JPH0228776B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0228776B2 JPH0228776B2 JP60025769A JP2576985A JPH0228776B2 JP H0228776 B2 JPH0228776 B2 JP H0228776B2 JP 60025769 A JP60025769 A JP 60025769A JP 2576985 A JP2576985 A JP 2576985A JP H0228776 B2 JPH0228776 B2 JP H0228776B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- clean room
- duct
- suction hood
- local suction
- local
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
- F24F3/00—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems
- F24F3/12—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling
- F24F3/16—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling by purification, e.g. by filtering; by sterilisation; by ozonisation
- F24F3/167—Clean rooms, i.e. enclosed spaces in which a uniform flow of filtered air is distributed
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Ventilation (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
イ 産業上の利用分野
この発明は天井面に吹出口を備え、床面に吸込
口を備えたクリーンルームに係り、特にクリーン
ルーム内の局所的な清浄化を行う局所吸込フード
を備えたクリーンルームに関する。
口を備えたクリーンルームに係り、特にクリーン
ルーム内の局所的な清浄化を行う局所吸込フード
を備えたクリーンルームに関する。
ロ 従来の技術
工業用クリーンルームは、室内の塵埃を極力低
減させることにより、製品への塵埃の付着によつ
て引きおこされる製造歩留りや製品の信頼性を向
上させるため広く用いられている。
減させることにより、製品への塵埃の付着によつ
て引きおこされる製造歩留りや製品の信頼性を向
上させるため広く用いられている。
第４図は従来のクリーンルームの断面図を示
す。
す。
従来のクリーンルーム１においては、天井２の
上の送風機３より送られた空気は、高性能フイル
タ４を介して、清浄空気となつて吹き出されダウ
ンフローとして室内を清浄化したのち、格子板ま
たは多孔板などの通気板５より成る床面より吸気
室６に排出される。そのうち一部は排気ダクト７
より外へ排気されほとんどの空気は、壁の内部な
どに設けられた循環ダクト８、空調機９を通つて
天井裏部１０へ送られ、再び送風機３、高性能フ
イルタ４を通つてクリーンルーム１に清浄空気と
して供給される。
上の送風機３より送られた空気は、高性能フイル
タ４を介して、清浄空気となつて吹き出されダウ
ンフローとして室内を清浄化したのち、格子板ま
たは多孔板などの通気板５より成る床面より吸気
室６に排出される。そのうち一部は排気ダクト７
より外へ排気されほとんどの空気は、壁の内部な
どに設けられた循環ダクト８、空調機９を通つて
天井裏部１０へ送られ、再び送風機３、高性能フ
イルタ４を通つてクリーンルーム１に清浄空気と
して供給される。
このような構成において、室内の作業者から発
生した塵埃は、室内の気流によつて運ばれ、最終
的には通気板５に吸込まれる。しかし従来のダウ
ンフロー形式では、作業者が作業台１１近くで作
業すると、作業者に衝突した気流が作業台１１の
上で渦流となり、作業台１１に置かれた製品に塵
埃が付着してしまい、製品歩留りや製品の信頼性
を低下させる原因となる欠点があつた。
生した塵埃は、室内の気流によつて運ばれ、最終
的には通気板５に吸込まれる。しかし従来のダウ
ンフロー形式では、作業者が作業台１１近くで作
業すると、作業者に衝突した気流が作業台１１の
上で渦流となり、作業台１１に置かれた製品に塵
埃が付着してしまい、製品歩留りや製品の信頼性
を低下させる原因となる欠点があつた。
ハ 発明が解決しようとする問題点
この発明の目的は、前記従来技術の欠点を解消
し、作業から発生した塵埃が製品へ付着するのを
極力防止して局所的な清浄化を行うことができる
クリーンルームを提供するにある。
し、作業から発生した塵埃が製品へ付着するのを
極力防止して局所的な清浄化を行うことができる
クリーンルームを提供するにある。
ニ 問題点を解決するための手段
この発明は、作業領域の通気板の下方に局所吸
込フードを設け、吸込風速が局所的に大きくなる
ようにし、気流は、作業台から作業領域の床下方
向に流れるように構成したものである。
込フードを設け、吸込風速が局所的に大きくなる
ようにし、気流は、作業台から作業領域の床下方
向に流れるように構成したものである。
ホ 実施例
第１図はこの発明に係るクリーンルームの１実
施例の断面図、第２図および第３図は他の実施例
の断面図を示す。
施例の断面図、第２図および第３図は他の実施例
の断面図を示す。
従来のクリーンルームと異なる点は、作業領域
の通気板５の下面に接して局所吸込フード１２を
設けてダクト１３に接続し、さらにこの端部に排
風機１４を設けたことである。これにより作業域
の吸込風速は、他の床面での吸込風速より１ ５
〜２倍速くする。
の通気板５の下面に接して局所吸込フード１２を
設けてダクト１３に接続し、さらにこの端部に排
風機１４を設けたことである。これにより作業域
の吸込風速は、他の床面での吸込風速より１ ５
〜２倍速くする。
前記実施例は局所吸込フード１２を作業領域下
に固定して設けた場合につき説明したが、第２図
に示すように局所吸込フード１２と排風機１４と
をつなぐダクト１３をフレキシブルな構造として
もよい。これにより、作業域の任意の位置の床下
へ移動することができる。
に固定して設けた場合につき説明したが、第２図
に示すように局所吸込フード１２と排風機１４と
をつなぐダクト１３をフレキシブルな構造として
もよい。これにより、作業域の任意の位置の床下
へ移動することができる。
第３図に示すように床下空間６内にあらかじめ
作業領域となる位置にダクト１３を設置しておき
局所吸込フード１２取り付け用の接続口１５を複
数個設け、作業者のいる場所の床下へ移動できる
構造としても良い。
作業領域となる位置にダクト１３を設置しておき
局所吸込フード１２取り付け用の接続口１５を複
数個設け、作業者のいる場所の床下へ移動できる
構造としても良い。
この場合、接続口１５にダンパ１６を設け、任
意に風量を調節できるようにしておく。
意に風量を調節できるようにしておく。
このような構成においては、作業者に衝突した
気流は、そのまま真下に流れ込む。さらに、作業
台１１の上の気流は、作業者に向つて流れるので
作業者から発生した塵埃は、作業台１１の上に置
かれた製品に付着することなく、すみやかに床下
に排出され、製品への塵埃の付着を防止すること
ができる。
気流は、そのまま真下に流れ込む。さらに、作業
台１１の上の気流は、作業者に向つて流れるので
作業者から発生した塵埃は、作業台１１の上に置
かれた製品に付着することなく、すみやかに床下
に排出され、製品への塵埃の付着を防止すること
ができる。
ヘ 発明の効果
この発明は、通気板の下方に局所吸込フードを
付設してダクト、排風機に導いて局所的な流速を
上昇させているから、局所的なな清浄化を達成し
て作業者から発生した塵埃が製品に付着するのを
防ぐことができる。
付設してダクト、排風機に導いて局所的な流速を
上昇させているから、局所的なな清浄化を達成し
て作業者から発生した塵埃が製品に付着するのを
防ぐことができる。
第１図はこの発明に係るクリーンルームの１実
施例の断面図、第２図および第３図は他の実施例
の断面図、第４図は従来のクリーンルームの断面
図を示す。 １…クリーンルーム、２…天井、３…送風機、
４…高性能フイルタ、５…通気板、６…吸気室、
１１…作業台、１２…局所吸込フード、１３…ダ
クト、１４…排風機、１５…接続口、１６…ダン
パ。
施例の断面図、第２図および第３図は他の実施例
の断面図、第４図は従来のクリーンルームの断面
図を示す。 １…クリーンルーム、２…天井、３…送風機、
４…高性能フイルタ、５…通気板、６…吸気室、
１１…作業台、１２…局所吸込フード、１３…ダ
クト、１４…排風機、１５…接続口、１６…ダン
パ。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 循環式空気浄化装置を備え通気板によつて区
劃された吸気室を有するクリーンルームにおい
て、通気板の下方に接続する局所吸込フードと、
この局所吸込フードと接続するダクトと、このダ
クトに接続する排風機とより成ることを特徴とす
るクリーンルーム。 ２ 前記局所吸込フードと接続するダクトは長さ
を任意に調節できるフレキシブルダクトとしたこ
とを特徴とする特許請求の範囲第１項記載のクリ
ーンルーム。 ３ 前記局所吸込フードと接続するダクトに複数
個の接続口を設け、この接続口に空気流量調整ダ
ンパを設けたことを特徴とする特許請求の範囲第
１項記載のクリーンルーム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60025769A JPS61186747A (ja) | 1985-02-13 | 1985-02-13 | クリ−ンル−ム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60025769A JPS61186747A (ja) | 1985-02-13 | 1985-02-13 | クリ−ンル−ム |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61186747A JPS61186747A (ja) | 1986-08-20 |
| JPH0228776B2 true JPH0228776B2 (ja) | 1990-06-26 |
Family
ID=12175048
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60025769A Granted JPS61186747A (ja) | 1985-02-13 | 1985-02-13 | クリ−ンル−ム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61186747A (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6399434A (ja) * | 1986-10-15 | 1988-04-30 | Shin Nippon Kucho Kk | クリ−ンル−ムにおける天井構造 |
| JPH0820091B2 (ja) * | 1987-03-02 | 1996-03-04 | 三機工業株式会社 | 清浄室装置 |
| JP3850064B2 (ja) * | 1996-04-11 | 2006-11-29 | 株式会社ルネサステクノロジ | クリーンルーム内における機器の設置構造 |
-
1985
- 1985-02-13 JP JP60025769A patent/JPS61186747A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61186747A (ja) | 1986-08-20 |
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Legal Events
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|---|---|---|---|
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