JPH0228947A - 半導体試験回路 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、不良混入を防止する為に、検査結果を記憶
できる不揮発性メモリを設けた半導体試験回路に関する
。

〔発明の概要〕

この発明は、半導体集積回路の検査において、半導体チ
ップの一部分に、検査結果記憶を目的とした不揮発性メ
モリを設け、前記不揮発性メモリに検査結果を書き込み
、再検査時に前記不揮発性メモリの内容を読み出す検査
を行ない、不良混入を防止するようにしたものである。

〔従来の技術〕

従来、不良混入防止のために検査結果記憶用不揮発性メ
モリを設けた半導体集積回路はなかった。

したがって再検査時には時間をかけて全数検査を行なう
か、またはロットごとに母体からサンプルを抜き出し、
前記サンプルの結果で前記母体を保障する検査方法であ
った。

〔発明が解決しようとする課題〕

従来の技術では、再検査時に時間をかけて全数検査した
場合、コストが高くなり、また母体からサンプルを抜き
取り検査する方法では、サンプルを抜き出した後の母体
に不良品が存在する可能性があるという欠点があった。

また、検査行程を進む際に人為的ミスにより不良品が混
入してしまう場合もある。

〔課題を解決するための手段〕

上記課題を解決するために、この発明は検査結果を記憶
できる不揮発性メモリを設けた半導体集積回路において
、検査時に検査結果を前記不揮発性メモリに記憶し、再
検査時に前記不揮発性メモリの内容を検査することによ
り、検査時間をかけずに全数検査をできるようにした。

〔作用〕

上記のように、通常の検査後、再度不揮発性メモリ部の
検査をすることにより全数の良品を確認の上、出荷でき
るので、不良混入率を下げることができる。

〔実施例〕

第１図において、半導体チップ１の一部に主機能回路部
５とは別に、不揮発性メモリ部２を設け、不揮発性メモ
リ用端子３を配置する。

また第２図において、パッケージ６に、不揮発性メモリ
用端子３を出す。

第３図は、本発明による検査の内容を表すフロチャート
である。主機能に全検査の■テストが終了し、良品と判
断されると、測定器より不揮発性メモリ用端子３を通し
て、不揮発性メモリに“１″が書き込まれる（以下■の
書き込みという）、ここで−度目の検査が終了となる。

■の書き込みが終了すると、不揮発性メモリ部の読み出
し検査としての０テストを行ない、′１”が読み出され
た場合は良品と判断される。“Ｑ″が読み出された場合
は不揮発性メモリ部の不良もあり得るので、もう−度の
テストを行ない、合格すると良品とする。■デス５時に
不良品と判断された時のみ、不良として除外または不良
のマーキングがされる。

なおＰＡＳＳはＡ及びＣテストで合格と判定された場合
で、ＦＡＩＬは、不合格と判定された場合である。

〔発明の効果〕

以上説明したようにこの発明は、検査結果を記憶し、再
検査時に不揮発性メモリの内容を読み出す検査を行なう
ことにより、不良混入率を下げる効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は、この発明にかかる不揮発性メモリを設けた半
導体チップの正面図、第２図は、半導体チップをパッケ
ージ状態にした時の正面図、第３図は検査内容を表すフ
ローチャートである。 半導体チップ 不揮発性メモリ部 不揮発性メモリ用端子 主機能用端子 主機能回路部 パッケージ 第１図 第２図 以上 出願人　セイコー電子工業株式会社 代理人　弁理士　　林　　　敬　之　助検４に円容ρフ
ロー寸？−） 第３図

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）半導体チップ内に、不揮発性メモリを設け、前記
   不揮発性メモリに検査結果を記憶し、再検査において、
   前記不揮発性メモリの内容を読み出す検査を行なうこと
   を特徴とした半導体試験回路。
2. （２）前記不揮発性メモリの入出力をパッケージにも設
   けた特許請求第１項記載の半導体試験回路。