JPS63168544A - ディスクの複屈折測定装置 - Google Patents
ディスクの複屈折測定装置Info
- Publication number
- JPS63168544A JPS63168544A JP31543586A JP31543586A JPS63168544A JP S63168544 A JPS63168544 A JP S63168544A JP 31543586 A JP31543586 A JP 31543586A JP 31543586 A JP31543586 A JP 31543586A JP S63168544 A JPS63168544 A JP S63168544A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- disk
- analyzer
- circularly polarized
- disc
- Prior art date
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
- G01N21/9506—Optical discs
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/21—Polarisation-affecting properties
- G01N21/23—Bi-refringence
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- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
- Optical Recording Or Reproduction (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
この発明は、製造過程で生じる光デイスク基板として望
ましくない複屈折を量産工程で自動的に測定検査するの
に適した複屈折測定装置に関する。
ましくない複屈折を量産工程で自動的に測定検査するの
に適した複屈折測定装置に関する。
従来の技術
光ディスクの基板の条件としては、そり、吸湿性、耐熱
性、記録膜の成膜性、複屈折等の点で優れていることが
望まれる。例えば、ポリカーボネート基板では、これら
の多くの条件を満たしてはいるが、複屈折が起こりやす
いことが難点である。
性、記録膜の成膜性、複屈折等の点で優れていることが
望まれる。例えば、ポリカーボネート基板では、これら
の多くの条件を満たしてはいるが、複屈折が起こりやす
いことが難点である。
複屈折があると、再生信号のキャリア対ノイズ比Ｃ／Ｎ
が悪くなり、ピットエラーレートの劣化を引き起こし好
ましくない。したがって、ディスクの製造過程において
、複屈折をチェックし、製造管理する必要がある。
が悪くなり、ピットエラーレートの劣化を引き起こし好
ましくない。したがって、ディスクの製造過程において
、複屈折をチェックし、製造管理する必要がある。
従来用いられてきた複屈折測定方法は、水晶や方解石で
出来た位相補償板を調整して、通過する光線の中から複
屈折光が無くなる状態を作り、そのときの状態をマイク
ロメータの目盛を読み取ることによって行ってきた。
出来た位相補償板を調整して、通過する光線の中から複
屈折光が無くなる状態を作り、そのときの状態をマイク
ロメータの目盛を読み取ることによって行ってきた。
発明が解決しようとする問題点
しかしながら、従来の測定方法では、手間がかかるのと
、装置自身が非常に高価であり、ディスクの量産工程に
は適さなかった。
、装置自身が非常に高価であり、ディスクの量産工程に
は適さなかった。
この発明は、従来の問題点を解決し、ディスクをセット
すれば自動的に複屈折を測定できる装置を提供すること
を目的とする。
すれば自動的に複屈折を測定できる装置を提供すること
を目的とする。
問題点を解決するための手段
この発明によるディスクの複屈折測定装置は、レーザ光
を円偏光に整形し、この円偏光が被測定ディスクの面に
所定の軌跡を描いて照射されるべくディスクの相対的回
転運動を行わせ、ディスクの透過光または反射光を回転
する光学アナライザを通して取り出し、このアナライザ
の出力光の強弱を光センサにより検出し、光センサの検
出出力をアナライザの所定の回転位置でスイッチングす
ることにより最大レベルと最小レベルをサンプリングし
、このサンプリング信号を演算処理することにより表示
出力を取り出すことを特徴とするものである。
を円偏光に整形し、この円偏光が被測定ディスクの面に
所定の軌跡を描いて照射されるべくディスクの相対的回
転運動を行わせ、ディスクの透過光または反射光を回転
する光学アナライザを通して取り出し、このアナライザ
の出力光の強弱を光センサにより検出し、光センサの検
出出力をアナライザの所定の回転位置でスイッチングす
ることにより最大レベルと最小レベルをサンプリングし
、このサンプリング信号を演算処理することにより表示
出力を取り出すことを特徴とするものである。
作用
この発明によれば、ディスクの透過光または反射光を回
転式アナライザを介して取り出すことにより、円偏光が
ディスクによってどれだけ変調を受けているか、すなわ
ち複屈折によって楕円偏光を起しているかを検出するよ
うにしており、また検出位置をディスクの回転等を含む
運動により自動的に行えるようにしているので取り扱い
が極めて容易である。
転式アナライザを介して取り出すことにより、円偏光が
ディスクによってどれだけ変調を受けているか、すなわ
ち複屈折によって楕円偏光を起しているかを検出するよ
うにしており、また検出位置をディスクの回転等を含む
運動により自動的に行えるようにしているので取り扱い
が極めて容易である。
実施例
この発明の実施例を以下図面を参照して説明する。第１
図はこの発明の実施例に係わる複屈折測定装置の構成図
である。
図はこの発明の実施例に係わる複屈折測定装置の構成図
である。
１は複屈折測定装置で、１０はレーザ光を発射する半導
体レーザであり、ここから発射されたレーザ光は偏光ビ
ームスプリッタ１１によって直線偏光成分を取り出し、
コリメータレンズ１２によって平行光に変換される。平
行光はλ／４板１３によってさらに円偏光に変換される
。２は光デイスク基板で、円偏光１３ａはこれを通過し
て、ディスク基板２が持つ透過性質によって影響を受け
た光１３ｂとなり回転光学アナライザ１４に与えられる
。このアナライザ１４は偏光ビームスピリツタまたはダ
ラムトムソンプリズム等からなり、光の進む方向を軸と
して所定の速度で回転するドラム１４１の中心に取りつ
けられている。ドラム１４１はベルト１４３を介してモ
ータ１４２によって回転が与えられる。アナライザ１４
を介して得られるレーザ光１４ａは光センサ１５に与え
られる。光センサ１５は、円偏光１３ａがディスク基板
２によってどれ位変調を受けたか、すなわち複屈折が起
こったかをみるための素子である。
体レーザであり、ここから発射されたレーザ光は偏光ビ
ームスプリッタ１１によって直線偏光成分を取り出し、
コリメータレンズ１２によって平行光に変換される。平
行光はλ／４板１３によってさらに円偏光に変換される
。２は光デイスク基板で、円偏光１３ａはこれを通過し
て、ディスク基板２が持つ透過性質によって影響を受け
た光１３ｂとなり回転光学アナライザ１４に与えられる
。このアナライザ１４は偏光ビームスピリツタまたはダ
ラムトムソンプリズム等からなり、光の進む方向を軸と
して所定の速度で回転するドラム１４１の中心に取りつ
けられている。ドラム１４１はベルト１４３を介してモ
ータ１４２によって回転が与えられる。アナライザ１４
を介して得られるレーザ光１４ａは光センサ１５に与え
られる。光センサ１５は、円偏光１３ａがディスク基板
２によってどれ位変調を受けたか、すなわち複屈折が起
こったかをみるための素子である。
光デイスク基板２はステップモータ２１によって、所定
の角度（例 １５度）毎に段階的に回転され、回転の休
止時にモータ２１がスリットガイド２２に沿って矢印Ａ
−Ａ方向に運動される。この運動によって、レーザ光の
照射軌跡は第２図の符号２０１で示されるように放射形
状となる。この場合、矢印Ａ−Ａ方向の運動はモータ２
１を固定しておいて、光学系ユニット１を運動させても
よい。
の角度（例 １５度）毎に段階的に回転され、回転の休
止時にモータ２１がスリットガイド２２に沿って矢印Ａ
−Ａ方向に運動される。この運動によって、レーザ光の
照射軌跡は第２図の符号２０１で示されるように放射形
状となる。この場合、矢印Ａ−Ａ方向の運動はモータ２
１を固定しておいて、光学系ユニット１を運動させても
よい。
回転光学アナライザ１４の構造例については、第３図お
よび第４図に示される。ドラム１４１は中心に孔１４８
を有し、一方の開口部にはアナライザ１４が取り付けら
れている。他方の開口部側は壁面１４５と向い合い、円
筒体１４６との間に介在された軸受１４７によってドラ
ム１４１は回転可能に支持されている。ドラム１４１の
外周には溝１４４が設けられ、モータ１４２の２回転を
受けるべくベルト１４３が掛は渡されている。さらに、
ドラム１４１の外周には所定の角度で間隔（例 １８０
度）で検出用マーカまたは磁極片１４９Ａ、１４９Ｂが
固定され、ドラム外に設けられた検出素子１５０Ａ、１
５０Ｂ （９０度間隔）によってその通過が検出される
ようになっている。
よび第４図に示される。ドラム１４１は中心に孔１４８
を有し、一方の開口部にはアナライザ１４が取り付けら
れている。他方の開口部側は壁面１４５と向い合い、円
筒体１４６との間に介在された軸受１４７によってドラ
ム１４１は回転可能に支持されている。ドラム１４１の
外周には溝１４４が設けられ、モータ１４２の２回転を
受けるべくベルト１４３が掛は渡されている。さらに、
ドラム１４１の外周には所定の角度で間隔（例 １８０
度）で検出用マーカまたは磁極片１４９Ａ、１４９Ｂが
固定され、ドラム外に設けられた検出素子１５０Ａ、１
５０Ｂ （９０度間隔）によってその通過が検出される
ようになっている。
これらのマーカまたは磁極片１４９Ａ１１４９Ｂおよび
検出素子１５０Ａ１１５０Ｂはフォトリフレクタやホー
ル素子を利用した周知の検出器であって、ここではアナ
ライザ１４の回転状態を検出する、すなわち回転位置検
出器を形成している。
検出素子１５０Ａ１１５０Ｂはフォトリフレクタやホー
ル素子を利用した周知の検出器であって、ここではアナ
ライザ１４の回転状態を検出する、すなわち回転位置検
出器を形成している。
ここで、ドラム１４１が回転する過程において、マーカ
１４９Ａ、１４９Ｂが検出素子１５０Ａの位置を通過す
るとき、アナライザ１４はＰ成分の光を通過させる。ま
た、マーカ１４９Ａ、１４９Ｂが検出素子１５０Ｂの位
置を通過するとき、Ｓ成分の光を通過させる。これらの
通過期間を検出素子１５０Ａ１１５０Ｂで検出し、その
出力によって光センサ１５の出力をスイッチすると、そ
の信号特性は第５図のようになる。また順次検出される
検出点は第２図の２０２の点で示される。
１４９Ａ、１４９Ｂが検出素子１５０Ａの位置を通過す
るとき、アナライザ１４はＰ成分の光を通過させる。ま
た、マーカ１４９Ａ、１４９Ｂが検出素子１５０Ｂの位
置を通過するとき、Ｓ成分の光を通過させる。これらの
通過期間を検出素子１５０Ａ１１５０Ｂで検出し、その
出力によって光センサ１５の出力をスイッチすると、そ
の信号特性は第５図のようになる。また順次検出される
検出点は第２図の２０２の点で示される。
光デイスク基板２が光路に存在しないとき、出力は一部
レベルの直流または第５図イのようになる。
レベルの直流または第５図イのようになる。
る。ディスク基板２を通過した光が円偏光 の場合、第
５図口のように正弦波となる。ディスク基板２が複屈折
を起こす場合には、通過光は楕円偏光となり、検出出力
は第５図ハのようになる。波形の最大値をａ１最小値を
ｂとすると、変調ファとなる。
５図口のように正弦波となる。ディスク基板２が複屈折
を起こす場合には、通過光は楕円偏光となり、検出出力
は第５図ハのようになる。波形の最大値をａ１最小値を
ｂとすると、変調ファとなる。
第６図は検出信号の処理回路である。光センサ１５の出
力は増幅器１６を通してアナログスイッチ１７に与えら
れる。このアナログスイッチ１７は、前述した検出素子
１５０Ａ１１５０Ｂの検出パルスから制御され、光セン
サ１５の検出出力の最大レベルと最小レベルをサンプリ
ングする。サンプリング出力はアナログ・デジタル変換
器１８によりデジタル信号に変換され、演算回路１９を
経て表示出力としてディスプレイ２０に与えられ複屈折
の可否の状態が表示される。演算回路１９は、例えばサ
ンプリング１０回の平均値を取り出す回路として動作す
る。この種の処理回路としては他にもいろいろな回路例
が考えられよう。最終表示も陰極線管を使用したり、プ
リンタによる印刷表示も考えられる。
力は増幅器１６を通してアナログスイッチ１７に与えら
れる。このアナログスイッチ１７は、前述した検出素子
１５０Ａ１１５０Ｂの検出パルスから制御され、光セン
サ１５の検出出力の最大レベルと最小レベルをサンプリ
ングする。サンプリング出力はアナログ・デジタル変換
器１８によりデジタル信号に変換され、演算回路１９を
経て表示出力としてディスプレイ２０に与えられ複屈折
の可否の状態が表示される。演算回路１９は、例えばサ
ンプリング１０回の平均値を取り出す回路として動作す
る。この種の処理回路としては他にもいろいろな回路例
が考えられよう。最終表示も陰極線管を使用したり、プ
リンタによる印刷表示も考えられる。
第７図は、他の実施例に係る構成図であり、第１図と同
一対象のものは同一符号にて示す。２′は表面に溝２０
０が形成されたディスクで、この場合はこの溝２００が
回折格子となるので、反射回折光によって複屈折を測定
するようにしている。
一対象のものは同一符号にて示す。２′は表面に溝２０
０が形成されたディスクで、この場合はこの溝２００が
回折格子となるので、反射回折光によって複屈折を測定
するようにしている。
回折光としてはいろいろ出来るが、ここでは角度θ方向
に反射回折する０次光１３ｂの光に対して回転アナライ
ザ１４を設置しており、このアナライザの出力光の強弱
を光センサ１５により検出するようにしている。この実
施例の場合には、反射を利用しているので記録媒体層が
形成された後のディスク基板に対しても適用可能である
。
に反射回折する０次光１３ｂの光に対して回転アナライ
ザ１４を設置しており、このアナライザの出力光の強弱
を光センサ１５により検出するようにしている。この実
施例の場合には、反射を利用しているので記録媒体層が
形成された後のディスク基板に対しても適用可能である
。
発明の詳細
な説明してきたごとく、この発明の複屈折測定装置によ
れば、光ディスクをセツティングすれば自動的にその複
屈折の可否を測定でき、また装置として簡単な構造であ
るから容易に製作できる。
れば、光ディスクをセツティングすれば自動的にその複
屈折の可否を測定でき、また装置として簡単な構造であ
るから容易に製作できる。
したがって、ディスク量産時の検査工程に適した測定器
として貢献できるものである。
として貢献できるものである。
第１図はこの発明の実施例に係るディスクの複屈折測定
装置の原理構成図、第２図はその測定方法を説明するた
めの光ディスクの平面図、第３図は回転アナライザの構
造を示す一部切欠側面図、第４図は同アナライザの構造
を示す正面図、第５図は第１図装置による検出出力特性
を示す波形図、第６図は測定回路例を示すブロック回路
図、第７図はこの発明の他の実施例の原理構成図である
。 １３・・・円偏光、 ２・・・ディスク、 １３ｂ・・透過光、 １３゛ｂ・・反射光、 １４・働・回転光学アナライザ、 １５・・・光センサ。 特許出願人 日本電気ホームエレクトロニクス第１図 第２図 第３図 第５図
装置の原理構成図、第２図はその測定方法を説明するた
めの光ディスクの平面図、第３図は回転アナライザの構
造を示す一部切欠側面図、第４図は同アナライザの構造
を示す正面図、第５図は第１図装置による検出出力特性
を示す波形図、第６図は測定回路例を示すブロック回路
図、第７図はこの発明の他の実施例の原理構成図である
。 １３・・・円偏光、 ２・・・ディスク、 １３ｂ・・透過光、 １３゛ｂ・・反射光、 １４・働・回転光学アナライザ、 １５・・・光センサ。 特許出願人 日本電気ホームエレクトロニクス第１図 第２図 第３図 第５図
Claims (3)
- （１）レーザー光を円偏光に整形し、この円偏光が被測
定ディスクの面に所定の軌跡を描いて照射されるべく前
記ディスクの相対的回転運動を行わせ、前記ディスクの
透過光または反射光を回転する回転光学アナライザを通
して取り出し、このアナライザの出力光の強弱を光セン
サにより検出し、前記光センサの検出出力を前記アナラ
イザの所定の回転位置でスイッチングすることにより最
大レベルと最小レベルをサンプリングし、このサンプリ
ング信号を演算処理することにより複屈折の状態を示す
表示出力を取り出すことを特徴とするディスクの複屈折
測定装置。 - （２）円偏光が被測定ディスクの面に描く照射軌跡を放
射形状としたことを特徴とする特許請求の範囲第１項記
載のディスク複屈折測定装置。 - （３）光センサの検出出力をスイッチングする信号を回
転光学アナライザのドラム外周に対して設けたフォトリ
フレクタやホール素子により得ることを特徴とした特許
請求の範囲第１項記載のディスク複屈折測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31543586A JPS63168544A (ja) | 1986-12-29 | 1986-12-29 | ディスクの複屈折測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31543586A JPS63168544A (ja) | 1986-12-29 | 1986-12-29 | ディスクの複屈折測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63168544A true JPS63168544A (ja) | 1988-07-12 |
| JPH0449061B2 JPH0449061B2 (ja) | 1992-08-10 |
Family
ID=18065336
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31543586A Granted JPS63168544A (ja) | 1986-12-29 | 1986-12-29 | ディスクの複屈折測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63168544A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02196948A (ja) * | 1989-01-25 | 1990-08-03 | Idemitsu Petrochem Co Ltd | 記録媒体の欠陥検査方法 |
| CN104132799A (zh) * | 2014-07-25 | 2014-11-05 | 国家电网公司 | 一种钛扩散LiNbO3相位调制器双折射调制系数测量装置和方法 |
-
1986
- 1986-12-29 JP JP31543586A patent/JPS63168544A/ja active Granted
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02196948A (ja) * | 1989-01-25 | 1990-08-03 | Idemitsu Petrochem Co Ltd | 記録媒体の欠陥検査方法 |
| CN104132799A (zh) * | 2014-07-25 | 2014-11-05 | 国家电网公司 | 一种钛扩散LiNbO3相位调制器双折射调制系数测量装置和方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0449061B2 (ja) | 1992-08-10 |
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