JPS6237154U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6237154U JPS6237154U JP12876285U JP12876285U JPS6237154U JP S6237154 U JPS6237154 U JP S6237154U JP 12876285 U JP12876285 U JP 12876285U JP 12876285 U JP12876285 U JP 12876285U JP S6237154 U JPS6237154 U JP S6237154U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- main
- valve
- evacuated
- exhaust
- pipe
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims description 7
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Description
第１図は本考案の一実施例の構成図、第２図は
他の実施例を説明するための構成図、第３図は従
来例を説明するための構成図である。 １：被排気室、２：主排気管、３，２０：水冷
バツフル、４，２１：油拡散ポンプ、５：冷却ト
ラツプ、６：第１主弁、７：油回転ポンプ、８：
排気管、９，１０：バルブ、１１，１２：リーク
バルブ、１３：第２主弁、１４：バイパス管、１
５：バイパス弁、１６：真空計、１７：バルブ駆
動回路、１８：排気管、１９：調整弁。
他の実施例を説明するための構成図、第３図は従
来例を説明するための構成図である。 １：被排気室、２：主排気管、３，２０：水冷
バツフル、４，２１：油拡散ポンプ、５：冷却ト
ラツプ、６：第１主弁、７：油回転ポンプ、８：
排気管、９，１０：バルブ、１１，１２：リーク
バルブ、１３：第２主弁、１４：バイパス管、１
５：バイパス弁、１６：真空計、１７：バルブ駆
動回路、１８：排気管、１９：調整弁。
Claims (1)
- 粗引きされた排被排気室が主排気管を介して本
引き用真空ポンプで排気され、該主排気管には冷
却トラツプが内蔵されており、該主排気管の該被
排気室と該冷却トラツプとの間に第１主弁が備え
られた裂置において、前記主排気管の冷却トラツ
プと本引き用真空ポンプとの間に設けられた第２
主弁と、前記被排気室と本引き用真空ポンプとを
接続するためのバイパス管と、該バイパス管に設
けられたバイパス弁と、前記冷却トラツプ近傍の
真空度を検出するための真空計と、該真空計より
の信号によつて第１主弁及びバイパス弁の開閉を
制御するバルブ駆動手段とを備え、該バルブ駆動
手段により該冷却トラツプ近傍の真空度が基準値
より低真空の場合にバイパス管を排気経路として
選択して前記被排気室を排気するように構成した
ことを特徴とする電子線装置の排気系。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12876285U JPS6237154U (ja) | 1985-08-23 | 1985-08-23 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12876285U JPS6237154U (ja) | 1985-08-23 | 1985-08-23 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6237154U true JPS6237154U (ja) | 1987-03-05 |
Family
ID=31024718
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12876285U Pending JPS6237154U (ja) | 1985-08-23 | 1985-08-23 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6237154U (ja) |
-
1985
- 1985-08-23 JP JP12876285U patent/JPS6237154U/ja active Pending
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