JPH02284044A - 複屈折測定装置 - Google Patents
複屈折測定装置Info
- Publication number
- JPH02284044A JPH02284044A JP10449589A JP10449589A JPH02284044A JP H02284044 A JPH02284044 A JP H02284044A JP 10449589 A JP10449589 A JP 10449589A JP 10449589 A JP10449589 A JP 10449589A JP H02284044 A JPH02284044 A JP H02284044A
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- Japan
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- disk substrate
- birefringence
- analyzer
- output
- sampling means
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、情報を記録するため、あるいは既に情報を記
録済のディスク基板の複屈折測定装置に係り、更に詳し
くはディスク基板が高速で回転している壮態での複屈折
を測定できる複屈折測定装置に関する。
録済のディスク基板の複屈折測定装置に係り、更に詳し
くはディスク基板が高速で回転している壮態での複屈折
を測定できる複屈折測定装置に関する。
従来の複屈折測定方法としてはエリプリメータを用いる
もの、又は第５図（ａ）、 （ｂ）に示す如きレーザ
光を用いるものなどが知られている。
もの、又は第５図（ａ）、 （ｂ）に示す如きレーザ
光を用いるものなどが知られている。
第５図において、１は半導体レーザ光のレーザ光源、２
はコリメータレンズ、３は１／４波長板、４は偏光子、
５は被測定物であるディスク基板、７は回転検光子、８
は光検出器である。
はコリメータレンズ、３は１／４波長板、４は偏光子、
５は被測定物であるディスク基板、７は回転検光子、８
は光検出器である。
まず、（ａ）の方式では、被測定物に対して方位角が４
５度になるような偏光方向を持つ直線偏光を照射し、被
測定物を透過または反射した光を１／４波長板で位相差
による楕円偏光をつ（り出す。また（ｂ）の方式では円
偏光を被測定物に照射し、位相差による楕円偏光をつく
り出す。この楕円偏光を光軸中心に回転するグラントム
ソンプリズム等などからなる検光子に通し、検光子が一
周する間の光検出器出力の最大最小値から消光比を測定
し、その結果から複屈折を算出する。以上に関しては「
光ディスクの測定評価技術」監修久保高啓 （Ｓ ６３
．４．２６） 日本工業技術センター第２ｍに詳しく
記述されている。
５度になるような偏光方向を持つ直線偏光を照射し、被
測定物を透過または反射した光を１／４波長板で位相差
による楕円偏光をつ（り出す。また（ｂ）の方式では円
偏光を被測定物に照射し、位相差による楕円偏光をつく
り出す。この楕円偏光を光軸中心に回転するグラントム
ソンプリズム等などからなる検光子に通し、検光子が一
周する間の光検出器出力の最大最小値から消光比を測定
し、その結果から複屈折を算出する。以上に関しては「
光ディスクの測定評価技術」監修久保高啓 （Ｓ ６３
．４．２６） 日本工業技術センター第２ｍに詳しく
記述されている。
光学的に情報を占き込みあるいは読みだしまたはその両
方を行なう光ディスク等に用いられる媒体は、−殻内に
高速で回転しており、特にプラス千゛ンク基板等におい
てはディスクの回転の遠心力により、伸びを生じるので
、ディスク、Ｅｌｉ５４Ｎを静止させた状態で測定した
複屈折の値とディスク回転時の？３Ｉ屈折の値とでは一
致しないので実際にディスク回転時の複屈折を測定しな
いとディスク回転時における複屈折の影響は予測できな
い。さらにデ・ｆスフ基板を回転させてもその回転と検
光子の回転を同期させる手段を持たないため、ディスク
基板内の複屈折の分布が一定であるかどうか分からない
にもかかわらず、ディスク基板−周の平均しか測定でき
ず、複屈折の正確な測定が出来ない。
方を行なう光ディスク等に用いられる媒体は、−殻内に
高速で回転しており、特にプラス千゛ンク基板等におい
てはディスクの回転の遠心力により、伸びを生じるので
、ディスク、Ｅｌｉ５４Ｎを静止させた状態で測定した
複屈折の値とディスク回転時の？３Ｉ屈折の値とでは一
致しないので実際にディスク回転時の複屈折を測定しな
いとディスク回転時における複屈折の影響は予測できな
い。さらにデ・ｆスフ基板を回転させてもその回転と検
光子の回転を同期させる手段を持たないため、ディスク
基板内の複屈折の分布が一定であるかどうか分からない
にもかかわらず、ディスク基板−周の平均しか測定でき
ず、複屈折の正確な測定が出来ない。
本発明は上述の如き従来の測定装置のもっていた、実際
にディスク基板を回転した際の複屈折の影響を測定でき
ないという欠点を解決し、精度の高い複屈折データの得
られる複屈折測定装置の提供を目的としている。
にディスク基板を回転した際の複屈折の影響を測定でき
ないという欠点を解決し、精度の高い複屈折データの得
られる複屈折測定装置の提供を目的としている。
本発明は、ディスク基板をドライブ装置に載せて、実際
に使用するときと同じ条件下でのディスク基板の複屈折
を測定するものであって、ディスクドライブ装置のスピ
ンドルの回転数を一定（１０〜４０Ｈｚ程度）に保ち、
そのスピンドルが１回転する毎に、例えばスピンドルモ
ータ駆動回路から５ｙｎｃパルスを取り出してそのパル
スを基準として回転検光子を一定角度θ（０＜θ≦６０
°）前記スピンドルに同期して回転させ、ディスク基板
の同一位置での光検出器の出力をサンプリングし、この
サンプリング出力をディスク基板が一周する間ホールド
して回転検光子１周分の光検出器出力を合成し、その信
号から消光比を測定し、複屈折の値を算出する。
に使用するときと同じ条件下でのディスク基板の複屈折
を測定するものであって、ディスクドライブ装置のスピ
ンドルの回転数を一定（１０〜４０Ｈｚ程度）に保ち、
そのスピンドルが１回転する毎に、例えばスピンドルモ
ータ駆動回路から５ｙｎｃパルスを取り出してそのパル
スを基準として回転検光子を一定角度θ（０＜θ≦６０
°）前記スピンドルに同期して回転させ、ディスク基板
の同一位置での光検出器の出力をサンプリングし、この
サンプリング出力をディスク基板が一周する間ホールド
して回転検光子１周分の光検出器出力を合成し、その信
号から消光比を測定し、複屈折の値を算出する。
第１図は本発明実施例を示しており、半導体レーザもし
くはＨｅ −Ｎ ｅレーザの如きレーザ光源１、コリメ
ータレンズ２．１／４波長板３、ディスク基板５、回転
検光子７、光検出器８等の光学系部品は第５図（ｂ）に
示す従来装置と同様であるが、ディスク基板が回転駆動
されるスピンドルモータ６、及び該スピンドルモータ６
と回転検光子７のステップモータ７ａをコントロールす
る制御回路を備えている点が従来装置とは異なっている
。
くはＨｅ −Ｎ ｅレーザの如きレーザ光源１、コリメ
ータレンズ２．１／４波長板３、ディスク基板５、回転
検光子７、光検出器８等の光学系部品は第５図（ｂ）に
示す従来装置と同様であるが、ディスク基板が回転駆動
されるスピンドルモータ６、及び該スピンドルモータ６
と回転検光子７のステップモータ７ａをコントロールす
る制御回路を備えている点が従来装置とは異なっている
。
上記制御回路は、スピンドルモータ駆動回路９、回転検
光子駆動用のドライブ回路１０、モータ駆動回路９及び
ドライブ回路１０をコントロールするタイミングパルス
発生器１１、基準クロック発生器１２、光検出器８の出
力を増幅するリードアンプ１３、サンプルホールド回路
１４、信号処理回路１５などから構成される。
光子駆動用のドライブ回路１０、モータ駆動回路９及び
ドライブ回路１０をコントロールするタイミングパルス
発生器１１、基準クロック発生器１２、光検出器８の出
力を増幅するリードアンプ１３、サンプルホールド回路
１４、信号処理回路１５などから構成される。
次に本発明実施例の作用を説明する。
レーザ光源１ （半導体レーザ）から出た光は１／４波
長板３により円偏光とされディスク基板５に入射する。
長板３により円偏光とされディスク基板５に入射する。
一方ディスク基板５はスピンドル６に取り付けられてお
り、そのスピンドル６は基準り台ツク発生器１２からの
回転数制御パルスにより回転数が一定になるように制御
されている。ディスク基板５を透過もしくは反射した光
束は、回転検光子７に導かれる０回転渣光子７はステッ
プモータ７ａによって駆動される。ステップモータ７ａ
を駆動するタイミングはスピンドルモータ６の駆動回路
９から出力される５ｙｎｃパルス（スピンドルモータ６
が一周する毎に１パルス出力される）かまたはタイミン
グパルス発生器１１によって作成された５ｙｎｃパルス
と一定の時間差（ｔｄ）を持ったステップモータドライ
ブパルスによって駆動される。回転検光子７を通過した
光は光検出器８において光電変換され、更にリードアン
プ１３によって増幅される。リードアンプ１３の出力は
、サンプルホールドアンプ１４に入力されタイミングパ
ルス発生器１１からのサンプルホールドパルスにより、
回転検光子７の各設定角においてスピンドル−回転毎に
ディスク基板５の同一位置における出力にホールドされ
る。サンプルホールドパルスは５ｙｎｃパルスに対して
、任Ｈの時間Δｔ （０≦Δｔ＜ｔ、）遅れておりΔ
ｔは自由に設定できる。
り、そのスピンドル６は基準り台ツク発生器１２からの
回転数制御パルスにより回転数が一定になるように制御
されている。ディスク基板５を透過もしくは反射した光
束は、回転検光子７に導かれる０回転渣光子７はステッ
プモータ７ａによって駆動される。ステップモータ７ａ
を駆動するタイミングはスピンドルモータ６の駆動回路
９から出力される５ｙｎｃパルス（スピンドルモータ６
が一周する毎に１パルス出力される）かまたはタイミン
グパルス発生器１１によって作成された５ｙｎｃパルス
と一定の時間差（ｔｄ）を持ったステップモータドライ
ブパルスによって駆動される。回転検光子７を通過した
光は光検出器８において光電変換され、更にリードアン
プ１３によって増幅される。リードアンプ１３の出力は
、サンプルホールドアンプ１４に入力されタイミングパ
ルス発生器１１からのサンプルホールドパルスにより、
回転検光子７の各設定角においてスピンドル−回転毎に
ディスク基板５の同一位置における出力にホールドされ
る。サンプルホールドパルスは５ｙｎｃパルスに対して
、任Ｈの時間Δｔ （０≦Δｔ＜ｔ、）遅れておりΔ
ｔは自由に設定できる。
第２図にタイミングパルス発生３１１の出力するタイミ
ングパルスの例を示すｅ ｔ、はスピンドル６が一周す
る時間、ｔ、はｓ ｙｎｃパルスとステップモータドラ
イブパルスとの時間差、Δｔは５ｙｎｃパルスとサンプ
ルホールドパルスとの時間差である。
ングパルスの例を示すｅ ｔ、はスピンドル６が一周す
る時間、ｔ、はｓ ｙｎｃパルスとステップモータドラ
イブパルスとの時間差、Δｔは５ｙｎｃパルスとサンプ
ルホールドパルスとの時間差である。
第３図にリードアンプ１３及びサンプルホールドアンプ
１４の出力波形の例を示す。（ａ）はリードアンプ出力
、（ｂ）はサンプルホールドアンプの出力である。（ａ
）においてはスピンドル６が一周する間に出力が変動す
るが（ｂ）においてはディスク基板５の同一位置での出
力がサンプリングされている。
１４の出力波形の例を示す。（ａ）はリードアンプ出力
、（ｂ）はサンプルホールドアンプの出力である。（ａ
）においてはスピンドル６が一周する間に出力が変動す
るが（ｂ）においてはディスク基板５の同一位置での出
力がサンプリングされている。
第４図は本発明において、ディスク基板５上の同一半径
上にある複数の点における複屈折を同時に測定する例で
ある。サンプルホールドパルスをタイミングパルス発生
器から複数（ｎ）個（ｓｙｎｃパルスとの時間差Δｔ、
〜Δｔ、１）発生させ、ｎ個のサンプルホールドアンプ
を用いて一度にディスク基板５の同一半径上のｎ個の点
の複屈折を測定する。
上にある複数の点における複屈折を同時に測定する例で
ある。サンプルホールドパルスをタイミングパルス発生
器から複数（ｎ）個（ｓｙｎｃパルスとの時間差Δｔ、
〜Δｔ、１）発生させ、ｎ個のサンプルホールドアンプ
を用いて一度にディスク基板５の同一半径上のｎ個の点
の複屈折を測定する。
向上記実施例では説明していないが、ディスク基板５へ
の先の入射角を変更できるようにすれば、ディスク基板
５の種類やレーザ光の種類に応じた複屈折に関する最も
適当なデータを得ることができる。
の先の入射角を変更できるようにすれば、ディスク基板
５の種類やレーザ光の種類に応じた複屈折に関する最も
適当なデータを得ることができる。
以上説明したように、本発明はディスク基板を実際に回
転させ、かつこの回転数に同期させて回転検光子を一定
角度回転させ、ディスク基板の所定位置における光検出
器出力をサンプリングして、このサンプリング出力から
ディスク基板の複屈折を算出するデータを得るようにし
たため、ディスク基板を実際にデータ書き込み、データ
再生のために駆動する状態におけるディスク基板の特定
位置の複屈折を正確に測定することができる。
転させ、かつこの回転数に同期させて回転検光子を一定
角度回転させ、ディスク基板の所定位置における光検出
器出力をサンプリングして、このサンプリング出力から
ディスク基板の複屈折を算出するデータを得るようにし
たため、ディスク基板を実際にデータ書き込み、データ
再生のために駆動する状態におけるディスク基板の特定
位置の複屈折を正確に測定することができる。
第１図は本発明実施例の全体構成を示す概略図、第２図
は本発明実施例における制御信号のタイミングチャート
、第３図は本発明実施例における信号系の波形図、第４
図は本発明の変形例の全体構成を示す概略図、第５図は
従来の複屈折法の一例を示す説明図である。 １・・・・・・・・・レーザ光源、５・・・・・・・・
・ディスク基板、６・・・・・・・・・スピンドルモー
タ、７・・・・・・・・・回転検光子、８・・・・・・
・・・光検出器、９・・・・・・・・・スピンドルモー
タ駆動回路、１０・・・・・・・・・ステップモータ駆
動回路、１１・・・・・・・・・タイミングパルス発生
器、１４・・・・・・・・・サンプルホールドアンプ。 粥 図 弔 図 弔 図 弔 図 第５図
は本発明実施例における制御信号のタイミングチャート
、第３図は本発明実施例における信号系の波形図、第４
図は本発明の変形例の全体構成を示す概略図、第５図は
従来の複屈折法の一例を示す説明図である。 １・・・・・・・・・レーザ光源、５・・・・・・・・
・ディスク基板、６・・・・・・・・・スピンドルモー
タ、７・・・・・・・・・回転検光子、８・・・・・・
・・・光検出器、９・・・・・・・・・スピンドルモー
タ駆動回路、１０・・・・・・・・・ステップモータ駆
動回路、１１・・・・・・・・・タイミングパルス発生
器、１４・・・・・・・・・サンプルホールドアンプ。 粥 図 弔 図 弔 図 弔 図 第５図
Claims (3)
- （１）被測定ディスク基板に直線偏光または円偏光を入
射し、ディスク基板からの透過光または反射光を回転す
る検光子へ導き、該検光子を透過して光検出器に入射し
た光量の変化からディスク基板の複屈折率を測定する複
屈折測定装置において、前記ディスク基板を回転せしめ
るディスク回転手段と、ディスク基板の回転と同期して
前記検光子を一定角度回転させる検光子回転手段と、デ
ィスク基板の所定位置における光検出器出力をサンプリ
ングするサンプリング手段とを備え、前記検光子の１回
転に対応する前記サンプリング手段の出力から、ディス
ク基板の回転時におけるディスク基板の特定位置の複屈
折率を測定することを特徴とする複屈折測定装置。 - （２）前記サンプリング手段は、ディスク基板の同一円
周上にある複数の点の光検出器出力を連続してサンプリ
ングする連続サンプリング手段であつて、検光子１回転
に対応する前記複数の点の各点毎のサンプリング出力か
ら、ディスク基板の複数の特定位置の複屈折率を同時に
測定することを特徴とする請求項（１）に記載の複屈折
測定装置。 - （３）前記ディスク基板に入射される直線偏光または円
偏光のディスク基板に対する入射角を変更する入射角変
更手段を備えたことを特徴とする請求項（１）また（２
）に記載の複屈折測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10449589A JPH02284044A (ja) | 1989-04-26 | 1989-04-26 | 複屈折測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10449589A JPH02284044A (ja) | 1989-04-26 | 1989-04-26 | 複屈折測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02284044A true JPH02284044A (ja) | 1990-11-21 |
Family
ID=14382111
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10449589A Pending JPH02284044A (ja) | 1989-04-26 | 1989-04-26 | 複屈折測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02284044A (ja) |
-
1989
- 1989-04-26 JP JP10449589A patent/JPH02284044A/ja active Pending
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