JPH02306113A - 磁気センサ及びその製造方法 - Google Patents
磁気センサ及びその製造方法Info
- Publication number
- JPH02306113A JPH02306113A JP1126969A JP12696989A JPH02306113A JP H02306113 A JPH02306113 A JP H02306113A JP 1126969 A JP1126969 A JP 1126969A JP 12696989 A JP12696989 A JP 12696989A JP H02306113 A JPH02306113 A JP H02306113A
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- JP
- Japan
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- magnetic
- track
- drum
- magnetic track
- magnetization
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- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、ロボッ）、ＮＯ表装置に広く使用されている
アブソリュート型エンコーダに用いる磁気センサ及びそ
の製造方法に関するものである。
アブソリュート型エンコーダに用いる磁気センサ及びそ
の製造方法に関するものである。
従来の技術
インクリメンタル型の磁気エンコーダとしては、第４図
においてシャフト１６に固着された磁気ドラム１１の外
周に着磁を施し、その多極磁石の形成する磁界を磁気抵
抗素子１４（以下ＭＲ素子と称す）により検出する構造
のものが開発されている。第６図に示す如く、シャフト
１６のついた円筒の磁気ドラム１１には２トラツクの外
周着磁がされている。一つは多極清磁部１２であり１所
定の磁極を多数着磁したものである。他は一対の磁極を
着磁した原点着磁部１３である。
においてシャフト１６に固着された磁気ドラム１１の外
周に着磁を施し、その多極磁石の形成する磁界を磁気抵
抗素子１４（以下ＭＲ素子と称す）により検出する構造
のものが開発されている。第６図に示す如く、シャフト
１６のついた円筒の磁気ドラム１１には２トラツクの外
周着磁がされている。一つは多極清磁部１２であり１所
定の磁極を多数着磁したものである。他は一対の磁極を
着磁した原点着磁部１３である。
以上のように構成された磁気ドラム１１について以下に
説明する。磁気ドラム１１は樹脂マグネットやステンレ
スペースの外周に磁性粉を塗布することにより構成する
。その外周部に着磁ヘッドによって２トラツクの着磁を
行なう。多極着磁部１２は１回転に１０００パルスの出
力が必要な場合は１０００極の着磁を行なう。磁気ドラ
ムの外径が８０圏であれば着磁幅は０．２５ｍｍ程度と
なる。
説明する。磁気ドラム１１は樹脂マグネットやステンレ
スペースの外周に磁性粉を塗布することにより構成する
。その外周部に着磁ヘッドによって２トラツクの着磁を
行なう。多極着磁部１２は１回転に１０００パルスの出
力が必要な場合は１０００極の着磁を行なう。磁気ドラ
ムの外径が８０圏であれば着磁幅は０．２５ｍｍ程度と
なる。
原点着磁部１３Ｆｉはソ同じ着磁幅で一対だけ着磁した
もので、磁気ドラム１１の回転の原点を示す原点着磁部
１３となっている。磁気ドラム１１に近接配置したＭＲ
素子１４により信号検出をする。
もので、磁気ドラム１１の回転の原点を示す原点着磁部
１３となっている。磁気ドラム１１に近接配置したＭＲ
素子１４により信号検出をする。
その信号を第６図に示す。信号１ｅは原点着磁部１３か
らの信号、信号１７．１８は多極着磁部１２からの信号
で信号１７．１８は相互に９０°の位相差がある。この
ような３信号によジ磁気ドラム１１の回転位置情報を得
る方式をインクリメンタル型のエンコーダといわれてい
る。
らの信号、信号１７．１８は多極着磁部１２からの信号
で信号１７．１８は相互に９０°の位相差がある。この
ような３信号によジ磁気ドラム１１の回転位置情報を得
る方式をインクリメンタル型のエンコーダといわれてい
る。
上記インクリメンタル型のエンコーダの場合、電源が切
れるとその位置情報が失わｎてし貰うので必ず原点復帰
が必要となる。
れるとその位置情報が失わｎてし貰うので必ず原点復帰
が必要となる。
一方アブソリュート型では円周を多段のトラックに分け
て、それぞれ２，４，８，１６．３２・・・・・・２ｎ
分割してその絶対位置全検出する方式が光ｋｉ１体とし
たエンコーダとしである。これを磁気で行なうと多段の
着磁トラックが必要となり、また着磁も複雑なものとな
り、犬形化、高価格となった。
て、それぞれ２，４，８，１６．３２・・・・・・２ｎ
分割してその絶対位置全検出する方式が光ｋｉ１体とし
たエンコーダとしである。これを磁気で行なうと多段の
着磁トラックが必要となり、また着磁も複雑なものとな
り、犬形化、高価格となった。
着磁、トラックを減らして、例えば２，１８，１２８゜
１０２４分割したトラックを用いて４，８，３２，８４
゜２５６．６１２分割は電気回路処理によって作る方法
を取ると１０トラツク必要なものが４トラツクで作るこ
とができる。このように電気回路処理により分割する場
合は元の２．１８，１２８．１０２４の検出波形は歪の
少菟ない相互に９０’の位相差を持つｓｉｎ波が必要で
あるといわれている。
１０２４分割したトラックを用いて４，８，３２，８４
゜２５６．６１２分割は電気回路処理によって作る方法
を取ると１０トラツク必要なものが４トラツクで作るこ
とができる。このように電気回路処理により分割する場
合は元の２．１８，１２８．１０２４の検出波形は歪の
少菟ない相互に９０’の位相差を持つｓｉｎ波が必要で
あるといわれている。
発明が解決しよつとする課題
一方外径８０ｍのように大形磁気ドラムになると１２８
．１０２４分割ではｓｉｎ波で検出することが可能であ
るが、２，１６分割では着磁ピッチが１２５ｍ 、 １
５．７ｍとなり、このように大きいピッチでは円周方向
に磁界？発生させる従来の着磁とＭＲ素子の構成ではｓ
ｉｎ波の信号波形が得られなかった。
．１０２４分割ではｓｉｎ波で検出することが可能であ
るが、２，１６分割では着磁ピッチが１２５ｍ 、 １
５．７ｍとなり、このように大きいピッチでは円周方向
に磁界？発生させる従来の着磁とＭＲ素子の構成ではｓ
ｉｎ波の信号波形が得られなかった。
本発明は、上記課題を解決するために、低周波なｓｉｎ
波も得られる磁気センサを実現することを目的とする。
波も得られる磁気センサを実現することを目的とする。
課題を解決するための手段
本発明は、上記目的を達成するために、円筒形ドラムの
側面にＳｉｎカー゛プ状に磁気トラックを設け、この磁
性トラックに対向させて強磁性磁気抵抗素子を配置した
ものである。
側面にＳｉｎカー゛プ状に磁気トラックを設け、この磁
性トラックに対向させて強磁性磁気抵抗素子を配置した
ものである。
作用
円筒形ドラムの外周で、ドラムの軸と同一方向に磁界を
発生させ、しかもドラムの回転と共に軸方向にＳｉｎカ
ーブ状の磁気トラックが移動することでこの磁界全強磁
性磁気抵抗素子が検出し、Ｓｉｎ波の信号が得られる。
発生させ、しかもドラムの回転と共に軸方向にＳｉｎカ
ーブ状の磁気トラックが移動することでこの磁界全強磁
性磁気抵抗素子が検出し、Ｓｉｎ波の信号が得られる。
実施例
以下、本発明の一実施例について図面を用いて説明する
。
。
（実施例１）
第１図は円筒形の磁気ドラム１の側面を切り開いた状態
を示す図である。磁気ドラム１はステンレス、アルミニ
ウム等の非磁性体からなる。磁気ドラム１にはＳｉｎカ
ーブ状の溝２ａ 、２ｂが形成されている。本実施例で
は幅、深さも一定な溝２ａ 、２ｂである。この溝２１
Ｌ、２ｂには樹脂と混合した磁性粉を用いた磁性塗料が
埋め込まれている。この磁性塗料は着磁されることで、
Ｓｉｎカーブ状の磁気トラック２０．２１１が形成され
ている。各磁気トラック２０，２ｄは上半分がＮ極。
を示す図である。磁気ドラム１はステンレス、アルミニ
ウム等の非磁性体からなる。磁気ドラム１にはＳｉｎカ
ーブ状の溝２ａ 、２ｂが形成されている。本実施例で
は幅、深さも一定な溝２ａ 、２ｂである。この溝２１
Ｌ、２ｂには樹脂と混合した磁性粉を用いた磁性塗料が
埋め込まれている。この磁性塗料は着磁されることで、
Ｓｉｎカーブ状の磁気トラック２０．２１１が形成され
ている。各磁気トラック２０，２ｄは上半分がＮ極。
下半分がＳ極に分極している。各磁気トラック２０．２
ｄには、それぞれ対向する感知部８１人。
ｄには、それぞれ対向する感知部８１人。
Ｒ２人とＲＩ Ｂ 、Ｒ２Ｈで構成された磁気抵抗素子
３（以下略してＭＲ素子）が磁気トラック２０゜２ｄで
発生する磁界を検知するように配置されている。この感
知部Ｒ１ム、Ｒ２ムは直列に接続されておジ両端には電
源によＶ電圧Ｘがかかっていて、また感知部Ｒ１人、１
２人の接続点がら出カ電圧ＶＡｉ取り出す。感知部Ｒ１
Ｂ 、Ｒ２Ｈも同様の構成で接続され、出方電圧ＶＢｉ
出カする。
３（以下略してＭＲ素子）が磁気トラック２０゜２ｄで
発生する磁界を検知するように配置されている。この感
知部Ｒ１ム、Ｒ２ムは直列に接続されておジ両端には電
源によＶ電圧Ｘがかかっていて、また感知部Ｒ１人、１
２人の接続点がら出カ電圧ＶＡｉ取り出す。感知部Ｒ１
Ｂ 、Ｒ２Ｈも同様の構成で接続され、出方電圧ＶＢｉ
出カする。
検出するようすを磁気トラック２Ｇと感知部Ｒ１人、１
２人を用いて説明すると、磁気トラック２ｃの位置ｘ１
が感知部Ｒ１ム、Ｒ２人に対向したときはＲ２ムの抵抗
値が負に最大変化して出力電圧ＶＡは第２図に示すより
に最大値となる、位置ｘ２の場合は８１人、Ｒ２ムに同
じように磁界が加わり同じ抵抗値変化となり、電源電圧
の半分となジ、第２図に示すように−にとなる、位置ｘ
３の場合は８１人の抵抗値が負に最大変化して出力７人
の電圧は第２図に示すように最小値となる。同じように
して位置Ｘ４ 、 ＸＳ （第１図では磁気ドラムを展
開した図なのでｘｌと同じ点となる）に対向する゛と出
力７人は第２図のよりに変化する。Ｘｌ 、Ｘ２．Ｘ３
．Ｘ４．Ｘ６以外の点は磁気トラックがｓｉｎカーブ状
であるため発生する磁界もｓｉｎカーブで、出力ＶＡは
第２図の７人のグラフのようにｓｉｎカーブに変化し、
本実施例では磁気ドラム１が１回転すると１Ｈｚのｓｉ
ｎ波出力電圧Ｖムが得らｎる。磁気トラック２ｄは磁気
ドラム１を矢印の移動方向としたとき磁気トラックユよ
り位相が９０°進んでおり、ＭＲＲ子３の感知部ＲＩＢ
、Ｒ２Ｂの出力電圧ＶＢは第２図のグラフＶＢに示すよ
うに出力電圧Ｖムに対して９０゜進むｓｉｎカーブの出
力が得られる。
２人を用いて説明すると、磁気トラック２ｃの位置ｘ１
が感知部Ｒ１ム、Ｒ２人に対向したときはＲ２ムの抵抗
値が負に最大変化して出力電圧ＶＡは第２図に示すより
に最大値となる、位置ｘ２の場合は８１人、Ｒ２ムに同
じように磁界が加わり同じ抵抗値変化となり、電源電圧
の半分となジ、第２図に示すように−にとなる、位置ｘ
３の場合は８１人の抵抗値が負に最大変化して出力７人
の電圧は第２図に示すように最小値となる。同じように
して位置Ｘ４ 、 ＸＳ （第１図では磁気ドラムを展
開した図なのでｘｌと同じ点となる）に対向する゛と出
力７人は第２図のよりに変化する。Ｘｌ 、Ｘ２．Ｘ３
．Ｘ４．Ｘ６以外の点は磁気トラックがｓｉｎカーブ状
であるため発生する磁界もｓｉｎカーブで、出力ＶＡは
第２図の７人のグラフのようにｓｉｎカーブに変化し、
本実施例では磁気ドラム１が１回転すると１Ｈｚのｓｉ
ｎ波出力電圧Ｖムが得らｎる。磁気トラック２ｄは磁気
ドラム１を矢印の移動方向としたとき磁気トラックユよ
り位相が９０°進んでおり、ＭＲＲ子３の感知部ＲＩＢ
、Ｒ２Ｂの出力電圧ＶＢは第２図のグラフＶＢに示すよ
うに出力電圧Ｖムに対して９０゜進むｓｉｎカーブの出
力が得られる。
（実施例２）
本発明の第２の実施例について第３図金用′いて説明す
る。磁気ドラム４に溝６全形成し磁性塗料を埋め込んだ
ものである。溝６の上端５ ａ ｆ Ｓｉｎカーブ状に
する。一方溝６０下端６ｂは上端Ｓａより９０’９０’
進んだｓｉｎカーブとなっている。
る。磁気ドラム４に溝６全形成し磁性塗料を埋め込んだ
ものである。溝６の上端５ ａ ｆ Ｓｉｎカーブ状に
する。一方溝６０下端６ｂは上端Ｓａより９０’９０’
進んだｓｉｎカーブとなっている。
この溝６に埋め込まれた磁性塗料に着磁し、磁気トラッ
ク６ｃとする、ＭＲＲ子６は磁気トラック上端６ａと感
知部Ｒ２ＡニアＥ磁気トラック下端６ｂと感知部１１Ｂ
が対向するように近接配置する。
ク６ｃとする、ＭＲＲ子６は磁気トラック上端６ａと感
知部Ｒ２ＡニアＥ磁気トラック下端６ｂと感知部１１Ｂ
が対向するように近接配置する。
ＲｌＡ 、Ｒ２Ｈは温度補償用のダミーとして感知部Ｒ
２ム、Ｒ１Ｂと同じＭＲ素子で作られる。磁気トラック
の上端５１Ｌ、下端６ｂがｓｉｎカーブ状に形成されて
いるので、感知部の８２人、ＲｌＢはそれぞれｓｉｎカ
ーブで抵抗値が変化して、出力電圧Ｖム、ＶＢ は相
互に９０’の位相差を持つｓｉｎ波の出力が得られる。
２ム、Ｒ１Ｂと同じＭＲ素子で作られる。磁気トラック
の上端５１Ｌ、下端６ｂがｓｉｎカーブ状に形成されて
いるので、感知部の８２人、ＲｌＢはそれぞれｓｉｎカ
ーブで抵抗値が変化して、出力電圧Ｖム、ＶＢ は相
互に９０’の位相差を持つｓｉｎ波の出力が得られる。
上記実施例では１回転１Ｈｚの場合で説明したが、他の
周波数の場合はこの溝の上下する回数を増して同じよう
に検出することができる。
周波数の場合はこの溝の上下する回数を増して同じよう
に検出することができる。
（実施例３）
本発明の第３の実施例について第４図を用いて説明する
。磁気ドラム７の表面には磁気トラックｓａ、ｓｂを設
け、磁気トラックｓａ、ｓｂは磁気ドラム７の側面の円
周方向に対して着磁幅がｓｉｎカーブ状に変化させたも
のである。この磁気トラックａａ、ｓｂの着磁幅の増減
は丁度位相が９０’ずれている。磁気トラックｓａ、ｓ
ｂにはＭＲＲ子１０を対向し近接配置する。ＭＲＲ子１
０の感知部８２人は磁気トラック８已に対向し。
。磁気ドラム７の表面には磁気トラックｓａ、ｓｂを設
け、磁気トラックｓａ、ｓｂは磁気ドラム７の側面の円
周方向に対して着磁幅がｓｉｎカーブ状に変化させたも
のである。この磁気トラックａａ、ｓｂの着磁幅の増減
は丁度位相が９０’ずれている。磁気トラックｓａ、ｓ
ｂにはＭＲＲ子１０を対向し近接配置する。ＭＲＲ子１
０の感知部８２人は磁気トラック８已に対向し。
感知部Ｒ１Ｂは磁気トラック８ｂに対向させる、Ｒ１ム
、Ｒ２Ｈは温度補償用のダミーとして感知部Ｒ２ムとＲ
ｌＢと同じＭＲ素子で作られる、感知部Ｒ２ム、ダミー
Ｒ１Ａ１直列に接続し、その接続点から出力”ｌ／Ａ
ｉ取ジ出し、他端側を電源Ｅに接続する。感知部１１Ｂ
も同様にダミーＲ２Ｂ。
、Ｒ２Ｈは温度補償用のダミーとして感知部Ｒ２ムとＲ
ｌＢと同じＭＲ素子で作られる、感知部Ｒ２ム、ダミー
Ｒ１Ａ１直列に接続し、その接続点から出力”ｌ／Ａ
ｉ取ジ出し、他端側を電源Ｅに接続する。感知部１１Ｂ
も同様にダミーＲ２Ｂ。
電源Ｅに接続し、出力ＶＢ ｉ取ジ出すのは前述の実施
例と同様である。
例と同様である。
磁気ドラム７０回転に伴い、ＭＲ累壬子６感知部８２人
、Ｒ１Ｂに対向している、磁気トラック５ム、５Ｂの幅
がｓｉｎカーブ的に変化する、したがって感知部Ｒ２ム
、１１Ｂに達する磁界強さもｓｉｎカーブで変化し、感
知部８２人、Ｒ１Ｂの抵抗値はｓｉｎカーブで変化する
。したがって出力電圧Ｖム、ＶＢもｓｉｎカーブで変化
し、磁気ドラムが１回転すると１Ｈ２のｓｉｎ波出力が
得られる。磁気トラック８ａと８ｂの着磁幅の変化は磁
気トラック８１Ｌに対して、磁気トラック８ｂは９０’
進んでいるので出力電圧Ｖムに対して出力電圧ＶＢは９
０°進んだ出力が得られる。本実施例では１回転１Ｈｚ
の場合で説明したが、他の周波の場合は、この磁気トラ
ックが軸方向へ上下する回数を増して同じように検出す
ることができる。
、Ｒ１Ｂに対向している、磁気トラック５ム、５Ｂの幅
がｓｉｎカーブ的に変化する、したがって感知部Ｒ２ム
、１１Ｂに達する磁界強さもｓｉｎカーブで変化し、感
知部８２人、Ｒ１Ｂの抵抗値はｓｉｎカーブで変化する
。したがって出力電圧Ｖム、ＶＢもｓｉｎカーブで変化
し、磁気ドラムが１回転すると１Ｈ２のｓｉｎ波出力が
得られる。磁気トラック８ａと８ｂの着磁幅の変化は磁
気トラック８１Ｌに対して、磁気トラック８ｂは９０’
進んでいるので出力電圧Ｖムに対して出力電圧ＶＢは９
０°進んだ出力が得られる。本実施例では１回転１Ｈｚ
の場合で説明したが、他の周波の場合は、この磁気トラ
ックが軸方向へ上下する回数を増して同じように検出す
ることができる。
（実施例４）
本実施例では、第１の実施例で説明した磁気センサの製
造方法について説明する。円筒形の磁気ドラム１の側面
に第１の実施例で説明した溝２ａ。
造方法について説明する。円筒形の磁気ドラム１の側面
に第１の実施例で説明した溝２ａ。
２ｂ２形成する。溝２ｆＬ、２ｂ’ｉ埋めるよりに磁性
塗料を塗布した後に、この塗料表面を研磨して塗膜厚全
均一にすると共に°、溝２ａ、２ｂからはみ出した塗膜
を取り除ぐ。次に着磁ヘッドにより磁性塗料を着磁し、
磁気トラック２０．２ｄ′ｆｔ形成する。この磁気トラ
ック２ｃ、２ｄに対向するよりにＭＲ素子３ｆｔ配置し
、磁気センサとする。
塗料を塗布した後に、この塗料表面を研磨して塗膜厚全
均一にすると共に°、溝２ａ、２ｂからはみ出した塗膜
を取り除ぐ。次に着磁ヘッドにより磁性塗料を着磁し、
磁気トラック２０．２ｄ′ｆｔ形成する。この磁気トラ
ック２ｃ、２ｄに対向するよりにＭＲ素子３ｆｔ配置し
、磁気センサとする。
（実施例５）
本実施例では、第４の実施例とは異なった磁気センサの
製造方法について説明する。円筒形の磁気ドラム１の側
面に磁性塗料を塗布する。その後、着磁ヘッドにより、
第１の実施例で説明した磁気トラック２ｃ、２ｄを形成
する。そして、この磁気トウツク２Ｃ、２ｄに対向する
ようにＭＲ素子３を配置し、磁気センサとする。
製造方法について説明する。円筒形の磁気ドラム１の側
面に磁性塗料を塗布する。その後、着磁ヘッドにより、
第１の実施例で説明した磁気トラック２ｃ、２ｄを形成
する。そして、この磁気トウツク２Ｃ、２ｄに対向する
ようにＭＲ素子３を配置し、磁気センサとする。
発明の効果
このような構成にすることにより１回転１Ｈ２というよ
うな低周波なｇｉｎ波検量検出きることが可能となり、
アブソリュート型でも少ない磁気トラックと少ないＭＲ
素子で磁気センサを構成することができ、小型で安価な
エンコーダを作ることができる。
うな低周波なｇｉｎ波検量検出きることが可能となり、
アブソリュート型でも少ない磁気トラックと少ないＭＲ
素子で磁気センサを構成することができ、小型で安価な
エンコーダを作ることができる。
第１図は本発明の第１の実施例の磁気ドラムとＭ’Ｒ素
子の相対関係２示す説明図、第２図はＭＲ素子の出力電
圧を示す波形図、第３図、第４図は各々本発明の第２．
第３の実施例の磁気ドラムとＭＲ素子の相対関係を示す
説明図、第６図は従来例の磁気トラックとＭＲ素子の関
係全示す斜視図、第８図は第６図でのＭＲ素子の出力電
圧を示す波形図である。 １ 、４ 、７−・・・−磁気ドラム、２０．２ｄ
、６０ 。 ｓａ、８ｂ・・・・・・磁気、トラック、３，６．１０
・・・・・・ＭＲ素子、 Ｒ１人、Ｒ２人、ＲｌＢ、Ｒ
２Ｂ・・・・・・感知部。 代理人の氏名 弁理士 粟 野 重 孝 ほか１名ノー
９血気ドラＡ ２ａ、 Ｚｂ、−溝 ２ｃ、 ２ｃｔ−−−、磁気トラック ３−−−、Ｍ Ｒ去１ 岬 １ − 其２図 第３図 第４図 、。
子の相対関係２示す説明図、第２図はＭＲ素子の出力電
圧を示す波形図、第３図、第４図は各々本発明の第２．
第３の実施例の磁気ドラムとＭＲ素子の相対関係を示す
説明図、第６図は従来例の磁気トラックとＭＲ素子の関
係全示す斜視図、第８図は第６図でのＭＲ素子の出力電
圧を示す波形図である。 １ 、４ 、７−・・・−磁気ドラム、２０．２ｄ
、６０ 。 ｓａ、８ｂ・・・・・・磁気、トラック、３，６．１０
・・・・・・ＭＲ素子、 Ｒ１人、Ｒ２人、ＲｌＢ、Ｒ
２Ｂ・・・・・・感知部。 代理人の氏名 弁理士 粟 野 重 孝 ほか１名ノー
９血気ドラＡ ２ａ、 Ｚｂ、−溝 ２ｃ、 ２ｃｔ−−−、磁気トラック ３−−−、Ｍ Ｒ去１ 岬 １ − 其２図 第３図 第４図 、。
Claims (5)
- （１）円筒形ドラムの側面にＳｉｎカーブ状に磁気トラ
ックを設け、この磁気トラックに対向させて強磁性磁気
抵抗素子を配置した磁気センサ。 - （２）磁気トラックの幅が一定である請求項１記載の磁
気センサ。 - （３）磁気トラックの幅が増減する請求項１記載の磁気
センサ。 - （４）円筒形ドラムの側面にＳｉｎカーブ状の溝を形成
し、この溝を埋めるよりに磁性塗料を塗布し、この磁性
塗料の表面を研磨して均一にし、この磁性塗料を着磁し
て磁気トラックとする請求項１記載の強磁性磁気抵抗素
子の製造方法。 - （５）円筒形ドラムの側面に磁性塗料を塗布し、Ｓｉｎ
カーブ状に着磁して磁気トラックとする請求項１記載の
強磁性磁気抵抗素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1126969A JPH02306113A (ja) | 1989-05-19 | 1989-05-19 | 磁気センサ及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1126969A JPH02306113A (ja) | 1989-05-19 | 1989-05-19 | 磁気センサ及びその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02306113A true JPH02306113A (ja) | 1990-12-19 |
Family
ID=14948380
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1126969A Pending JPH02306113A (ja) | 1989-05-19 | 1989-05-19 | 磁気センサ及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02306113A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0997706A1 (de) * | 1998-10-28 | 2000-05-03 | Philips Corporate Intellectual Property GmbH | Anordnung zur Messung einer relativen linearen Position |
| WO2006018863A1 (ja) * | 2004-08-17 | 2006-02-23 | Ntn Corporation | 回転センサ付軸受 |
-
1989
- 1989-05-19 JP JP1126969A patent/JPH02306113A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0997706A1 (de) * | 1998-10-28 | 2000-05-03 | Philips Corporate Intellectual Property GmbH | Anordnung zur Messung einer relativen linearen Position |
| US6433537B1 (en) | 1998-10-28 | 2002-08-13 | Koninklijke Philips Electronics, N.V. | Arrangement for measuring a relative linear position between an angle sensor and magnetic body |
| WO2006018863A1 (ja) * | 2004-08-17 | 2006-02-23 | Ntn Corporation | 回転センサ付軸受 |
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