JPH02303040A - エアテンション装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はエアテンション装置、特にワイヤボンディング
装置用のエアテンション装置に関する。

〔従来の技術〕

従来のエアテンション装置は、金属細線を通す円筒形状
のエアガイドと前記エアガイドの軸方向に関して斜めの
角度に前記エアガイドの中に挿入された１本以上のエア
パイプとを含んで構成される。

次に、従来のエアテンション装置について、図面を参照
して詳細に説明する。

第４図は従来のエアテンション装置の一実施例を示す斜
視図である。

第４図に示すエアテンション装置は、エアガイド１１１
とエアパイプ１１２と金属細線１１３とを含んで構成さ
れている。

次に、従来のエアテンション装置の動作について説明す
る。

第５図はその動作例を示す動作説明図である。

エアバイブ１１２からエアガイド１１１内に空気が吹き
出し、金属細線１１３の周囲に空気の流れが生じる。こ
のとき、空気の流れの方向Ａは金属細線の方向Ｂと対向
している。

そのため、空気の粘性により金属細線１１３の表面に掌
擦力が働き、方向Ｃにテンションがかかる。

空気の流れによる抵抗力で金属細線１１３にテンション
を加えているので、エアガイド１１１の中の空気はある
程度の速さで流す必要がある。

このためエアガイド１１１は細管とする必要がある。

一方、ワイヤボンディング装置の金属細線２０〜３０μ
と細いため大変座屈しやすく、金属細線１１３を細管で
あるエアガイド１１１に通すのは熟練を必要とする作業
である。

また、ワイヤボンディング装置では比較的よく起こる金
属細線１１３の切れの復旧作業では、この作業が必要と
されるために、この作業の作業性がワイヤボンディング
装置の稼働率に影響を与えている。

〔発明が解決しようとする課題〕

上述した従来のエアテンション装置は、金属細線をエア
ガイドに通す作業が熟練を必要とする作業であるため、
金属細線をエアガイドに通す作業に多大な工数を必要と
し、その結果ワイヤホンディング装置の稼働率が悪くな
るために、ボンディングの生産性が悪いと言う欠点があ
った。

〔課題を解決するための手段〕

本発明のエアテンション装置は、金属細線を軸方向に通
した円筒形状のエアガイドと、前記エアガイドの前記金
属細線の走行方向手前の端部の前記円筒内で前記金属細
線の走行方向に空気吹き出し口を有する１本以上の第１
のエアバイブと、前記第１のエアバイブと対向する位置
で前記第１のエアバイブとは逆方向に空気吹き出し口を
有する１本以上の第２のエアバイブと、前記第１のエア
バイブと第２のエアバイブとに空気圧を供給する圧搾装
置と、前記第１のエアバイブと前記圧搾装置とを結ぶ第
１のエアバルブと、前記第２のエアバイブと前記圧搾装
置とを結ぶ第２のエアバルブと、前記第１及び第２のエ
アバルブの開閉を制御する制御装置とを含んで構成され
る。

〔実施例〕

次に、本発明の実施例について、図面を参照して詳細に
説明する。

第１図は本発明の一実施例を示す斜視図である。

第１図に示すエアテンション装置は、エアガイド１１と
エアバイブ１２とエアバイブ１４と空気圧搾機１７とエ
アバルブ１５とエアバルブ１６とコントローラ１８とを
含んで構成されている。

エアガイド１１は円筒状の筒で、その内部にワイヤボン
ディングに使用する金属細線１３を軸方向に通している
。エアバイブ１２とエアバイブ１４はエアガイド１１を
軸方向に挟んで設置されており、エアパイ°ブ１２は金
属細線１３の走行方向に対してエアガイド１１の手前に
位置し、エアバイブ１４は向こうに位置している。

又、エアバイブ１２の空気吹き出し口は金属細線１３の
走行方向（以下Ｂ方向と称す）に向いており、エアバイ
ブ１４の空気吹き出し口は金属細線１３の走行方向の逆
方向（以下Ｃ方向と称す）に向いている。

エアバイブ１２とエアバイブ１４は各々エアバルブ１５
・１６を介して空気圧搾機１７と接続していて、エアバ
ルブ１５とエアバルブ１６はコントローラ１８からの指
令に従い個別に開閉する。

次に、本発明のエアテンション装置の動作について説明
する。

第２図は本発明の動作例を示す動作説明図、第３図は金
属細線を通す際の動作説明図である。

金属細線１３にテンションを加える際には、コントロー
ラ１８から指令を与えてエアバルブ１５を閉じエアバル
ブ１６を開く。このとき空気圧搾機１７で圧搾された空
気はエアバイブ１４を通してエアガイド１１内で方向Ｃ
に空気が吹き出し、金属細線１３の周囲に空気の流れが
生じる。

このとき、空気の流れの方向Ａは金属細線の走行方向Ｂ
とは逆方向であるので、空気の粘性により金属細線１３
の表面に摩擦力が働き、方向Ｃにテンションがかかる。

一方、金属細線１３をエアガイド１１に通す際には、コ
ントローラ１８から指令を与えてエアバルブ１６を閉じ
てエアバルブ１５を開く。このとき空気圧搾機１７で圧
搾された空気はエアパイプ１２を通してエアガイド１１
内で方向Ｂに空気が吹き出す。

このとき、エアガイド１１のＣ方向の端面付近に金属細
線１３を近づけると空気の流れＡにより負圧が発生して
いるため、金属細線１３はエアガイド１１の中に引き込
まれる。

エアガイド１１の中に引き込まれた金属細線１３は、テ
ンションを加えるときと同じ原理で方向Ｂに引っ張られ
、エアガイド１１のＢ方向の端面から吹き出す。この様
に、エアバルブの開閉をコントロールするだけで、−瞬
にエアガイドに金属細線を通すことが出来る。

〔発明の効果〕

本発明のエアテンション装置は、金属細線にテンション
を加えるエアパイプと対向する位置に金属細線をエアガ
イドに通すためのエアパイプを設け、エアバルブの開閉
をコントロールすることで簡単に金属細線にテンション
を加えたり金属細線をエアガイドに通したり出来るので
、エアガイドに金属細線を通すのに熟練を必要としない
。このため、金線切れの際の復旧作業が容易に且つ短時
間でできるので、ワイヤボンディング装置の稼働率を高
くでき、ボンディングの生産性が高いという効果がある
。

図面の簡単な説明 第１図は本発明の一実施例を示す斜視図、第２図は本発
明の動作を示す動作説明図、第３図は本発明の金属細線
をエアガイドに通す際の動作を示す動作説明図、第４図
は従来の一例を示す斜視図、第５図は従来例の動作を示
す動作説明図である。

１１・・・エアガイド、１２・・・エアパイプ、１３・
・・金属細線、１４・・・エアパイプ、１５・・・エア
バルブ、１６・・・エアバルブ、１７・・・空気圧搾装
置、１８・・・コントローラ、１１１・・・エアガイド
、１１２・・・エアパイプ、１１３・・・金属細線。

・代理人　弁理士　内　原　　音 粥　　１　　図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 金属細線を軸方向に通した円筒形状のエアガイドと、前
   記エアガイドの前記金属細線の走行方向手前の端部の前
   記円筒内で前記金属細線の走行方向に空気吹き出し口を
   有する１本以上の第１のエアパイプと、前記第１のエア
   パイプと対向する位置で前記第１のエアパイプとは逆方
   向に空気吹き出し口を有する１本以上の第２のエアパイ
   プと、前記第１のエアパイプと第２のエアパイプとに空
   気圧を供給する圧搾装置と、前記第１のエアパイプと前
   記圧搾装置とを結ぶ第１のエアバルブと、前記第２のエ
   アパイプと前記圧搾装置とを結ぶ第２のエアバルブと、
   前記第１及び第２のエアバルブの開閉を制御する制御装
   置とを含むことを特徴とするエアテンション装置。