JPH0228577A - 磁気センサ及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の目的］ （産業上の利用分野） 本発明は各種回転体の回転速度等を検出する磁気センサ
及びその製造方法に関する。

（従来の技術） この種の磁気センサの従来例を第７図、第８図を参照し
て説明する。

同図に示す磁気センサ３０は、実開昭６２年第６７２６
３号に開示されているものである。

同図中、３１は磁気センサ素子で必り、この磁気センサ
素子３１には端子３２が固着されている。

３４は、はぼ丁字形をしたプラスチックホルダーで、こ
のプラスチックホルダー３４には、磁気センサ素子３１
を嵌め込む凹部３４ａが設けられ、その凹部３４ａの底
面に磁気センサ素子３１の全面が接着されるように凹部
３４ａ内に磁気センサ素子３１が嵌め込まれ、接着剤３
５により接着固定されてい・る。また、プラスチックホ
ルダー３４の凹部３４ａを設けた側とは反対側の面には
、前記凹部３４ａの底面との間に分離壁３４ｂを形成す
るように磁石固定孔３４Ｇが設けられており、この磁石
固定孔３４ｃにはバイアス磁石３６が収容され分離壁３
４ｂの壁面に接着固定されている。

しかしながら、この磁気センサ３０の場合には、分離壁
３４ｂの一方の壁面に接着剤３５により磁気センサ素子
３１を、また、分離壁３４ｂの他方の面に接着剤を用い
てバイアス磁石３６をそれぞれ接着固定し、両者の間を
一定の間隔に保持する構成であるため、第９図に拡大し
て示すように接着剤３５やバイアス磁石３６側の接着剤
の厚さの不均一に起因して、磁気センサ素子３１と、バ
イアス磁石３６との間隔が一定とならず、この結果、磁
気センサ素子３１に対するバイアス磁石３６からの磁界
の分布が不均一となり、磁気センサ素子３１による回転
体の検出特性に悪影響を及ぼすという問題がおる。

（発明が解決しようとする課題） 本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、磁気セ
ンサ素子とバイアス磁石との間隔が一定で良好な検出特
性を得ることができる磁気センサ及びこのような特性を
もった磁気センサの製造方法を提供することを目的とす
るものである。

［発明の構成］ （課題を解決するための手段） 本発明の磁気センサは、磁気センサ素子用の装着孔を有
し、この装着孔底部を画する一定厚さの隔壁に接触する
状態でバイアス磁石を内蔵したホルダーと、前記装着孔
に装着され前記隔壁に形成した抜孔に埋め込んだ接着剤
により前記隔壁面に密着固定した磁気センサ索子とを有
するものである。

また、本発明の製造方法は有底筒状の第１の型内にバイ
アス磁石をこの第１の型の底面と平行配置に支持すると
共に、第１・の型の開口部分から磁気センサ素子形成用
の突部及び前記磁石の平坦面に当接する抜孔形成用の突
起を有する第２の型を嵌め込み前記第１．第２の型及び
バイアス磁石が画する空間内に合成樹脂製の型材を注入
してホルダーを形成する工程と、この工程により形成さ
れたホルダーの隔壁における抜孔に接着剤を埋め込むと
共にホルダーに形成された装着孔に磁気センサ素子を装
着し、前記接着剤により磁気センサ素子の底面を隔壁に
密着固定する工程とを有するものである。

（作　用） 以下に上記構成の磁気センサの作用を説明する。

この磁気センサによれば、バイアス磁石を一定厚さで、
且つ、抜孔を有する隔壁に接触する状態で内蔵したホル
ダーの装着孔に磁気センサ素子を装着し、抜孔に埋め込
んだ接着剤により磁気センサ素子を隔壁に密着したもの
であるから、バイアス磁石と磁気センサ素子との間隔は
隔壁の厚さにより定まる一定のものとなり、これにより
、バイアス磁石からの磁界が一様に磁気センサ素子に印
加されることになり磁気センサ素子の検出特性が安定化
する。

また、上記本発明方法によれば、先ず、バイアス磁石を
内蔵し、且つ、一定厚さで、抜孔及び装着孔を有する隔
壁を具備したホルダーを製造し、次に、装着孔に磁気セ
ンサ索子を装着してこの磁気センサ索子を抜孔に埋め込
んだ接着剤の接着作用により隔壁に密着固定することに
より、磁気センサを製造するものであるから、上記特性
を有する磁気センサを容易に得ることができる。

（実施例） 以下に本発明の実施例を詳細に説明する。

第１図に示す磁気センサ１は、バイアス磁石２を底面と
平行配置に内蔵した合成樹脂製のホルダー３と、このホ
ルダー３に装着された磁気センサ素子４と、前記ホルダ
ー３の一方の端部側を貫通する状態に配置され、その一
方の端部（頂部）５ａを前記磁気センサ素子４の近傍に
臨ませたリード端子５と、このリード端子５の端部５ａ
と磁気センサ素子４の電極部６との間にワイヤボンディ
ングの方法により接続配置された接続リード線７とを有
している。

前記バイアス磁石２と、磁気センサ素子４の底面部とは
、ホルダー３に設けた一定厚さの隔壁３ａにより一定の
間隔に保持されている。また、隔壁３ａに形成した抜孔
３ｂには接着剤Ｓｏが埋め込まれ、この接着剤Ｓｏの接
着作用により、磁気センサ素子４の底面部が隔壁３ａに
密着固定され、これにより、バイアス磁石２と磁気セン
サ素子４とは、隔壁３ａの厚ざｌの間隔をもって平行配
置の状態となっている。

前記磁気センサ索子４は、第２図に示すように、例えば
ガラス製の基板８の表面に磁気抵抗効果の作用を発揮す
る磁気センサ層９をコ次状に形成し、この磁気センサ層
９の端部に電極部６を形成した構成となっている。

次に、上記構成の磁気センサ１の製造方法を第３図乃至
第６図をも参照して説明する。

先ず、ホルダー３の製造工程を説明する。

第３図に示すように、円筒状で底部１１ａを有する第１
の型１１を用意する。この第１の型１１の底部１１ａに
は、リード端子５が挿通可能な挿通孔１２が形成されて
いる。

更に、第１の型１１の開口部に嵌合する第２の型１３を
用意する。この第２の型１３は、円形状の嵌合部１４と
、この嵌合部１４から突出させた装着孔３Ｃ形成用の円
形状突部１５と、この突部１５から更に突出させた２個
の円形の突起（突出長１）１６と、前記嵌合部１４に設
けたリード端子５の端部５ａが埋没可能な凹部１７とを
具備している。

そして、第１の型１１内にバイアス磁石３を底部１１ａ
と所定の間隔で、且つ、平行配置に支持すると共に、リ
ード端子５を挿通孔１２に挿通した状態で、第２の型１
３を第１の型１１の開口部内に嵌合する。このとき、リ
ード端子５の端部５ａを凹部１７に埋没させる。

この状態で、第１．第２の型１１．１３及びバイアス磁
石２．リード端子５により画される空間内に合成樹脂製
の成形材を注入する。この状態を第４図に示す。

この後、成形材の固化をまって、第１．第２の型１１．
１３を扱くことにより、第５図に示すバイアス磁石２を
内蔵し、且つ、突起１６に相当する位置の抜孔３ｂが形
成された一定厚ざの隔壁３ａと、突部１５に相当する位
置の装着孔３Ｇとが形成された第５図に示すホルダー３
を得ることができる。このホルダー３にはリード端子５
が貫通状態で配置されることになる。

このホルダー３に対し、先ず、抜孔３ｂに接着剤Ｓｏを
適量埋め込むと共に、装着孔３ｃに磁気センサ素子４を
装着し、この磁気センサ素子４の底面部を接着剤ＳＯの
接着作用により隔壁３ａに密着固定する。

そして、磁気センサ素子の電極部６と、リード端子５の
端部５ａとの間にワイヤボンディングの手法により接続
リード線７を接続固定することにより第１図に示す構成
の磁気センサ１を）ｑることができる。

上述した磁気センサ１によれば、バイアス磁石２と磁気
センサ素子８とが隔壁３ａの厚ざｌを隔てて完全に平行
配置となるので、バイアス磁石２からの磁界が一様に磁
気センサ層９に印加されることになり、この結果、磁気
センサ素子８による回転体の検出特性を安定化させるこ
とができる。

また、上述した本実施例の製造方法によれば、第１．第
２の１１．１３の寸法を予め適切に設定しておくことに
より、簡略な工程で上記特性を有する磁気センサ１を容
易に得ることができる。

本発明は上述した実施例に限定されるものではなく、そ
の要旨の範囲内で種々の変形が可能である。

本発明の応用例としては、バイアス磁石を内蔵しないで
、このバイアス磁石挿入用の挿入孔を隔壁を挟んで装着
孔と平行配置に形成しておき、装着孔に磁気センサ素子
を装着し、接着固定した後で、前記挿入孔にバイアス磁
石を挿入し、両者を隔壁を挟んで平行配置にする例を挙
げることができる。

このような構成の磁気センサによっても、上述した実施
例と同様な機能を発揮させることができる。

［発明の効果］ 以上詳述したように本発明によれば、下記の効果を奏す
る。

請求項１記載の発明によれば、バイアス磁石と磁気セン
サ素子とが一定間隔をもって平行配置され、安定した検
出特性を発揮する磁気センサを提供することができる。

また、請求項２記載の発明によれば、上記特性を有する
磁気センサを容易に製造することができる製造方法を提
供することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の磁気センサの実施例を示す断面図、第
２図は同磁気センサの磁気センサ素子を示す平面図、第
３図乃至第６図はそれぞれ第１図に示す磁気センサの製
造工程を示す断面図、第７図は従来の磁気センサの断面
図、第８図は同上のプラスチックホルダーを示す斜視図
、第９図は第７図に示す磁気センサの拡大断面図である
。 １・・・磁気センサ、　２・・・バイアス磁石、３・・
・ホルダー　　　３ａ・・・隔壁、　３ｂ・・・抜孔、
３Ｇ・・・装着孔、　　１１・・・第１の型、１３・・
・第２の型、　Ｓｏ・・・接着剤。 第 図 第 図 第 図 第 図

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）磁気センサ素子用の装着孔を有し、この装着孔底
   部を画する一定厚さの隔壁に接触する状態でバイアス磁
   石を内蔵したホルダーと、前記装着孔に装着され前記隔
   壁に形成した抜孔に埋め込んだ接着剤により前記隔壁面
   に密着固定した磁気センサ素子とを有することを特徴と
   する磁気センサ。
2. （２）有底筒状の第１の型内にバイアス磁石をこの第１
   の型の底面と平行配置に支持すると共に、第１の型の開
   口部分から磁気センサ素子の装着孔形成用の突部及び前
   記磁石の平坦面に当接する抜孔形成用の突起を有する第
   ２の型を嵌め込み前記第１、第２の型及びバイアス磁石
   が画する空間内に合成樹脂製の型材を注入してホルダー
   を形成する工程と、この工程により形成されたホルダー
   の隔壁における抜孔に接着剤を埋め込むと共にホルダー
   に形成された装着孔に磁気センサ素子を装着し、前記接
   着剤により磁気センサ素子の底面を隔壁に密着固定する
   工程とを有することを特徴とする磁気センサの製造方法
   。