JPH02297011A - アライメント方法 - Google Patents
アライメント方法Info
- Publication number
- JPH02297011A JPH02297011A JP11811089A JP11811089A JPH02297011A JP H02297011 A JPH02297011 A JP H02297011A JP 11811089 A JP11811089 A JP 11811089A JP 11811089 A JP11811089 A JP 11811089A JP H02297011 A JPH02297011 A JP H02297011A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- work
- material feeding
- feeding position
- average value
- misalignment
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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- 238000001514 detection method Methods 0.000 abstract description 27
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract description 19
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- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
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- 238000013459 approach Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
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- 238000012935 Averaging Methods 0.000 description 1
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- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野コ
本発明は、ワークの位置修正が必要な機械におけるアラ
イメント方法に％する。
イメント方法に％する。
［発明の概要］
本発明は、ワークの位置修正を行うアライメント方法に
おいて過去の位置ズレ量のデータの平均［従来の技ｖ＃
］ ワークは主に、外′形基準などにより機械的に粗位置決
めされた状態で、位置ズレ量を検出する給材位置まで決
められた量だけ移動し、位置ズレ量を検出し位置修正さ
れていた。
おいて過去の位置ズレ量のデータの平均［従来の技ｖ＃
］ ワークは主に、外′形基準などにより機械的に粗位置決
めされた状態で、位置ズレ量を検出する給材位置まで決
められた量だけ移動し、位置ズレ量を検出し位置修正さ
れていた。
［発明が解決しよ５とする課題〕
しかし、前述の従来技術ではワーク形、状の精度上のバ
ラツキ、装置、の組立誤差、ワークの粗位置決め機構に
よるバラツキなどがあり、機械ツーリング時に正確に設
定するのは困難であり検出範囲から外れてしまう場合が
ある。そうした場合にはオペレータが修正を行なわなけ
ればならず、アライメント処理Ｋかかわる時間が大きく
なるという問題点を有する。そこで本発明は、このよう
な問照点を解決するもので検出範囲から外れることを防
ぎ安定的にアライメントを行ない、さらに処理時間を低
減することを目的としている。
ラツキ、装置、の組立誤差、ワークの粗位置決め機構に
よるバラツキなどがあり、機械ツーリング時に正確に設
定するのは困難であり検出範囲から外れてしまう場合が
ある。そうした場合にはオペレータが修正を行なわなけ
ればならず、アライメント処理Ｋかかわる時間が大きく
なるという問題点を有する。そこで本発明は、このよう
な問照点を解決するもので検出範囲から外れることを防
ぎ安定的にアライメントを行ない、さらに処理時間を低
減することを目的としている。
［課題を解決するための手段］
本発明のアライメント方法は、給材されたワークの位置
ズレ量を検出し、位置修正するアライメント方法におい
て、前記位置ズレ量の過去のデータの平均値を求めてお
き、前記平均値分だけワークの給材位置を補正すること
を特徴とする。
ズレ量を検出し、位置修正するアライメント方法におい
て、前記位置ズレ量の過去のデータの平均値を求めてお
き、前記平均値分だけワークの給材位置を補正すること
を特徴とする。
［作用］
本発明の上記構成によれば、位置ズレ検出位置に給材さ
れるワークの位置は、その・バラツキ分布の中心が位置
ズレ検出範囲の中心に近づ（ように作用する。
れるワークの位置は、その・バラツキ分布の中心が位置
ズレ検出範囲の中心に近づ（ように作用する。
［実施例］
第１図は、本発明の実施例におけるワーク図である。、
液晶パネルの左下にアライメントマークがつゆられてい
るとする。
液晶パネルの左下にアライメントマークがつゆられてい
るとする。
第２図は検出領域と液晶パネルの位置関係を示した図で
あり、アライメントマークの中心と検出領域の中心が重
なりている。
あり、アライメントマークの中心と検出領域の中心が重
なりている。
この図のように検出範囲の中心と７ライメントマークが
等しくなるように給材位置を設定するのが望ましい。２
１は検出範囲の中心、２２は給材位置の中心、２３は検
出範囲である。しかし、ワークの誤差、位置決め機構の
誤差などで、アライメントマークが検出範囲の中心から
ズして倹ｆｆｌ範囲から外れてしまう。なぜなら、検出
範囲が、Ｘ、Ｙ共に１００μ肩、位置決めのバラツキが
±８０μｍだとすると、検出範囲の中心と位置決めのバ
ラツキ分布の中心が等しければ検出範囲内にアライメン
トマークが入り検出可能になるが、等しくなければ検出
範囲から外れてしまい検出不可能になる場合がある。よ
って検出範囲の中心と位置決めのバラツキ分布の中心を
等しくする必要がある。
等しくなるように給材位置を設定するのが望ましい。２
１は検出範囲の中心、２２は給材位置の中心、２３は検
出範囲である。しかし、ワークの誤差、位置決め機構の
誤差などで、アライメントマークが検出範囲の中心から
ズして倹ｆｆｌ範囲から外れてしまう。なぜなら、検出
範囲が、Ｘ、Ｙ共に１００μ肩、位置決めのバラツキが
±８０μｍだとすると、検出範囲の中心と位置決めのバ
ラツキ分布の中心が等しければ検出範囲内にアライメン
トマークが入り検出可能になるが、等しくなければ検出
範囲から外れてしまい検出不可能になる場合がある。よ
って検出範囲の中心と位置決めのバラツキ分布の中心を
等しくする必要がある。
アライメント装置の動作を第５図の７０−チャートによ
り説明する。まず回数をカウントするカウンタをリセッ
トする。（ステップ５１）ワーク有無検出が有ならば粗
位置決めを行なう、（ステップ５２，５５）カウンタが
２より大きいか比較し、（ステップ５４）２以下であれ
はワークを給材位［Ｋ移動する。（ステップ５７）２よ
す大きければステップ５９で格納した過去の位置ズレデ
ータから平均値を求め（ステップ５５）給材位置を補正
する。（ステップ５６）、ステップ５５゜５６をｔｇ３
図を用いて詳しく説明する。３１はアライメントマーク
１の位置、３２はアライメントマーク２の位置である。
り説明する。まず回数をカウントするカウンタをリセッ
トする。（ステップ５１）ワーク有無検出が有ならば粗
位置決めを行なう、（ステップ５２，５５）カウンタが
２より大きいか比較し、（ステップ５４）２以下であれ
はワークを給材位［Ｋ移動する。（ステップ５７）２よ
す大きければステップ５９で格納した過去の位置ズレデ
ータから平均値を求め（ステップ５５）給材位置を補正
する。（ステップ５６）、ステップ５５゜５６をｔｇ３
図を用いて詳しく説明する。３１はアライメントマーク
１の位置、３２はアライメントマーク２の位置である。
例えばアライメントマーク１の位置が検出範囲の中心か
ら、−Ｘ方向に５０μｍ％ ＋ＹＸ方向５０μ扉、アラ
イメントマーク２の位置が、−Ｘ方向に６０μｍｓ ＋
ＹＸ方向２０μｍズしていたとするとこの２つの位置ズ
レデータから平均値を求める。平均値は、−Ｘ方向に５
５μ”％＋Ｙ方向に２５μｍである。この平均値を利用
して平均値分だけ給材位置を補正するのである。第４図
は、給材位置を補正した図である。４１は補正した給材
位置である。補正後、前記アライメントマーク１の位置
にワークが給材されても検出範囲の中心からは、−Ｘ方
向に５μｍ、＋ＹＸ方向５μｍだけのズレとなりズレ量
は減少する。給材位置補正後、ワークを給材位置に移動
する。（ステップ５７）給材位置にあるアライメントマ
ークを検出しズレ量を算出する。（ステップ５８）算出
したズレ量を格納し位置ズレ修正を行なう、（ステップ
５９）回数を示すカウンタに１を加え（ステップ６０）
ステップ５２へモトり繰り返す。
ら、−Ｘ方向に５０μｍ％ ＋ＹＸ方向５０μ扉、アラ
イメントマーク２の位置が、−Ｘ方向に６０μｍｓ ＋
ＹＸ方向２０μｍズしていたとするとこの２つの位置ズ
レデータから平均値を求める。平均値は、−Ｘ方向に５
５μ”％＋Ｙ方向に２５μｍである。この平均値を利用
して平均値分だけ給材位置を補正するのである。第４図
は、給材位置を補正した図である。４１は補正した給材
位置である。補正後、前記アライメントマーク１の位置
にワークが給材されても検出範囲の中心からは、−Ｘ方
向に５μｍ、＋ＹＸ方向５μｍだけのズレとなりズレ量
は減少する。給材位置補正後、ワークを給材位置に移動
する。（ステップ５７）給材位置にあるアライメントマ
ークを検出しズレ量を算出する。（ステップ５８）算出
したズレ量を格納し位置ズレ修正を行なう、（ステップ
５９）回数を示すカウンタに１を加え（ステップ６０）
ステップ５２へモトり繰り返す。
ステップ５５．５６のよ５に過去の位置ズレデータの平
均値を求め、その平均値分だけ給材位置を補正すると位
置ズレのバラツキ分布の中心は、検出範囲の中心に近づ
くのである。
均値を求め、その平均値分だけ給材位置を補正すると位
置ズレのバラツキ分布の中心は、検出範囲の中心に近づ
くのである。
［発明の効果］
以上述べたように本発明によれば、過去の位置ズレデー
タを利用し、給材位置を補正することにより位置修正量
を減少させ、検出範囲から外れることを防ぐ効果がある
。
タを利用し、給材位置を補正することにより位置修正量
を減少させ、検出範囲から外れることを防ぐ効果がある
。
第１図は、本発明の詳細な説明するためのワークを示す
平面図。 第２図は、本発明の詳細な説明するための検出領域とワ
ークとの位置関係を示す図。 第３図は、本発明の詳細な説明するための検出領域とワ
ークとの位置関係を示す図。 第４図は、本発明の詳細な説明するための検出領域とワ
ークとの位置ズレを補正した位置関係を示す図。 第５図は、本発明のアライメント方法の実施例を示すフ
ローチャート図。 以上 出願人 セイコーエブンン株式会社 代理人 弁理士 鈴木喜三部（他１名）Ｉ 脩３目 １旧 窟１圏 第１］ ＄生図
平面図。 第２図は、本発明の詳細な説明するための検出領域とワ
ークとの位置関係を示す図。 第３図は、本発明の詳細な説明するための検出領域とワ
ークとの位置関係を示す図。 第４図は、本発明の詳細な説明するための検出領域とワ
ークとの位置ズレを補正した位置関係を示す図。 第５図は、本発明のアライメント方法の実施例を示すフ
ローチャート図。 以上 出願人 セイコーエブンン株式会社 代理人 弁理士 鈴木喜三部（他１名）Ｉ 脩３目 １旧 窟１圏 第１］ ＄生図
Claims (1)
- 給材されたワークの位置ズレ量を検出し、位置修正する
アライメント方法において、前記位置ズレ量の過去のデ
ータの平均値を求めておき、前記平均値分だけワークの
給材位置を補正しておくことを特徴とするアライメント
方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11811089A JPH02297011A (ja) | 1989-05-11 | 1989-05-11 | アライメント方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11811089A JPH02297011A (ja) | 1989-05-11 | 1989-05-11 | アライメント方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02297011A true JPH02297011A (ja) | 1990-12-07 |
Family
ID=14728272
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11811089A Pending JPH02297011A (ja) | 1989-05-11 | 1989-05-11 | アライメント方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02297011A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6092031A (en) * | 1997-01-06 | 2000-07-18 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Alignment correction method and semiconductor device |
| JP2008004358A (ja) * | 2006-06-22 | 2008-01-10 | Tokki Corp | アライメント方法及びアライメント装置並びに有機ｅｌ素子形成装置 |
| CN111331622A (zh) * | 2018-12-18 | 2020-06-26 | 佳能特机株式会社 | 基板载置方法、成膜方法、成膜装置以及有机el面板的制造系统 |
-
1989
- 1989-05-11 JP JP11811089A patent/JPH02297011A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6092031A (en) * | 1997-01-06 | 2000-07-18 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Alignment correction method and semiconductor device |
| JP2008004358A (ja) * | 2006-06-22 | 2008-01-10 | Tokki Corp | アライメント方法及びアライメント装置並びに有機ｅｌ素子形成装置 |
| CN111331622A (zh) * | 2018-12-18 | 2020-06-26 | 佳能特机株式会社 | 基板载置方法、成膜方法、成膜装置以及有机el面板的制造系统 |
| CN111331622B (zh) * | 2018-12-18 | 2023-04-18 | 佳能特机株式会社 | 基板载置方法、成膜方法、成膜装置以及有机el面板的制造系统 |
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