JPH02295752A - 液体噴射記録ヘッド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 伎宜立互 本発明は、インクジェットプリンタの階調記録を可能と
する液体噴射記録ヘッドに関する．従ｍ販 ノンインパクト記録法は、記録時における騒音の発生が
無視し得る程度に極めて小さいという点において、最近
関心を集めている．その中で、高速記録が可能であり，
而も所謂普通紙に特別の定着処理を必要とせずに記録の
行える所謂インクジェット記録法は極めて有力な記録法
であって、これまでにも様々な方式が提案され、改良が
加えられて商品化されたものもあれば、現在もなお実用
化への努力が続けられているものもある。

この様なインクジェット記録法は、所謂インクと称され
る記録液体の小滴（ｄｒｏｐｌｅｔ）を飛翔させ、記録
部材に付着させて記録を行うものであって，この記録液
体の小滴の発生法及び発生された記録液小滴の飛翔方向
を制御する為の制御方法によって幾つかの方式に大別さ
れる。

先ず第１の方式は、例えば米国特許第３０６０４２９号
明細書に開示されているもの（Ｔｅｌｅ　ｔｙｐｅ方式
）であって、記録液体の小滴の発生を静電吸引的に行い
、発生した記録液体小満を記録信号に応じて電界制御し
，記録部材上に記録液体小滴を選択的に付着させて記録
を行うものである。

これに就いて、更に詳述すれば、ノズルと加速電極間に
電界を掛けて、一様に帯電した記録液体の小滴をノズル
より吐出させ、該吐出した記録液体の小滴を記録信号に
応じて電気制御可能な様に閘成されたｘｙ偏向電極間を
飛翔させ、電界の強度変化によって選択的に小滴を記録
部材上に付着させて記録を行うものである。

第２の方式は、例えば米国特許第３５０６２７５号明細
書、米国特許第３２９８０３０号明細書等に開示されて
いる方式（Ｓｗｅａｔ方式）であって、連続振動発生法
によって帯電量の制御された記録液体の小滴を発生させ
，この発生された帯電量の制御された小滴を、一様の電
界が掛けられている偏向電極間を飛翔させることで，記
録部材上に記録を行うものである。

具体的には、ピエゾ振動素子の付設されている記録ヘッ
ドを構成する一部であるノズルのオリフィス（吐出口）
の前に記録信号が印加されている様に構成した帯電電極
を所定距離だけ離して配置し，前記ピエゾ振動素子に一
定周波数の電気信号を印加することでピエゾ振動素子を
機械的に振動させ，前記吐出口より記録液体の小滴を吐
出させる．この時前記帯電電極によって吐出する記録液
体小滴には電荷が静電誘導され、小滴は記録信号に応じ
た電荷量で帯電される．帯電量の制御された記録液体の
小滴は、一定の電界が一様に掛けられている偏向電極間
を飛翔する時，付加された帯電量に応じて偏向を受け、
記録信号を担う小滴のみが記録部材上に付着し得る様に
されている。

第３の方式は、例えば米国特許第３４１６１５３号明細
書に開示されている方式（Ｈｅｒｔｚ方式）であって、
ノズルとリング状の帯電電極間に電界を掛け、連続振動
発生法によって，記録液体の小滴を発生霧化させて記録
する方式である。即ちこの方式ではノズルと帯電電極間
に掛ける電界強度を記録信号に応じて変調することによ
って小滴の霧化状態を制御し、記録画像の階調性を出し
て記録する。

第４の方式は，例えば米国特許第３７４７１２０号明細
書に開示されている方式（Ｓｔｅｍｍｅ方式）で，この
方式は前記３つの方式とは根本的に原理が異なるもので
ある。

即ち、前記３つの方式は、何れもノズルより吐出された
記録液体の小滴を、飛翔している途中で電気的に制御し
，記録信号を担った小滴を選択的に記録部材上に付着さ
せて記録を行うのに対して，このＳｔｅａｍ’ｅ方式は
、記録信号に応じて吐出口より記録液体の小滴を吐出飛
翔させて記録するものである。

つまり，　Ｓｔｅｍｍｅ方式は、記録液体を吐出する吐
出口を有する記録ヘッドに付設されているピエゾ振動素
子に、電気的な記録信号を印加し、この電気的記録信号
をピエゾ振動素子の機械的振動に変え、該機械的振動に
従って前記吐出口より記録液体の小滴を吐出飛翔させて
記録部材に付着させることで記録を行うものである。

これ等、従来の４つの方式は各々に特長を有するもので
あるが、又、他方において解決され得る可き点が存在す
る。

即ち、前記第１から第３の方式は記録液体の小滴の発生
の直接的エネルギーが電気的エネルギーであり、又、小
滴の偏向制御も電界制御である。

その為、第１の方式は、構成上はシンプルであるが、小
滴の発生に高電圧を要し、又、記録ヘッドのマルチノズ
ル化が困難であるので高速記録には不向きである。

第２の方式は，記録ヘッドのマルチノズル化が可能で高
速記録に向くが、構成上複雑であり、又記録液体小滴の
電気的制御が高度で困難であること、記録部材上にサテ
ライトドットが生じ易いこと等の問題点がある。

第３の方式は、記録液体小滴を霧化することによって階
調性に優れた画像が記録され得る特長を有するが，他方
霧化状態の制御が困難であること５記録画像にカブリが
生ずること及び記録ヘッドのマルチノズル化が困難で、
高速記録には不向きであること等の諸問題点が存する。

第４の方式は、第１乃至第３の方式に比べ利点を比較的
多く有する。即ち、構成上シンプルであること、オンデ
マンド（ｏｎ−ｄｅｍａｎｄ）で記録液体をノズルの吐
出口より吐出して記録を行う為に，第１乃至第３の方式
の様に吐出飛翔する小滴の中、画像の記録に要さなかっ
た小滴を回収することが不要であること及び第１乃至第
２の方式の様に、導電性の記録液体を使用する必要性が
なく記録液体の物質上の自由度が大であること等の大き
な利点を有する。而乍ら，一方において、記録ヘッドの
加工上に問題があること、所望の共振数を有するピエゾ
振動素子の小型化が極めて困難であること等の理由から
記録ヘッドのマルチノズル化が難しく，又、ピエゾ振動
素子の機械的振動という機械的エネルギーによって記録
液体小滴の吐出飛翔を行うので高速記録には向かないこ
と、等の欠点を有する。

このように従来法には、構成上、高速記録化上、記録ヘ
ッドのマルチノズル化上．サテライトドットの発生およ
び記録画像のカブリ発生等の点において一長一短があっ
て、その長所を利する用途にしか適用し得ないという制
約が存在していた。

しかし、この不都合も，本出願人が先に提案した新規イ
ンクジェット記録方式を採用することによってほぼ解消
することができる。かかるインクジェッ１〜記録方式は
、特公昭５６−９４２９号公報にその詳細が説明されて
いるが、ここにそれを要約すれば、液室内のインクを加
熱して気泡を発生させて，インクに圧力上昇を生じさせ
、微細な毛細管ノズルからインクを飛び出させて記録す
るものである。その後、この原理を利用して多くの発明
がなされた、その中の１つとして、たとえば，特公昭６
３−１７６２４号公報がある。これは、１つのオリフィ
スに連通ずる液路内で記録媒体の液流方向に沿って複数
個に分割するという形態上の工夫と分割されて発熱体を
オリフィスから遠いものから加熱することにより、熱エ
ネルギーによる吐出記録方式の省エネルギー化、高速化
、長寿命化を実現したものである。又、特公昭６２−４
８５８５号公報には、１つの流路に設けられた複数の電
気・熱変検体の各々に入力される卵動信号の入力タイミ
ングのズレを可変制御することにより階調記録を行なう
技術の開示がある。又、特公昭６２−４６３５８号公報
には、１つの液室中に供給された記録媒体液を、熱する
位置に設けられた複数個の発熱体から記録すべき情報を
表わす信号のレベルに応じて、所定数の発熱体を選択し
て即動ずることにより記録を行ない、階調画像記録を行
なう技術の開示がある．さらに、特公昭６２−４６３５
９号公報には、１つの液室中に供給された記録媒体液を
、熱する位置に設けられた発熱量の異なる複数個の発熱
体から記録すべき情報を表わす信号のレベルに応じた１
つの発熱体を選択して駆動することにより吐出液滴径を
変える技術の開示がある。特公昭６３−１７６２４号公
報の技術以外は、いずれも階調記録を目的とした技術で
ある。しかしながら、いずれの技術もその明細書より明
らかなように、吐出口に通じる流路に沿って発熱体を形
成したいわゆるエッジシュータ型のヘッドに関するもの
である．しかしながら、エッジシュータ型の場合は、１
つの吐出口に対して、１つの発熱体を形成して使用する
場合においては、高密度化が可能で、その特徴を大いに
発揮できるが、上記のような例のように、１つの吐出口
に対して、その吐出口に通じる流路にそって複数個の発
熱体を形成したようなものにおいては、各発熱体を独立
に制御するための制御電極が多くなり、また高密度化が
困難となり、本来の特徴をいかしきれないという不具合
点がある。又、エソジシュー夕型の場合、吐出口から発
熱体までの距離のわずかな違いが、インク滴の吐出スピ
ードに大きな影響を与えるため、発熱体が複数個配列さ
れるような上記の技術においては、本当に作用できる発
熱体は、吐出口から最適の位置に形成されている１つか
２つの発熱体だけであり、上記のような複数個の発熱体
を配列して廂動するというアイデアはおもしろいが、必
ずしも実用的であるとはいえなかった。又、エッジシュ
ータ型の場合には、吐出口と相対する位置に発熱体を設
けたいわゆるサイドシュータ型に比べて、発生した気泡
による吐出力が必ずしも効率良くインク滴吐出に作用し
ないという欠点も有している。

一方、特開昭５９−１２４８６３号公報、特開昭５９−
１２４８６４号公報には，液吐出用の気泡を発生させ、
さらに別の液吐出エネルギー調整用気泡を発生させるか
，あるいはさらに吐出エネルギー調整部に小開口を設け
たりして、液滴の大きさをかえて階調記録を行なう技術
の開示がある。

しかしながら、吐出のための発熱体と，液吐出エネルギ
ー調整用の発熱体が離れているため，両者で発生した圧
力タイミングをうまく合わせることが難しいという問題
点がある。又、液吐出エネルギー調整用の発熱体の位置
する場所が袋小路状になっており，新しいインクが供給
されにくく、その部分のインク温度が上昇し，一定の安
定した条件で、液吐出エネルギー調整用の発熱体を駆動
することが困難であるという問題点も有する．以上のよ
うな不具合点を有することにより、特開昭５９−１２４
８６３号公報，特開昭５９−１２４８６４号公報に開示
されている技術では、必ずしも満足すべき階調記録が得
られていないのが実情である。

さらに、特開昭５９−１２４８６５号公報に開示されて
いる技術は、１つの吐出口に対して、液滴吐出手段を複
数個有し、少なくとも１つは予備用として信頼性を確保
するというものであるが、階調記録という概念はみあた
らない。

以上、前記の従来技術においては、複数個の発熱体を設
けたり、あるいは、それらのタイミングを変えたりして
、階調記録を安定して行なえるよう種々の方法が提案さ
れているが、いずれの方法も、満足のいく結果が得られ
ていないのが実情である。

且一一一昨 本発明は，上述のごとき実情に鑑みてなされたもので、
安定した階調記録ヘッドを提案することであり、また別
の目的は、吐出カが効率良く伝達する階調記録ヘッドを
提供することを目的としてなされたものである。

且一一裟 本発明は、上記目的を達成するために，（１）液室内部
の一部に付設され、飛翔的液滴を吐出さぜるだめのエネ
ルギー作用部と，前記液室に連通し前記飛翔的液滴を吐
出させるための吐出口とを有する液体噴射記録ヘッドに
おいて、前記エネルギー作用部は、その作用面が前記飛
翔的液演の飛翔方向とほぼ垂直となるように付設され、
前記エネルギー作用部は，１つの前記吐出口に対応して
複数個あり、各々独立に駆動でき、必要に応じて１個あ
るいは複数個を駆動すること、或いは、（２）前記複数
個のエネルギー作用部のエネルギー作用力がほぼ均一で
あって、該複数個のエネルギー作用部から前記吐出口ま
での距離が必ずしも同じではないこと、或いは、（３）
前記複数個のエネルギー作用部のエネルギー作用力が必
ずしも同じではなく、前記複数個のエネルギー作用部か
ら前記吐出口までの距離がほぼ同じであること、成いは
、（４）前記複数個のエネルギー作用部のエネルギー作
用力が必ずしも同じではなく、該複数個のエネルギー作
用部から前記吐出口までの距離が必ずしも同じではない
ことを特徴としたものである．以下、本発明の実施例に
基づいて説明する．最初に，第６図に基づいてバブルジ
ェットによるインク噴射の原理について説明すると、（
ａ）は定常状態であり、オリフィス面でインク３０の表
面張力と外圧とが平衡状態にある。

（ｂ）はヒータ２９が加熱されて、ヒータ２９の表面温
度が急上昇し隣接インク店に沸Ｉ！ｌ現象が起きるまで
加熱され、微小気泡３１が点在している状態にある。

（ｃ）はヒータ２９の全面で急激に加熱された隣接イン
ク層が瞬時に気化し、沸騰膜を作り、この気泡３１が生
長した状態である。この時、ノズル内の圧力は、気泡の
生長した分だけ上昇し，オリフィス面での外圧とのバラ
ンスがくずれ、オリフィスよりインク柱が生長し始める
。

（ｄ）は気泡が最大に生長した状態であり，オリフィス
面より気泡の体積に相当する分のインク３０が押し出さ
れる．この時、ヒータ２９には電流が流れていない状態
にあり、ヒータ２９の表面温度は降下しつつある。気泡
３１の体積の最大値は電気パルス印加のタイミングから
ややおくれる。

（ｅ）は気泡３１がインクなどにより冷却されて収縮を
開始し始めた状態を示す。インク柱の先端部では押し出
された速度を保ちつつ前進し、後端部では気泡の収縮に
伴ってノズル内圧の減少によりオリフィス面からノズル
内へインクが逆流してインク柱にくびれが生じている。

（ｆ）はさらに気泡３１が収縮し、ヒータ面にインクが
接しヒータ面がさらに急激に冷却される状態にある。オ
リフィス面では、外圧がノズル内圧より高い状態になる
ためメニスカスが大きくノズル内に入り込んで来ている
。インク柱の先端部は液滴になり記録紙の方向へ５〜１
０ｍ／ｓｅｃの速度で飛翔している。

（ｇ）はオリフィスにインクが毛細管現象により再び供
給（リフィル）されて（．）の状態にもどる過程で、気
泡は完全に消滅している。３２は飛翔インク滴である． 前記第６図は、吐出口に通じる流路にそって発熱体が形
成されているいわゆる第７図に示すようなエッジシュー
タ型のヘッドの場合の吐出原理であるが，それとは別に
、発熱体面（熱エネルギー作用面）が、インク滴の吐出
方向とほぼ垂直となるように、吐出口と発熱体の位置関
係が決められているヘッドがある。これは、第８図に示
すような構造であり，サイドシュータ型とよばれる。第
９図にサイドシュータ型のインク滴吐出原理の説明図を
示す。エッジシュー夕型と比較した場合、サイドシュー
タ型は、発生した気泡の作用力が、インク滴の吐出に効
率良く伝達することが知られており，本発明は，このサ
イドシュータ型に適用するものである． 第１０図は、上記原理を具現化するための気泡発生部、
吐出口部の構造を説明するための構成図で、図中，１は
吐出口、２は基板、３は蓄熱ＪｅＪ、４は発熱体、５は
電極、６は保護層，７は電極保護層である。

発熱体４を構成する材料として，有用なものには、たと
えば、タンタルーＳｉｎ，の混合物、窒化タンタル、ニ
クロム、銀一パラジウム合金、シリコン半導体、あるい
はハフニウム、ランタン、ジルコニウム、チタン、タン
タル、タングステン，モリブデン，二オブ、クロム，バ
ナジウム等の金属の硼化物があげられる． これらの発熱体４を構成する材料の中、殊に金属硼化物
が優れたものとしてあげることができ、その中でも最も
特性の優れているのが、硼化ハフニウムであり、次いで
、硼化ジルコニウム、硼化ランタン、硼化タンタル、硼
化バナジウム、硼化ニオブの順となっている。

発熱体４は、上記の材料を用いて、電子ビーム蒸着やス
パッタリング等の手法を用いて形成することができる。

発熱体４の膜厚は、単位時間当りの発熱量が所望通りと
なるように、その面積、材質及び熱作用部分の形状及び
大きさ、更には実際面での消費電力等に従って決定され
るものであるが５通常の場合、０．００１〜５　μｍ、
好適には０．０１〜１μｍとされる． 電極５を構成する材料としては、通常使用されている電
極材料の多くのものが有効に使用され、具体的には，た
とえばＡＱ，Ａｇ，Ａｕ，Ｐｔ，Ｃｕ等があげられ、こ
れらを使用して蒸着等の手法で所定位置に，所定の大き
さ、形状、厚さで設けられる． 保護暦６に要求される特性は、発熱体４で発生された熱
を記録液体に効果的に伝達することを妨げずに、記録液
体より発熱体４を保護するということである。保護層６
を構成する材料として有用なものには、たとえば酸化シ
リコン、窒化シリコン、酸化マグネシウム、酸化アルミ
ニウム、酸化タンタル，酸化ジルコニウム等があげられ
、これらは、電子ビーム蒸着やスパッタリング等の手法
を用いて形成することができる。保護層６の膜厚は、通
常は０．０１〜１０Ｐｍ、好適には０．１〜５μｍ、最
適には０．１〜３μｍとされるのが望ましい。

第１図（ａ），（ｂ）は，本発明による液体噴射記録ヘ
ッドの一実施例を説明するための構成図で、（ａ）は平
面図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ断面図で、図中、１は吐
出口、４は発熱体である。

前述のようなサイドシュータ型のヘッドにおいて、？つ
の吐出口に対して、４個の発熱体を設けたものである。

４個の発熱体はそれぞれ独立に駆動可能であり、必要に
応じて、１個〜４個を駆動する．こうすることによって
、発生する気泡の大きさが変わり吐出するインク滴の大
きさを変え階調記録を行なうものである。

今、４個の発熱体がすべて同じエネルギー作用力を有し
ていると、第２図（ａ）〜（ｄ）に示すように発熱体の
組合せは４通りあり（斜線部が味動発熱体）、発生する
気泡の大きさ４段階に変えることができ，インク滴の大
きさも４段階に変えられ階調表現が可能となる． 第３図（ａ），（ｂ）は、本発明の他の実施例を示すも
ので、（ａ）は発熱体位置を吐出口中心よりずらせたも
の、（ｂ）は（ａ）のＢ−Ｂ断面図である．第３図の４
個の発熱体がすべて同じエネルギー作用力を有していて
、それらの４個の発熱体の中心と、吐出口の中心をずら
して配置すると、発熱体面から吐出口までの距離ｄ■ｊ
　ｃｔ，を変えることができる。このようにすると、４
個それぞれのエネルギー作用力が同じであっても，形成
されるインク滴の大きさは同じにならない。つまりこの
場合には，１５通り（２’−１）の組合せでインク滴の
大きさを変えることができるわけである．なお、この場
合、第３図のように、発熱体と吐出口までの距離が変わ
るようにしたが、第１図のように、発熱体と吐出口まで
の距離ｄエを同じにして、４個の発熱体のエネルギー作
用力をそれぞれ変えても同じ効果が得られ、１５通りの
組合せとなる，エネルギー作用力を変える手段としては
、たとえば、入カパルス電圧、パルス巾等を変えてもよ
いし、あるいは、始めから４個の発熱体の大きさを異な
らしめてパターン形成しても良い． なお、以上はすべて４個の発熱体の例で説明したが、本
発明はこれに限定されるものではない．一般に、１つの
吐出口に対して、ｎ個の独立即動できる発熱体が対応し
、それらの発熱体は、吐出口までの距離がそれぞれ異な
っているか，あるいは，エネルギー作用力が異なってい
る場合には，（２−１）通りの組合せで、吐出インク滴
の大きさを変えることができ、階調表現が可能となる．
しかし，ｎの値は、１つの吐出口部へ無限に集積できる
わけではなく、最大でも８個程度にとどめるべきである
。従って、より階調数を多く取りたい場合には、発熱体
の数をふやすのではなく、たとえば、１個の発熱体に入
力するパルス電圧，パルス巾等を何段階かに分けて入力
したり、あるいは、複数個の発熱体で大きさの異なる気
泡を形成する際に，複数個の発熱体への入力パルスのタ
イミングを変えることにより、微妙に気泡の大きさを変
えるようにするのが良い。

このように、いろいろな組合せを選ぶことにより、実用
上満足しつる階調表現が可能となるのである。なお、特
公昭６２−４６３５８号公報には、エッジシュータ型に
おいて、本発明と類似の技術を開示されているが，前述
のように、エッジシュータ型では、吐出口と発熱体の位
置がほとんど選択できないため、組合せのバリエーショ
ンが少なくて、実用的な階調表現ができなかったのに対
して、本発明では、サイドシュータ型にしてその困難を
克服したことをつけ加えておく。

第４図（ａ），（ｂ）は、発熱体が８個の場合の例であ
り、（ａ）は縦横３個づつ、正方形に配置したもの、（
ｂ）は円形を８等分した形状のものである． 第５図（ａ）〜（ｄ）は、発熱体が４個の場合の，パタ
ーンの形成方法の１例を示した９図中、１０は共通電極
、１１は発熱体、１２は絶縁層、１３は制御電極である
。（ａ）で共通電極１０を形成し、（ｂ）で発熱体１１
を形成し、（ｃ）で絶縁層１２を形成し、（ｄ）で制御
電極１３を形成する． 夏一一米 以上の説明から明らかなように、本発明によると、簡単
な構成で、階調記録を行なうことができる．又、色々な
バリエーシ目ンを組合せる（発熱体数、吐出口と発熱体
までの距離、入カパルス電圧、パルス巾等、入力パルス
タイミング等）ことにより階調段階数は、数１０〜数１
００階調に変えられ、実用上十分満足できるレベルであ
る．

【図面の簡単な説明】

第１図（ａ），（ｂ）は、本発明による液体噴射記録ヘ
ッドの一実施例を説明するための構成図で、（ａ）は平
面図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ断面図、第２図（．）〜
（ｄ）は、発熱体の組合せを示す図、第３図（ａ），（
ｂ）は、本発明の他の実施例を示す図、第４図（ａ），
（ｂ）は、発熱体を８個の場合を示す図、第５図（ａ）
〜（ｄ）は、発熱体のパターンの形成方法を示す図、第
６図は、記録ヘッドのバブルジェットインク吐出と気泡
発生・消滅の原理図、第７図は、エッジシュー夕型を示
す図、第８図は、サイドジュータ型を示す図、第９図は
、サイドシュータ型のインク滴吐出原理を示す図、第１
０図は、気泡発生部と吐出部の構造を示す図である。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、液室内部の一部に付設され、飛翔的液滴を吐出させ
   るためのエネルギー作用部と、前記液室に連通し前記飛
   翔的液滴を吐出させるための吐出口とを有する液体噴射
   記録ヘッドにおいて、前記エネルギー作用部は、その作
   用面が前記飛翔的液滴の飛翔方向とほぼ垂直となるよう
   に付設され、前記エネルギー作用部は、１つの前記吐出
   口に対応して複数個あり、各々独立に駆動でき、必要に
   応じて１個あるいは複数個を駆動することを特徴とする
   液体噴射記録ヘッド。 ２、液室内部の一部に付設され、飛翔的液滴を吐出させ
   るためのエネルギー作用部と、前記液室に連通し前記飛
   翔的液滴を吐出させるための吐出口とを有する液体噴射
   記録ヘッドにおいて、前記エネルギー作用部は、その作
   用面が前記飛翔的液滴の飛翔方向とほぼ垂直となるよう
   に付設され、前記エネルギー作用部は、１つの前記吐出
   口に対応して複数個あり、各々独立に駆動でき、必要に
   応じて１個あるいは複数個を駆動する液体噴射ヘッドで
   あって、前記複数個のエネルギー作用部のエネルギー作
   用力がほぼ均一であって、該複数個のエネルギー作用部
   から前記吐出口までの距離が必ずしも同じではないこと
   を特徴とする液体噴射記録ヘッド。 ３、液室内部の一部に付設され、飛翔的液滴を吐出させ
   るためのエネルギー作用部と、前記液室に連通し前記飛
   翔的液滴を吐出させるための吐出口とを有する液体噴射
   記録ヘッドにおいて、前記エネルギー作用部は、その作
   用面が前記飛翔的液滴の飛翔方向とほぼ垂直となるよう
   に付設され、前記エネルギー作用部は、１つの前記吐出
   口に対応して複数個あり、各々独立に駆動でき、必要に
   応じて１個あるいは複数個を駆動する液体噴射ヘッドで
   あって、前記複数個のエネルギー作用部のエネルギー作
   用力が必ずしも同じではなく、該複数個のエネルギー作
   用部から前記吐出口までの距離がほぼ同じであることを
   特徴とする液体噴射記録ヘッド。 ４、液室内部の一部に付設され、飛翔的液滴を吐出させ
   るためのエネルギー作用部と、前記液室に連通し前記飛
   翔的液滴を吐出させるための吐出口とを有する液体噴射
   記録ヘッドにおいて、前記エネルギー作用部は、その作
   用面が前記飛翔的液滴の飛翔方向とほぼ垂直となるよう
   に付設され、前記エネルギー作用部は、１つの前記吐出
   口に対応して複数個あり、各々独立に駆動でき、必要に
   応じて１個あるいは複数個を駆動する液体噴射ヘッドで
   あって、前記複数個のエネルギー作用部のエネルギー作
   用力が必ずしも同じではなく、該複数個のエネルギー作
   用部から前記吐出口までの距離が必ずしも同じではない
   ことを特徴とする液体噴射記録ヘッド。