JPH02297787A - スライド装置 - Google Patents
スライド装置Info
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- JPH02297787A JPH02297787A JP1034328A JP3432889A JPH02297787A JP H02297787 A JPH02297787 A JP H02297787A JP 1034328 A JP1034328 A JP 1034328A JP 3432889 A JP3432889 A JP 3432889A JP H02297787 A JPH02297787 A JP H02297787A
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- guide
- disk
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- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、磁気ディスク、光ディスク等の製造装置や検
査装置、或いは半導体ウェハの検査装置などに使用する
スライド装置の改良に関する。
査装置、或いは半導体ウェハの検査装置などに使用する
スライド装置の改良に関する。
従来のこの種のスライド装置としては、例えば第５図な
いし第７図に示すようなものがある。角形のガイド部材
４０が支持部材４１を介して基台４２上に固定されてい
る。ガイド部材４０の上下と左右の外面は静圧軸受の受
面として機能する案内面４３．４４となっている。又、
ガイド部材４０の中心部には、軸方向に長い長穴形状の
貫通孔４５が設けである。このガイド部材４０に、ガイ
ド部材４０の横断面より僅かに大きな角形断面の内孔５
１を有するスライド部材５０が遊嵌している。このスラ
イド部材５０は、上板５０ａと一対の側板５０ｂと下板
５０ｃとを一体に組み立てて形成されており、その内孔
５１の内面は、ガイド部材４０の案内面４３．４４と対
向する平面とされ、各平面には多孔質部材５２が嵌め込
まれている。その多孔質部材５２０表面は、静圧軸受の
軸受面として機能する被案内面５３．５４として形成さ
れている。スライド部材５０には被案内面５３．５４と
案内面４３．４４との間の軸受すきまに供給する圧縮空
気の給気路５５が設けられ、この給気路５５は多孔質部
材５２の背面の凹所に開口している。圧力源から給気ホ
ース５６を経て給気路５５に送給された圧縮空気は、多
孔質部材５２で絞られて被案内面５３．５４から噴出し
、これにより軸受すきまに形成される流体膜により、ス
ライド部材５０はガイド部材４０に非接触に支持される
。
いし第７図に示すようなものがある。角形のガイド部材
４０が支持部材４１を介して基台４２上に固定されてい
る。ガイド部材４０の上下と左右の外面は静圧軸受の受
面として機能する案内面４３．４４となっている。又、
ガイド部材４０の中心部には、軸方向に長い長穴形状の
貫通孔４５が設けである。このガイド部材４０に、ガイ
ド部材４０の横断面より僅かに大きな角形断面の内孔５
１を有するスライド部材５０が遊嵌している。このスラ
イド部材５０は、上板５０ａと一対の側板５０ｂと下板
５０ｃとを一体に組み立てて形成されており、その内孔
５１の内面は、ガイド部材４０の案内面４３．４４と対
向する平面とされ、各平面には多孔質部材５２が嵌め込
まれている。その多孔質部材５２０表面は、静圧軸受の
軸受面として機能する被案内面５３．５４として形成さ
れている。スライド部材５０には被案内面５３．５４と
案内面４３．４４との間の軸受すきまに供給する圧縮空
気の給気路５５が設けられ、この給気路５５は多孔質部
材５２の背面の凹所に開口している。圧力源から給気ホ
ース５６を経て給気路５５に送給された圧縮空気は、多
孔質部材５２で絞られて被案内面５３．５４から噴出し
、これにより軸受すきまに形成される流体膜により、ス
ライド部材５０はガイド部材４０に非接触に支持される
。
スライド部材５０の一方の外側面には送りねじのナツト
６０が固着され、これにねじ軸６１が螺合している。ね
じ軸６１はガイド部材４０の軸に平行に配設され、両端
は支持部材６２．６３を介して基台４２に支持されてい
る。このねじ軸６１は、一端部にカップリング６４を介
して接続された駆動モータ６５により回転駆動され、こ
れによりスライド部材５０はガイド部材４０に案内され
つつ軸方向に直線移動する。
６０が固着され、これにねじ軸６１が螺合している。ね
じ軸６１はガイド部材４０の軸に平行に配設され、両端
は支持部材６２．６３を介して基台４２に支持されてい
る。このねじ軸６１は、一端部にカップリング６４を介
して接続された駆動モータ６５により回転駆動され、こ
れによりスライド部材５０はガイド部材４０に案内され
つつ軸方向に直線移動する。
このように直線移動するスライド部材５０の中心部には
上下の貫通孔５７が設けである。この貫通孔５７に回転
駆動手段を有する回転体７０が装入され、ボルト７１で
スライド部材５０に固定されている。回転体７０の上部
にはディスクを取付ける回転テーブル７２が設けである
。
上下の貫通孔５７が設けである。この貫通孔５７に回転
駆動手段を有する回転体７０が装入され、ボルト７１で
スライド部材５０に固定されている。回転体７０の上部
にはディスクを取付ける回転テーブル７２が設けである
。
例えばディスク検査装置であれば、基台４２上にスタン
ド７３を介して変位計７４が取付けられる。そして、回
転体７０上でディスク７５を回転させながらスライド部
材５０を一方向に直線移動させた時に、変位計７４でデ
ィスク７５の回転中の振れ等を測定して、ディスク７５
の平面度、そり量等を精密に検査する。
ド７３を介して変位計７４が取付けられる。そして、回
転体７０上でディスク７５を回転させながらスライド部
材５０を一方向に直線移動させた時に、変位計７４でデ
ィスク７５の回転中の振れ等を測定して、ディスク７５
の平面度、そり量等を精密に検査する。
又、光ディスクの原盤加工機であれば、レーザ光を出す
光ピツクアップ部７４からの光スポットにより、回転体
７０上で回転し且つ直線移動するディスク７５に螺旋状
に信号を記録していく。
光ピツクアップ部７４からの光スポットにより、回転体
７０上で回転し且つ直線移動するディスク７５に螺旋状
に信号を記録していく。
しかしながら、上記従来のスライド装置にあっては、送
りねじのねじ軸６１がスライド部材５０の外側面より外
方に位置しているため、スライド部材５０の中心とねじ
軸６１との距離が長い。そこで、ねじ軸６１を回転する
際のナツト６０の振れ回りや振動が、スライド部材５０
に対して大きなモーメント力を負荷することになる。一
般に静圧軸受はモーメント力に弱く、こうした送りねじ
による大きなモーメント力を軸受剛性で抑えることは困
難であり、そのためスライド部材５０の運動精度が悪化
してしまうという問題点があった。
りねじのねじ軸６１がスライド部材５０の外側面より外
方に位置しているため、スライド部材５０の中心とねじ
軸６１との距離が長い。そこで、ねじ軸６１を回転する
際のナツト６０の振れ回りや振動が、スライド部材５０
に対して大きなモーメント力を負荷することになる。一
般に静圧軸受はモーメント力に弱く、こうした送りねじ
による大きなモーメント力を軸受剛性で抑えることは困
難であり、そのためスライド部材５０の運動精度が悪化
してしまうという問題点があった。
又、回転体７０にディスク７５を装着して回転させると
、ディスク自体のアンバランス及びディスク装着時の偏
心によるアンバランスにより、ディスク７５が振れ回り
、振動を起こし易い。このディスク７５の振動は回転体
７０とスライド部材５０とガイド部材４０とで十分に抑
える必要がある。
、ディスク自体のアンバランス及びディスク装着時の偏
心によるアンバランスにより、ディスク７５が振れ回り
、振動を起こし易い。このディスク７５の振動は回転体
７０とスライド部材５０とガイド部材４０とで十分に抑
える必要がある。
しかし、従来のスライド装置は第７図に示すように、デ
ィスク７５の下方に厚さｌのスライド部材の上板５０ａ
が介在しているため、ディスク７５の取付位置とスライ
ド部材５０の中心との距離りが大きい。そこで、ディス
ク７５が回転する際のアンバランスによりディスク７５
に作用する外力Ｆは、長い腕の長さしの大きなモーメン
ト力をガイド部材４０の案内面４３．４４に負荷するこ
とになり、そのためディスク７５の振動を十分に抑えき
ることができないという問題点があった。
ィスク７５の下方に厚さｌのスライド部材の上板５０ａ
が介在しているため、ディスク７５の取付位置とスライ
ド部材５０の中心との距離りが大きい。そこで、ディス
ク７５が回転する際のアンバランスによりディスク７５
に作用する外力Ｆは、長い腕の長さしの大きなモーメン
ト力をガイド部材４０の案内面４３．４４に負荷するこ
とになり、そのためディスク７５の振動を十分に抑えき
ることができないという問題点があった。
そこで本発明は、上記従来の問題点に着目してなされた
ものであり、その目的とするところは、送りねじのモー
メント力での直線運動精度の劣化が少なく、又ディスク
のアンバランス回転に伴う振動をも十分に抑制できるス
ライド装置を提供することにある。
ものであり、その目的とするところは、送りねじのモー
メント力での直線運動精度の劣化が少なく、又ディスク
のアンバランス回転に伴う振動をも十分に抑制できるス
ライド装置を提供することにある。
上記目的を達成するため、本発明は、基台に回転可能に
支持されたねじ軸に螺合するスライド部材はガイド部材
に嵌合して支持され、前記スライド部材は下部に上部よ
り軸と直角方向にそれぞれ突出した突出部を有し、該突
出部の上下面を上下方向に案内される第一の被案内面と
すると共に、スライド部材上部においてねじ軸に平行な
両側面を水平方向に案内される第二の被案内面とし、前
記ガイド部材は第一の被案内面に対向する第一の案内面
と第二の被案内面に対向する第二の案内面とを有し、前
記第一の被案内面と第一の案内面との少なくとも一方に
気体噴出口を設け、前記第二の被案内面と第二の案内面
との少なくとも一方に気体噴出口を設けた。
支持されたねじ軸に螺合するスライド部材はガイド部材
に嵌合して支持され、前記スライド部材は下部に上部よ
り軸と直角方向にそれぞれ突出した突出部を有し、該突
出部の上下面を上下方向に案内される第一の被案内面と
すると共に、スライド部材上部においてねじ軸に平行な
両側面を水平方向に案内される第二の被案内面とし、前
記ガイド部材は第一の被案内面に対向する第一の案内面
と第二の被案内面に対向する第二の案内面とを有し、前
記第一の被案内面と第一の案内面との少なくとも一方に
気体噴出口を設け、前記第二の被案内面と第二の案内面
との少なくとも一方に気体噴出口を設けた。
スライド部材の外面を被案内面とし、これに対向する案
内面をガイド部材の内面に設けて、スライド部材はガイ
ド部材の内側に嵌合支持せしめた。
内面をガイド部材の内面に設けて、スライド部材はガイ
ド部材の内側に嵌合支持せしめた。
これにより送りねじのねじ軸を、スライド部材の内部に
配置することができ、スライド部材中心とねじ軸との距
離が短縮される。その結果ねじ軸を回転する際にスライ
ド部材に作用するモーメント力が小さくなり、軸受剛性
で抑えることが容易で、スライド部材の直線運動精度を
良好に保つことができる。
配置することができ、スライド部材中心とねじ軸との距
離が短縮される。その結果ねじ軸を回転する際にスライ
ド部材に作用するモーメント力が小さくなり、軸受剛性
で抑えることが容易で、スライド部材の直線運動精度を
良好に保つことができる。
又、スライド部材は下部を側方に突出させ、上部を水平
方向の被案内面としたので、ディスクの取付位置とスラ
イド部材の水平方向の被案内面の中心との距離が短縮さ
れる。その結果、ディスクが回転する際のアンバランス
によりガイド部材に負荷されるモーメント力が小さくな
り、ディスクの振動を十分に抑えることができる。
方向の被案内面としたので、ディスクの取付位置とスラ
イド部材の水平方向の被案内面の中心との距離が短縮さ
れる。その結果、ディスクが回転する際のアンバランス
によりガイド部材に負荷されるモーメント力が小さくな
り、ディスクの振動を十分に抑えることができる。
以下、本発明の実施例を図とともに説明する。
第１図ないし第４図は、本発明の一実施例を示すもので
ある。角形断面の２本の案内部材１ａが、より狭い幅の
支持部材２を介して、基台４上の左右の外側寄りにボル
ト３で固定されている。距離を隔てて互いに対向する各
案内部材１ａの内側面は、静圧軸受の側方受面として機
能する第二の案内面５として形成されている。又、案内
部材１ａの下面は、基台４の上面４ａと間隔をおいて対
向する部分が静圧軸受の上方受面６として機能する第一
の案内面となっている。これに対して対向する基台４の
上面が静圧軸受の下方受面として機能する第一の案内面
７になる。案内部材１ａと 基台４とでガイド部材ｌが
構成され、また対向する２本の案内部材１ａの間に、僅
かなすきまを介してスライド部材１０が嵌合して支持さ
れている。
ある。角形断面の２本の案内部材１ａが、より狭い幅の
支持部材２を介して、基台４上の左右の外側寄りにボル
ト３で固定されている。距離を隔てて互いに対向する各
案内部材１ａの内側面は、静圧軸受の側方受面として機
能する第二の案内面５として形成されている。又、案内
部材１ａの下面は、基台４の上面４ａと間隔をおいて対
向する部分が静圧軸受の上方受面６として機能する第一
の案内面となっている。これに対して対向する基台４の
上面が静圧軸受の下方受面として機能する第一の案内面
７になる。案内部材１ａと 基台４とでガイド部材ｌが
構成され、また対向する２本の案内部材１ａの間に、僅
かなすきまを介してスライド部材１０が嵌合して支持さ
れている。
このスライド部材１０は、中心部に貫通孔１１をそれぞ
れに有する上部材１２と下部材１３とを重ねてボルト１
４で一体に組み立てて形成されている。下部材１３は、
その左右両側部を上部材１２に対しスライド部材１０の
軸と直角方向に突出させて、突出部１５が設けられてい
る。その突出部１５の上面１５ａはガイド部材１の上方
受面６と僅かのすきまを介して対向している。一方、下
面１５ｂは基台４の下方受面７と僅かのすきまを介して
対向している。下部材１３における突出部１５の上下面
はスライド部材１０が上下方向に案内される第一の被案
内面１５ａ、１５ｂとなっている。
れに有する上部材１２と下部材１３とを重ねてボルト１
４で一体に組み立てて形成されている。下部材１３は、
その左右両側部を上部材１２に対しスライド部材１０の
軸と直角方向に突出させて、突出部１５が設けられてい
る。その突出部１５の上面１５ａはガイド部材１の上方
受面６と僅かのすきまを介して対向している。一方、下
面１５ｂは基台４の下方受面７と僅かのすきまを介して
対向している。下部材１３における突出部１５の上下面
はスライド部材１０が上下方向に案内される第一の被案
内面１５ａ、１５ｂとなっている。
これに対して、スライド部材１０の上部材１２の左右両
側面は、ガイド部材１の第二の案内面５と僅かのすきま
を介して対向してスライド部材１０が水平方向に案内さ
れる第二の被案内面１２ｂである。
側面は、ガイド部材１の第二の案内面５と僅かのすきま
を介して対向してスライド部材１０が水平方向に案内さ
れる第二の被案内面１２ｂである。
上記第一の被案内面１５ａ、１５ｂ、及び第二の被案内
面１２ｂには、円板状の多孔質部材１７が、第３図に示
すように、軸方向に一定の間隔を置いて１列に嵌め込ま
れている。その多孔質部材１７が多数の空孔からなる気
体噴出口を有している。多孔質部材１７の背面には環状
の凹溝１８が設けてあり、この凹溝１８に開口する圧縮
気体の給気路２０が、スライド部材１０の内部に形成さ
れている。給気路２０の他端はスライド部材１０の上面
に開口し、これに給気ホース５６が接続されている。な
お、２２は第一、第二の被案内面間に形成した排気路で
ある。
面１２ｂには、円板状の多孔質部材１７が、第３図に示
すように、軸方向に一定の間隔を置いて１列に嵌め込ま
れている。その多孔質部材１７が多数の空孔からなる気
体噴出口を有している。多孔質部材１７の背面には環状
の凹溝１８が設けてあり、この凹溝１８に開口する圧縮
気体の給気路２０が、スライド部材１０の内部に形成さ
れている。給気路２０の他端はスライド部材１０の上面
に開口し、これに給気ホース５６が接続されている。な
お、２２は第一、第二の被案内面間に形成した排気路で
ある。
スライド部材１０の上部材１２の側部には、下方に開口
した軸方向の溝２１が、貫通孔１１を避けて形成しであ
る。この溝２１にはスライド部材１０の一部品であるナ
ツト６０が固着され、このナツト６０には送りねじのね
じ軸６１が螺合している。
した軸方向の溝２１が、貫通孔１１を避けて形成しであ
る。この溝２１にはスライド部材１０の一部品であるナ
ツト６０が固着され、このナツト６０には送りねじのね
じ軸６１が螺合している。
もっとも、ナツト６０は別体とせず、スライド部材１０
自体に雌ねじを形成するようにしてもよい。ねじ軸６１
はスライド部材１０の軸に平行に配設され、両端は支持
部材６２．６３を介して基台４に支持されている。この
ねじ軸６１は、一端部にカップリング６４を介して接続
された駆動モータ６５により回転駆動される。
自体に雌ねじを形成するようにしてもよい。ねじ軸６１
はスライド部材１０の軸に平行に配設され、両端は支持
部材６２．６３を介して基台４に支持されている。この
ねじ軸６１は、一端部にカップリング６４を介して接続
された駆動モータ６５により回転駆動される。
スライド部材１０の中心部の貫通孔１１には、上部にデ
ィスクを取付ける回転テーブル７２を有する回転体７０
が装入され、ボルト７１でスライド部材１０に固定され
る。回転テーブル７２は、回転体７０内の図示されない
モータで回転駆動される。
ィスクを取付ける回転テーブル７２を有する回転体７０
が装入され、ボルト７１でスライド部材１０に固定され
る。回転テーブル７２は、回転体７０内の図示されない
モータで回転駆動される。
次に作用を説明する。
第４図に示すように、回転テーブル上にディスク７５を
取付け、回転体７ｏ内のモータで回転駆動する。この時
、ディスク自体のアンバランスやディスク装着時の偏心
によるアンバランスがあると、ディスク７５に水平方向
の外力Ｆが負荷される。この外力Ｆは、ディスク７５と
第二の案内面５の中心０間の長さり、を腕の長さとする
モーメント力としてガイド部材１に作用する。しかして
上記腕の長さＬｌは、第７図に示す従来の腕の長さＬに
比べると、スライド部材の上板５０ａの厚さｌの分だけ
短縮されている。すなわち（Ｌ、＝Ｌ−１）である。そ
のため、外力Ｆによるモーメント力は小さくなり、スラ
イド部材１０を非接触に支持する気体軸受の剛性でディ
スク７５の振動を十分に抑えきることが可能である。
取付け、回転体７ｏ内のモータで回転駆動する。この時
、ディスク自体のアンバランスやディスク装着時の偏心
によるアンバランスがあると、ディスク７５に水平方向
の外力Ｆが負荷される。この外力Ｆは、ディスク７５と
第二の案内面５の中心０間の長さり、を腕の長さとする
モーメント力としてガイド部材１に作用する。しかして
上記腕の長さＬｌは、第７図に示す従来の腕の長さＬに
比べると、スライド部材の上板５０ａの厚さｌの分だけ
短縮されている。すなわち（Ｌ、＝Ｌ−１）である。そ
のため、外力Ｆによるモーメント力は小さくなり、スラ
イド部材１０を非接触に支持する気体軸受の剛性でディ
スク７５の振動を十分に抑えきることが可能である。
その気体軸受を作動させるには、図示しない圧力源から
給気ホース５６を経て給気路２０に圧縮気体を送給する
。この圧縮気体は、各多孔質部材１７の背面の環状の凹
溝１８から多孔質部材１７の空孔内に浸透し、多孔質部
材１７の表面から噴出する。こうして第一の被案内面１
５ａ、１５ｂと第一の案内面６．７との間の軸受すきま
、及び第二の被案内面１２ｂと第二の案内面５との間の
軸受すきまに、気体膜が形成される。この気体膜により
、スライド部材１０はガイド部材１に非接触に支持され
る。なお、噴出した気体は排気路２２を経て、外部に放
出される。
給気ホース５６を経て給気路２０に圧縮気体を送給する
。この圧縮気体は、各多孔質部材１７の背面の環状の凹
溝１８から多孔質部材１７の空孔内に浸透し、多孔質部
材１７の表面から噴出する。こうして第一の被案内面１
５ａ、１５ｂと第一の案内面６．７との間の軸受すきま
、及び第二の被案内面１２ｂと第二の案内面５との間の
軸受すきまに、気体膜が形成される。この気体膜により
、スライド部材１０はガイド部材１に非接触に支持され
る。なお、噴出した気体は排気路２２を経て、外部に放
出される。
ディスク７５の直線移動は、送りねじの駆動モータ６５
によりねじ軸６１を回転駆動させることにより行われる
。これによりスライド部材１ｏはガイド部材１に案内さ
れつつ軸方向に直線移動する。その際、ナツト６０の振
れ回りゃ振動に伴う外力が、ねじ軸６１と第二の案内面
５の中心０間の長さを腕の長さとするモーメント力とし
てガイド部材１に作用する。しかして上記腕の長さは、
従来の腕の長さに比べると、ねじ軸６１をスライド部材
の内部に配置したため短縮されている。そのため、ナツ
トの振れ回りや振動に伴う外力によるモーメント力は小
さくなり、スライド部材１゜を非接触に支持する気体軸
受の剛性で抑えることが可能である。そのためスライド
部材１０の運動精度が保証される。
によりねじ軸６１を回転駆動させることにより行われる
。これによりスライド部材１ｏはガイド部材１に案内さ
れつつ軸方向に直線移動する。その際、ナツト６０の振
れ回りゃ振動に伴う外力が、ねじ軸６１と第二の案内面
５の中心０間の長さを腕の長さとするモーメント力とし
てガイド部材１に作用する。しかして上記腕の長さは、
従来の腕の長さに比べると、ねじ軸６１をスライド部材
の内部に配置したため短縮されている。そのため、ナツ
トの振れ回りや振動に伴う外力によるモーメント力は小
さくなり、スライド部材１゜を非接触に支持する気体軸
受の剛性で抑えることが可能である。そのためスライド
部材１０の運動精度が保証される。
ちなみに、上記実施例のスライド装置により、送りねじ
の振動及びディスクのアンバランスの影響を従来のスラ
イド装置に比し２０〜３０％低減させ、精度を向上させ
ることができた。
の振動及びディスクのアンバランスの影響を従来のスラ
イド装置に比し２０〜３０％低減させ、精度を向上させ
ることができた。
なお、上記実施例では、第一の被案内面１５ａ。
１５ｂと第二の被案内面１２ｂとに気体噴出口としての
多孔質部材１７を設けた場合を説明したが、これに限ら
ず、多孔質部材１７は対向側である第一の案内面６，７
及び第二の案内面５とに設けて −もよく、或いは第
一の被案内面１５ａ、１５ｂと第一の案内面６，７との
双方及び第二の被案内面１２ｂと第二の案内面５との双
方に設けてもよい。
多孔質部材１７を設けた場合を説明したが、これに限ら
ず、多孔質部材１７は対向側である第一の案内面６，７
及び第二の案内面５とに設けて −もよく、或いは第
一の被案内面１５ａ、１５ｂと第一の案内面６，７との
双方及び第二の被案内面１２ｂと第二の案内面５との双
方に設けてもよい。
又、圧縮気体の噴出口として多孔質部材１７を用いたが
、その他の絞り、すなわちオリフィス絞り、自戒絞り１
表面絞り等を適用することもできる。
、その他の絞り、すなわちオリフィス絞り、自戒絞り１
表面絞り等を適用することもできる。
〔発明の効果〕 。
以上説明したように、本発明によれば、スライド部材の
外面を第一、第二の被案内面とし、これに対向する第一
、第二の案内面をガイド部材の内面に設けて、スライド
部材をガイド部材の内側に嵌合支持せしめ、送りねじの
ねじ軸をスライド部材の内部に配置した。そのため、ス
ライド部材中心とねじ軸との距離が短縮されてねじ軸の
回転でスライド部材に作用するモーメント力が小さくな
り、良好な直線運動精度を有するスライド装置を提供す
ることができるという効果が得られる。
外面を第一、第二の被案内面とし、これに対向する第一
、第二の案内面をガイド部材の内面に設けて、スライド
部材をガイド部材の内側に嵌合支持せしめ、送りねじの
ねじ軸をスライド部材の内部に配置した。そのため、ス
ライド部材中心とねじ軸との距離が短縮されてねじ軸の
回転でスライド部材に作用するモーメント力が小さくな
り、良好な直線運動精度を有するスライド装置を提供す
ることができるという効果が得られる。
又、スライド部材は下部を側方に突出させ、上部を水平
方向の被案内面とした。そのため、ディスクの取付位置
とスライド部材の水平方向の被案内面の中心との距離が
短縮されてディスク回転のアンバランスによりガイド部
材に負荷されるモーメント力が小さくなり、ディスクの
振動を十分に抑えたスライド装置を提供することができ
るという効果が得られる。
方向の被案内面とした。そのため、ディスクの取付位置
とスライド部材の水平方向の被案内面の中心との距離が
短縮されてディスク回転のアンバランスによりガイド部
材に負荷されるモーメント力が小さくなり、ディスクの
振動を十分に抑えたスライド装置を提供することができ
るという効果が得られる。
第１図ないし第４図は本発明の一実施例を示し、第１図
は要部の横断面図、第２図はその斜視図、第３図は中心
部材の分解斜視図、第４図は作用を説明する正面図、第
５図ないし第７図は従来のスライド装置を示し、第５図
は横断面図、第６図はその斜視図、第７図は作用を説明
する正面図である。 １はガイド部材、４は基台、５は側方受面（第二の案内
面）、６は上方受面（第一の案内面）、７は下方受面（
第一の案内面）、１０はスライド部材、１２ｂはスライ
ド部材上部の側面（第二の被案内面）、１５は突出部、
１５ａは突出部の上面（第一の被案内面）、１５ｂは突
出部の下面（第一の被案内面）、１７は多孔質部材、６
１はねじ軸。
は要部の横断面図、第２図はその斜視図、第３図は中心
部材の分解斜視図、第４図は作用を説明する正面図、第
５図ないし第７図は従来のスライド装置を示し、第５図
は横断面図、第６図はその斜視図、第７図は作用を説明
する正面図である。 １はガイド部材、４は基台、５は側方受面（第二の案内
面）、６は上方受面（第一の案内面）、７は下方受面（
第一の案内面）、１０はスライド部材、１２ｂはスライ
ド部材上部の側面（第二の被案内面）、１５は突出部、
１５ａは突出部の上面（第一の被案内面）、１５ｂは突
出部の下面（第一の被案内面）、１７は多孔質部材、６
１はねじ軸。
Claims (1)
- （１）基台に回転可能に支持されたねじ軸に螺合するス
ライド部材はガイド部材に嵌合して支持され、前記スラ
イド部材は下部に上部より軸と直角方向にそれぞれ突出
した突出部を有し、該突出部の上下面を上下方向に案内
される第一の被案内面とすると共に、スライド部材上部
においてねじ軸に平行な両側面を水平方向に案内される
第二の被案内面とし、前記ガイド部材は第一の被案内面
に対向する第一の案内面と第二の被案内面に対向する第
二の案内面とを有し、前記第一の被案内面と第一の案内
面との少なくとも一方に気体噴出口を設け、前記第二の
被案内面と第二の案内面との少なくとも一方に気体噴出
口を設けたスライド装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1034328A JP2867408B2 (ja) | 1989-02-14 | 1989-02-14 | スライド装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1034328A JP2867408B2 (ja) | 1989-02-14 | 1989-02-14 | スライド装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02297787A true JPH02297787A (ja) | 1990-12-10 |
| JP2867408B2 JP2867408B2 (ja) | 1999-03-08 |
Family
ID=12411088
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1034328A Expired - Fee Related JP2867408B2 (ja) | 1989-02-14 | 1989-02-14 | スライド装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2867408B2 (ja) |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS601422A (ja) * | 1983-06-16 | 1985-01-07 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 原盤記録装置 |
| JPS6212838U (ja) * | 1985-07-08 | 1987-01-26 | ||
| JPS6228519A (ja) * | 1985-07-30 | 1987-02-06 | Kyocera Corp | セラミツク軸受装置 |
| JPS62141309A (ja) * | 1985-12-17 | 1987-06-24 | Canon Inc | 多孔質静圧気体軸受 |
| JPS6426019A (en) * | 1987-07-17 | 1989-01-27 | Matsushita Electric Industrial Co Ltd | Static pressure gas bearing device |
-
1989
- 1989-02-14 JP JP1034328A patent/JP2867408B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS601422A (ja) * | 1983-06-16 | 1985-01-07 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 原盤記録装置 |
| JPS6212838U (ja) * | 1985-07-08 | 1987-01-26 | ||
| JPS6228519A (ja) * | 1985-07-30 | 1987-02-06 | Kyocera Corp | セラミツク軸受装置 |
| JPS62141309A (ja) * | 1985-12-17 | 1987-06-24 | Canon Inc | 多孔質静圧気体軸受 |
| JPS6426019A (en) * | 1987-07-17 | 1989-01-27 | Matsushita Electric Industrial Co Ltd | Static pressure gas bearing device |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2867408B2 (ja) | 1999-03-08 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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