JPH02291493A - 真空ポンプ用自冷式封入液供給装置 - Google Patents

真空ポンプ用自冷式封入液供給装置

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JPH02291493A
JPH02291493A JP1112018A JP11201889A JPH02291493A JP H02291493 A JPH02291493 A JP H02291493A JP 1112018 A JP1112018 A JP 1112018A JP 11201889 A JP11201889 A JP 11201889A JP H02291493 A JPH02291493 A JP H02291493A
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Japan
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vacuum pump
tube passage
liquid
supply device
hollow body
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JP1112018A
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Masashi Yoshimura
吉村 将士
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TAIKO KIKAI KOGYO KK
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    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04CROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C29/00Component parts, details or accessories of pumps or pumping installations, not provided for in groups F04C18/00 - F04C28/00
    • F04C29/0007Injection of a fluid in the working chamber for sealing, cooling and lubricating

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
  • Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は吸入側から水等の封入液を供給し、シ−リング
及び冷却効果を持たせた真空ポンプに使用される封入液
供給装置に関するものである。
〔従来の技術〕
真空ポンプは圧縮機と原理的には同じであり、吸入した
ガスを圧縮するためにかなりの高温になる。そのため、
吸引するガスとともに冷却用の水等の液体を供給するタ
イプのものが知られている。
その場合、この液体は冷却と同時にロータとケーシング
間等の密閉すなわちシーリングを向上させるためにも役
立てられている。
しかるに、このような液封式真空ポンプは、封入された
水温によってポンプの性能が大きく変化する。これは水
温によって水の飽和蒸気圧が変わり、,ポンプ内の圧力
が冷却用水の水温に対応した飽和蒸気圧以下には下がら
ないためである。たとえば水温が100゜Cであれば、
飽和蒸気圧は760mn+Hg(以下rmmHg」をr
Torr,4で表す。)であり、水温が20゜Cであれ
ば、飽和蒸気圧は17 Torrになる。第3図は、真
空ポンプ内の封入水の温度によって、真空ポンプの到達
し得る真空度、すなわち到達真空度が変化する様子を示
した線図である。これによれば、冷却用の水温が15゜
Cであれば到達真空度は10〜15Torrに達するが
、30゜Cでは2 5〜3 0Torr, 4 o”c
では35Torr〜40Torrとなって、到達真空度
が封入される水の温度に大きく影響を受けることがわか
る。
実際に真空ポンプを使用する場合、封入水用の低温の水
を豊富に使用できれば問題はないが、水の確保が難しい
場合がある。また封入水には真空ポンプを通過するガス
に含まれた物質が溶け込むので、その物質によっては公
害の原因となり、封入水を放流出来ない場合もある。そ
の場合は真空ポンプの吐出側でガスから分離した水を再
利用するが、当然この封入水の温度は、真空ポンプの圧
縮作用を受けて上昇しており、前述の飽和蒸気圧が上昇
している。したがって、真空ポンプは高真空に到達でき
ず、性能がダウンしてしまう。
この問題を解決するものとして、第4図に示すシステム
が知られている。このシステムにおいては、まず、真空
ポンプaから吐出された水等の混大したガスを、消音セ
パレー夕タンクbでガスと水に分離する。次に、分離さ
れた水を熱交換機Cで冷却する。dは熱交換機Cを冷却
するチラーである。こうして冷却された水を再び真空ボ
ンプaの吸入口から供給し、循環して使用することとし
ている。
〔発明が解決しようとする課題〕
液封式真空ポンプは、封入水温度が15゜C以下であれ
ば、乾式真空ポンプに比べて優れたものとなる。しかし
ながら、上記第4図のシステムのように装置が大掛かり
となり、高価なものとなってしまうという問題があった
本発明は上記の事実に鑑みてなされたもので、簡単な構
成で低温の封入液を確保できる真空ポンプ用の自冷式封
入液供給装置を提供することを目的としている。
〔課題を解決するための手段〕
上記の目的を達成するために本発明は、真空ポンプの吸
入口と連通し得る内管路と、両端が閉止された外管路と
からなる二重管路の外壁に、前記外管路に連通ずる封入
液用の注入口を形成し、前記内管路内に前記外管路と連
通ずる液貯留用の中空体を設置し、該中空体に封入液噴
出用のノズル孔を穿設した構成としている。
または、真空ポンプの吸入口と連通し得る管路の外壁に
封入液用の注入口を形成し、該注入口から管路内に細径
のチューブを曲折して配設し、該チューブに封入液噴出
用のノズル孔を穿設した構成としている。
〔作 用〕
注入口から二重管路の外管路に注入された液体は外管路
を通って内管路内の中空体内に入り、中空体に穿設され
たノズル孔から内管路内に噴出する。そして噴出した液
体は吸入口の真空度に応じて飽和するまで蒸発する。こ
の蒸発によって周囲から気化熱を奪い、それによって液
体自身が冷却され、冷却用液体として適当な温度に下が
り、真空ポンプ内に送りこまれる。
または、真空ポンプの吸入口と連設した管路内に設けら
れた細径のチューブに液体を供給する。
液体はチューブに穿設されたノズル孔から管路内に噴出
する。そして噴出した液体は上記と同様に冷却され、真
空ポンプ内に送りこまれる。
〔実施例] 以下に図面を用いて本発明の実施例を説明する。
本発明の自冷式封入液供給装置は、液封式の真空ポンプ
であればどんなタイプにも使用できるものであるが、実
施例においてはスクリューロータ弐の真空ポンプに使用
している。第1図は本発明の一実施例を示す図である。
同図において、1は真空ポンプで、2はその吸入口、3
はケーシングである。ケーシング3内には、主従のスク
リューロータ4,5が噛み合うように配置され、矢印A
の方向に回転して吸入口2からガスを吸引する。吸引さ
れたガスは矢印Bの方向に流れてスクリューロータ4,
5の右側に設けられた図示しない吐出口から排出される
。一方冷却用の液体は吸入口2からガスと共に供給され
、ケーシング3内に進入して真空ポンプ1を冷却する。
同時にスクリューロータ4,5相互間およびスクリュー
ロータ4,5とケーシング3間をシールして真空度の向
上も図っている。
本発明の自冷式封入液供給装置は、上記の真空ボンプ1
の吸入口2に取付けられるものである。
第1図により装置の構成を説明する。6は二重管路で、
管路内壁7aによって内管路7と外管路8に分かれてい
る。内管路7は、真空ポンプ1の吸入口2と連通し、外
管路8の両端は閉止されている。この二重管路6の両端
にはフランジ継手9,10があり、一方のフランジ継手
9と真空ボンプ1の吸入口2とが接続され、他方のフラ
ンジ継手10は図示しない吸入側の管路に接続される。
二重管路6の外壁6aの右端近傍には、外管路8に連通
ずる封入液用の注入口11が形成されている。
一方内管路7内の左端近傍には、前記外管路8と直径方
向の両端で連通ずる管路12が設けられ、中間に吐出孔
12aが穿設されている。管路12の吐出孔12a近傍
部分は、周囲を液貯留用の中空体13で覆われ、この中
空体13には封入液噴出用の多数のノズル孔13aが穿
設されている。
封入液用の注入口11から、例えば真空ポンプの吐出ガ
スから分離され循環してきた高温になっている水等の液
体が注入される。注入口11から入った水は外管路8を
通り、管路12から吐出口12aを経て中空体13に達
し、多数のノズル孔13aから一斉に内管路7内に噴出
される。内管路7内は真空ポンプ1の吸入口2と連通し
ており、圧力が真空近くまで低くなっている。そのため
ノズル孔13aから噴出された水は内管路7内で飽和す
るまで急速に気化し、周囲から気化熱を奪い水の温度を
大きくしかも簡単に下げる。中空体13を内管路7の左
端、すなわち二重管路6におけるガスの流れの上流側に
配置しているので、外管路8内の水も管路内壁7aを通
して冷却される。
したがって、管路内壁7aを銅などの熱伝導性の良い材
料で製造すれば冷却効果はより大きくなる。
このようにして二重管路6を通過してきた水は、真空ポ
ンプ1の冷却用に適した温度となり、ポンプ1内に送り
こまれる。
第2図は本発明の第二の実施例の図である。まず構成か
ら説明するが、真空ポンプlに関しては前述した実施例
と同じであるから省略する。この真空ボンプ1の吸入口
2と連通する管路15を設け、管路15の一方のフラン
ジ継手16で吸入口2と接続し、他方のフランジ継手1
7で図示しない吸入側配管と接続する。管路15の外壁
15aに封入液用の注入口18を形成し、この注入口1
8から管路15内に管路径より細径のチューブ19を入
れ、管路15内にコイル状に曲折して配置する。コイル
は注入口18から管路15の左端にまで達するように形
成されている。チューブ19の先端は折曲されてコイル
の中心に配され、この先端部分に多数のノズル孔19a
を穿設する。
第1図の実施例と同様に真空ポンプの吐出ガスから分離
された高温の水を循環して、注入口18から供給する。
高温の水はコイル状のチューブ19内を進行し、先端に
穿設された多数のノズル孔19aから管路15内に噴出
される。噴出された水は第1図の実施例と同様に冷却さ
れ、真空ポンプ1内に封入水として送りこまれる。
チューブl9はコイル状に成形され、先端がコイルの中
心に来るようにしてあるので、ノズル孔19aから噴出
された水はコイル全体にかかり、コイル内の水も冷却さ
れる。チューブ19が熱伝導のよい銅管などであれば、
より効果的である。
なおチューブ19の形状はコイル状に限定されるもので
はなく、管路15内に適当な形状で曲折を持って配置さ
れていれば、同様の効果を奏するものである。
〔発明の効果〕
以上説明したように本発明によれば、非常に簡単な装置
によって、冷却液の温度を下げることができ、真空ポン
プの吐出側ガスから分離した水を循環させても、充分冷
却用として適正な温度まで低下させることができる。ま
た、清掃等のための分解組み立ても不要であり、メンテ
ナンスも容易で、トータルとして安価になる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の一実施例を示す縦断面図、第2図は本
発明の他の実施例を示す縦断面図、第3図は冷却用の水
温と到達真空度の関係を示す線図、 第4図は従来の冷却水循環システムの構成図である。 6・・・二重管路、6a・・・外壁、7・・・内管路、
8・・・外管路、11.18・・・注入口、13・・・
中空体、l3a ,19a・・・ノズル孔、15・・・
管路、19・・・細径のチューブ。

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)真空ポンプの吸入口と連通し得る内管路と、両端
    が閉止された外管路とからなる二重管路の外壁に、前記
    外管路に連通する封入液用の注入口を形成し、前記内管
    路内に前記外管路と連通する液貯留用の中空体を設置し
    、該中空体に封入液噴出用のノズル孔を穿設したことを
    特徴とする真空ポンプ用自冷式封入液供給装置。
  2. (2)真空ポンプの吸入口と連通し得る管路の外壁に封
    入液用の注入口を形成し、該注入口から管路内に細径の
    チューブを曲折して配設し、該チューブに封入液噴出用
    のノズル孔を穿設したことを特徴とする真空ポンプ用自
    冷式封入液供給装置。
JP1112018A 1989-05-02 1989-05-02 真空ポンプ用自冷式封入液供給装置 Expired - Lifetime JP2644039B2 (ja)

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