JPH09303314A - 空気圧装置への圧縮空気供給方法及び空気圧回路 - Google Patents
空気圧装置への圧縮空気供給方法及び空気圧回路Info
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- JPH09303314A JPH09303314A JP12158196A JP12158196A JPH09303314A JP H09303314 A JPH09303314 A JP H09303314A JP 12158196 A JP12158196 A JP 12158196A JP 12158196 A JP12158196 A JP 12158196A JP H09303314 A JPH09303314 A JP H09303314A
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- Japan
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- compressed air
- air
- pressure
- air cylinder
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 空気圧回路を大きくすることなく増圧弁の実
質的な寿命を延ばす。 【解決手段】 レギュレータ３の出力側の配管は二股に
分岐され、そのうち一方が電磁切換弁１の入力ポート１
ａに接続され、他方が増圧弁２ａに接続される。増圧弁
２ａからの出力はタンク２ｂを介して電磁切換弁１の入
力ポート１ｂに接続される。電磁切換弁１の出力ポート
１ｃは、レギュレータ４を経由してテストヘッド５及び
テストヘッドスタンド６に接続される。電磁切換弁１
は、テストヘッド５及びテストヘッドスタンド６のエア
シリンダが駆動しているときには増圧弁２ａを経由して
圧縮空気を供給するが、シリンダが停止しているときに
は増圧弁２アを経由せずに圧縮空気を供給するように切
り換えられる。
質的な寿命を延ばす。 【解決手段】 レギュレータ３の出力側の配管は二股に
分岐され、そのうち一方が電磁切換弁１の入力ポート１
ａに接続され、他方が増圧弁２ａに接続される。増圧弁
２ａからの出力はタンク２ｂを介して電磁切換弁１の入
力ポート１ｂに接続される。電磁切換弁１の出力ポート
１ｃは、レギュレータ４を経由してテストヘッド５及び
テストヘッドスタンド６に接続される。電磁切換弁１
は、テストヘッド５及びテストヘッドスタンド６のエア
シリンダが駆動しているときには増圧弁２ａを経由して
圧縮空気を供給するが、シリンダが停止しているときに
は増圧弁２アを経由せずに圧縮空気を供給するように切
り換えられる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、圧縮空気を増圧弁
で増圧して、エアシリンダを有する空気圧装置へ供給す
る圧縮空気供給方法及び空気圧回路に関する。
で増圧して、エアシリンダを有する空気圧装置へ供給す
る圧縮空気供給方法及び空気圧回路に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体試験装置の一つであるテストヘッ
ドやテストヘッドスタンドは、テーブルやハンドラ等、
様々な駆動機構を有し、これらはエアシリンダで駆動さ
れる。従来、この種の空気圧装置へ圧縮空気を供給する
ための空気圧回路としては、図２に示すようなものがあ
る。
ドやテストヘッドスタンドは、テーブルやハンドラ等、
様々な駆動機構を有し、これらはエアシリンダで駆動さ
れる。従来、この種の空気圧装置へ圧縮空気を供給する
ための空気圧回路としては、図２に示すようなものがあ
る。
【０００３】図２において、入力側のレギュレータ１０
３で所定の圧力に設定された圧縮空気は増圧弁１０２ａ
に入力され、ここで増圧された圧縮空気がタンク１０２
ｂに一時的に保持された後、出力側のレギュレータ１０
４を通って、空気圧装置であるテストヘッド１０５及び
テストヘッドスタンド１０６に供給される構成となって
いる。
３で所定の圧力に設定された圧縮空気は増圧弁１０２ａ
に入力され、ここで増圧された圧縮空気がタンク１０２
ｂに一時的に保持された後、出力側のレギュレータ１０
４を通って、空気圧装置であるテストヘッド１０５及び
テストヘッドスタンド１０６に供給される構成となって
いる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来の空気圧回路では、空気圧装置の動作が停止して
おり増圧の必要がない場合でも、空気圧装置内の空気圧
回路から空気が漏れると、増圧弁が作動する。そのため
増圧弁の作動回数が必要以上に増えて実質的な耐用寿命
が短くなっていた。そこで、増圧弁の作動回数を少なく
するために、増圧弁で増圧された圧縮空気を一時的に保
持するタンクの容量を大きくすることが考えられるが、
それでは空気圧回路が大型化してしまう。
た従来の空気圧回路では、空気圧装置の動作が停止して
おり増圧の必要がない場合でも、空気圧装置内の空気圧
回路から空気が漏れると、増圧弁が作動する。そのため
増圧弁の作動回数が必要以上に増えて実質的な耐用寿命
が短くなっていた。そこで、増圧弁の作動回数を少なく
するために、増圧弁で増圧された圧縮空気を一時的に保
持するタンクの容量を大きくすることが考えられるが、
それでは空気圧回路が大型化してしまう。
【０００５】本発明は上記問題点に鑑みてなされたもの
であり、空気圧回路を大きくすることなく増圧弁の実質
的な寿命を延ばす、圧縮空気供給方法及び空気圧回路を
提供することを目的とする。
であり、空気圧回路を大きくすることなく増圧弁の実質
的な寿命を延ばす、圧縮空気供給方法及び空気圧回路を
提供することを目的とする。
【０００６】
【解題を解決するための手段】上記目的を達成するため
本発明の空気圧装置への圧縮空気供給方法は、空気圧装
置のエアシリンダを駆動するために、増圧弁によって増
圧された圧縮空気を前記空気圧装置へ供給する圧縮空気
供給方法において、前記エアシリンダの駆動時には前記
増圧弁を経由して圧縮空気を供給し、前記エアシリンダ
の停止時には前記増圧弁を経由せずに圧縮空気を供給す
ることを特徴とする。
本発明の空気圧装置への圧縮空気供給方法は、空気圧装
置のエアシリンダを駆動するために、増圧弁によって増
圧された圧縮空気を前記空気圧装置へ供給する圧縮空気
供給方法において、前記エアシリンダの駆動時には前記
増圧弁を経由して圧縮空気を供給し、前記エアシリンダ
の停止時には前記増圧弁を経由せずに圧縮空気を供給す
ることを特徴とする。
【０００７】また、圧縮空気の供給経路の切り換えのた
めに電磁弁を用い、前記エアシリンダを駆動させるため
の電気信号に基づいて前記電磁弁を制御するものであっ
てもよい。
めに電磁弁を用い、前記エアシリンダを駆動させるため
の電気信号に基づいて前記電磁弁を制御するものであっ
てもよい。
【０００８】本発明の空気圧回路は、増圧弁を有し、前
記増圧弁によって増圧された圧縮空気を、エアシリンダ
を備えた空気圧装置へ供給する空気圧回路において、前
記エアシリンダの駆動時には前記増圧弁を経由して圧縮
空気を供給し、前記エアシリンダの停止時には前記増圧
弁を経由せずに圧縮空気を供給するように圧縮空気の供
給経路を切り換える切換弁を有することを特徴とする。
記増圧弁によって増圧された圧縮空気を、エアシリンダ
を備えた空気圧装置へ供給する空気圧回路において、前
記エアシリンダの駆動時には前記増圧弁を経由して圧縮
空気を供給し、前記エアシリンダの停止時には前記増圧
弁を経由せずに圧縮空気を供給するように圧縮空気の供
給経路を切り換える切換弁を有することを特徴とする。
【０００９】また、前記切換弁は、前記エアシリンダを
駆動させるための電気信号に基づいて制御される電磁弁
であってもよい。
駆動させるための電気信号に基づいて制御される電磁弁
であってもよい。
【００１０】上記のとおり構成された本発明では、エア
シリンダが駆動していないときには増圧弁を経由しない
で圧縮空気が供給されるので、エアシリンダが停止して
いる状態で空気圧装置に空気漏れが発生しても増圧弁は
作動せず、増圧弁の作動回数が減少する。また、空気圧
装置への圧縮空気の供給経路を切り換えるために電磁弁
を用いることで、供給経路の切り換えにエアシリンダを
駆動するための電気信号を利用でき、供給経路の切り換
え制御が容易に行える。
シリンダが駆動していないときには増圧弁を経由しない
で圧縮空気が供給されるので、エアシリンダが停止して
いる状態で空気圧装置に空気漏れが発生しても増圧弁は
作動せず、増圧弁の作動回数が減少する。また、空気圧
装置への圧縮空気の供給経路を切り換えるために電磁弁
を用いることで、供給経路の切り換えにエアシリンダを
駆動するための電気信号を利用でき、供給経路の切り換
え制御が容易に行える。
【００１１】
【発明の実施の形態】次に、本発明の実施形態について
図面を参照して説明する。
図面を参照して説明する。
【００１２】図１は、本発明の空気圧回路の一実施形態
を示す図である。図１において、入力側のレギュレータ
３と出力側のレギュレータ４との間には、電磁切換弁１
が設けられている。電磁切換弁１は、２つの入力ポート
１ａ，１ｂと１つの出力ポート１ｃとを有し、いずれか
一方の入力ポート１ａ，１ｂが出力ポート１ｃと通じる
ように切り換えられる。これら２つの入力ポート１ａ，
１ｂのうち一方の入力ポート１ａが、入力側のレギュレ
ータ３と接続されている。
を示す図である。図１において、入力側のレギュレータ
３と出力側のレギュレータ４との間には、電磁切換弁１
が設けられている。電磁切換弁１は、２つの入力ポート
１ａ，１ｂと１つの出力ポート１ｃとを有し、いずれか
一方の入力ポート１ａ，１ｂが出力ポート１ｃと通じる
ように切り換えられる。これら２つの入力ポート１ａ，
１ｂのうち一方の入力ポート１ａが、入力側のレギュレ
ータ３と接続されている。
【００１３】入力側のレギュレータ３と電磁切換弁１と
を接続する管路は途中で２つに分岐して増圧弁２ａに接
続される。そして、増圧弁２ａからの出力がタンク２ｂ
を介して電磁切換弁１の他方の入力ポート１ｂに接続さ
れている。
を接続する管路は途中で２つに分岐して増圧弁２ａに接
続される。そして、増圧弁２ａからの出力がタンク２ｂ
を介して電磁切換弁１の他方の入力ポート１ｂに接続さ
れている。
【００１４】電磁切換弁１の出力ポート１ｃは出力側の
レギュレータ４に接続され、このレギュレータ４で所定
の圧力に設定された圧縮空気が、空気圧装置であるテス
トヘッド５及びテストヘッドスタンド６に供給される構
成となっている。
レギュレータ４に接続され、このレギュレータ４で所定
の圧力に設定された圧縮空気が、空気圧装置であるテス
トヘッド５及びテストヘッドスタンド６に供給される構
成となっている。
【００１５】上記構成に基づき、テストヘッド５のエア
シリンダ及びテストヘッドスタンド６のエアシリンダを
駆動させるときには、電磁切換弁１は他方の入力ポート
１ｂが出力ポート１ｃと通じるように切り換えられてお
り、増圧弁２ａで増圧された圧縮空気はタンク２ｂに一
時的に保持された後、テストヘッド５及びテストヘッド
スタンド６に供給される。テストヘッド５のエアシリン
ダ及びテストヘッドスタンド６のエアシリンダの動作が
停止している間は、電磁切換弁１は一方の入力ポート１
ａが出力ポート１ｃと通じるように切り換えられてお
り、圧縮空気は増圧弁２を経由せずにテストヘッド５及
びテストヘッドスタンド６に供給される。
シリンダ及びテストヘッドスタンド６のエアシリンダを
駆動させるときには、電磁切換弁１は他方の入力ポート
１ｂが出力ポート１ｃと通じるように切り換えられてお
り、増圧弁２ａで増圧された圧縮空気はタンク２ｂに一
時的に保持された後、テストヘッド５及びテストヘッド
スタンド６に供給される。テストヘッド５のエアシリン
ダ及びテストヘッドスタンド６のエアシリンダの動作が
停止している間は、電磁切換弁１は一方の入力ポート１
ａが出力ポート１ｃと通じるように切り換えられてお
り、圧縮空気は増圧弁２を経由せずにテストヘッド５及
びテストヘッドスタンド６に供給される。
【００１６】電磁切換弁１の切り換えは、テストヘッド
５のエアシリンダ及びテストヘッドスタンド６のエアシ
リンダの駆動させるための電気信号を利用することで、
簡単に制御することができる。すなわち、エアシリンダ
を駆動させる電気信号が発せられたら、それと同時に電
磁切換弁１を一方の入力ポート１ａに切り換え、それか
ら所定時間経過後、電磁切換弁１が他方の入力ポート１
ｂに切り換わるようにする。ここでいう所定時間とは、
エアシリンダを駆動される電気信号が発せられてからエ
アシリンダの動作が終了するまでの時間よりも長い時間
であり、できるだけ、エアシリンダの動作が終了するま
での時間に近い時間であることが好ましい。これによ
り、エアシリンダが駆動している間は増圧弁２ａで増圧
された圧縮空気が供給され、それ以外のときには、増圧
弁２ａを経由する管路が絶たれることになる。
５のエアシリンダ及びテストヘッドスタンド６のエアシ
リンダの駆動させるための電気信号を利用することで、
簡単に制御することができる。すなわち、エアシリンダ
を駆動させる電気信号が発せられたら、それと同時に電
磁切換弁１を一方の入力ポート１ａに切り換え、それか
ら所定時間経過後、電磁切換弁１が他方の入力ポート１
ｂに切り換わるようにする。ここでいう所定時間とは、
エアシリンダを駆動される電気信号が発せられてからエ
アシリンダの動作が終了するまでの時間よりも長い時間
であり、できるだけ、エアシリンダの動作が終了するま
での時間に近い時間であることが好ましい。これによ
り、エアシリンダが駆動している間は増圧弁２ａで増圧
された圧縮空気が供給され、それ以外のときには、増圧
弁２ａを経由する管路が絶たれることになる。
【００１７】上述のように電磁切換弁１を切り換えるこ
とで、テストヘッド５のエアシリンダ及びテストヘッド
スタンド６のエアシリンダの動作が停止しているときに
テストヘッド５またはテストヘッドスタンド６内の空気
圧回路から空気漏れが発生しても、圧縮空気は、入力側
のレギュレータ３、電磁切換弁１及び出力側のレギュレ
ータ４を通ってテストヘッド５またはテストヘッドスタ
ンド６に供給されるので、増圧弁２ａは作動しない。従
って、増圧弁２ａはテストヘッド５及びテストヘッドス
タンド６を駆動するのに必要なときのみに作動されるの
で、２ｂタンクの容量を大きくせずに増圧弁２ａの作動
回数を減少させ、増圧弁２ａの実質的な耐用寿命を延ば
すことができる。
とで、テストヘッド５のエアシリンダ及びテストヘッド
スタンド６のエアシリンダの動作が停止しているときに
テストヘッド５またはテストヘッドスタンド６内の空気
圧回路から空気漏れが発生しても、圧縮空気は、入力側
のレギュレータ３、電磁切換弁１及び出力側のレギュレ
ータ４を通ってテストヘッド５またはテストヘッドスタ
ンド６に供給されるので、増圧弁２ａは作動しない。従
って、増圧弁２ａはテストヘッド５及びテストヘッドス
タンド６を駆動するのに必要なときのみに作動されるの
で、２ｂタンクの容量を大きくせずに増圧弁２ａの作動
回数を減少させ、増圧弁２ａの実質的な耐用寿命を延ば
すことができる。
【００１８】本実施形態では、圧縮空気を供給する対象
となる空気圧装置としてテストヘッド５及びテストヘッ
ドスタンド６を例に挙げて説明したが、空気圧装置はこ
れらに限るものではない。
となる空気圧装置としてテストヘッド５及びテストヘッ
ドスタンド６を例に挙げて説明したが、空気圧装置はこ
れらに限るものではない。
【００１９】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、エアシリ
ンダの駆動時には増圧弁を経由して圧縮空気を供給し、
エアシリンダの停止時には増圧弁を経由せずに圧縮空気
を供給するので、増圧弁の作動回数を減少させることが
でき、増圧弁の実質的な寿命を延ばすことができる。ま
た、空気圧装置への圧縮空気の供給経路を切り換えるた
めに電磁弁を用い、エアシリンダを駆動するための電気
信号に基づいて電磁弁を切り換えることで、圧縮空気の
供給経路の切り換え制御を容易に行うことができる。
ンダの駆動時には増圧弁を経由して圧縮空気を供給し、
エアシリンダの停止時には増圧弁を経由せずに圧縮空気
を供給するので、増圧弁の作動回数を減少させることが
でき、増圧弁の実質的な寿命を延ばすことができる。ま
た、空気圧装置への圧縮空気の供給経路を切り換えるた
めに電磁弁を用い、エアシリンダを駆動するための電気
信号に基づいて電磁弁を切り換えることで、圧縮空気の
供給経路の切り換え制御を容易に行うことができる。
【図１】本発明の空気圧回路の一実施形態を示す図であ
る。
る。
【図２】従来の、空気圧装置へ圧縮空気を供給するため
の空気圧回路を示す図である。
の空気圧回路を示す図である。
１ 電磁切換弁 １ａ，１ｂ 入力ポート １ｃ 出力ポート ２ａ 増圧弁 ２ｂ タンク ３，４ レギュレータ ５ テストヘッド ６ テストヘッドスタンド
Claims (4)
- 【請求項１】 空気圧装置のエアシリンダを駆動するた
めに、増圧弁によって増圧された圧縮空気を前記空気圧
装置へ供給する圧縮空気供給方法において、 前記エアシリンダの駆動時には前記増圧弁を経由して圧
縮空気を供給し、 前記エアシリンダの停止時には前記増圧弁を経由せずに
圧縮空気を供給することを特徴とする、空気圧装置への
圧縮空気供給方法。 - 【請求項２】 圧縮空気の供給経路の切り換えのために
電磁弁を用い、前記エアシリンダを駆動させるための電
気信号に基づいて前記電磁弁を制御する請求項１に記載
の空気圧装置への圧縮空気供給方法。 - 【請求項３】 増圧弁を有し、前記増圧弁によって増圧
された圧縮空気を、エアシリンダを備えた空気圧装置へ
供給する空気圧回路において、 前記エアシリンダの駆動時には前記増圧弁を経由して圧
縮空気を供給し、前記エアシリンダの停止時には前記増
圧弁を経由せずに圧縮空気を供給するように圧縮空気の
供給経路を切り換える切換弁を有することを特徴とする
空気圧回路。 - 【請求項４】 前記切換弁は、前記エアシリンダを駆動
させるための電気信号に基づいて制御される電磁弁であ
る請求項３に記載の空気圧回路。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12158196A JPH09303314A (ja) | 1996-05-16 | 1996-05-16 | 空気圧装置への圧縮空気供給方法及び空気圧回路 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12158196A JPH09303314A (ja) | 1996-05-16 | 1996-05-16 | 空気圧装置への圧縮空気供給方法及び空気圧回路 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09303314A true JPH09303314A (ja) | 1997-11-25 |
Family
ID=14814793
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12158196A Pending JPH09303314A (ja) | 1996-05-16 | 1996-05-16 | 空気圧装置への圧縮空気供給方法及び空気圧回路 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09303314A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2016186326A (ja) * | 2015-03-27 | 2016-10-27 | 三菱重工業株式会社 | 圧縮気体供給システム及びこれを備えた原子力プラント |
| JP2023062302A (ja) * | 2021-10-21 | 2023-05-08 | 株式会社日本製鋼所 | エジェクタ装置、型締装置、および射出成形機 |
| CN117627888A (zh) * | 2023-12-25 | 2024-03-01 | 中煤科工开采研究院有限公司 | 应用于中空锚索锚固的泵注系统 |
-
1996
- 1996-05-16 JP JP12158196A patent/JPH09303314A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2016186326A (ja) * | 2015-03-27 | 2016-10-27 | 三菱重工業株式会社 | 圧縮気体供給システム及びこれを備えた原子力プラント |
| JP2023062302A (ja) * | 2021-10-21 | 2023-05-08 | 株式会社日本製鋼所 | エジェクタ装置、型締装置、および射出成形機 |
| CN117627888A (zh) * | 2023-12-25 | 2024-03-01 | 中煤科工开采研究院有限公司 | 应用于中空锚索锚固的泵注系统 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20040609 |