JPH0228882A - マスクデータ編集方法 - Google Patents
マスクデータ編集方法Info
- Publication number
- JPH0228882A JPH0228882A JP63179577A JP17957788A JPH0228882A JP H0228882 A JPH0228882 A JP H0228882A JP 63179577 A JP63179577 A JP 63179577A JP 17957788 A JP17957788 A JP 17957788A JP H0228882 A JPH0228882 A JP H0228882A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mask
- data
- circuit
- mask data
- pattern
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 13
- 230000004397 blinking Effects 0.000 description 4
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Design And Manufacture Of Integrated Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、マスクデータを作成・表示するマスクデータ
編集方法に関するものである。
編集方法に関するものである。
従来の技術
近年、半導体装置の集積度は飛躍的に高まり、またその
回路構成も複雑度を増すばかりである。
回路構成も複雑度を増すばかりである。
半導体装置作成のもとになるマスクデータも大量かつ複
雑になってきた。このため、マスクデータの作成・編集
には専用のマスクデータ編集装置を使用することが多い
。
雑になってきた。このため、マスクデータの作成・編集
には専用のマスクデータ編集装置を使用することが多い
。
従来のマスクデータの編集は、マスクデータ編集装置に
マスクデータを入力し、このマスクデータにもとづくマ
スクパターンのみを画面上に表示するものであった。以
下に従来のマスクデータ編集方法について説明する。
マスクデータを入力し、このマスクデータにもとづくマ
スクパターンのみを画面上に表示するものであった。以
下に従来のマスクデータ編集方法について説明する。
第３図は従来のマスクデータ編集方法におけるマスクパ
ターンの表示画面を示すものである。例えば、第３図に
おいて、１，２はそれぞれ異なる層の配線パターン、３
は配線を繋ぐコンタクトのパターンである。第４図は第
３図でマスクパターンとして表示されているマスクデー
タが本来表現しようとしている回路データである。第４
図で４．５と示した部分は、回路中の配線部分であり、
第３図中の１，２とそれぞれ対応する部分を示している
。それぞれのマスクパターンは入力されたマスクデータ
にもとづいて画面上に表示され、このマスクパターン表
示でマスクデータを確認しつつ、マスクデータの作成・
編集を行なう。
ターンの表示画面を示すものである。例えば、第３図に
おいて、１，２はそれぞれ異なる層の配線パターン、３
は配線を繋ぐコンタクトのパターンである。第４図は第
３図でマスクパターンとして表示されているマスクデー
タが本来表現しようとしている回路データである。第４
図で４．５と示した部分は、回路中の配線部分であり、
第３図中の１，２とそれぞれ対応する部分を示している
。それぞれのマスクパターンは入力されたマスクデータ
にもとづいて画面上に表示され、このマスクパターン表
示でマスクデータを確認しつつ、マスクデータの作成・
編集を行なう。
発明が解決しようとする課題
しかしながら、上記の従来の方法では、マスクデータの
図形的な確認は可能であるが、そのマスクデータが設計
された回路を表現しているかどうかの確認が困難である
。
図形的な確認は可能であるが、そのマスクデータが設計
された回路を表現しているかどうかの確認が困難である
。
第３図、第４図の例で、回路データには配線データ４，
５間には接続は行なわれていないにもかかわらず、マス
クデータの作成時の誤りにより、マスクデータでは第３
図で示されたコンタクト３によってこれら二つの配線が
接続されてしまっている。このような、マスクデータ作
成・編集における誤りを発見・確認するのは、従来の方
法では困難である。
５間には接続は行なわれていないにもかかわらず、マス
クデータの作成時の誤りにより、マスクデータでは第３
図で示されたコンタクト３によってこれら二つの配線が
接続されてしまっている。このような、マスクデータ作
成・編集における誤りを発見・確認するのは、従来の方
法では困難である。
本発明は、上記従来方法の問題点を解決するもので、回
路表現上の誤りを起こさないマスクデータの作成・編集
を可能とするマスクデータ編集方法を提供することを目
的とする。
路表現上の誤りを起こさないマスクデータの作成・編集
を可能とするマスクデータ編集方法を提供することを目
的とする。
課題を解決するための手段
この目的を達成するために、本発明のマスクデータ編集
方法は、マスクデータに加えて回路データも入力し、マ
スクデータにもとづ（マスクパターンと、回路データに
もとづく回路パターンデータとを同一画面上に関連づけ
て表示し、マスクデータ作成支援情報を与える。
方法は、マスクデータに加えて回路データも入力し、マ
スクデータにもとづ（マスクパターンと、回路データに
もとづく回路パターンデータとを同一画面上に関連づけ
て表示し、マスクデータ作成支援情報を与える。
作用
この方法によって、マスクデータと回路データとの関連
を目に見える形で表示することで、マスクデータが正し
く回路を表現しているかどうかの情報を判り易く提供し
、回路表現上の誤りのないマスクデータを作成すること
ができる。
を目に見える形で表示することで、マスクデータが正し
く回路を表現しているかどうかの情報を判り易く提供し
、回路表現上の誤りのないマスクデータを作成すること
ができる。
実施例
以下、本発明の一実施例について、図面を参照しながら
説明する。第１図は、本発明の一実施例におけるマスク
データの回路表現上の誤りの表示の例である。マスクデ
ータにもとづくマスクパターンとそのマスクデータを作
成するちととなった回路データにもとづ（回路パターン
が同一画面に表示される。第１図において、■、２はそ
れぞれ異なる層の配線マスクパターン、３は配線を繋ぐ
コンタクトのマスクパターンである。４，５はそれぞれ
、マスクパターン１，２に対応する回路データ上の配線
である。ここで、誤ったコンタクトのマスクパターン３
により、配線１，２が誤って接続されているため、回路
パターン表示部分に誤った接続を示すパターン６を点線
で表示し、かつ、誤って接続された配線部分１，２．３
．４を点滅表示する。これらの表示により、マスクデー
タ作成・編集の誤りの発生とその場所を確認することが
できる。第２図は第１図と同様の実施例におけるマスク
データと回路データの対応との表示の例である。マスク
データ上のあるパターンが回路上のどの部分に対応する
かを知りたいとき、マスクパターン表示上のそのパター
ンを適当な指示方法で指定すると、回路パターン上の対
応する部分が点滅表示される。第２図において、１は指
定されたマスクパターン、４は対応する回路パターンで
あり、点滅表示する。第２図に示したような表示により
、マスクデータの作成・編集中に回路データとの対応を
逐一確認することが可能となる。なお、本実施例で、点
線表示１点滅表示とした部分は、注意を喚起するための
表示方法例を示しただけであり、この部分は、輝度を変
更する。
説明する。第１図は、本発明の一実施例におけるマスク
データの回路表現上の誤りの表示の例である。マスクデ
ータにもとづくマスクパターンとそのマスクデータを作
成するちととなった回路データにもとづ（回路パターン
が同一画面に表示される。第１図において、■、２はそ
れぞれ異なる層の配線マスクパターン、３は配線を繋ぐ
コンタクトのマスクパターンである。４，５はそれぞれ
、マスクパターン１，２に対応する回路データ上の配線
である。ここで、誤ったコンタクトのマスクパターン３
により、配線１，２が誤って接続されているため、回路
パターン表示部分に誤った接続を示すパターン６を点線
で表示し、かつ、誤って接続された配線部分１，２．３
．４を点滅表示する。これらの表示により、マスクデー
タ作成・編集の誤りの発生とその場所を確認することが
できる。第２図は第１図と同様の実施例におけるマスク
データと回路データの対応との表示の例である。マスク
データ上のあるパターンが回路上のどの部分に対応する
かを知りたいとき、マスクパターン表示上のそのパター
ンを適当な指示方法で指定すると、回路パターン上の対
応する部分が点滅表示される。第２図において、１は指
定されたマスクパターン、４は対応する回路パターンで
あり、点滅表示する。第２図に示したような表示により
、マスクデータの作成・編集中に回路データとの対応を
逐一確認することが可能となる。なお、本実施例で、点
線表示１点滅表示とした部分は、注意を喚起するための
表示方法例を示しただけであり、この部分は、輝度を変
更する。
色を変更する等、他の表示方法としてもよい。また、実
施例を示す第１図、第２図において、マスクパターンの
表示と回路パターンの表示を画面を左右２分割にして行
なっているが、上下分割その他適当な画面分割としてよ
い。
施例を示す第１図、第２図において、マスクパターンの
表示と回路パターンの表示を画面を左右２分割にして行
なっているが、上下分割その他適当な画面分割としてよ
い。
発明の効果
以上のように、本発明によれば、マスクデータと回路デ
ータを互いに関連づけて表示することにより、回路表現
上の誤りを犯すことな（、正しくマスクデータの作成・
編集が行なえる優れたマスクデータ編集方法を実現でき
るものである。
ータを互いに関連づけて表示することにより、回路表現
上の誤りを犯すことな（、正しくマスクデータの作成・
編集が行なえる優れたマスクデータ編集方法を実現でき
るものである。
第１図は本発明の一実施例におけるマスクデータの接続
の誤りを表示する画面図、第２図は第１図と同様の実施
例におけるマスクデータと回路データとの対応を表示す
る画面図、第３図は従来のマスクデータ編集方法におけ
るマスクパターン表１．２・・・・・・配線のマスクパ
ターン、３・・・・・・コンタクトのマスクパターン、
４，５・・・・・・回路データ上での配線、 ６・・・・・・誤接続の表示部。
の誤りを表示する画面図、第２図は第１図と同様の実施
例におけるマスクデータと回路データとの対応を表示す
る画面図、第３図は従来のマスクデータ編集方法におけ
るマスクパターン表１．２・・・・・・配線のマスクパ
ターン、３・・・・・・コンタクトのマスクパターン、
４，５・・・・・・回路データ上での配線、 ６・・・・・・誤接続の表示部。
Claims (1)
- マスクデータ編集装置にマスクデータ及びそのマスクデ
ータ作成のもととなった回路データを入力し、前記両デ
ータを互いに関連づけて表示することを特徴とするマス
クデータ編集方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63179577A JPH0228882A (ja) | 1988-07-19 | 1988-07-19 | マスクデータ編集方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63179577A JPH0228882A (ja) | 1988-07-19 | 1988-07-19 | マスクデータ編集方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0228882A true JPH0228882A (ja) | 1990-01-30 |
Family
ID=16068164
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63179577A Pending JPH0228882A (ja) | 1988-07-19 | 1988-07-19 | マスクデータ編集方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0228882A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0479349A (ja) * | 1990-07-23 | 1992-03-12 | Toppan Printing Co Ltd | 半導体集積回路のレイアウト設計装置 |
-
1988
- 1988-07-19 JP JP63179577A patent/JPH0228882A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0479349A (ja) * | 1990-07-23 | 1992-03-12 | Toppan Printing Co Ltd | 半導体集積回路のレイアウト設計装置 |
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