JPH04223218A - 磁気センサ - Google Patents
磁気センサInfo
- Publication number
- JPH04223218A JPH04223218A JP2406501A JP40650190A JPH04223218A JP H04223218 A JPH04223218 A JP H04223218A JP 2406501 A JP2406501 A JP 2406501A JP 40650190 A JP40650190 A JP 40650190A JP H04223218 A JPH04223218 A JP H04223218A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic
- ferromagnetic
- tracks
- drum
- degrees
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ロボット，ＮＣ装置等
に広く使用されているアブソリュート型の磁気センサに
関するものである。
に広く使用されているアブソリュート型の磁気センサに
関するものである。
【０００２】
【従来の技術】アブソリュート型のエンコーダは円周を
多段のトラックに分けて２，４，８，１６，３２，……
２ｎ分割してその絶対位置を検出する方式のエンコーダ
である。
多段のトラックに分けて２，４，８，１６，３２，……
２ｎ分割してその絶対位置を検出する方式のエンコーダ
である。
【０００３】これを磁気で行なうと多段の着磁トラック
が必要となり、大型化，高価格となる欠点があった。
が必要となり、大型化，高価格となる欠点があった。
【０００４】そこで、本発明者は、着磁トラックを減ら
して、例えば２，１６，１２８，１０２４分割したトラ
ックを用いて、それぞれの磁気トラックに対向する磁気
センサからのｓｉｎ波，ｃｏｓ波の信号を電気回路処理
による方法で、２，４，８，１６，３２，６４，１２８
，２５６，５１２，１０１２，２０４８，４０９６分割
した正規の信号を得る方法を開発し、２，１６等の１回
転１Ｈｚ〜数十Ｈｚの低周波数の磁気センサについての
内容を特許出願した。
して、例えば２，１６，１２８，１０２４分割したトラ
ックを用いて、それぞれの磁気トラックに対向する磁気
センサからのｓｉｎ波，ｃｏｓ波の信号を電気回路処理
による方法で、２，４，８，１６，３２，６４，１２８
，２５６，５１２，１０１２，２０４８，４０９６分割
した正規の信号を得る方法を開発し、２，１６等の１回
転１Ｈｚ〜数十Ｈｚの低周波数の磁気センサについての
内容を特許出願した。
【０００５】図６にその内容を示しており、図６におい
て、磁気ドラム１にシャフト２を取付ける。シャフト２
には回転に伴い回転と同期したｓｉｎ波信号を発生する
信号発生器３を取付ける。
て、磁気ドラム１にシャフト２を取付ける。シャフト２
には回転に伴い回転と同期したｓｉｎ波信号を発生する
信号発生器３を取付ける。
【０００６】信号発生器３から出た信号はアンプ４で増
幅され磁気ヘッド５Ａ，５Ｂ，５Ｃ，５Ｄ（陰となるの
で図示せず）により磁気トラック６Ａ，６Ｂ，６Ｃ，６
Ｄとして着磁される。磁気トラック６Ａ，６Ｂ，６Ｃ，
６Ｄの磁界強さは信号発生器からのｓｉｎ波信号と同期
したものとなり、ｓｉｎ状で磁界強さが変化する磁気ト
ラック６Ａ，６Ｂ，６Ｃ，６Ｄとなる。
幅され磁気ヘッド５Ａ，５Ｂ，５Ｃ，５Ｄ（陰となるの
で図示せず）により磁気トラック６Ａ，６Ｂ，６Ｃ，６
Ｄとして着磁される。磁気トラック６Ａ，６Ｂ，６Ｃ，
６Ｄの磁界強さは信号発生器からのｓｉｎ波信号と同期
したものとなり、ｓｉｎ状で磁界強さが変化する磁気ト
ラック６Ａ，６Ｂ，６Ｃ，６Ｄとなる。
【０００７】磁気トラック６Ａ，６Ｂ，６Ｃ，６Ｄの位
相関係は６Ａと６Ｂは１８０度、６Ｃと６Ｄは１８０度
、６Ａと６Ｃは９０度の位相差となるように着磁する。 例えば１回転１Ｈｚの信号の場合は相互に機械角度で磁
気ヘッドＡとＢは１８０度、ＣとＤは１８０度、６Ａと
６Ｃは９０度となるように取付け、直列に接続して同じ
電流で着磁する。なお５１Ａ，５１Ｂ，５１Ｃ，５１Ｄ
は磁気ヘッド５Ａ，５Ｂ，５Ｃ，５Ｄのヨーク開口部で
、磁気ドラム１の軸方向と合致しており、磁気トラック
は上下方向に磁極が設けられる。
相関係は６Ａと６Ｂは１８０度、６Ｃと６Ｄは１８０度
、６Ａと６Ｃは９０度の位相差となるように着磁する。 例えば１回転１Ｈｚの信号の場合は相互に機械角度で磁
気ヘッドＡとＢは１８０度、ＣとＤは１８０度、６Ａと
６Ｃは９０度となるように取付け、直列に接続して同じ
電流で着磁する。なお５１Ａ，５１Ｂ，５１Ｃ，５１Ｄ
は磁気ヘッド５Ａ，５Ｂ，５Ｃ，５Ｄのヨーク開口部で
、磁気ドラム１の軸方向と合致しており、磁気トラック
は上下方向に磁極が設けられる。
【０００８】ここで、１回転１６Ｈｚの場合はその角度
を磁気ヘッド５Ａと５Ｂおよび５Ｃと５Ｄは１１．２５
度又は等価な１１．２５＋ｎ×２２．５度（ｎ≧１の整
数）とし、５Ａと５Ｃは５，６２５度または等価な５，
６２５＋ｎ×２２．５度（ｎ≧１の整数）に取付ける。
を磁気ヘッド５Ａと５Ｂおよび５Ｃと５Ｄは１１．２５
度又は等価な１１．２５＋ｎ×２２．５度（ｎ≧１の整
数）とし、５Ａと５Ｃは５，６２５度または等価な５，
６２５＋ｎ×２２．５度（ｎ≧１の整数）に取付ける。
【０００９】なお、磁気トラック６Ａ，６Ｂ，６Ｃ，６
Ｄを同一電流で同時に着磁することで説明したが、磁気
トラック６Ａ，６Ｂ，６Ｃ，６Ｄを別々の着磁電流とし
てその位相を所定の位相差としてもよい。
Ｄを同一電流で同時に着磁することで説明したが、磁気
トラック６Ａ，６Ｂ，６Ｃ，６Ｄを別々の着磁電流とし
てその位相を所定の位相差としてもよい。
【００１０】このように着磁した磁気ドラム１にＭＲ素
子７を磁気トラック６Ａ，６Ｂ，６Ｃ，６Ｄに一定のギ
ャップｇで近接配置する。
子７を磁気トラック６Ａ，６Ｂ，６Ｃ，６Ｄに一定のギ
ャップｇで近接配置する。
【００１１】ＭＲ素子７の内部には磁界により抵抗値の
変化する強磁性の磁気抵抗ＭＲ１とＭＲ２，ＭＲ３，Ｍ
Ｒ４を配置する。磁気抵抗ＭＲ１，ＭＲ２，ＭＲ３，Ｍ
Ｒ４，ＭＲ５，ＭＲ６，ＭＲ７，ＭＲ８は図７に示すよ
うにそれぞれ磁気トラックの６Ａ，６Ｂ，６Ｃ，６Ｄに
対向して配置する。
変化する強磁性の磁気抵抗ＭＲ１とＭＲ２，ＭＲ３，Ｍ
Ｒ４を配置する。磁気抵抗ＭＲ１，ＭＲ２，ＭＲ３，Ｍ
Ｒ４，ＭＲ５，ＭＲ６，ＭＲ７，ＭＲ８は図７に示すよ
うにそれぞれ磁気トラックの６Ａ，６Ｂ，６Ｃ，６Ｄに
対向して配置する。
【００１２】この磁気抵抗ＭＲ１，ＭＲ２，ＭＲ３，Ｍ
Ｒ４，ＭＲ５，ＭＲ６，ＭＲ７，ＭＲ８は同一基板上に
同時に作られたもので、図８に示す等価回路のようにＭ
Ｒ１とＭＲ２を、ＭＲ３とＭＲ４を、ＭＲ５とＭＲ６を
、ＭＲ７とＭＲ８をそれぞれ直列に接続し、その接続点
から出力信号Ｖａ，
Ｒ４，ＭＲ５，ＭＲ６，ＭＲ７，ＭＲ８は同一基板上に
同時に作られたもので、図８に示す等価回路のようにＭ
Ｒ１とＭＲ２を、ＭＲ３とＭＲ４を、ＭＲ５とＭＲ６を
、ＭＲ７とＭＲ８をそれぞれ直列に接続し、その接続点
から出力信号Ｖａ，
【００１３】
【外１】
【００１４】とＶｂ，
【００１５】
【外２】
【００１６】をそれぞれ取り出し、他端側を電源Ｅに接
続する。より具体的なＭＲ素子と磁気トラックとの関係
を図９により説明する。
続する。より具体的なＭＲ素子と磁気トラックとの関係
を図９により説明する。
【００１７】磁気抵抗ＭＲ１，ＭＲ２，ＭＲ３，ＭＲ４
，ＭＲ５，ＭＲ６，ＭＲ７，ＭＲ８はＮｉＦｅ又はＮｉ
Ｃｏ等の強磁性の合金薄膜からなる磁界によって抵抗が
変化する抵抗で、図に示すように、それぞれの抵抗は同
一基板上に同じ形状で作る。この強磁性磁気抵抗は薄膜
の面と同じ面で、電流の流れる方向と直角方向の磁界に
対して最大に抵抗変化があるので、図に示すように磁気
トラック６Ａ，６Ｂの磁界方向（図では上から下）と直
角に電流が流れるように磁界を感知する磁気抵抗ＭＲ１
，ＭＲ２，ＭＲ３，ＭＲ４を配置する。
，ＭＲ５，ＭＲ６，ＭＲ７，ＭＲ８はＮｉＦｅ又はＮｉ
Ｃｏ等の強磁性の合金薄膜からなる磁界によって抵抗が
変化する抵抗で、図に示すように、それぞれの抵抗は同
一基板上に同じ形状で作る。この強磁性磁気抵抗は薄膜
の面と同じ面で、電流の流れる方向と直角方向の磁界に
対して最大に抵抗変化があるので、図に示すように磁気
トラック６Ａ，６Ｂの磁界方向（図では上から下）と直
角に電流が流れるように磁界を感知する磁気抵抗ＭＲ１
，ＭＲ２，ＭＲ３，ＭＲ４を配置する。
【００１８】そして、ＭＲ１とＭＲ２を接続し、その接
続点から出力Ｖａを、ＭＲ３とＭＲ４を接続し、その接
続点から出力
続点から出力Ｖａを、ＭＲ３とＭＲ４を接続し、その接
続点から出力
【００１９】
【外３】
【００２０】を取り出す。一方、それぞれの他端子側は
電源Ｅに接続する。このとき図に示すようにＭＲ１とＭ
Ｒ２に対してＭＲ３とＭＲ４は逆極性となるように電源
Ｅに接続する。
電源Ｅに接続する。このとき図に示すようにＭＲ１とＭ
Ｒ２に対してＭＲ３とＭＲ４は逆極性となるように電源
Ｅに接続する。
【００２１】このように構成することによりＭＲ素子７
の抵抗は図１０（ａ）のようにＭＲ１とＭＲ２およびＭ
Ｒ４とＭＲ３は互いに逆の関係でｓｉｎで増減する。し
たがって出力電圧Ｖａは図１０（ｂ）および図１０（ｃ
）に示すように、ほぼ電源電圧の１／２を中心にＶａの
ように出力電圧として取りだせる。仮に片側ＭＲ１だけ
の動作の場合は図１０（ｂ）の点線のようにＶａの１／
２の出力となる。逆極性の電源に接続したＭＲ３，ＭＲ
４からは同様に図１０（ｃ）の点線で示す
の抵抗は図１０（ａ）のようにＭＲ１とＭＲ２およびＭ
Ｒ４とＭＲ３は互いに逆の関係でｓｉｎで増減する。し
たがって出力電圧Ｖａは図１０（ｂ）および図１０（ｃ
）に示すように、ほぼ電源電圧の１／２を中心にＶａの
ように出力電圧として取りだせる。仮に片側ＭＲ１だけ
の動作の場合は図１０（ｂ）の点線のようにＶａの１／
２の出力となる。逆極性の電源に接続したＭＲ３，ＭＲ
４からは同様に図１０（ｃ）の点線で示す
【００２２】
【外４】
【００２３】のようにＶａとは逆相の出力電圧として取
りだせる。このように、ほぼ電源電圧の１／２を中心に
Ｖａと
りだせる。このように、ほぼ電源電圧の１／２を中心に
Ｖａと
【００２４】
【外５】
【００２５】は位相が１８０度ずれた出力となり、この
差
差
【００２６】
【数１】
【００２７】を取ると出力電圧が２倍となる。また、図
１１に示すような差動アンプで出力電圧を増幅するとＭ
Ｒ１，ＭＲ２，ＭＲ３，ＭＲ４に入ってくるノイズは差
動アンプの同相除去により大幅に減少することができ、
大幅な耐ノイズ性が向上する。
１１に示すような差動アンプで出力電圧を増幅するとＭ
Ｒ１，ＭＲ２，ＭＲ３，ＭＲ４に入ってくるノイズは差
動アンプの同相除去により大幅に減少することができ、
大幅な耐ノイズ性が向上する。
【００２８】同じようにして９０度位相差のある磁気ト
ラック６Ｃ，６ＤおよびＭＲ５，ＭＲ６，ＭＲ７，ＭＲ
８からはＶａ，
ラック６Ｃ，６ＤおよびＭＲ５，ＭＲ６，ＭＲ７，ＭＲ
８からはＶａ，
【００２９】
【外６】
【００３０】に対して９０度位相差のあるＶｂ，
【００
３１】
３１】
【外７】
【００３２】が得られる。なお強磁性の磁気抵抗は磁極
のＮ，Ｓ両磁極に対して対称に抵抗変化するので１回転
１Ｈｚを得るときは図１２に示すように直流が重畳した
着磁電流で着磁し、磁気トラックの極性が反転しないよ
うにする（極性が反転すると１回転２Ｈｚの出力信号と
なってしまう）。
のＮ，Ｓ両磁極に対して対称に抵抗変化するので１回転
１Ｈｚを得るときは図１２に示すように直流が重畳した
着磁電流で着磁し、磁気トラックの極性が反転しないよ
うにする（極性が反転すると１回転２Ｈｚの出力信号と
なってしまう）。
【００３３】１回転に２Ｈｚ以上の場合は直流を重畳し
てもしなくてもよい。
てもしなくてもよい。
【００３４】
【発明が解決しようとする課題】以上のような構成の従
来例では、図１３に示すようにＭＲ素子を使った磁気セ
ンサと磁気ドラムのギャップが広いところでは、ギャッ
プに対して出力電圧は大きく変化する。また、磁気ドラ
ムとセンサを近接させると、出力電圧は大きくてほぼ一
定となるが磁気抵抗変化に飽和現象の発生により出力電
圧の波形が歪むことにより、広い範囲のギャップに対し
て高出力電圧でかつ歪のない波形が得られなかった。
来例では、図１３に示すようにＭＲ素子を使った磁気セ
ンサと磁気ドラムのギャップが広いところでは、ギャッ
プに対して出力電圧は大きく変化する。また、磁気ドラ
ムとセンサを近接させると、出力電圧は大きくてほぼ一
定となるが磁気抵抗変化に飽和現象の発生により出力電
圧の波形が歪むことにより、広い範囲のギャップに対し
て高出力電圧でかつ歪のない波形が得られなかった。
【００３５】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に本発明では、磁気ドラムの一周に亘り着磁した少なく
とも２本の磁気トラックに対向して強磁性磁気抵抗素子
を配置し、かつ前記磁気トラックは、着磁方向を磁気ド
ラムの一周に亘り軸方向とするとともに、磁気ドラムの
回転に伴い強磁性磁気抵抗素子に対してほぼｓｉｎ状に
磁界強さが変化する磁気トラックとし、かつ少なくとも
２本の磁気トラックは相互に磁界強さがほぼ１２０度位
相差になるように構成したものである。
に本発明では、磁気ドラムの一周に亘り着磁した少なく
とも２本の磁気トラックに対向して強磁性磁気抵抗素子
を配置し、かつ前記磁気トラックは、着磁方向を磁気ド
ラムの一周に亘り軸方向とするとともに、磁気ドラムの
回転に伴い強磁性磁気抵抗素子に対してほぼｓｉｎ状に
磁界強さが変化する磁気トラックとし、かつ少なくとも
２本の磁気トラックは相互に磁界強さがほぼ１２０度位
相差になるように構成したものである。
【００３６】また、本発明においては、２個の強磁性磁
気抵抗を２本の磁気トラックの着磁方向と直角に配置す
るとともに、前記２個の強磁性磁気抵抗を直列に接続し
て強磁性磁気抵抗素子を構成し、かつ直列接続した端子
を信号検出端とし、他端側を電源に接続した構成や、２
個の強磁性磁気抵抗素子を１組とし、少なくとも２組用
い、かつそれぞれの組の強磁性磁気抵抗素子を互いに逆
位相とした構成や、２本の磁気トラックと２個の強磁性
磁気抵抗をそれぞれ１組とし、前記磁気トラックは、磁
気ドラムに相互に９０度の位相差を設けて２組設け、前
記強磁性磁気抵抗を２組設けて相互に９０度の位相差の
出力を得るように構成してもよい。
気抵抗を２本の磁気トラックの着磁方向と直角に配置す
るとともに、前記２個の強磁性磁気抵抗を直列に接続し
て強磁性磁気抵抗素子を構成し、かつ直列接続した端子
を信号検出端とし、他端側を電源に接続した構成や、２
個の強磁性磁気抵抗素子を１組とし、少なくとも２組用
い、かつそれぞれの組の強磁性磁気抵抗素子を互いに逆
位相とした構成や、２本の磁気トラックと２個の強磁性
磁気抵抗をそれぞれ１組とし、前記磁気トラックは、磁
気ドラムに相互に９０度の位相差を設けて２組設け、前
記強磁性磁気抵抗を２組設けて相互に９０度の位相差の
出力を得るように構成してもよい。
【００３７】
【作用】この構成により、１２０度位相差の２個の磁気
抵抗からは３次高調波が除かれ、さらに逆位相の磁気抵
抗との組合わせにより２次高調波が除かれ、高精度なｓ
ｉｎ波信号として検出できる。もう一組の磁気トラック
は前記磁気トラックに対して電気角で９０度とし、それ
ぞれの磁気トラックに対向する４個の磁気抵抗より高精
度なｃｏｓ波信号として検出できる。
抵抗からは３次高調波が除かれ、さらに逆位相の磁気抵
抗との組合わせにより２次高調波が除かれ、高精度なｓ
ｉｎ波信号として検出できる。もう一組の磁気トラック
は前記磁気トラックに対して電気角で９０度とし、それ
ぞれの磁気トラックに対向する４個の磁気抵抗より高精
度なｃｏｓ波信号として検出できる。
【００３８】
【実施例】以下、本発明の磁気センサの一実施例につい
て説明する。
て説明する。
【００３９】まず、本発明による磁気センサは、基本的
に図６〜図９に示すセンサと同様な構成であり、少なく
とも２本の磁気トラックを相互に磁界強さがほぼ１２０
度の位相差になるように構成している。
に図６〜図９に示すセンサと同様な構成であり、少なく
とも２本の磁気トラックを相互に磁界強さがほぼ１２０
度の位相差になるように構成している。
【００４０】図２は、磁気ドラム１とＭＲ素子７とを近
接させた状態での出力信号を示す図であり、ＭＲ素子７
の磁気飽和が発生して図２のように抵抗値は変化し信号
磁界に対する出力信号は歪を持ったものとなる。この時
、抵抗値は図１のように磁気抵抗ＭＲ１とＭＲ２および
ＭＲ３とＭＲ４は互いに１２０度の関係で変化する。
接させた状態での出力信号を示す図であり、ＭＲ素子７
の磁気飽和が発生して図２のように抵抗値は変化し信号
磁界に対する出力信号は歪を持ったものとなる。この時
、抵抗値は図１のように磁気抵抗ＭＲ１とＭＲ２および
ＭＲ３とＭＲ４は互いに１２０度の関係で変化する。
【００４１】図３によりこの１２０度の位相差により３
次高調波が除かれることを説明する。図３において、太
い実線はＭＲ１からの信号、細い実線はこれに含まれる
３次高調波を示し、また太い点線はＭＲ２からの信号、
細い点線はこれに含まれる３次高調波を示す。このよう
にＭＲ１とＭＲ２の信号に含まれる３次高調波は同相と
なり、図８のように直列接続では差動出力となることか
ら３次高調波は除かれる。
次高調波が除かれることを説明する。図３において、太
い実線はＭＲ１からの信号、細い実線はこれに含まれる
３次高調波を示し、また太い点線はＭＲ２からの信号、
細い点線はこれに含まれる３次高調波を示す。このよう
にＭＲ１とＭＲ２の信号に含まれる３次高調波は同相と
なり、図８のように直列接続では差動出力となることか
ら３次高調波は除かれる。
【００４２】次に、ＭＲ１とＭＲ２からの信号ＶａとＭ
Ｒ３とＭＲ４からの信号
Ｒ３とＭＲ４からの信号
【００４３】
【外８】
【００４４】から２次高調波を除く方法について、図４
により説明する。太い実線は信号Ｖａを、細い実線はこ
れに含まれる２次高調波を示す。また、太い点線は信号
により説明する。太い実線は信号Ｖａを、細い実線はこ
れに含まれる２次高調波を示す。また、太い点線は信号
【００４５】
【外９】
【００４６】を、細い点線はこれに含まれる２次高調波
を示す。この信号を図１１に示すように差動増幅器に入
力することにより、２次高調波は同相なので除かれる。 このようにして出力信号ＶＡとしては、高精度なｓｉｎ
波信号が得られる。また磁気トラック６Ａ，６Ｂと９０
度の位相差の関係にある磁気トラック６Ｃ，６Ｄに対向
するＭＲ５，ＭＲ６，ＭＲ７，ＭＲ８からの出力信号Ｖ
ｂも、同様に高精度なｃｏｓ波信号が得られる。
を示す。この信号を図１１に示すように差動増幅器に入
力することにより、２次高調波は同相なので除かれる。 このようにして出力信号ＶＡとしては、高精度なｓｉｎ
波信号が得られる。また磁気トラック６Ａ，６Ｂと９０
度の位相差の関係にある磁気トラック６Ｃ，６Ｄに対向
するＭＲ５，ＭＲ６，ＭＲ７，ＭＲ８からの出力信号Ｖ
ｂも、同様に高精度なｃｏｓ波信号が得られる。
【００４７】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、図５に示
すように磁気ドラムとＭＲ素子のギャップが広い範囲で
一定の高出力が得られ、かつ歪の少ない高精度なｓｉｎ
波およびｃｏｓ波信号が得られることにより、アブソリ
ュート型でも、少ない磁気トラックと少ないＭＲ素子で
構成することができ、小型高精度で安価なエンコーダを
作ることができる。
すように磁気ドラムとＭＲ素子のギャップが広い範囲で
一定の高出力が得られ、かつ歪の少ない高精度なｓｉｎ
波およびｃｏｓ波信号が得られることにより、アブソリ
ュート型でも、少ない磁気トラックと少ないＭＲ素子で
構成することができ、小型高精度で安価なエンコーダを
作ることができる。
【図１】本発明の磁気センサにおける磁気ドラムの回転
に対する磁気抵抗の抵抗変化を示す特性図
に対する磁気抵抗の抵抗変化を示す特性図
【図２】同じ
く信号磁界と出力信号の関係を示す波形図
く信号磁界と出力信号の関係を示す波形図
【図３】１２
０度位相差の磁気抵抗による３次高調波の状態を説明す
る概念図
０度位相差の磁気抵抗による３次高調波の状態を説明す
る概念図
【図４】逆相のＭＲ素子出力における２次高調波の状態
を説明する概念図
を説明する概念図
【図５】本発明における磁気ドラムとＭＲ素子のギャッ
プに対する出力電圧と高調波成分の関係を示す特性図
プに対する出力電圧と高調波成分の関係を示す特性図
【
図６】本発明において、磁気ドラムと着磁ヘッドの関係
を示す概略図
図６】本発明において、磁気ドラムと着磁ヘッドの関係
を示す概略図
【図７】磁気ドラムとＭＲ素子の関係を示す概略図
【図
８】ＭＲ素子の接続を示す等価回路図
８】ＭＲ素子の接続を示す等価回路図
【図９】磁気トラ
ックとＭＲ素子の磁気抵抗との関係を示す概略図
ックとＭＲ素子の磁気抵抗との関係を示す概略図
【図１０】（ａ）〜（ｃ）は従来のＭＲ素子の磁気抵抗
の変化と出力電圧の変化を示す波形図
の変化と出力電圧の変化を示す波形図
【図１１】磁気センサにおける電気回路図
【図１２】１
回転１Ｈｚ時の着磁電流を示す波形図
回転１Ｈｚ時の着磁電流を示す波形図
【図１３】従来の
磁気ドラムとＭＲ素子のギャップに対する出力電圧と高
調波成分の関係を示す特性図
磁気ドラムとＭＲ素子のギャップに対する出力電圧と高
調波成分の関係を示す特性図
１ 磁気ドラム
５Ａ，５Ｂ，５Ｃ，５Ｄ 磁気ヘッド６Ａ，６Ｂ，６
Ｃ，６Ｄ 磁気トラック７ ＭＲ素子 ＭＲ１，ＭＲ２，ＭＲ３，ＭＲ４，ＭＲ５，ＭＲ６，Ｍ
Ｒ７，ＭＲ８ 強磁性の磁気抵抗
Ｃ，６Ｄ 磁気トラック７ ＭＲ素子 ＭＲ１，ＭＲ２，ＭＲ３，ＭＲ４，ＭＲ５，ＭＲ６，Ｍ
Ｒ７，ＭＲ８ 強磁性の磁気抵抗
Claims (4)
- 【請求項１】磁気ドラムの一周に亘り着磁した少なくと
も２本の磁気トラックに対向して強磁性磁気抵抗素子を
配置し、かつ前記磁気トラックは、着磁方向を磁気ドラ
ムの一周に亘り軸方向とするとともに、磁気ドラムの回
転に伴い強磁性磁気抵抗素子に対してほぼｓｉｎ状に磁
界強さが変化する磁気トラックとし、かつ少なくとも２
本の磁気トラックは相互に磁界強さがほぼ１２０度の位
相差になるように構成した磁気センサ。 - 【請求項２】２個の強磁性磁気抵抗を２本の磁気トラッ
クの着磁方向と直角に配置するとともに前記２個の強磁
性磁気抵抗を直列に接続して強磁性磁気抵抗素子を構成
し、かつ直列接続した端子を信号検出端とし、他端側を
電源に接続した請求項１記載の磁気センサ。 - 【請求項３】２個の強磁性磁気抵抗素子を１組とし、少
なくとも２組用い、かつそれぞれの組の強磁性磁気抵抗
素子を互いに逆位相とした請求項１記載の磁気センサ。 - 【請求項４】２本の磁気トラックと２個の強磁性磁気抵
抗をそれぞれ１組とし、前記磁気トラックは、磁気ドラ
ムに相互に９０度の位相差を設けて２組設け、前記強磁
性磁気抵抗を２組設けて相互に９０度の位相差の出力を
得るように構成した請求項１記載の磁気センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2406501A JPH04223218A (ja) | 1990-12-26 | 1990-12-26 | 磁気センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2406501A JPH04223218A (ja) | 1990-12-26 | 1990-12-26 | 磁気センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04223218A true JPH04223218A (ja) | 1992-08-13 |
Family
ID=18516123
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2406501A Pending JPH04223218A (ja) | 1990-12-26 | 1990-12-26 | 磁気センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04223218A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5886520A (en) * | 1995-01-24 | 1999-03-23 | Canon Kabushiki Kaisha | Position sensor having magnetic resistance effect devices for detecting a position of an object |
| JP2015045529A (ja) * | 2013-08-27 | 2015-03-12 | Tdk株式会社 | 回転磁界センサ |
| JP2019160991A (ja) * | 2018-03-13 | 2019-09-19 | ヤマハ発動機株式会社 | 着磁装置 |
-
1990
- 1990-12-26 JP JP2406501A patent/JPH04223218A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5886520A (en) * | 1995-01-24 | 1999-03-23 | Canon Kabushiki Kaisha | Position sensor having magnetic resistance effect devices for detecting a position of an object |
| US6307366B1 (en) * | 1995-01-24 | 2001-10-23 | Canon Kabushiki Kaisha | Object position sensor using magnetic effect device |
| JP2015045529A (ja) * | 2013-08-27 | 2015-03-12 | Tdk株式会社 | 回転磁界センサ |
| US10386169B2 (en) | 2013-08-27 | 2019-08-20 | Tdk Corporation | Rotating field sensor |
| US10648787B2 (en) | 2013-08-27 | 2020-05-12 | Tdk Corporation | Rotating field sensor |
| JP2019160991A (ja) * | 2018-03-13 | 2019-09-19 | ヤマハ発動機株式会社 | 着磁装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0235750B1 (en) | Apparatus for magnetically detecting position or speed of moving body | |
| JPH01297507A (ja) | 磁気的に位置や速度を検出する装置 | |
| KR100658859B1 (ko) | 자기 검출 장치 | |
| JPH10239338A (ja) | 検出装置 | |
| JPS6086412A (ja) | 磁気検出装置 | |
| JPH04223218A (ja) | 磁気センサ | |
| CN117178193A (zh) | 磁传感器和磁检测系统 | |
| JPS59147213A (ja) | 磁気回転センサ | |
| JPH10227809A (ja) | 回転状態検出装置 | |
| JP3064293B2 (ja) | 回転センサ | |
| JPS60162920A (ja) | 磁気感応素子を用いたレゾルバ−装置 | |
| JPH04110725A (ja) | 磁気センサおよびその製造方法 | |
| JPH074986A (ja) | 基準位置検出装置 | |
| JPS63205514A (ja) | 磁気的に位置や速度を検出する装置 | |
| JP2613059B2 (ja) | 磁気センサ | |
| JP2767281B2 (ja) | 磁気センサ | |
| JPS6032996B2 (ja) | 磁気抵抗装置 | |
| JPH02264816A (ja) | 磁気センサおよびその製造方法 | |
| JP3170806B2 (ja) | 磁電変換器 | |
| JPS6139592A (ja) | 磁気エンコ−ダ | |
| JPS6111982Y2 (ja) | ||
| JPH08271283A (ja) | 位置センサ及び位置検出装置 | |
| JPH03282213A (ja) | 磁気エンコーダ | |
| JPH0415517A (ja) | 磁気式エンコーダ | |
| JPH0320779Y2 (ja) |