JPH02287105A - アブソリュート測長器 - Google Patents
アブソリュート測長器Info
- Publication number
- JPH02287105A JPH02287105A JP1108507A JP10850789A JPH02287105A JP H02287105 A JPH02287105 A JP H02287105A JP 1108507 A JP1108507 A JP 1108507A JP 10850789 A JP10850789 A JP 10850789A JP H02287105 A JPH02287105 A JP H02287105A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light source
- laser light
- length measuring
- measurement
- absolute length
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
本発明は、レーザ光の干渉を利用して、波長を単位とし
た高精度の測長を行う事が出来ると共に、アブソリュー
トな測長出力を得る事の出来る測長器に関するものであ
る。
た高精度の測長を行う事が出来ると共に、アブソリュー
トな測長出力を得る事の出来る測長器に関するものであ
る。
〈従来の技術〉
第３図は従来のこの種のアブフリュー１−測長器の一例
を示す構成図であり、マイケルソンの干渉光学系を利用
したものである。
を示す構成図であり、マイケルソンの干渉光学系を利用
したものである。
第３図において、１は波長の異なる複数のコヒーレント
な光（λ１〜λ４）を選択的に発生するレーザ光源、２
はハーフミラ−１３は光の位相遅れ量をヘテロダイン検
出する為に基準側の光を変調する音響光学変調器（以下
、単にＡＯ変調器という）、４はＡＯ変調器を一定周波
数ｆｂで駆動する変調信号源、５．６はキューブコーナ
であり、キューブコーナ５は測長動作に応じて移動する
測長側のキューブコーナ、キューブコーナ６は一定の距
離に固定された基準側のキューブコーナである。７はフ
ォトディテクタ、８はフォトディテクタ７の出力に含ま
れる位相遅れ量を検出する位相差計である。
な光（λ１〜λ４）を選択的に発生するレーザ光源、２
はハーフミラ−１３は光の位相遅れ量をヘテロダイン検
出する為に基準側の光を変調する音響光学変調器（以下
、単にＡＯ変調器という）、４はＡＯ変調器を一定周波
数ｆｂで駆動する変調信号源、５．６はキューブコーナ
であり、キューブコーナ５は測長動作に応じて移動する
測長側のキューブコーナ、キューブコーナ６は一定の距
離に固定された基準側のキューブコーナである。７はフ
ォトディテクタ、８はフォトディテクタ７の出力に含ま
れる位相遅れ量を検出する位相差計である。
レーザ光源１は例えば一定波長の光源１１とその波長を
任意の量だけシフトさせる波長シフタ１２により構成さ
れ、任意の波長の光を順次発生する。演算回路９は測定
に使用された光の波長とその時の位相遅れ量との関係か
らキューブコーナ５までの距離を求めるものである。
任意の量だけシフトさせる波長シフタ１２により構成さ
れ、任意の波長の光を順次発生する。演算回路９は測定
に使用された光の波長とその時の位相遅れ量との関係か
らキューブコーナ５までの距離を求めるものである。
この様に構成された測長器において、光の角周波数をω
、ＡＯ変調器３における変調角周波数をωｂ （＝２π
ｆｂ）とし、レーザ光源１から出射される光の振幅ｖＯ
を ＶＯ＝ｓｉｎωｔ ・・・■とすると
、ＡＯ変調器３により変調された光の振幅Ｖ１は Ｖｌ ＝Ｓｉｎ （ω＋ωｂ ） ｔ −■キュ
ーブコーナ５を介して戻って来た光の振幅Ｖ２は Ｖ２ ＝ｓｉｎ （ωｔ＋φ）・・・■となる。な
お、−φは基準側及び測長側の各光路における光路長の
差に対応して発生する位相遅れ量である。
、ＡＯ変調器３における変調角周波数をωｂ （＝２π
ｆｂ）とし、レーザ光源１から出射される光の振幅ｖＯ
を ＶＯ＝ｓｉｎωｔ ・・・■とすると
、ＡＯ変調器３により変調された光の振幅Ｖ１は Ｖｌ ＝Ｓｉｎ （ω＋ωｂ ） ｔ −■キュ
ーブコーナ５を介して戻って来た光の振幅Ｖ２は Ｖ２ ＝ｓｉｎ （ωｔ＋φ）・・・■となる。な
お、−φは基準側及び測長側の各光路における光路長の
差に対応して発生する位相遅れ量である。
フォトディテクタ７上では、上記の■、■式に示される
様な２つの光が重畳されるので、入射する光の振幅は Ｖｌ ＋Ｖ２ ＝ｓｉｎ （ω＋ωｂ） を十Ｓｉｎ （ωｔ＋φ
）＝２Ｓｉｎ（ωｔ トωｂｔ／２＋φ）・ＣＯＳ
（（ωｂｔ−φ）／２） ・・・■の様にＶｌ 、Ｖ
２の和となる。ここで、フォトデイチクタフの出力は入
射する光の振幅の２乗に比例するので、理論的には （Ｖｌ ＋Ｖ２ ） ２ 一４ｓｉｎ ２１． （ω十ωｂ／２） ｔ＋φ１・ｃ
ｏｓ２（（ωｂｔ−φ）／２） ・・・■となるが、フ
ォトディテクタ７は光の周波数には応答出来ず、平均値
を示す様になるので、その出力Ｖｐは ＶＤ ＝２＋２ｃｏｓ （ωｂｔ−φ） ・・・■
となる。
様な２つの光が重畳されるので、入射する光の振幅は Ｖｌ ＋Ｖ２ ＝ｓｉｎ （ω＋ωｂ） を十Ｓｉｎ （ωｔ＋φ
）＝２Ｓｉｎ（ωｔ トωｂｔ／２＋φ）・ＣＯＳ
（（ωｂｔ−φ）／２） ・・・■の様にＶｌ 、Ｖ
２の和となる。ここで、フォトデイチクタフの出力は入
射する光の振幅の２乗に比例するので、理論的には （Ｖｌ ＋Ｖ２ ） ２ 一４ｓｉｎ ２１． （ω十ωｂ／２） ｔ＋φ１・ｃ
ｏｓ２（（ωｂｔ−φ）／２） ・・・■となるが、フ
ォトディテクタ７は光の周波数には応答出来ず、平均値
を示す様になるので、その出力Ｖｐは ＶＤ ＝２＋２ｃｏｓ （ωｂｔ−φ） ・・・■
となる。
従って、ＡＯ変調器３における変調角周波数ωｂがわか
っていれば、フォトディテクタ７の出力Ｖｐの値から位
相遅れ量を算出する事が出来る。
っていれば、フォトディテクタ７の出力Ｖｐの値から位
相遅れ量を算出する事が出来る。
同様にこの位相遅れ量を異った波長に対応して順次測定
し、これらの測定結果を連立方程式として解く事により
測定対象までの距離を求める事が出来る。
し、これらの測定結果を連立方程式として解く事により
測定対象までの距離を求める事が出来る。
又、第４図は大きな波長差を得る為に発生波長の異なる
レーザ光源を複数個使用して、これらのレーザ光源の出
力光を選択的に出射する様にしな構成のものである。
レーザ光源を複数個使用して、これらのレーザ光源の出
力光を選択的に出射する様にしな構成のものである。
この様な構成によれば、２つのレーザ光源１０ａ、１０
ｂから出射した波長の異る光をキューブコーナ５．６を
互いに逆向きに通過する様にして一方の信号の位相差信
号を基準１！１（例えばフォトディテクタ７ａ）、他方
の位相差信号を測長側（フォトディテクタ７ｂ）で受光
し、それらの位相差信号の位相差から距離を求める様に
したものである。
ｂから出射した波長の異る光をキューブコーナ５．６を
互いに逆向きに通過する様にして一方の信号の位相差信
号を基準１！１（例えばフォトディテクタ７ａ）、他方
の位相差信号を測長側（フォトディテクタ７ｂ）で受光
し、それらの位相差信号の位相差から距離を求める様に
したものである。
〈発明が解決しようとする課題〉
しかしながら、上記従来技術に示すアブソリュート測長
器の例に示す様に、アブソリュートな測長を行う為には
波長の異る光が複数必要であり、一般的には大きな波長
差を得る為には、第４図に示す様に発生波長の異なるレ
ーザ光源を複数個使用して、これらのレーザ光源の出力
光を選択的に出射する様にしており、又、第３図に示す
様に、小さな波長差は波長を任意の量だけシフトさせる
波長シフタにより得ている。従って、多波長を発生する
レーザ光源の構成は複雑なものであるという課題があっ
た。
器の例に示す様に、アブソリュートな測長を行う為には
波長の異る光が複数必要であり、一般的には大きな波長
差を得る為には、第４図に示す様に発生波長の異なるレ
ーザ光源を複数個使用して、これらのレーザ光源の出力
光を選択的に出射する様にしており、又、第３図に示す
様に、小さな波長差は波長を任意の量だけシフトさせる
波長シフタにより得ている。従って、多波長を発生する
レーザ光源の構成は複雑なものであるという課題があっ
た。
本発明は上記従来技術の課題を踏まえて成されたもので
あり、レーザ光源に近接外部鏡を組合せた複合共振器型
レーザ光源を使用した構成としたものであり、簡単な構
成でアブソリュートな測長に必要な複数の波長を発生さ
せる事の出来るレザ光源を備えたアブソリュート測長器
を提供する事を目的としたものである。
あり、レーザ光源に近接外部鏡を組合せた複合共振器型
レーザ光源を使用した構成としたものであり、簡単な構
成でアブソリュートな測長に必要な複数の波長を発生さ
せる事の出来るレザ光源を備えたアブソリュート測長器
を提供する事を目的としたものである。
く課題を解決するための手段〉
上記課題を解決する為の本発明の構成は、少なくとも２
つ以上の波長の異なるレーザ光を切り換えて、測定対象
までの距離に応じた光の位相遅れ量を順次測定すると共
に、これらの波長と位相遅れ址との関係から前記Ｊ１１
定対象までの距離を求める様にしたマイケルソンの干渉
光学系を用いたアブソリュート測長器において、測長用
光源とじて近接外部鏡を用いた複合共振器型レーザ光源
を使用した事を特徴とするものである。
つ以上の波長の異なるレーザ光を切り換えて、測定対象
までの距離に応じた光の位相遅れ量を順次測定すると共
に、これらの波長と位相遅れ址との関係から前記Ｊ１１
定対象までの距離を求める様にしたマイケルソンの干渉
光学系を用いたアブソリュート測長器において、測長用
光源とじて近接外部鏡を用いた複合共振器型レーザ光源
を使用した事を特徴とするものである。
く作用〉
この様に、近接外部鏡を用いた複合共振器型レーザ光源
を測長用光源として使用する事により、アブソリュート
な測長に必要な複数の波長を発生させるレーザ光源の構
成を簡単なものとする事が出来る。
を測長用光源として使用する事により、アブソリュート
な測長に必要な複数の波長を発生させるレーザ光源の構
成を簡単なものとする事が出来る。
〈実施例〉
以下、本発明を図面に基づいて説明する。
第１図は本発明に係わるアブソリュート測長器の一実施
例を示す構成図である。なお、第１図において第３図と
同一要素には同一符号をイ１して重複する説明は省略す
る。
例を示す構成図である。なお、第１図において第３図と
同一要素には同一符号をイ１して重複する説明は省略す
る。
第１図において、２０は複合共振器型レーザ光源であり
、２１は両面取り出し型のレーザ光源であり、片端面２
１ａに反射防止膜がコーティングされている。２２は近
接外部鏡であり、近接外部鏡２２の面２２ａとレーザ光
源２１の片端面２１ａとは所定の隙間ｄを保うて平行配
置さねており、レーザ光源２１は外部の反射鏡２２より
なる複合共振器ｊ７Ｆ、 ′？ｉとなっている。２３は
近接外部鏡２２に取り付けたｐ ｚ ’ｒ’アクチュエ
ータ（以下、単にＰ Ｚ ’１”という）であり、高電
圧ドライバ２４により電圧を印加する事によって図に示
す矢印方向に可変出来るものである。
、２１は両面取り出し型のレーザ光源であり、片端面２
１ａに反射防止膜がコーティングされている。２２は近
接外部鏡であり、近接外部鏡２２の面２２ａとレーザ光
源２１の片端面２１ａとは所定の隙間ｄを保うて平行配
置さねており、レーザ光源２１は外部の反射鏡２２より
なる複合共振器ｊ７Ｆ、 ′？ｉとなっている。２３は
近接外部鏡２２に取り付けたｐ ｚ ’ｒ’アクチュエ
ータ（以下、単にＰ Ｚ ’１”という）であり、高電
圧ドライバ２４により電圧を印加する事によって図に示
す矢印方向に可変出来るものである。
上記構成において、レーザ光源２１から近接外部鏡２２
に出射されなレーザ光は近接外部鏡２２の面２２ａとレ
ーザ光源２１の片端面２１ａとの隙間ｄ内で共振し、隙
間ｄの間隔に依存した共振モードを有する波長（又は周
波数）の出力光Ｐｏｕ１となってレーザ光源２１から出
力される。一方、高電圧ドライバ２４からＰ Ｚ Ｔ
２３に電圧を印加すると、ＰＺＴ２３は図に示す矢印の
方向に変位し、Ｐ Ｚ ｉ’ ２３に取り付けた近接外
部鏡２２が変位する事になり、外部共振器長（隙間ｄ）
が変位する。その為、レーザ光源２１と近接外部鏡２２
の隙間ｄに依存した共振モードの波長が変化する事にな
る。つまり、複合共振器型レーザ光源はＰＺＴ２３に取
り付けた近接外部鏡２２を変位させる事により、レーザ
光の波長（又は周波数）を制御しており、その変位はＰ
Ｚ’Ｔ’２３に印加する高電圧ドライバ２４からの電圧
によって行うものである。
に出射されなレーザ光は近接外部鏡２２の面２２ａとレ
ーザ光源２１の片端面２１ａとの隙間ｄ内で共振し、隙
間ｄの間隔に依存した共振モードを有する波長（又は周
波数）の出力光Ｐｏｕ１となってレーザ光源２１から出
力される。一方、高電圧ドライバ２４からＰ Ｚ Ｔ
２３に電圧を印加すると、ＰＺＴ２３は図に示す矢印の
方向に変位し、Ｐ Ｚ ｉ’ ２３に取り付けた近接外
部鏡２２が変位する事になり、外部共振器長（隙間ｄ）
が変位する。その為、レーザ光源２１と近接外部鏡２２
の隙間ｄに依存した共振モードの波長が変化する事にな
る。つまり、複合共振器型レーザ光源はＰＺＴ２３に取
り付けた近接外部鏡２２を変位させる事により、レーザ
光の波長（又は周波数）を制御しており、その変位はＰ
Ｚ’Ｔ’２３に印加する高電圧ドライバ２４からの電圧
によって行うものである。
この様な構成において、複合共振器型レーザ光源２０か
ら出射されたレーザ光ｐｏｕｔは従来例で示したアブフ
リュー１−測長器と同様の動作を行い測定対象（キュー
ブコーナ５）までの距離を求めるものである。
ら出射されたレーザ光ｐｏｕｔは従来例で示したアブフ
リュー１−測長器と同様の動作を行い測定対象（キュー
ブコーナ５）までの距離を求めるものである。
ここで、第２図は複合共振器型レーザ光源２０の発振波
長を示す図である。レーザ光源２１と外部反射鏡２２の
隙間ｄを高電圧ドライバ２４により電圧を印加されたＰ
ＺＴ２３で可変させる事により、第２図に示す様にその
発振波長はステップ状に変化する。又、変化するステッ
プ数（最大変化量Δｆ１）と１ステツプの変化量Δｆ２
は隙間ｄの絶対値とレーザ光源２１の片端面２１ａにコ
ーティングした反射防止膜の反射率により変化する。従
って、隙間ｄの値を適当な値に設定する事により、数’
Ｉ’ Ｈｚオーダー（例えば、図中Ａ点とＢ点の波長差
）と数１０ＧＨｚオーダー（例えば、図中Ｃ点とＤ点の
波長差）の周波数差を同時に得る事が出来る事になる。
長を示す図である。レーザ光源２１と外部反射鏡２２の
隙間ｄを高電圧ドライバ２４により電圧を印加されたＰ
ＺＴ２３で可変させる事により、第２図に示す様にその
発振波長はステップ状に変化する。又、変化するステッ
プ数（最大変化量Δｆ１）と１ステツプの変化量Δｆ２
は隙間ｄの絶対値とレーザ光源２１の片端面２１ａにコ
ーティングした反射防止膜の反射率により変化する。従
って、隙間ｄの値を適当な値に設定する事により、数’
Ｉ’ Ｈｚオーダー（例えば、図中Ａ点とＢ点の波長差
）と数１０ＧＨｚオーダー（例えば、図中Ｃ点とＤ点の
波長差）の周波数差を同時に得る事が出来る事になる。
又、レーザ光源２１の注入を流を可変させる事により、
数１００ＭＨｚの周波数を得る事が出来るので、アブソ
リュートな測長に必要な複数の周波数差を１つのレーザ
光源で全て得る事が出来るものである。
数１００ＭＨｚの周波数を得る事が出来るので、アブソ
リュートな測長に必要な複数の周波数差を１つのレーザ
光源で全て得る事が出来るものである。
〈発明の効果〉
以上、実施例と共に具体的に説明した様に、本発明によ
れば、少なくとも２つ以上の波長の異なるレーザ光を切
り換えて、測定対象までの距離に応じた光の位相遅れ量
を順次測定すると共に、これらの波長と位相遅れ量との
関係から前記測定対象までの距離を求める様にしたマイ
ケルソンの干渉光学系を用いたアブソリュート測長器に
おいて、測長用光源として近接外部鏡を用いた複合共振
器型レーザ光源を使用した構成とする事により、簡単な
構成で（１つのレーザ光源）でアブソリュートな測長に
必要な複数の波長を発生させる事の出来るレーザ光源を
備えたアブソリュート測長器を実現する事が出来る。
れば、少なくとも２つ以上の波長の異なるレーザ光を切
り換えて、測定対象までの距離に応じた光の位相遅れ量
を順次測定すると共に、これらの波長と位相遅れ量との
関係から前記測定対象までの距離を求める様にしたマイ
ケルソンの干渉光学系を用いたアブソリュート測長器に
おいて、測長用光源として近接外部鏡を用いた複合共振
器型レーザ光源を使用した構成とする事により、簡単な
構成で（１つのレーザ光源）でアブソリュートな測長に
必要な複数の波長を発生させる事の出来るレーザ光源を
備えたアブソリュート測長器を実現する事が出来る。
第１図は本発明に係わるアブソリュート測長器の一実施
例を示す構成図、第２図は第１図の装置に用いられる複
合共振器型レーザ光源の発振波長を示す図、第３図及び
第４図は従来例である。 ２・・・ハーフミラ−１３・・・音警光学変調器、４・
・・変調信号源、５．６・・・キューブコーナ、７・・
・フ第１・ディテクタ、８・・・位相差計、９・・・演
算回路、２０・・・複合共振器型レーザ光源、２１・・
・レーザ光源、２２・・・近接外部鏡、２３・・・ＰＺ
Ｔアクチュエータ、２４・・・高電圧ドライバ、２１ａ
・・・レーザ光源２１の片端面、２２ａ・・・近接外部
鏡面。 Ｌ
例を示す構成図、第２図は第１図の装置に用いられる複
合共振器型レーザ光源の発振波長を示す図、第３図及び
第４図は従来例である。 ２・・・ハーフミラ−１３・・・音警光学変調器、４・
・・変調信号源、５．６・・・キューブコーナ、７・・
・フ第１・ディテクタ、８・・・位相差計、９・・・演
算回路、２０・・・複合共振器型レーザ光源、２１・・
・レーザ光源、２２・・・近接外部鏡、２３・・・ＰＺ
Ｔアクチュエータ、２４・・・高電圧ドライバ、２１ａ
・・・レーザ光源２１の片端面、２２ａ・・・近接外部
鏡面。 Ｌ
Claims (1)
- 少なくとも２つ以上の波長の異なるレーザ光を切り換え
て、測定対象までの距離に応じた光の位相遅れ量を順次
測定すると共に、これらの波長と位相遅れ量との関係か
ら前記測定対象までの距離を求める様にしたマイケルソ
ンの干渉光学系を用いたアブソリュート測長器において
、測長用光源として近接外部鏡を用いた複合共振器型レ
ーザ光源を使用した事を特徴とするアブソリュート測長
器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1108507A JPH07119568B2 (ja) | 1989-04-27 | 1989-04-27 | アブソリュート測長器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1108507A JPH07119568B2 (ja) | 1989-04-27 | 1989-04-27 | アブソリュート測長器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02287105A true JPH02287105A (ja) | 1990-11-27 |
| JPH07119568B2 JPH07119568B2 (ja) | 1995-12-20 |
Family
ID=14486535
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1108507A Expired - Lifetime JPH07119568B2 (ja) | 1989-04-27 | 1989-04-27 | アブソリュート測長器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07119568B2 (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS52131752A (en) * | 1976-04-28 | 1977-11-04 | Agency Of Ind Science & Technol | Precise length measuring method utilizing oscillation area of two freq uencies of laser beams |
| JPS62135708A (ja) * | 1985-12-10 | 1987-06-18 | Yokogawa Electric Corp | ３次元形状測定装置 |
-
1989
- 1989-04-27 JP JP1108507A patent/JPH07119568B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS52131752A (en) * | 1976-04-28 | 1977-11-04 | Agency Of Ind Science & Technol | Precise length measuring method utilizing oscillation area of two freq uencies of laser beams |
| JPS62135708A (ja) * | 1985-12-10 | 1987-06-18 | Yokogawa Electric Corp | ３次元形状測定装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07119568B2 (ja) | 1995-12-20 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6891149B1 (en) | Optical phase detector | |
| EP0401799B1 (en) | Length measuring apparatus | |
| US4969742A (en) | Integrated optic wavemeter | |
| US4834538A (en) | Fibre optic gyroscope with nulling feedback control loop | |
| EP0193742B1 (en) | Wavelength scanning interferometry and interferometer employing laser diode | |
| JP5421013B2 (ja) | 位置決め装置及び位置決め方法 | |
| US4789241A (en) | Optical fiber sensing systems having acoustical optical deflection and; modulation devices | |
| JP5511162B2 (ja) | 多波長干渉変位測定方法及び装置 | |
| US6897961B2 (en) | Heterodyne lateral grating interferometric encoder | |
| US6720548B2 (en) | Optical sampling waveform measuring apparatus aiming at achieving wider band | |
| JPH02287105A (ja) | アブソリュート測長器 | |
| JP2726881B2 (ja) | 後方散乱光測定装置 | |
| JP4607312B2 (ja) | 光周波数測定システム | |
| US6064482A (en) | Interferometric measuring device for form measurement on rough surfaces | |
| JP2993836B2 (ja) | コヒーレンス度を利用する干渉計 | |
| JPS62135703A (ja) | 測長器 | |
| RU2124185C1 (ru) | Оптический гироскоп с пассивным кольцевым резонатором | |
| US20240183956A1 (en) | Techniques for simulating electro-optical behavior in a circuit | |
| JPH0323844B2 (ja) | ||
| JPH05100200A (ja) | 位相シフター | |
| JPH11274643A (ja) | 可変波長半導体レーザ光源 | |
| JPH02189412A (ja) | 光フアイバジヤイロ | |
| JPH0774762B2 (ja) | レーザ周波数計 | |
| JPS62229007A (ja) | ３次元形状測定装置 | |
| JPH01216202A (ja) | 測長器 |