
また、基材に文字等が印刷されている場合、印刷顔料に
赤外線が吸収され、膜厚の計測に誤差が生しるという問
題点がある。
赤外線が吸収され、膜厚の計測に誤差が生しるという問
題点がある。
上述の放射線を用いる計、IP]装置の場合、同様に放
射線の吸収量がフィルムの材質により異なるため、予め
フィルム材質ごとに膜厚が既知であるフィルムを用いて
、放射線吸収量を校正しておかねばならず、校正のため
の作業が極めて面倒である。
射線の吸収量がフィルムの材質により異なるため、予め
フィルム材質ごとに膜厚が既知であるフィルムを用いて
、放射線吸収量を校正しておかねばならず、校正のため
の作業が極めて面倒である。
また、放射線を用いているから管理に特別の配慮をしな
ければななず、加えて、原子核の崩壊は不規則であるか
ら、放射線の強度にふらつきがある。
ければななず、加えて、原子核の崩壊は不規則であるか
ら、放射線の強度にふらつきがある。
そのため、膜厚計測時間を長くして膜厚計測値を平均し
て膜厚計測精度を向上しなければならず、いずれにして
も膜厚計測精度が劣化するという問題点がある。
て膜厚計測精度を向上しなければならず、いずれにして
も膜厚計測精度が劣化するという問題点がある。
一方、上述の礎位によって膜厚の計ajを行−5H側装
置の場合、ロールの真円度及びロールの回転に伴う振動
の影響を受け、膜厚計ル1精度が低下するという問題点
がある。即ち、ロールを回転しつつ間けり的に膜厚を計
測しているから、ロールの回転位置によって計測誤差が
生じるという問題点がある。
置の場合、ロールの真円度及びロールの回転に伴う振動
の影響を受け、膜厚計ル1精度が低下するという問題点
がある。即ち、ロールを回転しつつ間けり的に膜厚を計
測しているから、ロールの回転位置によって計測誤差が
生じるという問題点がある。
本発明の目的は簡単な構成で極めて高精度にフィルム膜
厚を計測できる計djj装置を提供することにある。
厚を計測できる計djj装置を提供することにある。
[課題を解決するための手段]
本発明によれば、予め定められた方向へ送られる樹脂膜
の膜厚を計測するための計測装置であって、該樹脂膜を
膜厚方向で挾んで所定の間隔をもって配置されそれぞれ
前記樹脂膜までの距離を光を用いて検出して第1及び第
2の変位検出信号を送出する第1及び第2の光変位検出
手段と、前記第1及び第2の変位検出信号を受け、前記
所定の間隔から前記第1及び第2の変位検出信号で示す
樹脂膜までの距離を引いて前記樹脂膜の膜厚を算出する
演算手段とを有することを特徴とする樹脂膜の膜厚計U
J装置が得られる。
の膜厚を計測するための計測装置であって、該樹脂膜を
膜厚方向で挾んで所定の間隔をもって配置されそれぞれ
前記樹脂膜までの距離を光を用いて検出して第1及び第
2の変位検出信号を送出する第1及び第2の光変位検出
手段と、前記第1及び第2の変位検出信号を受け、前記
所定の間隔から前記第1及び第2の変位検出信号で示す
樹脂膜までの距離を引いて前記樹脂膜の膜厚を算出する
演算手段とを有することを特徴とする樹脂膜の膜厚計U
J装置が得られる。
[作用コ
本発明では、第1及び第2の光変位検出手段を樹脂膜を
膜厚方向で所定の間隔をおいて配置する。
膜厚方向で所定の間隔をおいて配置する。
第1及び第2の光変位検出手段はそれぞれ樹脂膜までの
距離を光を用いて検出して第1及び第2の変位検出信号
を送出する。この第1及び第2の変位検出信号は演算手
段に与えられ、演算手段は上記の所定の間隔から第1及
び第2の変位検出信号で示す樹脂膜までの距離を引いて
樹脂膜の膜厚を算出する。
距離を光を用いて検出して第1及び第2の変位検出信号
を送出する。この第1及び第2の変位検出信号は演算手
段に与えられ、演算手段は上記の所定の間隔から第1及
び第2の変位検出信号で示す樹脂膜までの距離を引いて
樹脂膜の膜厚を算出する。
[実施例]
以下本発明について実施例に基づいて説明する。
第1図をづ照して、フィルムのラミネート装置(図示せ
ず)においては、押出成形機から押出されたフィルム1
1はロールに沿りて所定の方向に移動される。フィルム
]、1の上方及び下方にはそれぞれ第1及び第2の光フ
アイバセンサ12及び13が配置されており、第1及び
第2の光フアイバセンサ12及び13は所定の間隔kを
おいて互いに対向している。第1の光フアイバセンサ1
2は投光ファイバ12a及び受光ファイバ12bを備え
ており、同様に、第2の光フアイバセンサ13も投光フ
ァイバ13a及び受光ファイバ13bを備えている。
ず)においては、押出成形機から押出されたフィルム1
1はロールに沿りて所定の方向に移動される。フィルム
]、1の上方及び下方にはそれぞれ第1及び第2の光フ
アイバセンサ12及び13が配置されており、第1及び
第2の光フアイバセンサ12及び13は所定の間隔kを
おいて互いに対向している。第1の光フアイバセンサ1
2は投光ファイバ12a及び受光ファイバ12bを備え
ており、同様に、第2の光フアイバセンサ13も投光フ
ァイバ13a及び受光ファイバ13bを備えている。
投光ファイバ12a及び13aの入力端にはハーフミラ
−14が配置され、このハーフミラ−14の右方にはフ
ィルタ14aを介して光源15が配置されている。また
、ハーフミラ−14の一面に対応して第1の受光素子1
6が配置されている。
−14が配置され、このハーフミラ−14の右方にはフ
ィルタ14aを介して光源15が配置されている。また
、ハーフミラ−14の一面に対応して第1の受光素子1
6が配置されている。
一方、受光ファイバ12bはフィルタ17aを介して第
2の受光素子17に接続され、受光ファイバ1.3 b
はフィルタ18aを介して第3の受光素子18に接続さ
れている。
2の受光素子17に接続され、受光ファイバ1.3 b
はフィルタ18aを介して第3の受光素子18に接続さ
れている。
第1の受光素子16及び第2の受光素子17は第1の演
算ユニット19に接続され、第1の受光素子16及び第
3の受光素子18は第2の演算ユニット20に接続され
ている。後述するように第1の光フアイバセンサ12、
第1の受光素子16、第2の受光素子17、及び第1の
演算ユニット1つによって第1の光変位検出手段が構成
され、第2の光フアイバセンサ13、第1の受光素子1
6、第3の受光素子18、及び第2の演算ユニット20
によって第2の光変位検出手段が構成される。そして、
第1及び第2の演算ユニット19及び20は主演算ユニ
ット21に接続されている。
算ユニット19に接続され、第1の受光素子16及び第
3の受光素子18は第2の演算ユニット20に接続され
ている。後述するように第1の光フアイバセンサ12、
第1の受光素子16、第2の受光素子17、及び第1の
演算ユニット1つによって第1の光変位検出手段が構成
され、第2の光フアイバセンサ13、第1の受光素子1
6、第3の受光素子18、及び第2の演算ユニット20
によって第2の光変位検出手段が構成される。そして、
第1及び第2の演算ユニット19及び20は主演算ユニ
ット21に接続されている。
本発明における計測原理は通常の光フアイバセンサと同
様である。即ち、測定対象物(例えば、フィルム)との
距M、xに応じて第2図に示すように受光強度が変化す
る。そして、光フアイバセンサの場合、領域Iあるいは
■で計測を行う。
様である。即ち、測定対象物(例えば、フィルム)との
距M、xに応じて第2図に示すように受光強度が変化す
る。そして、光フアイバセンサの場合、領域Iあるいは
■で計測を行う。
再び第1図を参照して、光源15として波長3.39μ
mのHe−Neレーザが用いられる。
mのHe−Neレーザが用いられる。
光源15からのレーザ光はフィルタ14aで不用な波長
の光がカットされてハーフミラ−14に与えられる。レ
ーザ光はハーフミラ−14で二方向に分岐されて、一方
は投光ファイバ12a及び13aの入力端に与えられる
。また、他方は第1の受光素子16に与えられ、第1の
受光素子16から第1の受光信号として第1及び第2の
演算ユニット19及び20に与えられる。投光ファイバ
12aに入力されたレーザ光は投光ファイバ12aの出
力端から出力され、フィルム11の表面で反射して受光
ファイバ12bに入力される。
の光がカットされてハーフミラ−14に与えられる。レ
ーザ光はハーフミラ−14で二方向に分岐されて、一方
は投光ファイバ12a及び13aの入力端に与えられる
。また、他方は第1の受光素子16に与えられ、第1の
受光素子16から第1の受光信号として第1及び第2の
演算ユニット19及び20に与えられる。投光ファイバ
12aに入力されたレーザ光は投光ファイバ12aの出
力端から出力され、フィルム11の表面で反射して受光
ファイバ12bに入力される。
受光ファイバ12bからの反射光は第2の受光素子17
に与えられ、第2の受光素子17から’f52の受光信
号として第1の演算ユニット19に与えられる。同様に
して、投光ファイバ13aに入力されたレーザ光は投光
ファイバ13aの出力端から出力され、フィルム11の
裏面で反射して受光ファイバ13bに入力される。受光
ファイバ13bからの反射光は第3の受光素子18に与
えられ、第3の受光索子18から第3の受光信号として
第2の演算ユニット20に与えられる。
に与えられ、第2の受光素子17から’f52の受光信
号として第1の演算ユニット19に与えられる。同様に
して、投光ファイバ13aに入力されたレーザ光は投光
ファイバ13aの出力端から出力され、フィルム11の
裏面で反射して受光ファイバ13bに入力される。受光
ファイバ13bからの反射光は第3の受光素子18に与
えられ、第3の受光索子18から第3の受光信号として
第2の演算ユニット20に与えられる。
前述のように光フアイバセンサではフィルムとの距離に
応じて受光強度が変化するから、つまり、第2の受光信
号は投光ファイバ12a及び受光ファイバ12bの下端
からフィルム11の表面までの距i’ilt X lに
応じてその受光強度が変化する。同様に、第3の受光信
号は投光ファイバ13a及び受光ファイバ13bの下端
からフィルム11の裏面までの距離x2に応じてその受
光強度が変化する。従って、第1の演算ユニット1つは
第1及び第2の受光信号の強度に基づいて距離x1を求
める。同様にして、第2の演算ユニット20は第1及び
第3の受光信号の強度に基づいて距離x2を求める。
応じて受光強度が変化するから、つまり、第2の受光信
号は投光ファイバ12a及び受光ファイバ12bの下端
からフィルム11の表面までの距i’ilt X lに
応じてその受光強度が変化する。同様に、第3の受光信
号は投光ファイバ13a及び受光ファイバ13bの下端
からフィルム11の裏面までの距離x2に応じてその受
光強度が変化する。従って、第1の演算ユニット1つは
第1及び第2の受光信号の強度に基づいて距離x1を求
める。同様にして、第2の演算ユニット20は第1及び
第3の受光信号の強度に基づいて距離x2を求める。
このようにして求められた距M X +及びx2は主演
算ユニット21に送られる。主演算ユニット21には第
1及び第2の光フアイバセンサ12及び13間の距離k
が予め格納されており、主演算ユニット21は距M k
s x + 、及びx2によってフィルム11の膜厚「
を求める。つまり、r−k(XI +x2 )から膜厚
rを求め、この算用膜厚を出力する。このようにして連
続してフィルム膜厚を計測して出力する。
算ユニット21に送られる。主演算ユニット21には第
1及び第2の光フアイバセンサ12及び13間の距離k
が予め格納されており、主演算ユニット21は距M k
s x + 、及びx2によってフィルム11の膜厚「
を求める。つまり、r−k(XI +x2 )から膜厚
rを求め、この算用膜厚を出力する。このようにして連
続してフィルム膜厚を計測して出力する。
ところで、一般にフィルム11が透明の場合には、第3
図に示すように光がフィルムを透過してフィルムの表面
及び裏面で光が反射することになるため透明フィルムの
厚さによって受光量が変化し、その結果、フィルムの厚
さが正確に計′A11lできないが、プラスチック(樹
脂)フィルムの場合には第4図に示すように赤外域で波
長3.4μmに強い吸収帯があるためこの波長の光を用
いることによってフィルムの表面(あるいは裏面)のみ
の反射光を検出することができ、その結果、正確にフィ
ルムの膜厚を計4P[することができる。
図に示すように光がフィルムを透過してフィルムの表面
及び裏面で光が反射することになるため透明フィルムの
厚さによって受光量が変化し、その結果、フィルムの厚
さが正確に計′A11lできないが、プラスチック(樹
脂)フィルムの場合には第4図に示すように赤外域で波
長3.4μmに強い吸収帯があるためこの波長の光を用
いることによってフィルムの表面(あるいは裏面)のみ
の反射光を検出することができ、その結果、正確にフィ
ルムの膜厚を計4P[することができる。
[発明の効果]
以上説明したように本発明では光ファイバ等の光変位検
出手段を用いて樹脂膜の膜厚を計測しているから構成が
簡単でしかも正確に樹脂膜の膜厚を計測することができ
る。
出手段を用いて樹脂膜の膜厚を計測しているから構成が
簡単でしかも正確に樹脂膜の膜厚を計測することができ
る。
第1図は本発明によるフィルム膜厚計11Fj装置の一
実施例を示す図、第2図はフィルムまでの距離と受光強
度との関係を示す図、第3図は透明フィルムにおける反
射を示す図、第4図はプラスチックの赤外域吸収帯を説
明するだめの図である。 11・・・フィルム、12・・・第1の光フアイバセン
サ、13・・・第2の光フアイバセンサ、14・・・ハ
ーフミラ−15・・・光源、16・・・第1の受光素子
、17・・・第2の受光素子、18・・・第1の受光素
子、1つ・・・第1の演算ユニット、20・・・第2の
演算ユニット、21・・・主演算ユニット。 第1図
実施例を示す図、第2図はフィルムまでの距離と受光強
度との関係を示す図、第3図は透明フィルムにおける反
射を示す図、第4図はプラスチックの赤外域吸収帯を説
明するだめの図である。 11・・・フィルム、12・・・第1の光フアイバセン
サ、13・・・第2の光フアイバセンサ、14・・・ハ
ーフミラ−15・・・光源、16・・・第1の受光素子
、17・・・第2の受光素子、18・・・第1の受光素
子、1つ・・・第1の演算ユニット、20・・・第2の
演算ユニット、21・・・主演算ユニット。 第1図
Claims (1)
- 1、樹脂膜の膜厚を計測するための計測装置であって、
該樹脂膜を膜厚方向で挾んで所定の間隔をもって配置さ
れそれぞれ前記樹脂膜までの距離を光を用いて検出して
第1及び第2の変位検出信号を送出する第1及び第2の
光変位検出手段と、前記第1及び第2の変位検出信号を
受け、前記所定の間隔から前記第1及び第2の変位検出
信号で示す樹脂膜までの距離を引いて前記樹脂膜の膜厚
を算出する演算手段とを有することを特徴とする樹脂膜
の膜厚計測装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10351389A JPH02284011A (ja) | 1989-04-25 | 1989-04-25 | 樹脂膜の膜厚計測装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10351389A JPH02284011A (ja) | 1989-04-25 | 1989-04-25 | 樹脂膜の膜厚計測装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02284011A true JPH02284011A (ja) | 1990-11-21 |
Family
ID=14356039
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10351389A Pending JPH02284011A (ja) | 1989-04-25 | 1989-04-25 | 樹脂膜の膜厚計測装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02284011A (ja) |
-
1989
- 1989-04-25 JP JP10351389A patent/JPH02284011A/ja active Pending
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