JPH02299249A - ワイヤボンデイング方法 - Google Patents

ワイヤボンデイング方法

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JPH02299249A
JPH02299249A JP1118599A JP11859989A JPH02299249A JP H02299249 A JPH02299249 A JP H02299249A JP 1118599 A JP1118599 A JP 1118599A JP 11859989 A JP11859989 A JP 11859989A JP H02299249 A JPH02299249 A JP H02299249A
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義光 寺門
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明はワイヤボンディング方法に係り、特に超音波併
用熱圧着ワイヤボンディング方法に関する。
［従来の技術］ 周知の如く、超音波併用熱圧着ワイヤボンダは、概略第
３図に示すような構造よりなっている。即ち、平面上の
ｘＹ軸方向に駆動されるＸＹテーブルｌには、ボンディ
ングヘッド２が搭載されている。ボンディングヘッド２
には図示しないＺ軸駆動手段で上下動又は揺動させられ
るホーン３が設けられており、ホーン３の一端にはツー
ル４が取付けられている。ツール４には、ワイヤスプー
ル５に巻回されたワイヤ６がクランパ７を通して挿通さ
れている。
そこで、第１ボンド面Ｂと第２ボンド面９へのボンディ
ングは、第４図に示すタイミングで行われる。即ち、ｘ
Ｙテーブル１のＸＹ軸駆動による平面移動とホーン３の
Ｚ軸駆動とによる下降とにより、ツール４は第１ボンド
面８に当接し、その第１ボンド面８より更に若干ツール
４が下降させてワイヤ６が加圧される。またワイヤ加圧
後にホーン３が超音波発振を行ってツール４に超音波振
動が印加される。これにより、第１ボンド面已にワイヤ
６がボンディングされる。
次にツール４は上昇、ｘＹ方向への駆動及び下降させら
れてワイヤ６の繰り出しが行われ、第２ポンド面９にツ
ール４は当接し、第１ポンド面８のポンディングと同様
にワイヤ６の加圧及び超音波振動が行われ、第２ポンド
面９にワイヤ６がポンディングされる。
その後、クランパ７が閉じてワイヤ挿通方向に上昇し、
ワイヤ６は第２ポンド面９の根元部より切断される８次
にツール４は上昇、クランパ７が開、上昇、閉、下降の
動作を行ってワイヤ６の先端がツール４の下面に延在さ
れる。
［発明が解決しようとする課題１ 上記従来技術では、ポンド面８，９が酸化等してポンド
状態が悪い場合、ワイヤ６がポンド面８．９に全部ポン
ディングされなく、十分なワイヤボンディング強度が得
られないという問題があった。
本発明の目的は、ポンディング強度の向上が図れるワイ
ヤボンディング方法を提供することにある。
［課題を解決するための手段］ 上記目的は、ワイヤをポンド面に押付けてツールに超音
波振動を印加している時に該ツールにスクラブ動作を行
わせてポンディングすることにより達成される。
［作用］ ワイヤをポンド面に加圧及び超音波振動を与える他に、
ツールにスクラブ動作を行わせてワイヤをポンド面にポ
ンディングするので、ポンド面が酸化等によってポンド
状態が悪い場合においても、酸化物等がスクラブ動作に
よって除去されてワイヤの全面がポンド面にポンディン
グされ、十分なワイヤボンディング強度が得られる。
［実施例］ 以下、本発明の一実施例を第１図及び第２図により説明
する。第１図に示すツール４の移動、Ｚ軸駆動、ワイヤ
加圧及び超音波発振のタイミングは、第４図の場合と同
じである。
本実施例は、第１図に示すように、ツール４が第１ポン
ド面８及び第２ポンド面９にワイヤ６を加圧して超音波
発振を行っている時、即ちポンディング時に第３図に示
すｘＹテーブルｌをＸＹ方向に駆動するスクラブ信号１
０．１１を与える。
前記スクラブ信号１０．１１は、例えば第２図に示すよ
うにツール４をＸ方向及びＹ方向に移動させる信号を与
える。このようにＸ方向及びＹ方向にツール４を移動さ
せる量は、試料によって異なるが、例えば３〜５０ｕＬ
ｍｍの範囲にする。またスクラブ動作は、第２図に示す
ように正方形形状に限定されるものではなく、長方形形
状、円形形状、楕円形形状、又は直線状の往復動作等で
もよい。
このように、ワイヤ６をポンド面８，９に加圧及び超音
波振動を与える他に、ツール４にスクラブ動作を行わせ
てワイヤ６をポンド面８．９にポンディングするので、
ポンド面８．９が酸化等によってポンド状態が悪い場合
においても、ａ化物等がスクラブ動作によって除去され
てワイヤ６の全面がポンド面８．９にポンディングされ
、十分なワイヤボンディング強度が得られる。
［発明の効果］ 以上の説明から明らかなように、本発明によれば、ワイ
ヤをポンド面に加圧及び超音波振動を与える他に、ツー
ルにスクラブ動作を行わせてワイヤをポンド面にポンデ
ィングするので、ポンド面の酸化物等がスクラブ動作に
よって除去される。
これにより、ワイヤの全面がポンド面にポンディングさ
れ、十分なワイヤボンディング強度が得られる。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明の一実施例を示すタイミング図、第２図
はスクラブ動作の一実施例を示す説明図、第３図はワイ
ヤボンダの概略図、第４図は従来例のタイミング図であ
る。 １：ＸＹテーブル、　　　４：ツール、６：ワイヤ、　
　　　　　８：第１ポンド面。 ９；第２ポンド面、　　　１０．１１ニスクラブ信号。 第１図 ９：第２ホ゛″、卜°面 第３図 第４図

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. （１）ワイヤをツールでボンド面に押付け、該ツールに
    超音波振動を印加してボンディングするワイヤボンディ
    ング方法において、ワイヤをボンド面に押付けてツール
    に超音波振動を印加している時に該ツールにスクラブ動
    作を行わせてボンディングすることを特徴とするワイヤ
    ボンディング方法。
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