JPS62141309A - 多孔質静圧気体軸受 - Google Patents
多孔質静圧気体軸受Info
- Publication number
- JPS62141309A JPS62141309A JP60282114A JP28211485A JPS62141309A JP S62141309 A JPS62141309 A JP S62141309A JP 60282114 A JP60282114 A JP 60282114A JP 28211485 A JP28211485 A JP 28211485A JP S62141309 A JPS62141309 A JP S62141309A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- exhaust
- bearing
- porous body
- gas
- porous
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
- F16C32/06—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings
- F16C32/0681—Construction or mounting aspects of hydrostatic bearings, for exclusively rotary movement, related to the direction of load
- F16C32/0685—Construction or mounting aspects of hydrostatic bearings, for exclusively rotary movement, related to the direction of load for radial load only
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
- F16C32/06—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings
- F16C32/0603—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings supported by a gas cushion, e.g. an air cushion
- F16C32/0614—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings supported by a gas cushion, e.g. an air cushion the gas being supplied under pressure, e.g. aerostatic bearings
- F16C32/0618—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings supported by a gas cushion, e.g. an air cushion the gas being supplied under pressure, e.g. aerostatic bearings via porous material
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Dispersion Chemistry (AREA)
- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の属する分野１
本発明は、多孔質体を用いた多孔質静圧気体軸受に関す
る。
る。
［従来技術］
従来、多孔質静圧気体軸受において、軸受部分からの排
気を必要とすることがあった。
気を必要とすることがあった。
第２図は、従来の多孔質体を用いた静圧スラストラジア
ル気体軸受の縦断面図を示す。同図に示すスラストラジ
アル軸受は、給気孔６から圧力気体を供給し、円筒状多
孔質体からなるラジアル軸受３ａと円環状多孔質体から
なるスラスト軸受３ｂとから気体を噴出させ、回転軸１
および７ランジ１ａとの間に気体膜を形成して、軸１を
ラジアル方向およびスラスト方向へ非接触で支持する構
造をもつ。
ル気体軸受の縦断面図を示す。同図に示すスラストラジ
アル軸受は、給気孔６から圧力気体を供給し、円筒状多
孔質体からなるラジアル軸受３ａと円環状多孔質体から
なるスラスト軸受３ｂとから気体を噴出させ、回転軸１
および７ランジ１ａとの間に気体膜を形成して、軸１を
ラジアル方向およびスラスト方向へ非接触で支持する構
造をもつ。
このようなｆｉ造を有するスラストラジアル軸受におい
て、前述のように軸受部分からの排気が必要となるのは
、例えば以下のような場合である。
て、前述のように軸受部分からの排気が必要となるのは
、例えば以下のような場合である。
１）ラジアル軸受３ａとスラスト軸受３ｂから排気され
る気体流の相互の干渉による自励振動の発生を抑え軸受
の安定性と剛性を高めるために、ラジアル軸受３ａとス
ラスト軸受３ｂからの排気流の合流部Ａに気体を溜めて
高圧を維持する必要があり、ラジアル軸受３ａからの排
気を合流部Ａへ行なえず軸受中間に設けた空間４から排
気孔５を通して行なう場合。
る気体流の相互の干渉による自励振動の発生を抑え軸受
の安定性と剛性を高めるために、ラジアル軸受３ａとス
ラスト軸受３ｂからの排気流の合流部Ａに気体を溜めて
高圧を維持する必要があり、ラジアル軸受３ａからの排
気を合流部Ａへ行なえず軸受中間に設けた空間４から排
気孔５を通して行なう場合。
２）ラジアル軸受の負荷容量および軸受剛性を増す目的
で軸受長さを長くしたとき、軸受中央部付近の気体が排
出されにくくなり、軸受の長さを増しても負荷容量の増
加の割合が少なくなる。
で軸受長さを長くしたとき、軸受中央部付近の気体が排
出されにくくなり、軸受の長さを増しても負荷容量の増
加の割合が少なくなる。
そこで、軸受部分からの排気を行なう場合。
このように軸受部分からの排気を必要とする場合、従来
は第３図に示すごとく円筒状の多孔質体３ （３−１，
３−２＞をハウジング２の内周孔の両側に配置し、多孔
質体３−１と３−２との間に空間４を形成し、この空間
４と外部とをハウジング２に設けた排気孔５により連通
させていた。これにより、給気孔６から供給された圧力
気体は、給気室７から多孔質体３を通り回転軸１１と多
孔質体３との間の微小すきま９に噴出し、その後前記の
空間４と排気孔５から外部へ排出される。
は第３図に示すごとく円筒状の多孔質体３ （３−１，
３−２＞をハウジング２の内周孔の両側に配置し、多孔
質体３−１と３−２との間に空間４を形成し、この空間
４と外部とをハウジング２に設けた排気孔５により連通
させていた。これにより、給気孔６から供給された圧力
気体は、給気室７から多孔質体３を通り回転軸１１と多
孔質体３との間の微小すきま９に噴出し、その後前記の
空間４と排気孔５から外部へ排出される。
しかし、このような軸受においては、多孔質体３をハウ
ジング２に嵌着するときのつき当て部８を必要とし、多
孔質体３を嵌着するための内孔をハウジング２に加工す
る際に、つぎ当て部８の両側から２回に分けて加工を行
なわな（〕ればならない。また、多孔質体を２個必要と
するために多孔質体の取付けも２回行なわなければなら
ない。このため、製作コストが高くなるという欠点があ
った。
ジング２に嵌着するときのつき当て部８を必要とし、多
孔質体３を嵌着するための内孔をハウジング２に加工す
る際に、つぎ当て部８の両側から２回に分けて加工を行
なわな（〕ればならない。また、多孔質体を２個必要と
するために多孔質体の取付けも２回行なわなければなら
ない。このため、製作コストが高くなるという欠点があ
った。
また、軸受長が長くなったときに軸受負荷容量および軸
受剛性を上げる目的で軸に排気用溝を複数箇所設け、こ
の排気用溝に対向する多孔質体軸受面に目つぶしを行な
い、軸に排気用溝と外気を連通ずる孔を設は排気を行な
う多孔質静圧気体軸受（特開昭５５−１１９２１８）も
提案されているが、このような軸受では軸へ排気孔を加
工するため加工時に軸の重量バランスが狂い易く、軸の
回転時に高度な動バランスを必要とするこの種の軸受に
は適切なものとは言い難い。また、軸が軸方向へ移動す
る構造の軸受にも適さない。
受剛性を上げる目的で軸に排気用溝を複数箇所設け、こ
の排気用溝に対向する多孔質体軸受面に目つぶしを行な
い、軸に排気用溝と外気を連通ずる孔を設は排気を行な
う多孔質静圧気体軸受（特開昭５５−１１９２１８）も
提案されているが、このような軸受では軸へ排気孔を加
工するため加工時に軸の重量バランスが狂い易く、軸の
回転時に高度な動バランスを必要とするこの種の軸受に
は適切なものとは言い難い。また、軸が軸方向へ移動す
る構造の軸受にも適さない。
［発明の目的］
本発明は、上述の従来形の問題点に鑑み、多孔質体の軸
受面に排気用溝を設けて軸受部分からの排気を可能にす
るという構想に基づき、ハウジングの加工が簡単で多孔
質体を複数個必要とせず安価な製作コストで作製可能で
あり、また高い軸受剛性と負荷容量を有する多孔質静圧
気体軸受を提供することを目的とする。
受面に排気用溝を設けて軸受部分からの排気を可能にす
るという構想に基づき、ハウジングの加工が簡単で多孔
質体を複数個必要とせず安価な製作コストで作製可能で
あり、また高い軸受剛性と負荷容量を有する多孔質静圧
気体軸受を提供することを目的とする。
［実施例の説明］
以下、図面を用いて本発明の詳細な説明する。
第１図は、本発明の一実施例に係る多孔質静圧気体軸受
の縦断面図を示す。
の縦断面図を示す。
同図において、１１は回転軸、１３は円筒状の多孔質体
で両端面１３ａは気体の漏れを防止するための処置がな
されている。１２はハウジング、１４は多孔質体１３の
内周面に設けられた排気用溝、１５は排気孔でハウジン
グ１２と多孔質体１３を連通して設けられている。１６
は給気孔、１７は給気室である。多孔質体１３の排気用
溝１４および排気孔１５を形成する面には気体の漏れを
防止するための処置がなされている。多孔質体１３はハ
ウジング１２の内方に嵌着されている。ハウジング１２
に設けられた給気孔１６ｈ１ら同一の圧力源からの圧力
気体を給気室１７へ供給すると、気体は多孔質体１３を
通り、軸１１と多孔質体１３の間の微小すきま１９へ噴
出し気体膜を形成し軸１１を支持する。前記微小すきま
１９内の気体は多４一 孔質体１３の両側部分１３ａと軸１１のすきまから排出
されるとともに、多孔質体１３に設けられた排気用溝１
４から排気孔１５を通って外部に排出される。
で両端面１３ａは気体の漏れを防止するための処置がな
されている。１２はハウジング、１４は多孔質体１３の
内周面に設けられた排気用溝、１５は排気孔でハウジン
グ１２と多孔質体１３を連通して設けられている。１６
は給気孔、１７は給気室である。多孔質体１３の排気用
溝１４および排気孔１５を形成する面には気体の漏れを
防止するための処置がなされている。多孔質体１３はハ
ウジング１２の内方に嵌着されている。ハウジング１２
に設けられた給気孔１６ｈ１ら同一の圧力源からの圧力
気体を給気室１７へ供給すると、気体は多孔質体１３を
通り、軸１１と多孔質体１３の間の微小すきま１９へ噴
出し気体膜を形成し軸１１を支持する。前記微小すきま
１９内の気体は多４一 孔質体１３の両側部分１３ａと軸１１のすきまから排出
されるとともに、多孔質体１３に設けられた排気用溝１
４から排気孔１５を通って外部に排出される。
なお、上記実施例において、排気用溝は１か所としてい
るが複数箇所設け、その各々に排気孔を連通する構造と
してもよい。
るが複数箇所設け、その各々に排気孔を連通する構造と
してもよい。
また、回転軸が軸方向へ移動する構造としてもよい。
さらに、上記実施例において、給気室からの透過気体の
軸方向への拡散を少なくする気体透過の方向性をもった
多孔質体を用いた場合には、多孔質体の排気用溝および
排気孔を形成する面の気体の漏れ防止の処置は行なわな
くてもよい。
軸方向への拡散を少なくする気体透過の方向性をもった
多孔質体を用いた場合には、多孔質体の排気用溝および
排気孔を形成する面の気体の漏れ防止の処置は行なわな
くてもよい。
［発明の効果］
以上説明したように、本発明によれば、軸受部分からの
排気を行なうための排気用溝を多孔質体の軸受面に設け
、この排気用溝と外部とを連通ずる排気孔を設けている
ので、以下のような効果がある。
排気を行なうための排気用溝を多孔質体の軸受面に設け
、この排気用溝と外部とを連通ずる排気孔を設けている
ので、以下のような効果がある。
１）多孔質体を複数個必要としないため軸受ハウジング
の加工や多孔質体のハウジングへの取付けが簡単になり
製作コストが下げられる。
の加工や多孔質体のハウジングへの取付けが簡単になり
製作コストが下げられる。
２）軸受部分からの排気が容易に行なわれ、軸受負荷容
量や軸受剛性を高くできる。
量や軸受剛性を高くできる。
３）軸に排気孔を加工するのでなく軸受の不可動側に排
気用溝を設けるので、軸の重量バランスに影響を与えな
い。また、回転軸が軸方向へ移動する構造であっても軸
受の性能に影響がない。
気用溝を設けるので、軸の重量バランスに影響を与えな
い。また、回転軸が軸方向へ移動する構造であっても軸
受の性能に影響がない。
第１図は、本発明の一実施例に係る多孔質静圧気体軸受
の縦断面図、 第２図は、多孔質体を用いた静圧スラストラジアル気体
軸受の従来例の縦断面図、 第３図は、ラジアル軸受の軸受部分からの排気を行なう
従来例の縦断面図である。 １１・・・回転軸、１２・・・ハウジング、１３・・・
多孔質体、１４・・・排気用溝、１５・・・排気孔、１
６・・・給気孔、１７・・・給気室。 ７一
の縦断面図、 第２図は、多孔質体を用いた静圧スラストラジアル気体
軸受の従来例の縦断面図、 第３図は、ラジアル軸受の軸受部分からの排気を行なう
従来例の縦断面図である。 １１・・・回転軸、１２・・・ハウジング、１３・・・
多孔質体、１４・・・排気用溝、１５・・・排気孔、１
６・・・給気孔、１７・・・給気室。 ７一
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 加圧気体を軸受面と回転軸との間の微小すきまに噴出し
微小すきまに気体膜を形成して回転軸を支持する多孔質
静圧気体軸受において、 軸受部材である多孔質体の回転軸に対向する面に周状の
排気用溝を設け、該排気用溝と外気とを連通する排気孔
を設けて、該排気用溝と排気孔から微小すきま内の気体
を排出することを特徴とする多孔質静圧気体軸受。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60282114A JPS62141309A (ja) | 1985-12-17 | 1985-12-17 | 多孔質静圧気体軸受 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60282114A JPS62141309A (ja) | 1985-12-17 | 1985-12-17 | 多孔質静圧気体軸受 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62141309A true JPS62141309A (ja) | 1987-06-24 |
Family
ID=17648309
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60282114A Pending JPS62141309A (ja) | 1985-12-17 | 1985-12-17 | 多孔質静圧気体軸受 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62141309A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0257721A (ja) * | 1988-08-22 | 1990-02-27 | Canon Inc | 真空用エアーベアリング |
| JPH02297787A (ja) * | 1989-02-14 | 1990-12-10 | Nippon Seiko Kk | スライド装置 |
| GB2360332B (en) * | 2000-03-16 | 2004-05-05 | Applied Materials Inc | Vacuum bearing structure and a method of supporting a movable member |
| JP2010188374A (ja) * | 2009-02-18 | 2010-09-02 | Suzuki Ritsuko | タワミ防止用軸受を備えたロール加圧装置 |
| JP2013049093A (ja) * | 2012-11-28 | 2013-03-14 | Suzuki Ritsuko | タワミ防止用ロール受を備えたロール加圧装置 |
-
1985
- 1985-12-17 JP JP60282114A patent/JPS62141309A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0257721A (ja) * | 1988-08-22 | 1990-02-27 | Canon Inc | 真空用エアーベアリング |
| JPH02297787A (ja) * | 1989-02-14 | 1990-12-10 | Nippon Seiko Kk | スライド装置 |
| GB2360332B (en) * | 2000-03-16 | 2004-05-05 | Applied Materials Inc | Vacuum bearing structure and a method of supporting a movable member |
| JP2010188374A (ja) * | 2009-02-18 | 2010-09-02 | Suzuki Ritsuko | タワミ防止用軸受を備えたロール加圧装置 |
| JP2013049093A (ja) * | 2012-11-28 | 2013-03-14 | Suzuki Ritsuko | タワミ防止用ロール受を備えたロール加圧装置 |
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