JPH02287304A - 多層カラーフィルターおよびその製法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この出願の第１の発明は、透明な基板上に、感光性の耐
熱性樹脂（Ｖ１）と有機顔料（Ｐ、）とを、重量比（ｐ
、／ｖＩ）０．２〜２の割合で含有している第１の着色
感光性樹脂組成物の光硬化層からなる第１着色層が形成
されており、そして、前記の第１着色層上に直接に形成
されている第２着色層が、第１着色層と同種の感光性の
耐熱性樹脂（Ｖ２）と有機顔料（Ｐ２）とを、前記の第
１着色層の重量比（Ｐ１／Ｖ１）より小さく、しかも、
０．５未満の重量比（Ｐｚ／Ｖｚ）で含有されている第
２の着色感光性樹脂組成物の光硬化層で形成されている
、第１及び第２着色層からなる多層着色層の各画素を有
する多層カラーフィルターに係わるものであり、そして
、この出願の第２の発明は、その多層カラーフィルター
を製造する方法に係わる。

この発明の多層カラーフィルターは、表面性および画素
の鮮度が優れており、カラー撮像素子、カラーセンサー
、カラーデイスプレーなどの微細色分解用のカラーフィ
ルターとして使用することができる。

〔従来技術の説明〕

従来、カラーフィルターとしては、 （ａ）　　ガラス等の透明基板上にゼラチン等を用いて
染色型有機色フィルターを生成し、該フィルターを接着
剤により固体撮像素子上に貼り合わせる方法、 （ｂ）　　着色樹脂組成物を使用し最も簡便な印刷によ
る方法でカラーフィルターのような多色表面着色体を形
成する方法、 （Ｃ）　　特開昭６０−２３７４０３号公報に記載され
ているような「感光性を有する耐熱性フィルム形成材料
として知られる感光性ポリイミド」を用いて光照射およ
び現像する方法で画素部分を形成するカラーフィルター
を製造する方法、（ｄ）　　特開昭６２−２１２６０３
号公報に記載されているｒ透明な感光性ポリアミド」を
着色樹脂組成物用の樹脂として用いる方法 などの製造法によって製造されたカラーフィルターが提
案されている。

前述のゼラチンを用いた従来公知のカラーフィルターは
、耐熱性に乏しく、カラーフィルターの加工工程の高温
工程において褪色したりする問題があった。

また、前述の印刷による製法は、多色刷りの際の位置決
めが難しく２位置績度及び寸法精度に制限があり、高精
度で高細度のカラーフィルターを製造することができな
かった。

また、特開昭６０−２３７４０３号公報に記載された方
法では、感光性ポリイミド樹脂がポリイミド前駆体とし
て使用されるために、良好な被膜特性を有するポリイミ
ドに転換するためには、概略２００〜３５０℃程度、ま
たはそれ以上の高温処理が必要であり、そのために、熱
により有機顔料が劣化するなどの問題がある。

さらに、特開昭６２−２１２６０３号公報に記載された
方法は、感光性ポリアミド樹脂組成物の耐熱性はかなり
良好であるが、その感光性ポリアミド樹脂に遮光性の有
機顔料が多量に含有されると、その感光性樹脂組成物の
光硬化性における感度が充分ではなかった。

〔解決すべき問題点〕

すなわち、カラーフィルター用に使用される着色感光性
樹脂組成物は、着色層として形成された場合に、顔料が
多量に分散されていて鮮やかな色がでるものであること
、および、多量の顔料が含有されていても感光性（感度
）が低下しないものであることが理想的であるが、公知
のカラーフィルターの製造において提案されているｆ感
光性の耐熱性樹脂」は、一般に、有機顔料が充分に多量
に含有されると、その顔料自身の遮光性のために、その
感光性着色樹脂組成物からなる必要な厚さのｒ感光性塗
布膜」の感光性（感度）が著しく低下し、光硬化が不充
分である光硬化膜となってしまうので、充分な強度およ
び耐久性を有する鮮やかな色の着色層を形成することが
極めて困難であるという問題点、あるいは、高い濃度で
顔料が含有されている「感光性塗布膜ｊおよびｒその光
硬化膜」は、高含有率の顔料によって、それらの各層の
表面が極めて粗面化してしまうので、得られた着色層の
表面において光の散乱が生じ、鮮明な色の着色層を形成
することができないという問題点などがあったので、実
用的なカラーフィルターを形成することできなかったの
である。

この発明の目的は、表面性が優れた、しかも、鮮やかな
色を示す耐熱性着色層を画素として有するカラーフィル
ターを提供すること、並びに、そのカラーフィルターを
製造する方法を提供することである。

〔問題点を解決するための手段〕

この出願の第１の発明は、透明な基板上に形成されてい
る第１着色層が、感光性の耐熱性樹脂（Ｖ、）と有機顔
料（Ｐ１）とを、重量比（ＰＩ／ｖ１）０．２〜２の割
合で含有する第１の着色感光性樹脂組成物の光硬化層で
形成されており、そして、前記の第１着色層上に直接に
形成されている第２着色層が、第１着色層と同種の感光
性の耐熱性樹脂（Ｖ２）と有機顔料（Ｐ２）とを前記重
量比（ｐ＋／ｖ１）よりも小さく、しかも、０．５未満
の重量比（ｈ／Ｖｚ）で含有する第２の着色感光性樹脂
組成物の光硬化層で形成されていて、 さらに、前記第１および第２着色層が積層されている着
色層全体が前記有機顔料に係わる色の光の波長以外の光
の波長の吸収率５％以下である各画素を形成しているこ
とを特徴とする多層カラーフィルターに関する。

また、この出願の第２の発明は、透明な基板上に、前述
の第１の着色感光性樹脂組成物の溶液を塗布し乾燥して
、その第１塗膜に逆パターンマスクを通して光を照射し
画素部分に相当する個所を光硬化し、そして、未光照射
の未硬化部分を現像液で除去して現像し、第１着色層を
形成し、次いで、 前記第１着色層が形成された基板上に、前述の第２の着
色感光性樹脂組成物の溶液を塗布し乾燥し、その第２塗
膜に、第１着色層の光照射の際に使用したと全く同じ逆
パターンマスクを通して光を照射し、光硬化し、そして
、未光照射の未硬化部分を現像液で除去して現像して、
第１着色層上に第２着色層を直接に一体に形成すること
を特徴とする多層カラーフィルターの製法に関する。

以下、この発明の多層カラーフィルターおよびその製法
について、さらに詳しく説明する。

この発明の多層カラーフィルターにおいては、ガラス板
などの透明な基板上に直接に形成されている第１着色層
（下層）は、 「感光性の耐熱性樹脂（Ｌ）Ｊおよびｒ有機顔料（ＰＩ
）Ｊが、 （ａ）　　重量比（ｒ’１／Ｖ＋）　０．２〜２、好ま
しくは重量比（Ｐ＋／　Ｖｌ　）　０．５〜１．５　（
Ｄ割合テアッテ、そして、 ■）さらに好ましくは、第１の着色感光性樹脂組成物全
量に対して、約８０重量％以上、特に９０重量％以上の
割合で、 含有されている第１の着色感光性樹脂組成物の光硬化層
であり、その第１着色層が、好ましくは約０．０５〜２
μｍ、特に０．１〜１．５μｍ程度の厚さで形成されて
いる。

前記の第１着色層において、耐熱性樹脂（Ｖ１）および
有機顔料（Ｐ１）が、重量比（Ｐ１／ν、）０．２未満
の割合で含有されていると、最終的に形成される着色層
（画素）の色の鮮明さが著しく低下するので適当ではな
く、また、重量比（ｐ＋／ｖ、）　２より大きい割合で
含有されていると、感光性が低下するので未熟に光硬化
したものとなり、光硬化層の物性および耐久性などが低
下するので適当ではない。

前記の第１着色層は、Ｉ　Ｘ　１０−’〜５０ｍｍ”特
にＩ　Ｘ　１０−５〜Ｉ　Ｘ　１０−’ｍｍ’程度の面
禎の画素部分に対応して、好ましくは間隔１〜１００μ
ｍ、特に好ましくは間隔２〜５０μｍ程度で適当な配置
で配列されて透明な基板上に全面的に形成されているこ
とが好ましい。

この発明の多層カラーフィルターにおいては、前記の第
１着色層上に直接に形成されている第２着色層（上層）
は、前記の第１着色層と同種の感光性の耐熱性樹脂（Ｖ
２）と有機顔料（Ｐ２）とが、（ａ）　　前記重量比（
Ｐ１／Ｖ１）よりも小さく、しがも、０．５未満、好ま
しくは０．０１〜０．４程度の重量比（ｐｇ／ｖｚ）で
あって、そして、（ｂ）　　さらに好ましくは、第２の
着色感光性樹脂組成物全量に対して、約８０重量％以上
、特に９０重量％以上の割合で、 含有されている第２の着色感光性樹脂組成物の光硬化層
であり、その第２着色層が、好ましくは約０．１〜３μ
ｍ、特に０．５〜２μｍ程度の厚さで形成されている。

前記の第２着色層において、耐熱性樹脂（Ｖ、）と有機
顔料（ＰＩ）とが、重量比（Ｐ１／Ｖ１）以上の重量比
（Ｐｇ／Ｖｚ）であるか、０．５より大きい割合の重量
比（ｐｇ／ｖｔ）で含有されていると、最終的に形成さ
れる着色層の表面が粗面となり、着色層の表面で光の散
乱が生じ、色が鮮明とならないので適当ではない。

この発明の多層カラーフィルターにおいては、前記第１
及び第２着色層が積層されている着色層全体は、ｒ前記
有機顔料に係わる色の光の波長ｊ以外の「光の波長１の
吸収率５％以下、好ましくは４％以下であり、例えば、
第１および第２着色層からなる着色層が赤又は緑である
場合には、波長が３６０〜４４０ｎｍである光の吸収率
が５％以下、特に４％以下、さらに３．５％以下である
ことが好ましい。

そして、この発明では、その着色層は、好ましくはＩ　
Ｘ　１０−’　〜５０ｍｍ”　、特に好ましくは１×１
０−’〜Ｉ　Ｘ　１０−’ｌ１１１１＋”程度の面積の
各画素を形成しており、各画素が好ましくは間隔１〜１
００μｍ、特に好ましくは間隔２〜５０μｍ程度で、適
当な配置で配列されて、「透明な基板ｊ上に全面的に形
成されているのである。

前記の感光性の耐熱性樹脂としては、４００ｎｍ以上の
波長の可視光線域について、特定の吸収ピークを有して
おらず、透明性がよく、しかも、充分な耐熱性を有する
感光性の高分子重合体樹脂であればよく、例えば、感光
性の芳香族ポリイミド、感光性の芳香族ポリアミド、感
光性の耐熱性エポキシ樹脂を主成分とする耐熱性樹脂を
好適に挙げることができる。

前記の感光性の耐熱性樹脂としては、特に、芳香族ジカ
ルボン酸成分と感光性の不飽和基を有する芳香族ジアミ
ン化合物を主成分とする芳香族ジアミン成分とを、ジア
ルキルホルムアミド類、ジアルキルアセトアミド類、Ｎ
−アルキルピロリドン類などのアミド系有機溶媒、ジグ
ライムなどの有機溶媒中、−５〜１００℃の温度で０．
１〜５０時間重合して得られた「感光性の芳香族ポリア
ミド」が、感光性、耐熱性、有機溶媒への溶解性などに
おいて最も好適である。

前記の芳香族カルボン酸成分としては、テレフタル酸、
イソフタル酸、４，４゛−ジカルボキシビフェニル、４
，４”−ジカルボキシジフェニルメタン、４．４゛−ジ
カルボキシジフェニルエーテルなどの芳香族ジカルボン
酸、またはそれらの酸ハロゲン化物を挙げることができ
る。

感光性の不飽和基を有する芳香族ジアミン化合物として
は、感光性の不飽和炭化水素基〔エチレン基、アセチレ
ン基、（メタ）アクリロイル基など〕からなる感光基を
有する芳香族ジアミン化合物が最適であり、そのような
芳香族ジアミン化合物としては、例えば、ジアミノ安息
香酸−アルキル（メタ）アクリル酸エステル類、ジアミ
ノ安息香酸−グリシジル（メタ）アクリル酸エステル類
、ジアミノ安息香酸−ケイ皮酸エステル類、ジアミノベ
ンジル（メタ）アクリレート類、メタクリルアミド−ジ
アミノジフェニルエーテル類、ジアミノカルコン類など
を挙げることができる。

前記の感光性の芳香族ポリアミドは、芳香族ジアミン成
分として、感光性の不飽和基を有している芳香族ジアミ
ン化合物のほかに、感光性基を有していない芳香族ジア
ミン化合物〔例えば、ジアミノジフェニルエーテル類、
ジアミノジフェニルメタン類、ジアミノジフェニルプロ
パン類、ジアミノジフェニルスルホン類、ジ（アミノフ
ェノキシ）ベンゼン類など〕が併用されている芳香族ジ
アミン成分を使用して得られたものであってもよい。

前記の感光性の耐熱性樹脂として使用する感光性ポリア
ミドは、対数粘度（測定濃度：０．５ｇ／１００ｍ　ｌ
溶媒、溶媒：Ｎ−メチル−２−ピロリドン、測定温度：
３０°Ｃ）が、約０．１〜４、特に０．２〜３程度であ
ることが好ましい。

前記の有機顔料としては、光透過性、耐光性、耐熱性、
分散性、および、耐溶剤性などに優れたものが好ましく
、その例としては、アゾキレート系、縮合アゾ系、フタ
ロシアニン系、ベンゾイミダゾロン系、キナクドリン系
、インインドリノン系、ビランスロン系、ジブロムアン
ザンスロン系、インダンスロン系、アンスラピリミジン
系、フラバンスロン系、ペリレン系、ペリノン系、キノ
フタロン系、チオインジゴ系、ジオキサジン系、アント
ラキノン系などの有機顔料を挙げることができ、これら
の顔料から一種または二種以上を適宜選択して用いるこ
とができる。

上記の有機顔料は、光透過性、膜表面の均一性などの観
点から、その粒径が約１μｍ以下、特に０．０１〜０．
５μｍ程度であるものを用いることが好ましい。

この発明において、着色感光性樹脂組成物は、前述の感
光性の耐熱性樹脂と有機顔料と共に、光重合開始剤を適
当な量含有していることが好ましく、その光重合開始剤
としては、例えば、４．４’　−ジアジドカルコン、４
，４°−ジアジドベンザルアセトン、２．６−ジ（４゛
−ジアジドベンザル）シクロヘキサノン、４，４°−ジ
アジドスチルベンなどのビスアジド化合物、また、ミヒ
ラーズケトン、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル
、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピル
エーテル、２−ｔ−ブチルアントラキノン、１．２−ベ
ンゾ−９，１０−アントラキノン、ベンジル、アニシル
、４，４゛−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン、
アセトフェノン、ベンゾフェノン、１．５−アセナフテ
ン、チオキサントンまたはそれらの誘導体（例えばクロ
ルチオキサントン、メチルチオキサントン）、アントラ
ニル酸ジメチルアミノベンゾエートなどを挙げることが
できる。

前記の光重合開始剤の配合量は、前記の感光性の耐熱性
樹脂１００重量部に対して０．２〜３０重量部、特に０
．５〜２０重量部重量部側合となる量とすることが好ま
しい。

この発明の多層カラーフィルターの製法においては、ま
ず、前述の第１の着色感光性樹脂組成物の有機溶媒溶液
を、回転塗布法、ロールコート法、浸漬法、スプレー法
などの塗布法で塗布し、熱風乾燥器、ホットプレートな
どにより、好ましくは５０〜１５０℃、特に６０〜１２
０℃の温度で乾燥し、好ましくは厚さ０．１〜２μｍ程
度の着色感光性樹脂組成物の第１塗膜を形成し、次いで
、その第１塗膜に、ドツトパターン、ストライブパター
ンなどの所定の形状の逆パターンマスクを通して、高圧
水銀灯（約２００〜３００Ｗ）の光（約３５０〜５００
ｎｍ程度の波長）を照射し、画素部分に相当する個所〔
好ましくはｌＸｌ０−ｈ〜５×１０圓２、特に好ましく
はｌＸｌ０−’〜１×１０−　’　ＩＩｍ　”程度の面
積の画素部分であり、隣接する各画素部分が好ましくは
間隔１〜１００μｍ、特に好ましくは間隔２〜５０μｍ
程度で、適当な配置で多数配列されている個所〕を光硬
化し、最後に、未光照射の未硬化部分を現像液で除去し
て現像し、第１着色層を形成するのである。

二の発明の製法においては、前述のようにして前記第１
着色層が形成された基板上に、前述の第２の着色感光性
樹脂組成物の有機溶媒溶液を塗布して、好ましくは５０
〜１５０℃、特に６０〜１２０℃の温度で乾燥し、好ま
しくは厚さ０．２〜３μｍ、特に０．６〜２μｍ程度の
着色感光性樹脂組成物の第２！！！膜を形成し、次いで
、その第２塗膜に、第１着色層の光照射の際に使用した
と全く同じ逆パターンマスクを通して光（第１着色層と
同様の光）を照射し、光硬化し、最後に、未光照射の未
硬化部分を現像液で除去して現像して、第１着色層上に
第２着色層を直接に一体に形成するのである。

前記の着色感光性樹脂組成物の溶液に用いる各有機溶媒
、および、光照射後の各塗膜の未硬化部分を除去するた
めの現像液としては、例えば、Ｎ。

Ｎ−ジメチルホルムアミド、Ｎ、Ｎ−ジエチルホルムア
ミド、Ｎ、Ｎ−ジメチルアセトアミド、Ｎ、Ｎ−ジエチ
ルアセトアミド、ジメチルスルホキシド、ジエチルスル
ホキシド、Ｎ−メチル−２−ピロリドンなどのアミド系
溶媒、ジグライム、シクロヘキサノン等の有機溶媒、お
よび、それらの有機溶媒とメタノール、エタノールとの
混合系溶媒などを用いることができる。

前記の製法における現像は、約Ｏ〜１００°Ｃの温度の
現像液中に、光硬化した塗膜を浸漬することが好ましく
、また、この現像の際に、現像液および塗膜に超音波を
作用させてもよい。

前記の製法においては、基板上に形成された着色層を、
１．１．１−　トリクロルエタン、イソプロピルアルコ
ールなどによりリンスし、次いで、熱風乾燥器、ホット
プレートなどにより、約１５０〜２００°Ｃの温度で１
０〜１２０分間熱処理することが好ましい。

前記の製法においては、色の三原色に関する有機顔料に
ついて、前述のようにして、順次、各着色層を形成する
ことによって、多層カラーフィルターを製造することが
できる。

〔実施例〕

以下、この発明の多層カラーフィルターの製法に関する
実施例を挙げて、この発明をさらに詳しく説明する。

〔耐熱性樹脂の製造例■〕

三ツロフラスコへ、３，５−ジアミノ安息香酸エチルメ
タクリル酸エステル１ｔ９．９８ｇを入れ、これにＮ−
メチル−２−ピロリドン（ＮＭＰ）２４０ｍｌを加えて
溶解させ、この溶液を冷却した後、０°Ｃの温度の溶液
を攪拌しながらテレフタル酸ジクロライド９１．１６　
ｇを約１０°Ｃ以下に維持しながら少しづつ加えて、氷
水で冷却しながら前記化合物を２時間重合させた。

次いで、重合反応液を、ＮＭＰ５００ｍｆｆｉを加えて
希釈した後、この溶液をＮＭＰｌｆｆｉと水１０１との
混合液に加えて感光性の芳香族ポリアミドを析出させた
。

その析出物を濾過して回収し、乾燥して白色の感光性の
芳香族ポリアミド粉末１６７．８ｇを得た。

この芳香族ポリアミド粉末は対数粘度が０．８８であっ
た。

実施例１ ボ　アミド　　の ＮＭＰ８６．０ｇに赤色顔料としてアントラキノンレッ
ド５．１ｇとイソインドリノンイエロー２゜５５ｇとを
加え、混合攪拌した後、水槽中で５０Ｗの超音波を約１
時間作用させて上記顔料を分散させ、次いで、この溶液
を１μｍのフッ素樹脂製フィルター（テフロンフィルタ
ー）を用いて、加圧濾過し、顔料分散ＮＭＰ溶液を得た
。

次いで、前記顔料分散ＮＭＰ溶液に、熱重合防止剤とし
て、ハイドロキノンモノメチルエーテル０．２６ｇ及び
前述の製造例１で得られた芳香族ポリアミド粉末８，５
ｇを加えて、充分に攪拌し均一な粘稠液とした後、水槽
中で３０Ｗの超音波を約３０分間作用させた。

前述のようにして得られた粘稠液に、４．４゛−ジアジ
ドカルコン０．３４　ｇを加え、攪拌して、１μｍのフ
ッ素樹脂フィルターを用いて、加圧濾過し、第１の赤色
顔料分散芳香族ポリアミド溶液（溶液組成物Ａ）を調製
した。

一方、アントラキノンレッドの使用量を２．２６ｇとし
、そして、イソインドリノンイエローの使用量を１．１
３　ｇに代えた他は、溶液組成物Ａの調製と同様にして
、第２の赤色顔料分散芳香族ポリアミド溶液（？８液組
成物Ｂ）を調製した。

ハ　バ　−ンのり 前記の第１の赤色顔料分散芳香族ポリアミド溶液（溶液
組成物Ａ）を、ガラス基板上に、乾燥膜厚が０．８μｍ
になるように回転塗布し、塗膜を７０℃で３０分間乾燥
して、ガラス基板上に、感光性芳香族ポリアミド組成物
の第１塗膜を形成し、その第１塗膜を１０μｍの間隔の
ストライプ形状のマスクを通して超高圧水銀灯（５ｍＷ
／ｃｆｆ１）の光で１５秒間密着露光して、第１赤色層
の光硬化層を形成した。

次いで、パターン露光された感光性芳香族ポリアミドの
第１塗膜をジグライム溶液を用いて１分間現像し、イソ
プロピルアルコールでリンスした後、２００　”Ｃで３
０分間熱処理して、１０μｍ間隔のストライプの第１赤
色層のパターンが形成されたガラス基板を得た。

前述のようにして得られた第１赤色層のパターンが形成
されたガラス基板における波長４００ｎｍの光の透過率
は、約８％であった。

また、前記ガラス基板上の第１赤色層の表面の粗さは、
ＪＩＳ　　ＢＯ６０ｔによって決められている試験法に
おける最大高さ（Ｒｍａｘ）が０．０８μｍであった。

次いで、前述のようにして得られた第１赤色層のパター
ンが形成されたガラス基板上に、前記の第２の赤色顔料
分散芳香族ポリアミド溶液（溶液組成物Ｂ）を、乾燥膜
厚が１．０μｍになるように回転塗布し、塗膜を７０°
Ｃで３０分間乾燥して、ガラス基板の第１赤色層上に、
感光性芳香族ポリアミド組成物の第２塗膜を形成し１．
第２塗膜を、第１塗膜とまったく同じ１０μｍのストラ
イブ形状のマスクを通して超高圧水銀灯（５ｍＷ／ｃ１
ｊ）の光で１５秒間密着露光して、第１赤色層上に第２
赤色層を直接に一体に形成された第２赤色層の光硬化層
を形成し、第１赤色層と同様に現像、後処理を行って、
ガラス基板上に第１及び第２赤色層からなる赤色着色層
（Ｗ−さ：１．８μｍ）のパターンを形成した。

赤色１１１１ゴ１伏 前述のようにして得られた第１及び第２の赤色層からな
る赤色着色層が形成されたガラス基板は、前記の赤色着
色層が、鮮明な赤色のパターンを形成しており、波長４
００ｎ＊の光の透過率が約１．５％であり、さらに、第
２赤色層の表面が、約０．０５μｍの最大高さ（Ｒｍａ
ｘ　）を示した。

前述のようにして得られた赤色着色層のパターンを有す
るガラス基板を、２５０℃で１時間加熱したが、赤色層
の変色や褪色が認められなかった。

実施例２ 色　　　　　　ボテアミド　　の 赤色顔料として用いたアントラキノンレッドとイソイン
ドリノンイエローとの組み合わせの顔料の代わりに、緑
色顔料としてフタロシアニングリーン４．２５　ｇとイ
ソイントイノンイエロー２．５５ｇとの組み合わせの顔
料を用いたほかは、実施例１と同様にして、第１の緑色
顔料分散芳香族ポリアミド溶液（溶液組成物Ｃ）を調製
した。

また、フタロシアニングリーンの使用量を１．７ｇに変
え、イソイントイノンイエローの使用量を０、８５　ｇ
に変えたほかは、溶液組成物Ｃの調製法と同様にして、
第２の緑色顔料分散芳香族ポリアミド溶液（溶液組成物
Ｄ）を調製した。

緩亀ぺ久ニア０）旅双 前記の第１の緑色顔料分散芳香族ポリアミド溶液（溶液
組成物Ｃ）を用い、超高圧水銀灯での露光時間を２０秒
としたほかは、実施例１と同様にして、ガラス基板上に
、乾燥後の膜厚が０．８μｍである第１緑色層の光硬化
層を形成し、１０μｍ間隔のストライプ状の鮮明な第１
緑色層パターンが形成されたガラス基板を得た。

前述のようにして得られた第１緑色層のパターンが形成
されたガラス基板における波長４００ｎｍの光の透過率
は、約５％であり、また、前記ガラス基板上の第１赤色
層の表面の粗さは、ＪＩＳＢＯ６０１によって決められ
ている試験法における最大高さ（Ｒｍａｘ）が、０．０
８μｍであった。

次いで、前記の第２の緑色顔料分散芳香族ポリアミド溶
液（溶液組成物Ｄ）を使用した他は、実施例１と同様に
、第１緑色層のパターンが形成されたガラス基板上の第
１緑色層上に直接に一体に形成された第２緑色層の光硬
化層を形成し、第１緑色層と同様に現像、後処理を行っ
て、ガラス基板上に第１及び第２緑色層からなる緑色着
色層（厚さ：１．８μｍ）のパターンを形成した。

■亘ｌ負１■並状 前述のようにして得られた第１及び第２緑色層からなる
緑色着色層が形成されたガラス基板は、前記の緑色着色
層が、鮮明な緑色のパターンを形成しており、波長４０
０ｒｖの光の透過率が、約０゜３％であり、さらに第２
緑色層の表面が０．０３μｍの最大高さ（Ｒｍａに）を
示した。

前述のようにして得られた緑色着色層のパターンを有す
るガラス基板を、２５０°Ｃで１時間加熱したが、赤色
層の変色や褪色が認められなかった。

比較例１ 前述の溶液組成物Ｃ（実施例２の第１塗膜用）を、ガラ
ス基板上に、乾燥膜厚が１．２μｍになるように回転塗
布し、塗膜を７０℃で３０分間乾燥して、ガラス基板上
に、感光性芳香族ポリアミド組成物の塗膜を形成し、そ
の塗膜を１０μｍの間隔のストライブ形状のマスクを通
して超高圧水銀灯（５ｍＷ／ｃｉ１）の光で２０秒間密
着露光して、緑色着色層の光硬化層を形成し、実施例１
と同様に現像および後処理して、１０１！ｍの間隔のス
トライプ形状の緑色着色層のパターンが形成されたガラ
ス基板を得た。

前述のようにしてガラス基板上に形成された緑色着色層
は、光硬化が充分ではな（物性（強度）の劣るものであ
り、しかも、暗緑色であって鮮明な緑色パターンではな
（、また、前記の緑色着色層の表面は、０．１６の最大
高さ（Ｒ＋５ａｘ）を示し、光散乱により表面が白っぽ
くなっており、さらに、前記の未現像の塗膜は、４００
ｒｖの波長の光の透過率が０．８〜１．２％程度であっ
た。

比較例２ 前述の溶液組成物Ｂ（実施例１の第２塗膜用）を、ガラ
ス基板上に、乾燥膜厚が０．８μｍになるように回転塗
布し、第１塗膜を７０℃で３０分間乾燥して、ガラス基
板上に、感光性芳香族ポリアミド組成物の塗膜を形成し
、その第１塗膜を１０μｍの間隔のストライプ形状のマ
スクを通して超高圧水銀灯（５ｍＷ／ｃ１ａ）の光で１
５秒間密着露光して、第１の赤色着色層の光硬化層を形
成し、実施例１と同様に現像および後処理して、１０μ
ｍの間隔のストライブ形状の第１の赤色着色層のパター
ンが形成されたガラス基板を得た。

前述のようにしてガラス基板上に形成された第１の赤色
着色層は、４００ｎｍの波長の光の透過率が２５〜３０
％程度であった。

次いで、前述の溶液組成物Ａ（実施例１の第１塗膜用）
を、使用した他は、実施例１と同様に、第１赤色層のパ
ターンが形成されたガラス基板上の第１赤色層上に直接
に一体に形成された第２赤色層の光硬化層を形成し、第
１赤色層と同様に現像、後処理を行って、ガラス基板上
に第１及び第２赤色層からなる赤色着色層（厚さ８１．
８μｍ）のパターンを形成した。

前述のようにして製造したガラス基板上の赤色着色層の
表面は最大高さ（Ｒ■ａｘ　）が０．１０μｍであり、
光散乱により白っぽくなっていた。

（本発明の作用効果〕 この発明の多層カラーフィルターは、第１着色層と第２
着色層とからなる着色層（画素）のパターンが形成され
ており、表面性および画素の鮮度が極めて優れており、
カラー撮像素子、カラーセンサー、カラーデイスプレー
などの微細色分解用のカラーライルターとして好適に使
用することができる。

また、この発明の製法は、前述の優れた性能の多層カラ
ーフィルターを再現性よく容易に製造することができる
製造方法である。

特許出願人　　宇部興産株式会社

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）透明な基板上に形成されている第１着色層が、感
   光性の耐熱性樹脂（Ｖ＿１）と有機顔料（Ｐ＿１）とを
   重量比（Ｐ＿１／Ｖ＿１）０．２〜２の割合で含有する
   第１の着色感光性樹脂組成物の光硬化層で形成されてお
   り、そして、 前記の第１着色層上に直接に形成されている第２着色層
   が、第１着色層と同種の感光性の耐熱性樹脂（Ｖ＿２）
   と有機顔料（Ｐ＿２）とを、前記の重量比（Ｐ＿１／Ｖ
   ＿１）よりも小さく、しかも、０．５未満の重量比（Ｐ
   ＿２／Ｖ＿２）で含有する第２の着色感光性樹脂組成物
   の光硬化層で形成されていて、 さらに、前記第１および第２着色層が一体に積層されて
   いる着色層全体が前記有機顔料に係わる色の光の波長以
   外の光の波長の吸収率５％以下である各画素を形成して
   いることを特徴とする多層カラーフィルター。
2. （２）透明な基板上に、感光性の耐熱性樹脂（Ｖ＿１）
   と有機顔料（Ｐ＿１）とを重量比（Ｐ＿１／Ｖ＿１）０
   ．２〜２の割合で含有する第１の着色感光性樹脂組成物
   の溶液を塗布し乾燥し、その第１塗膜に逆パターンマス
   クを通して光を照射し画素部分に相当する個所を光硬化
   し、そして、未光照射の未硬化部分を現像液で除去して
   現像し、第１着色層を形成し、次いで、 前記第１着色層が形成された基板上に、第１着色層と同
   種の感光性の耐熱性樹脂（Ｖ＿２）と有機顔料（Ｐ＿２
   ）とを、前記重量比（Ｐ＿１／Ｖ＿１）よりも小さく、
   しかも、０．５未満の重量比（Ｐ＿２／Ｖ＿２）で含有
   する第２の着色感光性樹脂組成物の溶液を塗布し乾燥し
   、その第２塗膜に、第１着色層の光照射の際に使用した
   と全く同じ逆パターンマスクを通して光を照射し、光硬
   化し、そして、未光照射の未硬化部分を現像液で除去し
   て現像して、第１着色層上に第２着色層を直接に一体に
   形成することを特徴とする多層カラーフィルターの製法
   。