JPH023074U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH023074U JPH023074U JP7999888U JP7999888U JPH023074U JP H023074 U JPH023074 U JP H023074U JP 7999888 U JP7999888 U JP 7999888U JP 7999888 U JP7999888 U JP 7999888U JP H023074 U JPH023074 U JP H023074U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cryopump
- refrigerator
- liquid nitrogen
- stage
- valve
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 4
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Landscapes
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
Description
第１図は本考案のクライオポンプ急冷システム
を取付けた構成図、第２図は従来例を示す構成図
である。 １……冷凍機、２……冷凍機第１ステージ、３
……冷凍機第２ステージ、４……真空容器、５…
…温度計、６……コンプレツサ、７……荒引きバ
ルブ、８……荒引き用真空ポンプ、９……金属管
、１０……判断・処理・制御部、１１……ベツセ
ル、１２……液体窒素、１３……真空計、１４…
…高圧空気管、１５……高圧空気導入バルブ、１
６……液体窒素導入バルブ、１７……液体窒素大
気開放バルブ、１８……真空引きバルブ。
を取付けた構成図、第２図は従来例を示す構成図
である。 １……冷凍機、２……冷凍機第１ステージ、３
……冷凍機第２ステージ、４……真空容器、５…
…温度計、６……コンプレツサ、７……荒引きバ
ルブ、８……荒引き用真空ポンプ、９……金属管
、１０……判断・処理・制御部、１１……ベツセ
ル、１２……液体窒素、１３……真空計、１４…
…高圧空気管、１５……高圧空気導入バルブ、１
６……液体窒素導入バルブ、１７……液体窒素大
気開放バルブ、１８……真空引きバルブ。
Claims (1)
- クライオポンプの冷凍機に連なる冷凍機第１ス
テージを液体窒素により急速冷却を行う急冷機構
を装備したことを特徴とするクライオポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7999888U JPH023074U (ja) | 1988-06-16 | 1988-06-16 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7999888U JPH023074U (ja) | 1988-06-16 | 1988-06-16 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH023074U true JPH023074U (ja) | 1990-01-10 |
Family
ID=31304845
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7999888U Pending JPH023074U (ja) | 1988-06-16 | 1988-06-16 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH023074U (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4911138U (ja) * | 1972-05-09 | 1974-01-30 | ||
| JPS59195227U (ja) * | 1983-06-13 | 1984-12-25 | 篠塚 賢二 | 軸接手 |
-
1988
- 1988-06-16 JP JP7999888U patent/JPH023074U/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4911138U (ja) * | 1972-05-09 | 1974-01-30 | ||
| JPS59195227U (ja) * | 1983-06-13 | 1984-12-25 | 篠塚 賢二 | 軸接手 |